光刻膠國產(chǎn)替代的受益鏈

顧天嬌

光刻膠受限于人，國內(nèi)相關(guān)概念公司股價缺乏支撐。

2月13日，日本福島東部海域發(fā)生7.3級地震，受地震影響，信越化學(xué)、瑞薩電子等半導(dǎo)體廠商在當(dāng)?shù)氐墓S只能暫停生產(chǎn)。

信越化學(xué)目前占據(jù)全球光刻膠市場份額超兩成，如今其生產(chǎn)以及海外供貨受阻，已有下游代理商考慮配合運輸與相關(guān)成本提高，調(diào)漲新合約報價。因此，預(yù)計本次停產(chǎn)事件除了將加劇全球汽車芯片產(chǎn)能的緊張程度，還將對光刻膠供應(yīng)造成負(fù)面影響。

事實上，多次日本大地震都曾引發(fā)市場對于半導(dǎo)體產(chǎn)能不確定性的擔(dān)憂，由此導(dǎo)致國內(nèi)相關(guān)半導(dǎo)體上市公司受到資金追捧。本次也不例外，消息傳出后，上海新陽（300236.SZ）、南大光電（300346.SZ）、晶瑞股份（300655.SZ）、彤程新材（603650.SH）等光刻膠相關(guān)上市公司的股價應(yīng)聲上漲。

但地震影響只是暫時的，投資者需要辨別的是，哪些公司才是真正值得關(guān)注的龍頭？誰更有實力率先實現(xiàn)國產(chǎn)替代？

2019年7月，在日韓貿(mào)易爭端的背景下，日本開始限制向韓國出口電視、智能手機(jī)中OLED顯示器部件使用的“氟聚酰亞胺”、半導(dǎo)體制造過程中必須使用的“光刻膠”和“高純度氟化氫”3種材料。

一時間，三星半導(dǎo)體、海力士等全球存儲器龍頭面臨停產(chǎn)危機(jī)。

韓國政府隨即提出了“半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化”政策，并對材料、零部件、設(shè)備行業(yè)進(jìn)行了扶持。時至今日，韓國已經(jīng)實現(xiàn)了半導(dǎo)體材料氟化氫的量產(chǎn)，正在向更高純度突破，但是光刻膠仍受限于日本。

那么光刻膠到底是什么？行業(yè)競爭格局如何？

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種對光敏感的混合液體。其組成部分包括：光引發(fā)劑、光刻膠樹脂、單體、溶劑和其他助劑。光刻膠可以通過光化學(xué)反應(yīng)，經(jīng)曝光、顯影等光刻工序?qū)⑺枰奈⒓?xì)圖形從光罩（掩模版）轉(zhuǎn)移到待加工基片上，形成與掩膜版完全對應(yīng)的幾何圖形。

上述的待加工基片可以是集成電路材料，顯示面板材料或者印刷電路板等，因此按照應(yīng)用領(lǐng)域的不同，光膠刻可以分為PCB用、LCD用、半導(dǎo)體用和其他用途光刻膠。

按照所適配的刻蝕用光的波長不同，光刻膠分為普通寬譜光刻膠、g線（436nm）、i線（365nm）、KrF（248nm）、ArF（193nm）、F2（157nm），以及最先進(jìn)的EUV（<13.5nm）線水平，其相關(guān)技術(shù)壁壘隨刻蝕用紫外光波長縮短而相應(yīng)提高。

半導(dǎo)體行業(yè)主要使用光刻膠包括g線、i線、KrF、ArF和EUV線。在越高端的市場里，日本廠商的壟斷地位越明顯，根據(jù)SEMI數(shù)據(jù)，日本廠商在g線/i線、KrF、ArF膠市場中市占率分別為61%、80%、93%。

而我國目前g線/i線自給率約為20%，KrF光刻膠的自給率不足5%，12寸硅片的ArF光刻膠目前尚無國內(nèi)企業(yè)可以大規(guī)模生產(chǎn)。

高端光刻膠長期為國外企業(yè)壟斷的現(xiàn)狀，同樣使得我國芯片制造存在“卡脖子”風(fēng)險，所以光刻膠的國產(chǎn)替代是必然趨勢。

也正因為如此，不少在光刻膠領(lǐng)域有所突破的公司備受關(guān)注。來看一下光刻膠相關(guān)上市公司近20天內(nèi)的股價表現(xiàn)：上海新陽漲幅高達(dá)76%，南大光電、晶瑞股份漲幅超過50%，彤程新材漲幅約為16%。

不過拉長時間線來看，漲幅較高的上海新陽、南大光電和晶瑞股份目前股價相比2020年中股價頂點均已近乎腰斬。

這些公司中，誰在光刻膠研發(fā)和量產(chǎn)上更據(jù)優(yōu)勢、能夠引領(lǐng)國產(chǎn)替代呢？

晶瑞股份是國內(nèi)入局光刻膠較早的企業(yè)之一，其子公司蘇州瑞紅已生產(chǎn)光刻膠近30年，擁有達(dá)到國際先進(jìn)水平的光刻膠生產(chǎn)線。目前蘇州瑞紅i線光刻膠已向國內(nèi)頭部的知名大尺寸半導(dǎo)體廠商供貨，KrF光刻膠完成中試并進(jìn)入客戶測試階段，正在積極研發(fā)ArF光刻膠。

