直線超聲電機(jī)驅(qū)動的精密運(yùn)動平臺位移分辨率

直線超聲電機(jī)驅(qū)動的精密運(yùn)動平臺位移分辨率

王金鵬1，周宏平1，時運(yùn)來2

(1.南京林業(yè)大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院,南京210037；2.南京航空航天大學(xué)機(jī)械結(jié)構(gòu)力學(xué)及控制國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，南京210016)

摘要：由于納米級精度運(yùn)動平臺在電子隧道掃描顯微鏡、光刻機(jī)及精密醫(yī)療設(shè)備有廣泛需求，傳統(tǒng)驅(qū)動方式中大行程、高精度難以同時實(shí)現(xiàn)，而直線超聲電機(jī)直接驅(qū)動的精密運(yùn)動平臺可望解決該問題。研究所建大行程直線超聲電機(jī)系統(tǒng)位移分辨率影響因素，通過死區(qū)時間理論及啟停實(shí)驗(yàn)曲線分析探索運(yùn)動平臺可能達(dá)到的最小步距；借助XL-80激光干涉儀，實(shí)驗(yàn)研究驅(qū)動波形、預(yù)壓力及驅(qū)動電壓對平臺步距影響。結(jié)果顯示，運(yùn)動平臺分辨率可達(dá)25 nm。

關(guān)鍵詞：直線超聲電機(jī)；平臺；實(shí)驗(yàn)；位移分辨率；步距

中圖分類號:TM356文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A

Displacement resolution of precision stage driven by linear ultrasonic motors

WANGJin-peng1,ZHOUHong-ping1,SHIYun-lai2(1. College of Mechanical and Electronic Engineering, Nanjing Forestry University, Nanjing 210037, China; 2. State Key Laboratory of Mechanics and Control of Mechanical Structures，Nanjing University of Aeronautics & Astronautics, Nanjing 210016, China)

Abstract:Nanometer-accuracy stage is widely needed in the scanning tunneling microscope (STM), lithography, precision medical equipments, and so on. In the traditional style of driving method, large stroke and high accuracy is as usual a pair of contradiction for precision stage. However, the precision stage driven by linear ultrasonic motor (LUSM) may reconcile the problem. For an established linear ultrasonic motors system, the influential factors to displacement resolution were studied. The possible minimum step of the stage was discussed in the light of the dead-time theory and the start-stop experimental curve. Then, under the help of XL-80 laser interferometer, the relationships between the micro-step distance of the stage and the driving factors, such as the driving waveform, pre-pressure and driving voltage, were studied respectively by experiments. The experimental results show that the displacement resolution is 25nm.

Key words:linear ultrasonic motor; stage; experiment; displacement resolution; step distance

精密運(yùn)動平臺廣泛用于顯微外科手術(shù)、高密度光存儲器、探針掃描控制、電子隧道掃描顯微鏡等領(lǐng)域[1-2]。隨科技的發(fā)展，納米級定位精度運(yùn)動平臺尤其大行程多自由度精密運(yùn)動平臺需求量增大，其定位精度與驅(qū)動單元性能密切相關(guān)。精密致動技術(shù)可分為兩類，即電磁式、非電磁式[3]。壓電陶瓷致動屬非電磁技術(shù)，具有響應(yīng)快、結(jié)構(gòu)簡單、斷電自鎖、分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，是精密電子產(chǎn)品制造、超精密加工等設(shè)備驅(qū)動的重要選項(xiàng)。

超聲電機(jī)作為壓電作動器的一種[4-6]，具有速度快、推力/重量比大等特點(diǎn)[7-8]。與精度達(dá)納米級、行程僅幾十個微米的非共振式壓電電機(jī)驅(qū)動精密微動臺[9-10]不同[11]之處在于，超聲電機(jī)驅(qū)動的精密運(yùn)動平臺定位精度可達(dá)微米級甚至納米級同時，行程亦能達(dá)到幾百毫米。朱煜等[12-13]為兼顧行程，對宏微結(jié)合精密運(yùn)動平臺進(jìn)行研究，并試制出大行程、高精度運(yùn)動平臺，但整個設(shè)備較龐大，結(jié)構(gòu)非常復(fù)雜，致其應(yīng)用受限。

