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    對彩色濾光膜RGB光刻膠性質(zhì)的分析與研究

    2019-10-21 16:36:21吳強(qiáng)楊玲
    科學(xué)大眾 2019年8期
    關(guān)鍵詞:光刻膠

    吳強(qiáng) 楊玲

    摘? ?要:在現(xiàn)在的信息技術(shù)時代,彩色濾光膜是液晶顯示器件的重要組成部分,液晶產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,受其技術(shù)發(fā)展的直接影響,文章對彩色濾光膜中RGB光刻膠性質(zhì)和功能進(jìn)行了分析,以期為該技術(shù)的發(fā)展提供一些理論上的幫助和支持。

    關(guān)鍵詞:彩色濾光膜;RGB;光刻膠

    在當(dāng)下的信息化時代,液晶顯示器已然成為主流顯示器,彩色濾光膜通過光刻的原理在白玻璃上做出圖形,其高對比度、高平整度、高透過率和色純度、良好的耐受性等品質(zhì)和性能在不斷地提高。本文對彩色濾光膜RGB光刻膠性質(zhì)進(jìn)行了簡要的分析和研究,以期為該技術(shù)的發(fā)展提供一些理論上的幫助和支持。

    1? ? RGB光刻膠

    光刻膠包括負(fù)性膠和正性膠,主要是依據(jù)化學(xué)反應(yīng)機(jī)理和顯影原理進(jìn)行劃分,負(fù)性膠主要是指在光照后形成了不可溶的物質(zhì),相反正性膠是指經(jīng)光照后形成了可溶的物質(zhì)。一般情況下通過這種性能,將光刻膠作為涂層,在硅片表面上,刻蝕所需的電路圖形。縮小曝光加工特征的尺寸,會提高入射光的反射和散射對提高圖形分辨率的影響,研發(fā)抗反射涂層覆蓋正在曝光光刻膠的表面的新型光刻膠技術(shù),使曝光系統(tǒng)分辨率的性能得到提升,這樣可以使光刻膠表面對入射光的反射和散射顯著減小,使光刻膠的分辨率性能得以提升。先進(jìn)曝光技術(shù)對光刻膠的性能也有更高的要求,為使光刻分辨率得以實現(xiàn)的同時,也一直在發(fā)展光刻膠技術(shù)。而彩色濾光膜制作中使用的RGB光刻膠大多數(shù)為負(fù)性光刻膠,紫外光對負(fù)性光刻膠照射后,要去除顯影時光照沒有照到的部分,保留受到光照的部分,最終形成所需的圖像。RGB三色間的段差,是彩色濾光片制程技術(shù)的關(guān)鍵,其會對液晶的表現(xiàn)有一定的影響,如段差過大,斷層會在顯示時出現(xiàn),選擇原材料時,由于RGB工程是高溫制程,必須選擇不會發(fā)生衰退的有耐藥性的原材料。樹脂BM的制造,一般是通過隔絕RGB的三顏色,從而使顏色對比得以提升,同時樹脂BM有低反射的要求,反射越低,色彩表現(xiàn)越好。

    一般通過基本的聚合反應(yīng)機(jī)理,來實習(xí)光刻膠的功能,人們所說的成分,主要包括粘結(jié)高分子、交聯(lián)成分、光引發(fā)劑、溶劑以及顏料。粘結(jié)高分子,作為其他成分的載體,一般是光刻膠中的主要作用物,可以使膜層形成,并使交聯(lián)反應(yīng)得到支持。粘結(jié)高分子通常情況下是一些丙烯酸醋類物質(zhì)。圖1是其結(jié)構(gòu)示意,A代表化學(xué),物理性質(zhì)控制。B代表兼容性,附著力等控制。C代表與交叉鏈接器反應(yīng)并建立網(wǎng)絡(luò)。通過A、B、C這三種官能團(tuán),可以實現(xiàn)該成分的主要功能。交聯(lián)成分主要是通過交聯(lián)形成網(wǎng)狀結(jié)構(gòu),使光刻膠在顯影時的溶解性得以改變,聚合反應(yīng)一般在參與紫外光照射時,對光的敏感度產(chǎn)生影響。一般所說的光引發(fā)劑主要成分有:肪酷、雙咪哇、乙酞苯以及三氮雜苯等,在紫外光照射時,通常會發(fā)生光化學(xué)反應(yīng)。然而在光引發(fā)劑的選擇上,該材料的紫外吸收光譜和設(shè)備性的相匹配有一定的要求。對固態(tài)材料的溶解,即溶劑的主要作用,設(shè)備的工程性可以通過使光刻膠滿足,而溶劑的關(guān)鍵因子主要有:溶解能力、飽和蒸氣壓、表面張力、沸點以及毒性。RGB光刻膠調(diào)整色度的顏料,一般情況下有藍(lán)色、黃色、紅色、綠色以及紫色,研究者會通過不同產(chǎn)品的色度需求,針對性地調(diào)整比例。

    2? ? RGB光刻膠性質(zhì)研究

    彩色濾光片的制作,尺寸和表面形貌是光刻段工藝所使用光刻膠聯(lián)系比較緊密的關(guān)鍵參數(shù)。

    2.1? 曝光量對二者的影響

    關(guān)鍵尺寸會隨著曝光量的增大而增大,光刻膠中光引發(fā)劑等感光材料的種類和含量,與增大的幅度有一定關(guān)系。對于曝光設(shè)備來說,實驗者按照同一個方向照射設(shè)計上和硬件上的光線,卻不能使所有的光按照同一個方向照射到玻璃基板上。所以,選擇光引發(fā)劑,以及其含量可以對兩邊區(qū)域的光刻膠是否完成光化學(xué)反應(yīng)產(chǎn)生直接的影響。關(guān)鍵尺寸會因為光掩模板和玻璃基板之間距離的增大而增大,實驗者了解到的藍(lán)色和綠色的光刻膠,其曝光距離同樣會影響到關(guān)鍵尺寸,但是在表面形貌上,沒有明顯的差異,這與紅色光刻膠有相同的原因。

    2.2? 顯影時間對二者的影響

    RGB光刻膠,與顯影液及顯影時間之間的匹配性十分重要。顯影過程中,在規(guī)定時間內(nèi)能否反應(yīng)完全以及是否還有殘留,是實驗者必須重視的,然而在實際生產(chǎn)中,一般情況下,在光刻膠的選擇上,一般選取和顯影液快速反應(yīng)完全的光刻膠,因為選擇這類的光刻膠,不僅時間上可以得到節(jié)省,同時在設(shè)備出現(xiàn)故障時,可以及時應(yīng)對顯影時間過長而出現(xiàn)的問題。

    3? ? 結(jié)語

    總而言之,我國的微電子和液晶顯示產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速。RGB光刻膠技術(shù)在彩色濾光膜的制作中有很重要的作用,本文對RGB光刻膠的性質(zhì)進(jìn)行了分析,并對曝光量和顯影時間對關(guān)鍵尺寸和表面形貌的影響做了總結(jié),以期為研究光刻膠技術(shù)的相關(guān)人員提供幫助。

    [參考文獻(xiàn)]

    [1]趙平,鄧軍謀.彩色微濾光膜制造技術(shù)[J].真空電子技術(shù),2004(5):45-48.

    [2]周豐.對彩色濾光膜RGB光刻膠性質(zhì)的分析與研究[D].上海:復(fù)旦大學(xué),2011.

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