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    封裝殼體對高功率器件散熱特性影響研究

    2020-03-10 02:15:10,
    機械與電子 2020年2期
    關(guān)鍵詞:冷板熱阻構(gòu)型

    (中國電子科技集團公司第三十八研究所,安徽 合肥 230088)

    0 引言

    隨著電子、微電子技術(shù)的發(fā)展軍用雷達(dá)器件朝著高功率、高密度封裝的方向發(fā)展,微波功率放大芯片已從硅芯片、GaAs芯片發(fā)展到了GaN芯片。GaN芯片具有禁帶寬度大、輸出功率大、耐高溫等優(yōu)點[1-2],已廣泛應(yīng)用于雷達(dá)等電子裝備。雖然GaN芯片具有上述優(yōu)點,但隨著芯片尺寸越來越小,熱耗卻越來越大,對冷卻技術(shù)的研究越來越高。以往關(guān)于高功率器件冷卻方式的研究主要集中在單相/兩相冷卻介質(zhì)[3]、微細(xì)結(jié)構(gòu)冷板[4-5]、沖擊射流[6]和高效熱擴展材料[7-8]等某一方面,對器件散熱具有非常大的優(yōu)勢,但考慮到軍用雷達(dá)電子裝備特殊使用環(huán)境以及雷達(dá)冷卻系統(tǒng)集成與工藝實現(xiàn)方式[9],上述單一冷卻手段對解決GaN高功率芯片散熱的系統(tǒng)問題可能還存在一定的差異。

    因此,本文主要針對GaN裸芯片封裝結(jié)構(gòu)形式,從工程角度出發(fā),研究不同T/R封裝殼體材料、厚度、局部嵌入熱擴展材料對散熱特性的影響,并結(jié)合工程實際給出相關(guān)參數(shù)的工程最優(yōu)值,以便指導(dǎo)高功率、高熱流密度T/R組件冷卻設(shè)計。

    1 GaN芯片散熱構(gòu)型

    對GaN裸芯片,其典型散熱構(gòu)型如圖1所示。GaN芯片一般先通過金錫焊料焊接在芯片襯底(如鉬銅襯底,Mo80Cu20)上,芯片襯底通過錫鉛焊料焊接在T/R組件殼體上,T/R組件殼體通過螺接壓緊在冷板上,并在其接觸面上均勻涂敷導(dǎo)熱硅脂以降低界面接觸熱阻,冷板通過65號乙二醇冷卻液帶走組件熱量。

    圖1 GaN裸芯片散熱模型

    2 熱阻定義

    芯片傳熱過程中的傳熱熱阻定義為

    i為芯片傳熱路徑中的各層。當(dāng)i為芯片時,R芯片-流體即為該傳熱構(gòu)型下的總熱阻;若i為T/R組件殼體,RT/R -流體表示熱耗為Q的熱源施加到T/R組件殼體及以下部分區(qū)域的最大傳熱熱阻。

    那么,各層的熱阻定義為Ri=Ri-流體-R(i-1)-流體。由于芯片到冷板的傳熱面積是不斷變化的,使得各接觸面上存在溫度梯度,臨近熱源的區(qū)域出現(xiàn)更高的局部溫度,因此,總的傳熱熱阻不僅包含一維傳導(dǎo)熱阻Rcond,還包含由于界面變化、界面溫度梯度而產(chǎn)生的擴展熱阻Rsp。因此有

    3 熱分析模型

    根據(jù)圖1所示模型特點,在保證仿真結(jié)果不失真的前提下,對仿真模型進行部分簡化,忽略了組件與周圍空氣的對流散熱及輻射散熱因素,冷卻流道拐角處按90°直角處理,不考慮流道粗糙度;模型計算參數(shù)如表1所示。

    表1 GaN芯片冷卻模型

    h為T/R組件殼體厚度;λ為材料導(dǎo)熱系數(shù)。冷板考慮3種常用規(guī)格翅片,如表2所示。

    冷板采用鋁合金5A06材料,上下水道壁厚2.0mm,冷卻液為65號軍用航空冷卻液,供液溫度為40 ℃,為忽略冷卻液供液參數(shù)對散熱的影響,供液流量均設(shè)為1.0 L/min。