隨著今年1月公司采購的光刻機(jī)設(shè)備ASMLXT1900Gi型ArF浸入式光刻機(jī)到貨，ArF光刻膠的研發(fā)進(jìn)程將進(jìn)一步加快。

根據(jù)晶瑞股份2020半年報，其光刻膠業(yè)務(wù)實現(xiàn)營收4307萬元，占總營收的10%，毛利率為44.23%。

上海新陽涉足光刻膠領(lǐng)域時間并不長，主要產(chǎn)品是晶圓制造和先進(jìn)封裝用電鍍液及清洗液以及半導(dǎo)體封裝用電子化學(xué)材料，目前，其高端光刻膠產(chǎn)品正在開發(fā)中，包括邏輯和模擬芯片制造用的ArF干法光刻膠、KrF光刻膠、i線光刻膠等。

自2016年底公司立項開發(fā)集成電路制造用高端光刻膠以來，中試產(chǎn)品已通過客戶基礎(chǔ)工藝考核。公司規(guī)劃新增產(chǎn)能“高分辨率光刻膠系列500噸/年”，預(yù)計該項目將于2022年開始逐漸通過客戶驗證，取得訂單，實現(xiàn)小批量的生產(chǎn)和銷售。

南大光電與上海新陽一樣，進(jìn)入時間較晚，但卻算得上是光刻膠領(lǐng)域的后起之秀。

2017年，南大光電開始承擔(dān)193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目。2020年12月17日，公司發(fā)布公告稱，控股子公司寧波南大光電自主研發(fā)的ArF光刻膠產(chǎn)品成功通過了客戶50nm閃存技術(shù)平臺驗證。該產(chǎn)品成為國內(nèi)通過產(chǎn)品驗證的第一只國產(chǎn)ArF光刻膠。

公司于2019年底在寧波建成光刻膠生產(chǎn)線，并計劃于2021年底實現(xiàn)年產(chǎn)25噸（干式5噸/浸沒式20噸）產(chǎn)能規(guī)模，性能滿足90nm-14nm工藝制程要求。

與上面三家企業(yè)走內(nèi)生道路不同，彤程新材借助外延并購切入了光刻膠領(lǐng)域。

彤程新材于2020年6月成立全資子公司上海彤程電子，以此為主體收購北京科華33.7%的股權(quán)，12月收購北旭電子45%股權(quán)，成為兩家公司的第一大股東。

北京科華和北旭電子是國內(nèi)為數(shù)不多實現(xiàn)中高端光刻膠國產(chǎn)化的廠商。其中北京科華有g(shù)線/i線正膠生產(chǎn)線（500噸/年）和正膠配套試劑生產(chǎn)線（1000噸/年）、百噸級248nm光刻膠生產(chǎn)線。北旭電子的正型光刻膠應(yīng)用于IC、各類尺寸TFT-LCD及AMOLED領(lǐng)域，主要客戶為京東方，2020年前三季度實現(xiàn)營收和凈利潤分別為1.55億元和2540萬元。

2020年12月1日，彤程新材公告擬通過彤程電子投資5.7億元建設(shè)年產(chǎn)1.1萬噸半導(dǎo)體、平板顯示用光刻膠及2萬噸相關(guān)配套試劑項目，預(yù)計于2021年末建成投產(chǎn)，2022年具備一定生產(chǎn)能力，2025年達(dá)產(chǎn)。

各公司研發(fā)生產(chǎn)進(jìn)度如下：

目前四家公司中，光刻膠業(yè)務(wù)真正能夠帶來收入的只有晶瑞股份，但主要來自低端光刻膠，在高端光刻膠研發(fā)上其進(jìn)度慢于南大光電和上海新陽。彤程新材尚未將北京科華和北旭電子納入合并報表，未來如果完成并表，預(yù)計將增厚公司利潤。

根據(jù)各家2020半年報，上海新陽研發(fā)費用占比最高，達(dá)到9.5%，其次是南大光電7.4%、彤程新材3.5%、晶瑞股份3.3%。

預(yù)計南大光電率先實現(xiàn)高端光刻膠ArF的量產(chǎn)，下游廠商對光刻膠質(zhì)量要求高、產(chǎn)品認(rèn)證時間長，一般下游廠商不會輕易更換供應(yīng)商。先人一步獲得下游客戶認(rèn)可的光刻膠企業(yè)將獲得先發(fā)優(yōu)勢。

但長期看南大光電產(chǎn)能僅25噸/年，遠(yuǎn)不及上海新陽500噸/年的產(chǎn)能，未來如果不增加產(chǎn)能，可能在光刻膠業(yè)務(wù)的收入規(guī)模上會遜于上海新陽。

總的來看南大光電、上海新陽都具備不錯的研發(fā)能力，同時也在積極投建產(chǎn)線，頗具龍頭之姿。