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    上海光機(jī)所無錐柱交界面KDP類晶體長籽晶快速生長技術(shù)取得重要進(jìn)展

    2019-10-19 02:09:14
    人工晶體學(xué)報 2019年9期
    關(guān)鍵詞:籽晶光機(jī)所交界面

    圖1 連續(xù)過濾長籽晶快速生長技術(shù)制備的KDP晶體(晶體尺寸471 mm×480 mm×400 mm,籽晶長度260 mm)

    近期,上海光機(jī)所應(yīng)用于Ⅱ類切割的430 mm口徑KDP類晶體的長籽晶快速生長技術(shù)取得重要進(jìn)展。利用自主研發(fā)的KDP類晶體連續(xù)過濾快速生長系統(tǒng),在國際上首次結(jié)合長籽晶點(diǎn)晶技術(shù)(籽晶長度260 mm)獲得長籽晶KDP晶體(圖1),晶體尺寸為471 mm×480 mm×400 mm(長×寬×柱面高)。

    初步測試結(jié)果表明,晶體透明度好,可以滿足無錐柱交界面的430 mm口徑二類混頻元件切割要求。該晶體的成功生長,驗(yàn)證了長籽晶快速生長技術(shù)制備大口徑無錐柱交界面DKDP晶體的可能性,為后續(xù)430 mm口徑DKDP晶體元件制備奠定基礎(chǔ)。

    長籽晶生長技術(shù)存在一系列優(yōu)點(diǎn):(1)充分利用Ⅱ類晶體切割方向特點(diǎn),提高晶體坯片的切片效率;(2)可以利用長籽晶對應(yīng)的柱面區(qū)域進(jìn)行元件切割,徹底消除了點(diǎn)籽晶單錐及雙錐頭快速生長固有的錐柱交界面,解決晶體內(nèi)部錐柱交界面誘導(dǎo)的局域位相畸變及電場增強(qiáng)效應(yīng);(3)進(jìn)一步改善了晶體生長過程中流場環(huán)境,有利于獲得高質(zhì)量晶體;(4)充分利用了快速生長技術(shù)特點(diǎn),430 mm口徑晶體的制備周期為3~4個月,顯著優(yōu)于慢速生長2~3年的制備周期。

    相關(guān)晶體制備技術(shù)已經(jīng)申請了專利(公開號:CN109943881A,CN110055579A)。目前利用該技術(shù)正在進(jìn)行大口徑DKDP晶體研制的攻關(guān)工作,有望獲得突破性進(jìn)展。

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