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    背柵偏置對不同溝道長度PDSOI晶體管總劑量損傷規(guī)律及機理研究

    2022-06-09 01:51:46王海洋鄭齊文崔江維李豫東
    核技術 2022年5期
    關鍵詞:長溝輻射損傷晶體管

    王海洋 鄭齊文 崔江維 李豫東 郭 旗

    1(中國科學院新疆理化技術研究所 中國科學院特殊環(huán)境功能材料與器件重點實驗室新疆電子信息材料與器件重點實驗室 烏魯木齊 830011)

    2(中國科學院大學 北京 100049)

    SOI(Silicon-On-Insulator)工藝是指在頂層硅和背襯底之間引入一層隱埋氧化層(Buried Oxide,BOX)。通過在絕緣體上形成半導體薄膜,使SOI工藝具備全介質(zhì)隔離、寄生電容小、速度快等優(yōu)勢[1-2]。特殊的全介質(zhì)隔離及超薄有源區(qū)結(jié)構(gòu)使SOI工藝具備很強的抗單粒子閂鎖、單粒子翻轉(zhuǎn)等瞬時輻射的能力[3],在航天任務中有重要應用價值[4-6]。但是由于特殊BOX的存在,SOI器件面臨更為復雜的總劑量輻射效應(Total Ionizing Dose,TID),除了與體硅器件一致的柵氧化物與隔離氧化物輻射損傷,輻射在BOX層引入陷阱電荷同樣導致器件電參數(shù)退化??倓┝啃荢OI器件輻射環(huán)境應用需要解決的關鍵問題[7]。

    由于背柵的存在,SOI器件存在新的總劑量效應加固途徑。對于全耗盡SOI器件,利用正背柵耦合效應,可通過施加背柵偏置電壓補償輻照導致器件參數(shù)退化[8]。另一方面,輻照過程中施加背柵偏置還可影響輻射感生陷阱電荷物理過程[9]。背柵偏置改變BOX層電場強度及方向,BOX層電場強度決定了輻射引入載流子的逃逸率,而電場方向則影響空穴在氧化物中的輸運過程[10]。

    本文以部分耗盡絕緣體上硅金屬氧化物半導體場效應晶體管(Partily Depleted Silicon-On-Insulator Metal Oxide Semiconductor Field Effect Transistors,PD-SOI)為研究對象,研究了輻照過程中施加背柵偏置對不同溝道長度SOI器件輻射引入陷阱電荷物理過程的調(diào)控規(guī)律及機理。實驗中,測試了不同溝道長度晶體管在不同背柵偏置條件下的電參數(shù)退化規(guī)律。通過晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線測試結(jié)果,利用中帶電壓法提取了輻射在BOX層引入陷阱電荷密度,結(jié)合T-CAD器件模擬仿真,揭示了背柵偏置對不同溝道長度SOI器件輻照引入陷阱電荷物理過程的調(diào)控機理。研究結(jié)果表明:背柵偏置和源漏電壓會共同影響B(tài)OX層中電場分布和強度,從而使輻照時施加背柵偏置顯著增強長溝晶體管的損傷。

    1 實驗內(nèi)容及條件

    實驗中使用H形柵PD SOI晶體管版圖結(jié)構(gòu)如圖1所示。該結(jié)構(gòu)的頂層硅膜厚度和BOX層厚度分別為100 nm和145 nm,柵氧層厚度約為6.7 nm,選用寬長比W/L為10 μm/10 μm、10 μm/0.35 μm的晶體管進行輻照實驗。

    圖1 H形柵PD SOI NMOSFET版圖結(jié)構(gòu)Fig.1 Layout structure of H-gate PD SOI NMOSFET

    總劑量輻照實驗在中國科學院新疆理化技術研究所進行。所有的晶體管采用60Co輻射源進行γ射線 照 射,劑 量 率 為100 rad(Si)·s-1,分 別 選 取100 krad(Si)、200 krad(Si)、300 krad(Si)三 個劑量點。

