• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    碳化硅化學機械拋光中金剛石磨粒與二氧化硅磨粒作用的微觀模擬分析

    2021-09-17 07:16:12孫強許競翔盧康褚振華
    電鍍與涂飾 2021年16期
    關(guān)鍵詞:成鍵拋光液碳化硅

    孫強,許競翔,盧康,褚振華

    (上海海洋大學工程學院,上海 201306)

    碳化硅屬于第三代半導(dǎo)體材料,相比于前兩代半導(dǎo)體材料,其具有耐高溫、耐腐蝕、耐輻射、導(dǎo)熱性能好、禁帶寬、電子擊穿率高的特點,可適應(yīng)高溫、輻射等極端環(huán)境,且使用壽命長[1-2]。但碳化硅脆性大、硬度高、表面光滑、具有化學惰性等特點導(dǎo)致其加工難度大[3-4]。此外,隨著集成電路行業(yè)的發(fā)展,需要在單一晶圓上承載更多的電路,所以對晶圓尺寸的要求越來越高,對晶圓加工工藝的要求隨之提高,必須不斷提高碳化硅材料的表面平坦化技術(shù)[5]。

    目前,工業(yè)上獲得碳化硅材料高品質(zhì)表面的主要加工方式是化學機械拋光(CMP),該法加工的表面不但精度高、損傷低,而且是目前唯一能夠?qū)崿F(xiàn)全局化拋光的方式[6]。化學機械拋光的工作原理如圖1所示:由夾持頭和拋光盤提供轉(zhuǎn)速,兩者的相對運動能夠避免碳化硅工件受到局部摩擦。拋光過程中隨時添加拋光液,防止出現(xiàn)“干磨”。磨粒均勻地分布在工件周圍,與工件相互摩擦??梢娀瘜W機械拋光的效果主要受到2個因素的影響,一是拋光液的侵蝕,二是磨粒的摩擦,其他條件(如拋光壓力和拋光盤轉(zhuǎn)速)都屬于輔助性質(zhì)。目前,拋光液選型、作用等已經(jīng)受到了許多學者的關(guān)注,并且大量堿性拋光液、強氧化性拋光液、高濃度強酸拋光液和各種促進化學反應(yīng)的催化劑[7-8]被開發(fā)出來,然而關(guān)于磨粒在拋光過程中影響的研究報道則較少。為了更全面地提升碳化硅的拋光技術(shù),有必要對碳化硅CMP過程中磨粒的作用進行深入研究。

    圖1 化學機械拋光的工作原理示意圖Figure 1 Sketch showing the working principle of chemical mechanical polishing

    本文選取金剛石和二氧化硅這兩種最常見但硬度不同的磨粒作為研究對象。關(guān)于金剛石和二氧化硅的應(yīng)用目前已經(jīng)取得了一些進展。梁慶瑞等人[9]使用不同粒徑和形狀的金剛石微粉對SiC進行機械拋光,去除率可達36.2 nm/min,但晶片表面有許多劃痕,經(jīng)CMP去除1 μm后,其表面品質(zhì)得以改善,獲得原子級臺階。韓國東義大學的Lee等人[10]使用SiO2和金剛石的混合磨料在H2O2溶液中得到了粗糙度(Ra)為0.077 2 nm的表面,碳化硅材料去除率為0.15 μm/h。2014年清華大學摩擦學國家重點實驗室的Shi等人[11]使用小尺寸二氧化硅磨粒實現(xiàn)了碳化硅材料近乎完美的表面平坦度。但上述研究幾乎都是重點關(guān)注宏觀尺度,對于磨粒的摩擦去除機制目前尚不清楚,仍有待研究。

    本文采用新一代反應(yīng)力場(ReaxFF)分子動力學模擬方法,研究采用不同磨粒對碳化硅CMP時對表面原子的去除機制。ReaxFF的核心表達方式是鍵級,在鍵級定義的基礎(chǔ)上將原子間的相互作用定義為鍵級的函數(shù),其中包含鍵、角、二面角、共軛、庫侖、范德華及調(diào)整項等。能量表達關(guān)系見式(1)[12]。

    式中,Esystem是總勢能,它包括共價相互作用能和非鍵相互作用能。共價相互作用能包括鍵能Ebond、孤對電子能Elp、過飽和鍵能Eover、不飽和鍵能Eval、共價鍵角作用能Ecoa、共價鍵修正能EC2、三體共軛作用能Etriple、二面角作用能Etors、四體共扼能Econj和氫鍵能EH-bond,非鍵相互作用能包括范德華相互作用力能EvdWaals和靜電相互作用能Ecoulomb。該反應(yīng)立場可以模擬成鍵和斷鍵的連續(xù)變化,因此可用于模擬化學反應(yīng),模擬速率比較快,常被用作計算化學反應(yīng)和復(fù)雜條件的大體系的分子動力學模擬。目前,該方法在材料加工領(lǐng)域的研究已經(jīng)取得了一些長足的進展。如大連理工大學的Guo等人[13-15]模擬了金剛石材料的CMP過程,發(fā)現(xiàn)H2O2溶液與金剛石表面化學反應(yīng)生成C─OH鍵是金剛石表面原子去除的前提。清華大學的Wen等人[16]針對Si的化學機械拋光做了大量研究工作,包括H2O2溶液與H2O環(huán)境下不同的摩擦去除機制,以及溫度對Si材料表面反應(yīng)的影響。本文希望借此方法來揭示金剛石和二氧化硅這2種磨粒在碳化硅CMP過程中的摩擦機制,為開發(fā)新的磨粒提供理論基礎(chǔ)。