對精密運(yùn)動平臺位移分辨率、納米級定位精度測試方法主要基于飛秒光頻梳的精密位移測量技術(shù)[15]，用激光干涉儀[14]測量；在微小范圍內(nèi)的精密位移測量有電學(xué)方法，如電阻法、電容法、電感法、電渦流法等；顯微鏡測量方法，如高性能透射電子顯微鏡(TEM)、掃描探針顯微鏡(SPM)等[16]。但對大行程(幾百mm)納米級精度的位移測量，僅光柵尺及激光干涉儀能勝任，故本文用XL-80激光干涉儀研究精密運(yùn)動平臺的位移分辨率。通過理論與實(shí)驗(yàn)結(jié)合研究運(yùn)動平臺在不同驅(qū)動參數(shù)下的位移分辨率，并測定雙足直線超聲電機(jī)[17]驅(qū)動單自由度直線平臺分辨率，為精確控制提供依據(jù)。

1運(yùn)動平臺微步距極小值

實(shí)踐表明，運(yùn)動平臺位移分辨率會受驅(qū)動信號參數(shù)、預(yù)壓力、摩擦副材料等影響，欲進(jìn)一步提高運(yùn)動平臺的定位精度，則須全面研究各種驅(qū)動參數(shù)與平臺位移分辨率的關(guān)系，尋找可提高位移分辨率的參數(shù)組合。

1.1微步距產(chǎn)生機(jī)理分析

驅(qū)動平臺超聲電機(jī)用兩路相位差90°的數(shù)千赫茲信號進(jìn)行驅(qū)動，測試運(yùn)動平臺位移分辨率時，電機(jī)采用間歇性脈沖串，每串信號含n1個完整的驅(qū)動周期，見圖 1。圖中為正弦信號，但用信號發(fā)生器結(jié)合功率放大器實(shí)驗(yàn)時，可改成方波、三角波、鋸齒波等任意波形。與連續(xù)驅(qū)動的區(qū)別在于驅(qū)動信號在驅(qū)動n1個周期后會有一停頓間隔，間隔時間長短可據(jù)運(yùn)動平臺振蕩不同進(jìn)行調(diào)整。在n1個周期驅(qū)動信號作用下，電機(jī)驅(qū)動平臺移動位移即為運(yùn)動平臺步距。若n1足夠小，直到恰好可驅(qū)動平臺運(yùn)動形成穩(wěn)定的可分辨位移即認(rèn)為獲得運(yùn)動平臺位移分辨率。由此可見，直線超聲電機(jī)此時工作在啟動過程與達(dá)到穩(wěn)定狀態(tài)前的中間狀態(tài)。

圖1　步距實(shí)驗(yàn)驅(qū)動波形示意圖 Fig.1 The driving waveform used in the experiments

1.2微步距理論預(yù)測值

由實(shí)驗(yàn)可得平臺在連續(xù)信號驅(qū)動時的啟停速度特性曲線，而采用脈沖串驅(qū)動時曲線必與此相似，二者示意圖見圖 2，由此可從理論上分析平臺位移分辨率。測試分辨率實(shí)驗(yàn)中，平臺未達(dá)到穩(wěn)定的最大速度vsm時電機(jī)開始關(guān)閉過程，因預(yù)壓力彈簧作用，電機(jī)定子與平臺間靜摩擦力開始阻礙平臺繼續(xù)運(yùn)動，由平臺速度曲線知，在ts0～ts1時間段平臺作加速運(yùn)動，ts1～ts2時間段作勻減速運(yùn)動，在ts2時刻停止。ts0～ts2時間內(nèi)平臺走過的距離即微步距。

圖2　運(yùn)動平臺啟停特性曲線 Fig.2 Start-stop curve of stage

平臺穩(wěn)定的最大速度vsm與啟動時間ts3可通過實(shí)驗(yàn)獲得。近似得平臺在ts1時刻的速度vsl為

(1)

因此，在(ts0～ts1)時間段內(nèi)平臺走過的距離可近似表示為

(2)