    表2 冷板內(nèi)翅片形式

    計算中,將芯片熱流密度設(shè)定為300 W/cm2。

    4 結(jié)果分析

    4.1 傳熱路徑熱阻特性

    圖2給出了芯片正中心下方的溫度分布和溫度梯度分布。由圖2可知,在熱界面層附近,出現(xiàn)非常大的溫度梯度變化,這是由于界面處溫度連續(xù),材料導(dǎo)熱系數(shù)的巨大差異所致;在T/R組件殼體層內(nèi),隨著傳熱距離的增加,T/R組件殼體內(nèi)溫度梯度逐漸減小,表明熱量不僅向冷端傳遞,也向周邊擴散,因為熱量如果只進行一維熱傳導(dǎo),那么其溫度梯度應(yīng)該保持不變。

    表3給出了h=2.15 mm,λ=120 W·m-1·K-1,冷板翅片為構(gòu)型2時,芯片傳熱路徑熱阻值大小及其所占總熱阻的比例。由表3可知,芯片傳熱過程中,熱阻礙的關(guān)鍵環(huán)節(jié)為T/R組件殼體和熱界面層,其熱阻比例約占總熱阻的70%,冷板熱阻約占總熱阻的11.4%,金錫焊層、芯片襯底和錫鉛焊層三層熱阻約占總熱阻18%。然而,除非封裝封裝構(gòu)型或生產(chǎn)工藝改進,金錫焊層、錫鉛焊層不可能省去,要降低該部分的傳熱熱阻,只能通過微組裝工藝控制,控制焊層厚度、焊透率等,但對改善熱阻的貢獻較低。因此,要降低芯片傳熱熱阻,那么首先應(yīng)考慮降低T/R組件殼體熱阻和熱界面層熱阻。

    圖2 芯片正中心下方的溫度分布及溫度梯度分布

    表3 芯片傳熱路徑中的熱阻特性

    4.2 冷板構(gòu)型對散熱的影響

    圖3給出了h=2.15 mm,不同冷板構(gòu)型條件下,芯片殼溫隨T/R殼體材料導(dǎo)熱系數(shù)的變化規(guī)律,由圖可知,在常用冷板翅片規(guī)格的條件下,冷板構(gòu)型對散熱影響較小。

    圖3 不同冷板構(gòu)型下芯片殼溫隨λ的變化規(guī)律

    4.3 T/R殼體對散熱的影響

    圖4給出了λ=120 W·m-1·K-1,冷板翅片為構(gòu)型2,芯片傳熱總熱阻(Rtot)、T/R殼體熱阻(RT/R)和界面接觸熱阻(RTIM)隨T/R殼體厚度變化規(guī)律。由圖4可知,隨著T/R殼體厚度的增加,總熱阻Rtot逐漸減小。當(dāng)T/R組件殼體厚度h<1.0 mm時,界面接觸熱阻RTIM遠(yuǎn)大于T/R殼體熱阻RT/R,此時,熱界面層是整個傳熱過程中熱阻礙的關(guān)鍵環(huán)節(jié);當(dāng)T/R組件殼體厚度介于1.0~1.5 mm時,熱阻有較大的階躍變化;當(dāng)T/R組件殼體厚度h>1.5 mm時,T/R殼體厚度對熱阻的變化影響較小。圖5給出了T/R殼體熱阻RT/R、界面接觸熱阻RTIM占總熱阻的比例變化。由圖5可知,當(dāng)h>1.5 mm時,T/R殼體熱阻RT/R約占總熱阻的40%~60%,而界面接觸熱阻RTIM占總熱阻的比例卻由約25%逐漸降低到10%左右,表明此時T/R殼體熱阻是整個傳熱過程中的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

    圖4 熱阻隨h變化關(guān)系

    圖5 熱阻比例隨h變化關(guān)系

    圖6給出了圖4對應(yīng)工況下,T/R組件殼體熱阻RT/R,T/R擴展熱阻Rsp與傳導(dǎo)熱阻(Rcond)隨厚度h的變化關(guān)系。由圖6可知,當(dāng)T/R殼體厚度h約大于1.5 mm時,隨著厚度h的增加,擴展熱阻有明顯增大,擴展熱阻Rsp在T/R殼體傳熱過程中的逐漸起主導(dǎo)作用。此時,盡管RT/R隨著T/R殼體厚度的增加而增加,但擴展散熱能力卻隨著厚度的增加而逐漸增強,熱量向冷端傳遞的同時,也向周邊擴散,使得熱流密度向冷端傳遞過程中迅速衰減。換句話說,隨著厚度增加,增大了芯片傳熱過程中的散熱通道,使得總熱阻也快速減小。因此,當(dāng)h>1.5 mm時,提高T/R殼體材料導(dǎo)熱系數(shù),可推測將大幅降低芯片傳熱路徑熱阻。