    1 建模

    如圖2所示,設(shè)計了大小均為30 ? × 42 ? × 100 ?的模型,利用C/H/O/N/Si/Fe反應(yīng)力場參數(shù)來模擬金剛石磨粒與二氧化硅磨粒在相同條件下對大小、形狀相同的碳化硅工件的化學機械拋光。為了起到更好的對比效果,把二氧化硅磨粒和金剛石磨粒設(shè)置成同樣大小和形狀,磨粒的整體高度為24 ?,下方摩擦部分是幅值為16 ?、周期為84 ?的正弦函數(shù)曲線,厚度為30 ?。二氧化硅磨粒含有531個O原子和1 026個Si原子,金剛石磨粒含有4 599個C原子。在磨粒頂部用H原子來彌補因從大塊材料切出磨粒形狀而導(dǎo)致的電荷缺失。摩擦部分的表面在溫度為300 K的水環(huán)境中弛豫10 ps,使其表面結(jié)構(gòu)達到一個相對穩(wěn)定的狀態(tài),更接近現(xiàn)實環(huán)境。拋光液是過氧化氫溶液,其中包含40個H2O2和160個H2O。碳化硅工件的長為42 ?,寬為30 ?,高為20 ?,含有1 344個Si原子和1 344個C原子,表面在水環(huán)境下經(jīng)過10 ps的弛豫處理,使其結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。

    圖2 分別采用二氧化硅磨粒(a)和金剛石磨粒(b)對碳化硅進行化學機械拋光的模型Figure 2 CMP model of silicon carbide with silica particles (a) and diamond particles (b), respectively

    2種磨粒對碳化硅CMP的仿真過程設(shè)計相同。這里以采用金剛石磨粒時的碳化硅化學機械拋光為例,具體步驟如下:

    (1) 如圖3所示,將磨粒最上面的兩層原子設(shè)為移動層,用以提供壓力和速度,碳化硅基板的最下面兩層設(shè)為溫控層和固定層,分別用以保證系統(tǒng)溫度的穩(wěn)定和固定碳化硅工件。

    圖3 模型正視圖與磨粒運動方向Figure 3 Front view of model and movement direction of particles

    (2) 初始時,讓系統(tǒng)在過氧化氫溶液中反應(yīng)50 ps。

    (3) 對磨粒施加垂直向下的速度,使磨粒沿垂直方向向碳化硅基板移動,磨粒接觸到碳化硅表面時,去掉對磨粒施加的速度,對磨粒施加3 GPa的壓力,并穩(wěn)定50 ps(此時不能直接拋光,需要使施加壓力后的磨粒在碳化硅表面穩(wěn)定一段時間,避免摩擦過程出現(xiàn)“振動”而影響拋光效果)。

    (4) 開始拋光,磨粒添加沿著x方向以100 m/s的速率移動,同時保持3 GPa的壓力,拋光500 ps。

    (5) 使用Ovito可視化軟件觀察并分析模擬結(jié)果。

    2 模擬結(jié)果及分析

    2.1 二氧化硅磨粒下碳化硅表面原子的去除

    4H-SiC是一種密閉的六方晶格結(jié)構(gòu),結(jié)構(gòu)十分穩(wěn)定,一般不會發(fā)生化學反應(yīng),這也是碳化硅加工難度比較大的原因。但是在摩擦運動的過程中,有些氧原子會被壓入到碳化硅表層的鍵中,導(dǎo)致碳化硅表層原子強度降低,進而在與磨粒的成鍵和斷鍵過程中被去除。如圖4a所示,在初始(2.0 ps)時,Si1處在六邊形結(jié)構(gòu)中與C1、C2相鄰,并與─OH成鍵。4.5 ps時,在壓力和摩擦作用下磨粒上的O2插入到Si1─C2鍵中形成Si1─O2─C2鍵,4H-SiC原本穩(wěn)定的結(jié)構(gòu)被改變而變得不穩(wěn)定,隨后Si1與磨粒上的原子O3、O4成鍵,Si1被磨粒以化學鍵的形式拖著移動,在11.5 ps時Si1─O2鍵斷開。通過統(tǒng)計拋光過程中C─O─Si鍵的數(shù)目(見圖5)可知,隨著CMP的進行,大量氧原子被持續(xù)壓入碳化硅表面,改變原有的C─Si鍵而形成C─O─Si鍵,當二氧化硅磨粒中的Si、O原子與這些原子發(fā)生化學反應(yīng)時,這些被氧化的原子結(jié)構(gòu)強度要低于原本的碳化硅結(jié)構(gòu),會在持續(xù)的成鍵、斷鍵過程中被拖離碳化硅表面,實現(xiàn)原子的去除。如圖6所示,二氧化硅磨粒在拋光的過程中會與碳化硅基板生成大量的化學鍵。

    圖4 采用二氧化硅磨粒CMP時碳化硅表面原子的去除過程示意圖Figure 4 Sketches showing removal process of atoms on surface of silicon carbide during CMP with silica particles