    本款器件的前期研究表明傳輸門(Transmission Gate,TG)偏置條件下,器件輻射損傷最強。因此實驗過程中所有晶體管都采用TG偏置狀態(tài),并施加不同的背柵偏置,偏置條件如表1所示。上述實驗在輻射實驗完成后的2 h內(nèi)進行電測量。測試設備為PDA FS336半導體參數(shù)分析儀,用于測試輻照前后器件的轉(zhuǎn)移特性曲線。其中正柵轉(zhuǎn)移特性曲線測試方法為:固定漏源電壓Vds=0.1 V,Vgs從-0.5 V掃到3.3 V,測試Ids的值;背柵轉(zhuǎn)移特性曲線測試方法為:固定漏源電壓Vds=0.1 V,Vbs從-10 V掃到50 V,測試Ids的值。本文采用固定電流法提取晶體管閾值電壓:取Ids=10-7W/L(A)對應的Vgs值視為閾值電壓Vth。

    表1 總劑量輻照實驗偏置條件Table 1 Bias conditions for total dose irradiation experiment

    2 結(jié)果和分析

    2.1 不加背偏時總劑量損傷規(guī)律及機理

    圖2、3分 別 為 寬 長 比 為10 μm/0.35 μm和10 μm/10 μm晶體管總劑量效應測試結(jié)果,輻照過程中器件處于TG偏置條件,且背柵偏置電壓為0 V。如圖2所示,對于寬長比為10 μm/0.35 μm的器件,隨著吸收劑量的增加,正柵及背柵晶體管的閾值電壓都發(fā)生負向漂移(更容易導通),這是由于本文研究的器件柵氧層厚度為6.7 nm,因此,柵氧化物的輻射損傷是可以忽略的[11],而BOX內(nèi)俘獲的電荷和正柵會同時耗盡BOX層附近的頂部硅薄膜,當頂層硅膜被完全耗盡時,部分耗盡SOI會變?yōu)槿谋MSOI[12-13],因此BOX層內(nèi)的俘獲電荷通過耦合效應影響正柵主晶體管的閾值電壓,并導致正柵閾值顯著負漂[14-15],而且正柵晶體管在輻照至200 krad后,亞閾值區(qū)域出現(xiàn)翹曲現(xiàn)象。而對于寬長比為10 μm/10 μm的器件,背柵晶體管的閾值電壓發(fā)生負向漂移,但漂移量比短溝器件小2 V,而正柵晶體管的閾值變化較小,因此在不加背柵偏置時,對于溝道寬度相同的晶體管,溝道越長,輻射損傷越弱。

    圖2 總劑量輻射對W/L=10 μm/0.35 μm晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線影響,輻照過程中器件處于TG偏置狀態(tài),背柵偏置電壓為0 V(a)正柵晶體管,(b)背柵晶體管Fig.2 Effect of total dose radiation on transfer characteristic curve of W/L=10 μm/0.35 μm transistor,during the irradiation,the device is in TG bias state with backgate bias voltage of 0 V(a)Front gate transistor,(b)Back gate transistor

    2.2 不同背偏置條件下總劑量試驗結(jié)果

    圖4、5分別為寬長比10 μm/0.35 μm和10 μm/10 μm的晶體管在不同背柵偏置條件下輻照到300 krad(Si)后背柵晶體管的轉(zhuǎn)移特性曲線。

    如圖4所示,輻照過程中,施加背柵偏置電壓不同,晶體管背柵轉(zhuǎn)移特性曲線漂移量不同,總的來說,施加正的背柵壓可以明顯加劇器件輻射損傷,而施加負的背柵壓可以一定程度上抑制短溝晶體管(10 μm/0.35 μm)的損傷,而對于長溝晶體管,加負的背柵偏壓同樣會加劇損傷。

    圖3 總劑量輻射對W/L=10 μm/10 μm晶體管轉(zhuǎn)移特性曲線影響,輻照過程中器件處于TG偏置狀態(tài),背柵偏置電壓為0 V(a)正柵晶體管,(b)背柵晶體管Fig.3 Effect of total dose radiation on transfer characteristic curve of W/L=10 μm/10 μm transistor,during the irradiation,the device is in TG bias state with backgate bias voltage of 0 V(a)Front gate transistor,(b)Back gate transistor

    圖4 W/L=10 μm/0.35 μm晶體管不同背偏下300 krad(Si)輻照后背柵轉(zhuǎn)移特性的變化Fig.4 Back gate transfer characteristics of W/L=10 μm/0.35 μm transistor irradiated by 300 krad(Si)varies with back-bias voltage