在(ts1～ts2)時間段內(nèi)平臺走過的距離為

(3)

在ts0～ts2時間段內(nèi)平臺位移與單元驅(qū)動時間及平臺連續(xù)工作時所能達(dá)到的最大速度關(guān)系為

(4)

式中：ts1-ts0為平臺克服靜摩擦力開始運(yùn)動的時間n1T，T為電機(jī)驅(qū)動信號周期。

為達(dá)到測試位移分辨率目的，可減少驅(qū)動信號周期個數(shù)n1，或同時調(diào)整驅(qū)動信號頻率1/T。顯然，要保證能驅(qū)動平臺產(chǎn)生位移，驅(qū)動信號周期個數(shù)n1不能為零，即平臺驅(qū)動時間存在極小值，設(shè)其為ts0，則0～ts0為平臺的死區(qū)時間，即從平臺驅(qū)動單元開始工作到平臺運(yùn)動至檢測儀能分辨的最小位移所經(jīng)一瞬間。據(jù)上式，在已知平臺最大速度、啟動死區(qū)時間情況下，即可預(yù)測平臺位移分辨率。

2實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)搭建

實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)及示意圖見圖3。任意信號發(fā)生器AFG3022產(chǎn)生所需信號，經(jīng)HFVP-83A功率放大器后施加于定子，用XL-80激光干涉儀測試實(shí)驗(yàn)滑臺微小位移。激光干涉儀標(biāo)稱穩(wěn)定精度為±1 nm，實(shí)驗(yàn)室保持恒溫、潔凈，地基經(jīng)隔振處理，選室外干擾較小的21∶00后進(jìn)行。實(shí)驗(yàn)前，歸零的顯示器界面納米位數(shù)字僅有緩慢變化，即10 s內(nèi)變化不超過5 nm，因每次實(shí)驗(yàn)持時僅幾秒，故忽略其影響。實(shí)驗(yàn)中用信號發(fā)生器監(jiān)視信號放大前后變化，以保證施加于定子波形的準(zhǔn)確性。定子預(yù)壓力設(shè)定過程中用LC1015壓力傳感器及顯示器控制數(shù)值大小。運(yùn)動平臺置于氣浮實(shí)驗(yàn)臺上，將信號發(fā)生器及帶散熱風(fēng)扇的功放置于距離約1 m的另個大理石氣浮平臺上，盡可能避免環(huán)境因素對測量精度影響。實(shí)驗(yàn)用部分信號放大后波形見圖3(c)。

圖3　微步距實(shí)驗(yàn)測試系統(tǒng)及示意圖 Fig.3 Micro-step test system and its sketch map

3不同參數(shù)的信號對步距影響

3.1不同信號波形對微步距影響

研究不同波形驅(qū)動信號對直線超聲電機(jī)步距影響有利于找到提高運(yùn)動平臺位移分辨率的參數(shù)組合。實(shí)驗(yàn)中經(jīng)功率放大器后施加于電機(jī)定子的方波信號未轉(zhuǎn)成近似正弦波形，仍近似為方波。而用信號發(fā)生器直接產(chǎn)生正弦波，經(jīng)功率放大器施加于電機(jī)定子，卻在示波器上顯示為正弦波形。實(shí)驗(yàn)中亦用過三角波、鋸齒波等波形信號。設(shè)相鄰兩組信號間隔為100 ms，目的為使平臺每走一步產(chǎn)生的振蕩得到充分衰減，能清晰分辨出每步位移。振蕩產(chǎn)生的原因可從兩方面解釋，

即①機(jī)械響應(yīng)本身原因，與定子及滑臺構(gòu)成系統(tǒng)的阻尼有關(guān)；②從電學(xué)角度解釋，因壓電陶瓷呈現(xiàn)容性，能與驅(qū)動器的感性元件構(gòu)成振蕩回路。通過設(shè)置可使平臺恰好能產(chǎn)生連續(xù)穩(wěn)定的微小位移(微步距)，以達(dá)到測定電機(jī)位移分辨率目的。