    圖5 在CMP過程中碳化硅表面形成的C─O─Si鍵數(shù)Figure 5 Number of C─O─Si bond formed on SiC surface during CMP

    圖6 二氧化硅磨粒在CMP的過程中與碳化硅基板不斷成鍵、斷鍵Figure 6 Continuous bonding and breaking on substrate surface during CMP with silica particles

    2.2 金剛石磨粒下碳化硅表面原子的去除

    與二氧化硅磨粒拋光時的去除機制不同,由于金剛石的硬度高于碳化硅,金剛石磨粒在拋光過程中會改變碳化硅的表面結(jié)構(gòu),使得碳化硅基板表面原子的去除以因壓力和摩擦導(dǎo)致的表面結(jié)構(gòu)的形變?yōu)橹?。如圖7a所示,當磨粒未到達Si1位置時,C1─Si1鍵長為1.902 ?,Si1與1個OH相連,Si1等原子組成了1個規(guī)則的六邊形結(jié)構(gòu),Si1─C2─Si2的鍵角為109°,當金剛石磨粒在其表面產(chǎn)生速度和壓力時,六邊形結(jié)構(gòu)開始變形,Si1─C1鍵被拉長到2.158 ?,Si1─C2─Si2的鍵角變?yōu)?21°(見圖7b)。與Si1相連的─OH被磨掉,在45.5 ps時Si1─C1鍵斷開,六邊形結(jié)構(gòu)被徹底破壞,原子隨后被去除。如圖8所示,金剛石磨粒摩擦的部分表面發(fā)生了嚴重的形變,表面下凹。

    圖7 采用金剛石磨粒CMP時碳化硅表面原子的去除過程示意圖Figure 7 Sketches showing removal process of atoms on surface of silicon carbide during CMP with diamond particles

    圖8 金剛石磨粒導(dǎo)致的碳化硅表面形變Figure 8 Surface deformation caused by diamond particles

    2.3 金剛石磨粒與二氧化硅磨粒的化學反應(yīng)能力對比

    為了深入分析二氧化硅和金剛石磨粒對碳化硅表面原子摩擦去除的機制,首先統(tǒng)計了CMP過程中磨粒表面的實時成鍵情況,結(jié)果見圖9。二氧化硅磨粒在拋光過程中的成鍵數(shù)目和種類都要多于金剛石磨粒。從鍵能的角度來說,鍵能越高,鍵越穩(wěn)定,鍵就越難以斷開,但鍵也越容易形成。一般來說,Si─O鍵的鍵能要高于C─O鍵,所以當Si、C、O處于不飽和狀態(tài)時,Si─O鍵比C─O鍵更容易形成,圖9的成鍵數(shù)量統(tǒng)計便證明了這一點。

    圖9 分別采用金剛石和二氧化硅磨粒CMP時碳化硅表面的成鍵情況Figure 9 Bonding statistics on surface of silicon carbide during CMP with silica and diamond particles, respectively

    由于磨粒與拋光液、碳化硅之間的摩擦和擠壓的作用,磨粒、拋光液和碳化硅表面的結(jié)構(gòu)都將被破壞,具體表現(xiàn)為:磨粒表面的Si─O鍵或C─C鍵斷裂,拋光液中的O─H鍵斷裂,碳化硅表面的Si─C鍵斷裂。斷鍵后的原子處于不飽和狀態(tài),在后續(xù)壓力或摩擦力的驅(qū)動作用下很容易與其他不飽和原子重組,即形成新的化學鍵。對于二氧化硅磨粒的CMP過程,磨粒中的Si─O鍵斷開,不飽和的O原子極不穩(wěn)定,容易吸引碳化硅表面的不飽和Si原子而形成新的O─Si鍵;而不飽和的Si原子將與過氧化氫分子中斷鍵后的O原子重新成鍵,在磨粒表面形成新的Si─O鍵。而對于金剛石磨粒,C─C鍵斷開后不飽和的C原子容易與O原子成鍵,并不是直接與碳化硅表面的C、Si原子成鍵。這也是化學反應(yīng)不會是金剛石磨粒的主要去除方式的原因。

    2.4 金剛石磨粒與二氧化硅磨粒對表面結(jié)構(gòu)的影響

    為了解金剛石磨粒下碳化硅表面原子結(jié)構(gòu)的變化情況,隨機選取位于碳化硅表層某區(qū)域的原子作為研究對象,分析其在受到磨粒摩擦前后的表面結(jié)構(gòu)變化。如圖10所示,該模擬根據(jù)磨粒的運動方向和碳化硅鍵的走向,把碳化硅表面的鍵分成A、B、C三大類,分別與摩擦方向呈銳角、鈍角和基本一致。