    為了進一步定量分析背柵偏置對輻射損傷的調(diào)控影響,提取了晶體管背柵閾值電壓隨累積劑量的變化關系。圖6表示輻照后寬長比為10 μm/10 μm和10 μm/0.35 μm的晶體管在不同背柵偏置條件下由于總劑量引起的背柵閾值漂移,結(jié)果表明,在不加背柵偏置(Vbs=0 V)時,短溝道器件的閾值漂移量比長溝道器件更大。

    圖5 W/L=10 μm/10 μm晶體管不同背偏下300 krad(Si)輻照后背柵轉(zhuǎn)移特性的變化Fig.5 Back gate transfer characteristics of W/L=10 μm/10 μm transistor irradiated by 300 krad(Si)varies with back-bias voltage

    圖6 不同溝道長度晶體管在不同背偏下輻照后的閾值變化(a)Vbs=0 V,(b)Vbs=10 V,(c)Vbs=-10 VFig.6 Threshold changes of transistors with different channel lengths irradiated under different back bias(a)Vbs=0 V,(b)Vbs=10V,(c)Vbs=-10 V

    針對實驗過程中不同背偏置對晶體管閾值的影響,并根據(jù)分離得到的氧化物陷阱電荷,進行了二維的TCAD器件仿真。由于輻照引入的界面陷阱電荷相對氧化物電荷小1~2個量級,因此輻照引起的晶體管參數(shù)退化主要由氧化物陷阱電荷引起,因此在仿真中忽略界面陷阱的影響。通過2D-TCAD對BOX層中的電場分布及強度的仿真結(jié)果可以看出,由于本實驗采用TG偏置,而短溝道器件BOX層中電場受源漏高電場影響,會在BOX層中產(chǎn)生渦旋型電場,在溝道下方會有指向上界面的電場,將輻照誘導的Not掃向上界面,但是對于長溝晶體管,源漏高場對其BOX層影響很小,如圖7(a)所示;在加正背柵偏置(10 V)時,會在BOX層中產(chǎn)生指向上界面的電場,但根據(jù)計算可以發(fā)現(xiàn)長溝晶體管BOX層中的平均電場(-E=6.8×105V·cm-1)大于短溝晶體管(-E=5.6×105V·cm-1),如圖7(b)所示,因此會使得長溝晶體管的閾值漂移量更大;加負的背偏時(-10 V)會在BOX層中產(chǎn)生指向下界面的電場,但受源漏電場的影響,短溝晶體管的BOX層中平均電場明顯大于長溝晶體管,更容易將輻射誘導產(chǎn)生的Not掃向下界面,因此長溝晶體管閾值漂移量更大。

    圖7 不同溝道長度晶體管在不同背偏下BOX層電場強度變化(a)Vbs=0 V,(b)Vbs=10 V,(c)Vbs=-10 VFig.7 Intensity changes of electric field in BOX layer of different channel length transistors in different back bias(a)Vbs=0 V,(b)Vbs=10 V,(c)Vbs=-10 V

    綜上所述,背柵偏置對短溝道晶體管的調(diào)控會受到源漏電場的影響,使得短溝晶體管在加背柵偏置時的閾值漂移量小于長溝晶體管。

    3 結(jié)語

    本文針對不同溝道長度PD SOI,在最劣偏置TG偏置并施加不同背柵偏置的條件下進行輻照實驗,研究其輻射損傷規(guī)律,在輻照過程中施加背柵偏置可以顯著增強長溝器件的輻射損傷。在實驗基礎上進行了二維T-CAD仿真,通過對隱埋氧化層中電場仿真進行了機理解釋。短溝道晶體管在施加背柵偏置時會受到源漏電壓的影響,從而使BOX層中電場分布及強度不同于長溝道晶體管,而長溝晶體管受源漏電壓影響可以忽略。

    作者貢獻聲明王海洋:提出研究思路,設計實驗方案,并負責實驗的進行,數(shù)據(jù)處理以及論文起草;鄭齊文、崔江維:在實驗器件的準備和實驗過程中提供了有力的幫助,并在論文的初步構(gòu)思提供了指導意見;李豫東、郭旗:在論文的后期修改和完善部分給予了極大的幫助。

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