不同驅(qū)動波形實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖4。由圖4可知，在50 kHz附近時各種驅(qū)動波形產(chǎn)生的步距均較大，說明此時超聲電機(jī)能量轉(zhuǎn)換效率較高；相同條件下僅方波信號驅(qū)動時，能在10～70 kHz范圍內(nèi)穩(wěn)定驅(qū)動滑臺。分析認(rèn)為，與其它驅(qū)動信號相比，方波信號作用下定子對動子的沖擊更強(qiáng)，使二者更易突破靜摩擦力起主導(dǎo)作用的相對靜止?fàn)顟B(tài)。故實(shí)驗(yàn)信號均用方波信號。

在20 kHz時方波及鋸齒波均出現(xiàn)極小值，而正弦波及三角波在頻率降到20 kHz時幾乎無法形成穩(wěn)定的步進(jìn)運(yùn)動，可能是后者在驅(qū)動足推程、回程中因驅(qū)動波形對稱而導(dǎo)致前進(jìn)、后退位移基本相等；方波與鋸齒波出現(xiàn)極小值也因定子推動動子形成的前進(jìn)、后退位移差達(dá)到最小。若頻率繼續(xù)減小，則起主導(dǎo)作用的將由高頻諧振驅(qū)動模式轉(zhuǎn)換為靜變形驅(qū)動模式。在頻率超過70 kHz并繼續(xù)增加時，因偏離直線超聲電機(jī)定子設(shè)計(jì)的共振頻率點(diǎn)(50 kHz)，故在其它條件相同情況下，圖4中曲線呈單調(diào)下降趨勢，直至趨近于零。

3.2預(yù)壓力對步距影響

采用2個周期頻率為50 kHz方波信號，放大后電壓為300 Vpp(峰峰值)；測試預(yù)壓力對步距影響，結(jié)果見圖5。由圖5可知，預(yù)壓力從20 N增加到70 N時步距隨預(yù)壓力增大而增加，但預(yù)壓力繼續(xù)增加時步距有減小趨勢；當(dāng)預(yù)壓力小于20 N時步距又有所增加，原因?yàn)殡S預(yù)壓力進(jìn)一步減小，慣性導(dǎo)致滑臺滑動位移大幅增加。預(yù)壓力為零時定子與滑臺脫離，滑臺無法產(chǎn)生運(yùn)動，步距也會變零；若預(yù)壓力無限增大，定子產(chǎn)生的力無法客服定子、動子間摩擦力，無法使定子/動子脫離，滑臺將無法產(chǎn)生相對運(yùn)動。

圖4 直線超聲電機(jī)驅(qū)動波形與運(yùn)動平臺步距關(guān)系Fig.4RelationshipbetweendrivingwaveformofLUSMandstepdistanceofstage圖5 直線超聲電機(jī)預(yù)壓力與運(yùn)動平臺步距關(guān)系Fig.5Relationshipbetweenpre-pressureofLUSMandstepdistanceofstage圖6 直線超聲電機(jī)驅(qū)動電壓與運(yùn)動平臺步距關(guān)系Fig.6RelationshipbetweendrivingvoltageofLUSMandstepdistanceofstage

3.3驅(qū)動電壓與步距關(guān)系

驅(qū)動電壓大小直接影響直線超聲電機(jī)驅(qū)動足端部振幅，對非共振狀態(tài)下驅(qū)動電壓對步距影響進(jìn)行研究非常必要。驅(qū)動信號為50 kHz方波，4個信號周期一組，組與組之間停頓100 ms，預(yù)壓力為40 N時實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖6。由圖6看出，在150～450 Vpp之間步距隨電壓升高而增大，驅(qū)動電壓小于100 Vpp時定子無法驅(qū)動滑臺產(chǎn)生穩(wěn)定的步進(jìn)運(yùn)動，原因?yàn)槎ㄗ诱穹?，在極短工作時間內(nèi)無法積累足夠能量有效克服定子動子間靜力約束，定子/動子無法脫離并產(chǎn)生相對運(yùn)動。

4位移分辨率測定實(shí)驗(yàn)