    圖10 碳化硅表面成鍵分類Figure 10 Classification of bonding on surface of silicon carbide

    從圖11a可知,A類鍵和C類鍵在拋光過程中會被不同程度地拉長,B類鍵則被壓縮。從圖11b可知,A類鍵與C類鍵的鍵長變化不明顯,B類鍵被壓縮。這說明金剛石磨粒因其結(jié)構(gòu)強度大于碳化硅,使碳化硅表面發(fā)生更多形變,表現(xiàn)為A類鍵和C類鍵被拉長,B類鍵被壓縮,以及一些鍵角發(fā)生改變,從而弱化、甚至破壞其原本穩(wěn)定的結(jié)構(gòu),最終實現(xiàn)碳化硅表面原子的去除。而二氧化硅的結(jié)構(gòu)強度要比碳化硅小得多,對碳化硅表面結(jié)構(gòu)的影響不大。如圖12a所示,采用金剛石磨粒CMP后,與磨粒直接接觸的表層原子幾乎全都發(fā)生了應(yīng)力應(yīng)變,部分次表層原子也發(fā)生了應(yīng)變。采用二氧化硅磨粒拋光后(見圖12b),碳化硅僅表層少量原子發(fā)生了應(yīng)力應(yīng)變,次表層原子不受任何影響。這說明二氧化硅磨粒對碳化硅表面的摩擦破壞極小,近乎無損傷。

    圖11 分別采用金剛石(a)和二氧化硅(b)磨粒CMP后碳化硅表面鍵長的變化Figure 11 Variation of bond length on silicon carbide surface after CMP with diamond (a) and silica (b) particles, respectively

    圖12 分別采用金剛石(a)和二氧化硅(b)磨粒CMP后碳化硅表面的應(yīng)力應(yīng)變Figure 12 Variation of stress and strain on silicon carbide surface after CMP with diamond (a) and silica (b) particles, respectively

    在采用金剛石磨粒對碳化硅化學機械拋光500 ps后,碳化硅表面有54個原子被去除,在相同條件下采用二氧化硅磨粒時僅16個原子被去除。雖然采用金剛石磨粒時拋光過程的成鍵數(shù)目比較少,但是被去除的原子數(shù)目遠遠多于用二氧化硅磨粒時。這說明在金剛石磨粒的化學機械拋光過程中化學作用不是主要因素。雖然用金剛石磨粒會對碳化硅表面質(zhì)量造成一定的影響,但效率更高。

    2.5 二氧化硅磨粒對拋光表面品質(zhì)的提升作用

    金剛石磨粒拋光碳化硅表面時可以去除更多原子,但對碳化硅工件表面品質(zhì)的影響較大;二氧化硅磨粒的去除機制以化學反應(yīng)為主,表面原子去除效率比較低,但是對碳化硅工件的表面品質(zhì)基本沒有影響。實際生產(chǎn)中對碳化硅晶圓的加工效率和加工質(zhì)量都有較高的要求,單獨使用金剛石磨?;蚨趸枘チ6紵o法很好地滿足要求。為此,設(shè)計了2種磨?;旌蠏伖獾墓に?,先用金剛石高效率去除碳化硅表面的大面積不平整區(qū)域,然后用二氧化硅來提升碳化硅的表面品質(zhì),如此既能在保證高拋光效率,又能保證較好的拋光質(zhì)量。

    具體操作如下:先用金剛石磨粒對碳化硅基板拋光500 ps,此時碳硅表面大量原子被去除,部分原子的位置被改變,碳化硅表面十分粗糙(見圖13a);接著用二氧化硅磨粒拋光500 ps,碳化硅表面一些雜亂無序的原子已被去除,表面變得平整(見圖13b),微觀不平度(Rz)由原來的5.8 ?降至3.9 ?。該模擬結(jié)果與Lee等人[17]的結(jié)果十分吻合:單純使用二氧化硅對碳化硅進行拋光時表面材料去除率極低,低于100 nm/h;當使用金剛石粉末與二氧化硅磨?;旌蠒r,表面去除率大于500 nm/h,而且保留了較好的表面質(zhì)量,表面粗糙度(Ra)為0.26 nm。

    圖13 分別采用金剛石(a)和二氧化硅(b)磨粒CMP后的碳化硅表面Figure 13 Surface states of silicon carbide after CMP with diamond (a) and silica (b) particles, respectively

    3 結(jié)論

    (1) 采用二氧化硅磨?;瘜W機械拋光時,去除碳化硅表面原子的前提是有O原子插入到Si─C鍵中,形成較弱的C─O─Si鍵,然后依靠二氧化硅磨粒在拋光過程中與該原子成鍵、斷鍵,從而實現(xiàn)原子的去除。

    (2) 采用金剛石磨?;瘜W機械拋光時,碳化硅表層原子結(jié)構(gòu)會發(fā)生變化,部分鍵被拉長或壓縮,超過一定的強度后碳化硅表面原子便被去除。

    (3) 采用過氧化氫溶液對碳化硅進行化學機械拋光時,二氧化硅磨粒比金剛石磨粒更活躍,在拋光過程中會與碳化硅基板發(fā)生更多的成鍵和斷鍵現(xiàn)象。

    (4) 在相同時間內(nèi),二氧化硅磨粒去除的原子比金剛石磨粒少,卻可以保證拋光基板具有更好的表面質(zhì)量;雖然金剛石磨粒去除的原子更多,但是被破壞的基板表面結(jié)構(gòu)也很多。