    圖6 T/R組件殼體熱阻隨h變化關(guān)系

    圖7~圖9給出了冷板構(gòu)型2條件下,芯片傳熱路徑熱阻Rtot、殼體熱阻占總熱阻的比例RT/R/Rtot和界面接觸熱阻占總熱阻的比例RTIM/Rtot隨T/R殼體材料導(dǎo)熱系數(shù)λ、殼體厚度h的變化規(guī)律。

    由圖7~圖9可知,在常用冷板構(gòu)型條件下,T/R殼體最優(yōu)厚度為1.5~ 2.5 mm之間,若厚度h<1.5 mm,芯片傳熱路徑熱阻Rtot迅速增加,若厚度h>2.5 mm,靠增加厚度降低芯片傳熱路徑熱阻Rtot效費比較低。當(dāng)T/R殼體厚度h>1.5 mm時,T/R殼體材料導(dǎo)熱系數(shù)對RTIM/Rtot的影響較小,但對RT/R/Rtot影響較大。當(dāng)λ>400 W/(m·K),h>2 mm時,T/R殼體熱阻與界面接觸熱阻占總熱阻比例約小于50%,此時冷板熱阻、芯片焊接熱阻對整個傳熱過程有較大影響,需協(xié)同考慮散熱構(gòu)型、封裝工藝、散熱路徑優(yōu)化才能解決高功率GaN芯片散熱問題。

    圖7 Rtot隨λ及h變化關(guān)系

    圖8 RT/R/Rtot隨λ及h變化關(guān)系

    圖9 RTIM/Rtot隨λ及h變化關(guān)系

    4.4 局部嵌入熱擴展材料對散熱的影響

    在實際工程應(yīng)用中,T/R殼體材料厚度受空間、重量、單元間距等因素的影響,厚度不可能無限制增加,同時,考慮到器件散熱的影響,由3.3節(jié)分析可知,T/R組件殼體最優(yōu)厚度介于1.5~2.5 mm之間。從散熱的角度來說,希望T/R殼體材料的導(dǎo)熱系數(shù)無限大,但實際工程中,受T/R組件組裝工藝、材料加工性能等因素的影響,目前T/R組件殼體通常使用鋁合金、鋁硅、AlSiCp等材料,導(dǎo)熱系數(shù)一般不大于200 W/(m·K),T/R組件殼體熱阻成為芯片散熱過程熱阻礙的關(guān)鍵環(huán)節(jié)。

    為降低芯片傳熱過程中T/R殼體熱阻,采用在T/R組件殼體材料中局部貫穿嵌入高導(dǎo)熱材料,實現(xiàn)高功率GaN芯片低傳熱路徑熱阻設(shè)計。

    針對2.5 mm×3.8 mm的GaN芯片,假設(shè)局部嵌入高導(dǎo)熱熱擴展材料尺寸為2.5xmm×3.8xmm,其中,x為系數(shù)??紤]實際工況,熱擴展材料的極限尺寸為芯片工作頻段的半波長長度,因此,S波段及以上頻段,系數(shù)x的取值范圍一般介于[0,8],當(dāng)x=0時,表示未嵌入高導(dǎo)熱材料。當(dāng)在鋁硅殼體上,嵌入不同尺寸,不同材料導(dǎo)熱系數(shù)熱擴展材料時,芯片殼溫變化如圖10所示。

    圖10 芯片殼溫隨嵌入材料大小的變化關(guān)系

    由圖10可知,當(dāng)嵌入材料導(dǎo)熱系數(shù)大于300 W/(m·K),嵌入材料截面積大于4倍芯片面積時,芯片殼溫能有效降低10 ℃。采用在T/R組件殼體局部區(qū)域嵌入高導(dǎo)熱復(fù)合材料的方式,盡可能的兼容了現(xiàn)有的系統(tǒng)構(gòu)架,冷卻構(gòu)架,工藝實施方案,在保證技術(shù)實施的前提下,拓展了器件散熱能力。

    5 結(jié)束語

    本文針對GaN裸芯片典型結(jié)構(gòu),從完整傳熱路徑角度入手,分析了T/R組件殼體材料導(dǎo)熱系數(shù)、厚度對芯片散熱的影響規(guī)律,分析結(jié)果對指導(dǎo)GaN高熱流密度芯片散熱具有借鑒意義;采取局部嵌入高導(dǎo)熱熱擴展材料的方式,為解決GaN高熱流密度芯片散熱提供了一種新思路。

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