實(shí)驗(yàn)平臺與激光干涉儀置于氣浮平臺上，穩(wěn)壓電源、信號發(fā)生器、功放及示波器等與其隔離，運(yùn)動平臺位移分辨率實(shí)驗(yàn)結(jié)果見圖7。圖7(a)顯示，在100 kHz的1個方波信號、30 N預(yù)壓力、驅(qū)動電壓350 Vpp情況下位移分辨率達(dá)到25 nm。(100+1/ 100)ms中的100 ms為信號發(fā)生器發(fā)送1個周期信號后停頓100 ms不發(fā)送信號給功放，1/100 ms為所用100 kHz信號一個周期持時。每步間100 ms停頓，為使平臺每走一步的振蕩充分衰減以能分辨出每步位移，同時又不使平臺停止時間太長，便于在較短時間段內(nèi)測出較多周期，盡可能反映出更多關(guān)于定位平臺步進(jìn)運(yùn)動信息。此振蕩由動子機(jī)械振動引起，屬欠阻尼振動；第二次重復(fù)測量所得分辨率為29 nm(圖7(b))；調(diào)整信號頻率為400 kHz、預(yù)壓力60 N后，所測結(jié)果見圖7(c)、(d)，運(yùn)動平臺位移分辨率分別為24 nm及21 nm。其中圖7(c)為連續(xù)步進(jìn)20步情況。以上4結(jié)果均在不同測試條件下獲得，可見此平臺實(shí)現(xiàn)微步距運(yùn)動條件不唯一，將數(shù)據(jù)求平均值獲得直線超聲電機(jī)驅(qū)動運(yùn)動平臺位移分辨率為24.75 nm，即25 nm。

圖7　直線超聲電機(jī)驅(qū)動運(yùn)動平臺位移分辨率 Fig.7 Displacement resolution of the stage driving by LUSM

5結(jié)論

為探究超聲電機(jī)驅(qū)動直線運(yùn)動平臺步進(jìn)時的步距極值，測試各種驅(qū)動參數(shù)對運(yùn)動平臺步距影響。結(jié)果表明，在50 kHz附近，各種驅(qū)動波形驅(qū)動平臺步距均較大，離該頻率越遠(yuǎn)步距越小，不同驅(qū)動信號驅(qū)動效果差異明顯。方波信號能覆蓋較寬的頻率范圍(10～70 kHz)。預(yù)壓力超過20N時步距隨預(yù)壓力增加先增加后減小；驅(qū)動電壓超過100 Vpp時步距隨電壓升高而增加。

參考文獻(xiàn)

[1]王立鼎,褚金奎,劉沖,等. 中國微納制造研究進(jìn)展[J]. 機(jī)械工程學(xué)報(bào),2008(11): 2-12.

WANG Li-ding, CHU Jin-kui, LIU Chong, et al. New developments on micro-nano manufacture technology in China[J]. Chinese Journal of Mechanical Engineering, 2008(11):2-12.

[2]王金鵬,金家楣,趙淳生. 用于精密定位平臺的直線超聲電機(jī)的異步并聯(lián)[J]. 光學(xué)精密工程, 2012, 19(11): 2693-2702.

WANG Jin-peng, JIN Jia-mei, ZHAO Chun-sheng. Asynchronous bundling of linear ultrasonic motor for precision positioning stage[J]. Optics and Precision Engineering,2012, 19(11):2693-2702.

[3]時運(yùn)來. 新型直線超聲電機(jī)的研究及其在運(yùn)動平臺中的應(yīng)用[D]. 南京: 南京航空航天大學(xué), 2011.

[4]許海,趙淳生. 雙足型直線超聲電機(jī)的結(jié)構(gòu)及實(shí)驗(yàn)[J]. 振動與沖擊,2007,26(6):100-102.

XU Hai, ZHAO Chun-sheng. Structure of double feet liner ultrasonic motor and its modal experiment[J]. Journal of Vibration and Shock,2007,26(6):100-102.

[5]陳乾偉,黃衛(wèi)清. 塔形超聲電機(jī)的突變結(jié)構(gòu)彈性支撐[J]. 振動與沖擊,2012,31(24):74-81.

CHEN Qian-wei, HUANG Wei-qing. Tower-shaped ultrasonic motor’s elastic support with abrupt changing configuration[J]. Journal of Vibration and Shock, 2012,31(24): 74-81.