    (5) 二氧化硅磨??捎靡蕴嵘?jīng)金剛石磨粒拋光的基板表面質(zhì)量。

    猜你喜歡
    成鍵拋光液碳化硅
    構(gòu)建“三步法”模型解決大π鍵問題
    團簇MnPS3成鍵及熱力學穩(wěn)定性分析
    磨粒類型對K9玻璃剪切增稠拋光的影響
    鈉鹽添加劑對制備碳化硅的影響
    磁流變拋光液制備過程中的氣泡動力學模型
    碳化硅復(fù)合包殼穩(wěn)態(tài)應(yīng)力與失效概率分析
    SiC晶須-ZrO2相變協(xié)同強韌化碳化硅陶瓷
    陶瓷學報(2021年5期)2021-11-22 06:35:22
    SixGey(n=x+y,n=2~5)團簇成鍵條件與解離行為的密度泛函緊束縛方法研究
    水基拋光液的分散性改善方法和應(yīng)用研究綜述
    高考化學中一種解決中心原子雜化、成鍵等問題的有效方法
    考試周刊(2018年39期)2018-04-19 10:39:44
    久久久色成人| 嫁个100分男人电影在线观看| 嫁个100分男人电影在线观看| 成熟少妇高潮喷水视频| 又黄又粗又硬又大视频| 精品人妻1区二区| 国产精品久久久人人做人人爽| 国产精品女同一区二区软件 | 欧美最新免费一区二区三区 | 最近视频中文字幕2019在线8| 哪里可以看免费的av片| 亚洲精品久久国产高清桃花| 欧美成人免费av一区二区三区| 一级毛片女人18水好多| 老熟妇乱子伦视频在线观看| 成人三级黄色视频| 国产一区二区三区在线臀色熟女| 可以在线观看的亚洲视频| 人妻久久中文字幕网| 一区二区三区国产精品乱码| 亚洲精品亚洲一区二区| 亚洲av成人av| 好男人在线观看高清免费视频| 亚洲精品乱码久久久v下载方式 | av女优亚洲男人天堂| 久久伊人香网站| 中文资源天堂在线| 日本与韩国留学比较| 麻豆国产97在线/欧美| 亚洲黑人精品在线| 又爽又黄无遮挡网站| 中文字幕久久专区| 国产高潮美女av| 亚洲精品色激情综合| 亚洲五月天丁香| 热99re8久久精品国产| 久久久精品大字幕| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 叶爱在线成人免费视频播放| 女人被狂操c到高潮| 成人精品一区二区免费| 日本五十路高清| 亚洲av免费在线观看| 亚洲av第一区精品v没综合| 中文字幕精品亚洲无线码一区| 久久久精品大字幕| 日韩免费av在线播放| 亚洲国产欧洲综合997久久,| 别揉我奶头~嗯~啊~动态视频| 久久久久精品国产欧美久久久| 一个人看视频在线观看www免费 | svipshipincom国产片| 免费看光身美女| 村上凉子中文字幕在线| 香蕉丝袜av| 久久精品人妻少妇| or卡值多少钱| 又爽又黄无遮挡网站| 天堂av国产一区二区熟女人妻| 欧美区成人在线视频| 国产高清激情床上av| 亚洲av熟女| 成年女人毛片免费观看观看9| 搡老熟女国产l中国老女人| 久久精品人妻少妇| 国产三级黄色录像| 国产精华一区二区三区| 精品一区二区三区av网在线观看| 国产极品精品免费视频能看的| 国产精品,欧美在线| 国产精品久久视频播放| 久久国产精品人妻蜜桃| 亚洲成人久久性| 日韩欧美三级三区| 久9热在线精品视频| 老师上课跳d突然被开到最大视频 久久午夜综合久久蜜桃 | www日本在线高清视频| 国产野战对白在线观看| 久久6这里有精品| 狂野欧美激情性xxxx| 国产熟女xx| 神马国产精品三级电影在线观看| 国产伦人伦偷精品视频| 亚洲精品乱码久久久v下载方式 | 亚洲人成伊人成综合网2020| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 69人妻影院| 又爽又黄无遮挡网站| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 国产精品 国内视频| 99热这里只有精品一区| 全区人妻精品视频| 免费高清视频大片| 国产成人av教育| 中文字幕av在线有码专区| 国产免费一级a男人的天堂| 美女高潮喷水抽搐中文字幕| 无人区码免费观看不卡| www日本在线高清视频| 男女下面进入的视频免费午夜| 欧美黑人巨大hd| 亚洲精品乱码久久久v下载方式 | 久久草成人影院| 天天一区二区日本电影三级| 91麻豆精品激情在线观看国产| 国模一区二区三区四区视频| 窝窝影院91人妻| 国产乱人视频| 国产黄色小视频在线观看| 蜜桃亚洲精品一区二区三区| 中文亚洲av片在线观看爽| 色吧在线观看| 三级毛片av免费| 欧美日本视频| 黄色女人牲交| 亚洲五月婷婷丁香| 韩国av一区二区三区四区| 日本与韩国留学比较| 一个人免费在线观看电影| 特大巨黑吊av在线直播| 国产99白浆流出| 成年女人永久免费观看视频| 成熟少妇高潮喷水视频| 悠悠久久av| 久久久久久大精品| 精品日产1卡2卡| 欧美激情久久久久久爽电影| 亚洲内射少妇av| 在线看三级毛片| 成人永久免费在线观看视频| 国产精品久久久久久亚洲av鲁大| 国产成人福利小说| 舔av片在线| 日韩亚洲欧美综合| 欧美xxxx黑人xx丫x性爽| 国产单亲对白刺激| 天堂av国产一区二区熟女人妻| 九九在线视频观看精品| 亚洲国产精品999在线| 综合色av麻豆| 99在线视频只有这里精品首页| 在线播放国产精品三级| 又黄又粗又硬又大视频| 人人妻人人澡欧美一区二区| 国产成人福利小说| 好男人在线观看高清免费视频| 欧美大码av| 九九在线视频观看精品| 19禁男女啪啪无遮挡网站| 国产日本99.免费观看| 亚洲最大成人中文| 19禁男女啪啪无遮挡网站| 国产单亲对白刺激| 免费在线观看影片大全网站| 欧美zozozo另类| 尤物成人国产欧美一区二区三区| 亚洲av成人不卡在线观看播放网| 最近最新免费中文字幕在线| 99久久精品一区二区三区| 无遮挡黄片免费观看| 国产精品久久视频播放| 午夜视频国产福利| 国产免费av片在线观看野外av| 最近在线观看免费完整版| 在线国产一区二区在线| avwww免费| 亚洲成av人片免费观看| 在线十欧美十亚洲十日本专区| 香蕉av资源在线| 麻豆成人午夜福利视频| 少妇熟女aⅴ在线视频| 国产精品免费一区二区三区在线| bbb黄色大片| 亚洲最大成人中文| 国产黄a三级三级三级人| 最新在线观看一区二区三区| 精品一区二区三区人妻视频| 午夜亚洲福利在线播放| 精品国内亚洲2022精品成人| 18禁黄网站禁片免费观看直播| 天天躁日日操中文字幕| 搡老熟女国产l中国老女人| 久久久成人免费电影| 最后的刺客免费高清国语| 亚洲天堂国产精品一区在线| 久久香蕉精品热| 深夜精品福利| 高清毛片免费观看视频网站| 久久国产精品人妻蜜桃| 观看美女的网站| 精品久久久久久久久久久久久| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 超碰av人人做人人爽久久 | 亚洲人成网站在线播放欧美日韩| 深夜精品福利| 午夜免费观看网址| 免费看十八禁软件| 国产成人a区在线观看| 精品久久久久久,| 免费看美女性在线毛片视频| 在线看三级毛片| 亚洲va日本ⅴa欧美va伊人久久| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区 | 欧美中文综合在线视频| 欧美区成人在线视频| 高清日韩中文字幕在线| 非洲黑人性xxxx精品又粗又长| 一区二区三区国产精品乱码| 亚洲欧美日韩无卡精品| 国产精品 国内视频| 少妇的逼水好多| 久久精品人妻少妇| 日本a在线网址| 亚洲精品456在线播放app | av福利片在线观看| 久久婷婷人人爽人人干人人爱| 69av精品久久久久久| 亚洲久久久久久中文字幕| 在线观看av片永久免费下载| 欧美性感艳星| 日韩欧美在线二视频| 99久久九九国产精品国产免费| 亚洲精品亚洲一区二区| 91在线精品国自产拍蜜月 | 老司机在亚洲福利影院| 国产精品爽爽va在线观看网站| 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| 国产av一区在线观看免费| 欧美日韩国产亚洲二区| eeuss影院久久| 91久久精品国产一区二区成人 | 日本黄色视频三级网站网址| 欧美性猛交黑人性爽| 精品午夜福利视频在线观看一区| 欧美三级亚洲精品| 久久久久久久久久黄片| 精品久久久久久成人av| 美女被艹到高潮喷水动态| 国产主播在线观看一区二区| 国产高清有码在线观看视频| 欧美高清成人免费视频www| 搡女人真爽免费视频火全软件 | 亚洲不卡免费看| 国产 一区 欧美 日韩| 熟女电影av网| 19禁男女啪啪无遮挡网站| 欧洲精品卡2卡3卡4卡5卡区| 日韩中文字幕欧美一区二区| 免费av毛片视频| 噜噜噜噜噜久久久久久91| 九九热线精品视视频播放| 操出白浆在线播放| 欧美+日韩+精品| 国产成人福利小说| 久久精品国产99精品国产亚洲性色| 动漫黄色视频在线观看| 国产精品一区二区三区四区久久| 亚洲一区高清亚洲精品| 亚洲国产精品合色在线| 一进一出好大好爽视频| 91麻豆av在线| 波多野结衣巨乳人妻| 一本精品99久久精品77| 露出奶头的视频| 综合色av麻豆| 最近最新中文字幕大全免费视频| 一夜夜www| 中国美女看黄片| 国产日本99.免费观看| 淫妇啪啪啪对白视频| 久久精品国产亚洲av涩爱 | 国产精品野战在线观看| 757午夜福利合集在线观看| 91字幕亚洲| 一二三四社区在线视频社区8| 天天躁日日操中文字幕| 成熟少妇高潮喷水视频| 天堂影院成人在线观看| 真人一进一出gif抽搐免费| 黄色丝袜av网址大全| 搡老熟女国产l中国老女人| 免费看a级黄色片| 欧美zozozo另类| av国产免费在线观看| 一个人免费在线观看的高清视频| 国产精品一区二区免费欧美| 久久久久久久亚洲中文字幕 | 99久久综合精品五月天人人| 少妇的逼水好多| av天堂中文字幕网| 国产三级中文精品| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 2021天堂中文幕一二区在线观| 亚洲av中文字字幕乱码综合| 真人做人爱边吃奶动态| 欧美国产日韩亚洲一区| 天堂影院成人在线观看| 男女视频在线观看网站免费| 欧美性猛交╳xxx乱大交人| 麻豆国产97在线/欧美| 久久久久久大精品| 午夜福利在线观看吧| 操出白浆在线播放| 亚洲国产精品久久男人天堂| 亚洲中文日韩欧美视频| 亚洲中文字幕一区二区三区有码在线看| 国产不卡一卡二| 欧美日韩中文字幕国产精品一区二区三区| 一区二区三区免费毛片| 两人在一起打扑克的视频| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 亚洲美女黄片视频| 中文字幕人妻丝袜一区二区| 免费搜索国产男女视频| 国产亚洲精品久久久com| 亚洲精品456在线播放app | 国产日本99.