[6]張露,李朝東. 背襯封裝對臥板式直線超聲電機(jī)輸出推力影響[J]. 振動與沖擊,2013,32(11):137-140.

ZHANG Lu, LI Chao-dong. Effect of back packaging on output thrust of a board-type horizontal linear ultrasonic motor[J]. Journal of Vibration and Shock,2013,32(11): 137-140.

[7]賀紅林,武冬梅,何文叢,等. H-結(jié)構(gòu)薄板縱彎復(fù)合模態(tài)驅(qū)動的壓電直線電機(jī)[J]. 振動與沖擊,2013,32(5): 1-5.

HE Hong-lin, WU Dong-mei, HE Wen-cong, et al. Ultrasonic linear motor driven by the longitudinal and bending vibration modes of an H-shaped vibrator[J]. Journal of Vibration and Shock,2013,32(5): 1-5.

[8]趙淳生. 超聲電機(jī)技術(shù)與應(yīng)用[M]. 北京: 科學(xué)出版社, 2007.

[9]陳立國,張洋,陳濤,等. 多目標(biāo)拓?fù)鋬?yōu)化設(shè)計(jì)在納米定位平臺中的應(yīng)用[J]. 壓電與聲光,2011,33(2): 228-231.

CHEN Li-guo,ZHANG Yang, CHEN Tao, et al. Application of multi-objective topology optimization design on the nano-positioning stage[J]. Piezoelectrics and Acoustooptics, 2011,33(2): 228-231.

[10]劉國華,李亮玉. 壓電驅(qū)動三維超微定位平臺的性能研究[J]. 壓電與聲光,2007(3): 289-291.

LIU Guo-hua, LI Liang-yu. Study on theperformance of 3D ultra-micropositioning system with PZT[J]. Piezoelectrics and Acoustooptics,2007(3):289-291.

[11]Npoint. Piezo stages and nanopositioning systems[Z]. 2012: X25A.

[12]朱煜,尹文生，段廣洪. 光刻機(jī)超精密工件臺研究[J]. 電子工業(yè)專用設(shè)備,2004, 33(2):25-27.

ZHU Yu, YIN Wen-sheng, DUAN Guang-hong. Research onultra-precision stages of lithography[J]. Equipment for Electronic Products Manufacturing, 2004, 33(2):25-27.

[13]賈松濤,朱煜,楊開明,等. 雙邊驅(qū)動精密運(yùn)動臺振動特性研究[J]. 機(jī)械科學(xué)與技術(shù),2009(5): 582-586.

JIA Song-tao, ZHU Yu, YANG Kai-ming, et al. Investigationof the vibration characteristic of a dual-drive precision stage[J]. Mechanical Science and Technology for Aerospace Engineering,2009(5): 582-586.

[14]劉泊,郭建英,孫永全. 壓電陶瓷微位移驅(qū)動器建模與控制[J]. 光學(xué)精密工程, 2013(6): 1503-1509.

LIU Bo, GUO Jin-ying, SUN Yong-quan. Modeling and control for PZT micro-displacementactuator[J]. Optics and Precision Engineering, 2013(6): 1503-1509.

[15]朱敏昊,吳學(xué)健,尉昊赟,等. 基于飛秒光頻梳的壓電陶瓷閉環(huán)位移控制系統(tǒng)[J]. 物理學(xué)報(bào),2013(7): 117-122.

ZHU Min-hao, WU Xue-jian, YU Hao-yun, et al. Closed-loop displacement control system for piezoelectric transducer based on optical frequency comb[J]. Acta Physica Sinica,2013(7): 117-122.

[16]段小艷,任冬梅. 激光干涉法微位移測量技術(shù)綜述[J]. 計(jì)測技術(shù),2012(6): 1-5.

DUAN Xiao-yan, REN Dong-mei.Review ofhigh-resolution measuring method of displacement using laser interferometer[J]. Metrology & Measurement Technology, 2012(6): 1-5.

[17]李玉寶. 新型直線型超聲電機(jī)及其應(yīng)用的研究[D]. 南京: 南京航空航天大學(xué), 2009.