免费观看| 99热这里只有是精品50| 国产亚洲精品综合一区在线观看| 亚洲专区国产一区二区| 美女免费视频网站| 亚洲性夜色夜夜综合| 国产精品 国内视频| 欧美黄色淫秽网站| 国内久久婷婷六月综合欲色啪| 国产极品精品免费视频能看的| 色吧在线观看| 精品熟女少妇八av免费久了| 亚洲在线自拍视频| 国产精品久久久久久久电影 | 18禁黄网站禁片免费观看直播| 九九久久精品国产亚洲av麻豆| 香蕉av资源在线| 18美女黄网站色大片免费观看| 久久久久精品国产欧美久久久| 久久久久久久久中文| 久久国产乱子伦精品免费另类| 欧美黑人欧美精品刺激| 在线观看美女被高潮喷水网站 | 久久99热这里只有精品18| 国产真实伦视频高清在线观看 | 在线观看午夜福利视频| 欧美日本视频| 精华霜和精华液先用哪个| tocl精华| 国产单亲对白刺激| 国产伦在线观看视频一区| 久久久久久人人人人人| 少妇的逼好多水| 国产精品永久免费网站| 熟女电影av网| 国产精品香港三级国产av潘金莲| 免费看美女性在线毛片视频| 亚洲欧美日韩高清在线视频| netflix在线观看网站| 精品日产1卡2卡| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 亚洲在线自拍视频| 99精品欧美一区二区三区四区| 成年女人永久免费观看视频| 91av网一区二区| 99国产综合亚洲精品| 欧美成人a在线观看| av片东京热男人的天堂| 国产高清videossex| 老司机深夜福利视频在线观看| 午夜福利在线在线| 99在线人妻在线中文字幕| 色精品久久人妻99蜜桃| 操出白浆在线播放| 午夜日韩欧美国产| 成人永久免费在线观看视频| av天堂在线播放| 成人无遮挡网站| 午夜精品久久久久久毛片777| 俺也久久电影网| 熟女少妇亚洲综合色aaa.| 国产成人啪精品午夜网站| 久久伊人香网站| 日韩欧美在线二视频| 日韩欧美国产在线观看| 特级一级黄色大片| 精品99又大又爽又粗少妇毛片 | 欧美最新免费一区二区三区 | 国产私拍福利视频在线观看| 国产真实伦视频高清在线观看 | 欧美色欧美亚洲另类二区| 国产在视频线在精品| 手机成人av网站| av中文乱码字幕在线| 偷拍熟女少妇极品色| av黄色大香蕉| 亚洲av五月六月丁香网| 国产真人三级小视频在线观看| 国产成人福利小说| 99热6这里只有精品| 看免费av毛片| 九九在线视频观看精品| 男女床上黄色一级片免费看| 男插女下体视频免费在线播放| 精品久久久久久久久久久久久| 熟妇人妻久久中文字幕3abv| 99热只有精品国产| 一个人观看的视频www高清免费观看| 成人18禁在线播放| 在线天堂最新版资源| 黄色视频,在线免费观看| 少妇人妻精品综合一区二区 | 中文字幕久久专区| 成人特级黄色片久久久久久久| 欧美黑人巨大hd| 亚洲欧美激情综合另类| 国产精品亚洲美女久久久| 日本精品一区二区三区蜜桃| 好男人在线观看高清免费视频| 久久国产精品人妻蜜桃| 波野结衣二区三区在线 | 岛国视频午夜一区免费看| 久久性视频一级片| 国产aⅴ精品一区二区三区波| 婷婷精品国产亚洲av| 久久香蕉国产精品| 一进一出抽搐动态| 成人欧美大片| 国产精品久久久久久亚洲av鲁大| 欧美成人一区二区免费高清观看| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 又紧又爽又黄一区二区| 免费av毛片视频| 亚洲av电影在线进入| 国产成人欧美在线观看| 欧美日韩黄片免| 亚洲内射少妇av| 少妇人妻精品综合一区二区 | 亚洲av不卡在线观看| 一个人看视频在线观看www免费 | 国产一区二区在线av高清观看| 网址你懂的国产日韩在线| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 日韩欧美 国产精品| 乱人视频在线观看| 无人区码免费观看不卡| 免费人成在线观看视频色| 国产亚洲精品久久久久久毛片| 亚洲自拍偷在线| 亚洲av成人av| 欧美中文综合在线视频| 欧美绝顶高潮抽搐喷水| 午夜福利欧美成人| 中亚洲国语对白在线视频| 亚洲午夜理论影院| 亚洲美女黄片视频| 国产黄色小视频在线观看| 欧美中文日本在线观看视频| 免费在线观看影片大全网站| 亚洲熟妇熟女久久| 性色av乱码一区二区三区2| 亚洲最大成人手机在线| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 手机成人av网站| 美女大奶头视频| www.999成人在线观看| 成熟少妇高潮喷水视频| 一二三四社区在线视频社区8| 日本 av在线| 麻豆成人午夜福利视频| 亚洲av二区三区四区| 国产男靠女视频免费网站| 高清日韩中文字幕在线| 久久久久久久午夜电影| 性色avwww在线观看| 国产成人av教育| 波多野结衣高清无吗| 国产爱豆传媒在线观看| 色综合婷婷激情| 免费看a级黄色片| 免费看美女性在线毛片视频| 国产精品电影一区二区三区| 一进一出抽搐gif免费好疼| 1000部很黄的大片| 亚洲18禁久久av| 18美女黄网站色大片免费观看| 免费看光身美女| 国产野战对白在线观看| 99国产精品一区二区蜜桃av| 国产美女午夜福利| 一个人看的www免费观看视频| 国产野战对白在线观看| avwww免费| 日韩高清综合在线| 久久久久久久亚洲中文字幕 | 国产精品久久电影中文字幕| 国产乱人伦免费视频| 一进一出好大好爽视频| 亚洲国产精品成人综合色| 18+在线观看网站| 亚洲 国产 在线| 长腿黑丝高跟| 午夜福利在线观看吧| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 日本成人三级电影网站| 天堂√8在线中文| 99在线视频只有这里精品首页| 欧美中文综合在线视频| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡| 91在线精品国自产拍蜜月 | 99国产精品一区二区三区| 免费高清视频大片| 欧美色欧美亚洲另类二区| 欧美日韩精品网址| 深夜精品福利| 国产 一区 欧美 日韩| 麻豆久久精品国产亚洲av| 淫秽高清视频在线观看| 51国产日韩欧美| 国产伦在线观看视频一区| 90打野战视频偷拍视频| 夜夜夜夜夜久久久久| 国产免费男女视频| 香蕉av资源在线| x7x7x7水蜜桃| 我的老师免费观看完整版| 90打野战视频偷拍视频| 色综合欧美亚洲国产小说| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 免费看美女性在线毛片视频| 最新在线观看一区二区三区| 国产精品野战在线观看| 午夜两性在线视频| 久久精品影院6| 亚洲精品456在线播放app | 搡老熟女国产l中国老女人| 亚洲国产欧美人成| 欧美3d第一页| 手机成人av网站| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 热99re8久久精品国产| 淫妇啪啪啪对白视频| 国产免费一级a男人的天堂| 日韩欧美免费精品| 午夜久久久久精精品| 日本五十路高清| 波多野结衣高清作品| 精品熟女少妇八av免费久了| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 日日干狠狠操夜夜爽| 精品一区二区三区av网在线观看| 日本五十路高清| 久久久久久久精品吃奶| 欧美中文综合在线视频| 91av网一区二区| a在线观看视频网站| 免费无遮挡裸体视频| 国产欧美日韩一区二区三| 亚洲精品久久国产高清桃花| 真实男女啪啪啪动态图| 搡老岳熟女国产| 久久精品91无色码中文字幕| 精品不卡国产一区二区三区| 露出奶头的视频| 精品人妻一区二区三区麻豆 | 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| 在线a可以看的网站| 乱人视频在线观看| 成年免费大片在线观看| 国产 一区 欧美 日韩| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区 | 少妇裸体淫交视频免费看高清| 国产亚洲欧美98| 波野结衣二区三区在线 | 长腿黑丝高跟| 国产麻豆成人av免费视频| 麻豆成人av在线观看| 一区二区三区免费毛片| 9191精品国产免费久久| 国产私拍福利视频在线观看| 国产成人影院久久av| 99久久成人亚洲精品观看| 亚洲成人免费电影在线观看| 老鸭窝网址在线观看| 真实男女啪啪啪动态图| 国产精品99久久久久久久久| 日本与韩国留学比较| 女生性感内裤真人,穿戴方法视频| 少妇人妻精品综合一区二区 | 欧美黄色片欧美黄色片| 夜夜爽天天搞| 精品久久久久久久人妻蜜臀av| 丁香欧美五月| 母亲3免费完整高清在线观看| 国产三级黄色录像| 91久久精品国产一区二区成人 | 成人无遮挡网站| 天堂av国产一区二区熟女人妻| 国产精品三级大全| 最近最新中文字幕大全电影3| 亚洲真实伦在线观看| 在线观看av片永久免费下载| 国产一区二区在线av高清观看| 美女高潮的动态| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 综合色av麻豆| 99久久成人亚洲精品观看| 99久久精品一区二区三区| 久久亚洲精品不卡| 99热这里只有是精品50| 欧美bdsm另类| 真实男女啪啪啪动态图| 欧美在线黄色| 成人av在线播放网站| 婷婷精品国产亚洲av在线| 国内毛片毛片毛片毛片毛片| 人妻久久中文字幕网|