錢紹祥,徐德愛,張飛霞,張志鳳
(1.鎮(zhèn)江高等專科學(xué)校機(jī)械工程系,江蘇鎮(zhèn)江 212003;2.江蘇大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院,江蘇鎮(zhèn)江 212003)
在工業(yè)精密檢測領(lǐng)域,光柵莫爾條紋測量技術(shù)已廣泛應(yīng)用于位置/位移量的測量。隨著微細(xì)加工技術(shù)的不斷深化,人們對精密檢測技術(shù)的要求越來越高,不僅要求分辨率達(dá)到納米級,而且要求在保證高精度的同時必須保證一定的追蹤速度。光柵莫爾條紋檢測精度的提高,主要考慮提高莫爾條紋的細(xì)分?jǐn)?shù)。一般的數(shù)字細(xì)分方法是將光柵輸出的2路正交信號進(jìn)行A/D轉(zhuǎn)換,通過微處理器運(yùn)算、查表、插值的方法獲得細(xì)分值[1-2]。本文所介紹的基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的光柵莫爾條紋細(xì)分方法,首先,將光柵讀數(shù)頭輸出2路正交信號模/數(shù)轉(zhuǎn)換,然后,構(gòu)建一差值線性函數(shù),送入DSP進(jìn)行神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)處理,最終,得到細(xì)分值。
BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(Error Back Propagation Network)是一種單向傳播的多層前向網(wǎng)絡(luò),包括輸入層、中間層(隱層)和輸出層。將1對學(xué)習(xí)樣本提供給網(wǎng)絡(luò)后,神經(jīng)元的激活值從輸入層經(jīng)各中間層向輸出層傳播,在輸出層的各神經(jīng)元獲得網(wǎng)絡(luò)的輸入響應(yīng)。然后,按照減少目標(biāo)輸出和實(shí)際誤差的方向,從輸出層經(jīng)過各中間層逐層修正各連接數(shù)值。最后,回到輸入層。隨著這種誤差逆向的傳播,修正不斷進(jìn)行,網(wǎng)絡(luò)對輸入模式響應(yīng)的正確率不斷上升[3]。借助于Matlab神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)工具箱,通過對已知樣本點(diǎn)的學(xué)習(xí),建立神經(jīng)元個數(shù)、連接權(quán)、閥值等網(wǎng)絡(luò)參數(shù),利用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的傳遞函數(shù),完成光柵莫爾條紋的細(xì)分。
光柵測量系統(tǒng)由光柵傳感器、信號放大及整形電路、莫爾條紋信號辨向及其細(xì)分電路、TMS320C240數(shù)據(jù)處理等子系統(tǒng)組成,如圖1所示。
圖1 光柵測量系統(tǒng)原理圖
測量系統(tǒng)采用大數(shù)計數(shù)和小數(shù)細(xì)分相結(jié)合的方法。輸入 4 路正交信號,0°,180°和 90°,270°兩組信號分別送入差動放大器,經(jīng)過整形后,其中,一路信號送入DSP的QEP(正交編碼電路)中進(jìn)行辨向和可逆計數(shù),利用軟件完成大數(shù)計數(shù)的功能。另一路信號利用DSP內(nèi)置的A/D進(jìn)行信號采樣。采樣后進(jìn)行濾波處理,得到質(zhì)量較高的數(shù)字信號。然后,進(jìn)行神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)細(xì)分處理,完成小數(shù)計數(shù)的功能。最后,計算出光柵傳感器的總位移量[4]。
光柵每相對移動1條刻線,正弦信號就移動1個周期,對此正弦脈沖信號的峰值進(jìn)行計數(shù),即可獲得所測角度的大數(shù)。假設(shè)不足1個周期的角度用α'表示,則具體的角度可表示為
式(1)中,N表示為正弦波信號的周期數(shù),α'為不足1個周期的小數(shù)部分。
為了獲得更精確的α值,必須對α'進(jìn)行細(xì)分。在1個周期內(nèi),正弦函數(shù)值與相位是一一對應(yīng)的,只要測量出準(zhǔn)確的正弦函數(shù)值,就可以獲得光柵副間的相對位移量。正弦信號在π/4和3π/4附近線性很差,變化率很小,直接通過判別輸出信號的正、負(fù)和數(shù)值推算位移量會產(chǎn)生較大的誤差。為了獲得較高的測量精度,構(gòu)建新的三角波函數(shù)
并利用此函數(shù)作數(shù)字細(xì)分。函數(shù)u將1個周期的正弦信號8等分,即實(shí)現(xiàn)了八細(xì)分,如圖2所示。
圖2 八細(xì)分示意圖
只要判斷出所測角度最終位于第幾個φ/8內(nèi),即可獲得不足1周期的、精度為φ/8的角度值。判斷方法如表1所示。所測具體角度計算公式為
式(3)中,n為被測點(diǎn)所處區(qū)間,α″為不足φ/8的角度值[5]。
表1 采樣點(diǎn)所處區(qū)間判定表
圖3為BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖,分為3層。第1層為輸入層,由輸入信號源節(jié)點(diǎn)構(gòu)成。第2層為中間層(隱層),選取S型正切函數(shù)(tansig)作為神經(jīng)元上的傳遞函數(shù)。第3層為輸出層,它對輸入模式進(jìn)行響應(yīng),選取線性函數(shù)(purelin)作為輸出層的傳遞函數(shù)。根據(jù)上述細(xì)分原理,采用單輸入單輸出的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型[6]。
圖3 3層BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)圖
假定光柵莫爾條紋的輸出是標(biāo)準(zhǔn)的正弦波形,樣本輸入為u=|sinα|-|cosα|,光柵的理論輸出位移為
式(3)中,w為光柵的柵距。
選擇newcf函數(shù)作為BP網(wǎng)絡(luò)創(chuàng)建函數(shù),其指令格式為
網(wǎng)絡(luò)神經(jīng)元的數(shù)目和均方誤差是否達(dá)到要求精度與學(xué)習(xí)樣本的個數(shù)有關(guān):精度要求越高,學(xué)習(xí)樣本的數(shù)目越多,網(wǎng)絡(luò)神經(jīng)元的數(shù)目也越多,神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)也越復(fù)雜。因此,根據(jù)精度的不同要求,可以靈活設(shè)置newcf網(wǎng)絡(luò)參數(shù)。
圖4 區(qū)間樣本點(diǎn)學(xué)習(xí)結(jié)果
根據(jù)上述算法原理,隨機(jī)選取5個非樣本點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行驗(yàn)證,將理論值和實(shí)際結(jié)果進(jìn)行對比。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如表2所示,實(shí)際運(yùn)算的數(shù)值與理論值的誤差為0.001微米級,滿足系統(tǒng)設(shè)計要求。因此,運(yùn)用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)對莫爾條紋細(xì)分可獲得很高的細(xì)分精度,對于非樣本點(diǎn)數(shù)據(jù)具有很強(qiáng)的分辨力,運(yùn)用神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的泛化能力可以實(shí)現(xiàn)對光柵莫爾條紋的連續(xù)細(xì)分,提高追蹤速度。
表2 理論值與實(shí)際值對比
續(xù)表
基于BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的光柵莫爾條紋的細(xì)分方法,采用構(gòu)造函數(shù),大數(shù)計數(shù)與小數(shù)細(xì)分相結(jié)合的方法,選取合理的樣本點(diǎn),利用3層BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)(輸入層為樣本點(diǎn)對應(yīng)的函數(shù)值,輸出層為該樣本點(diǎn)對應(yīng)的1個柵距的微位移量),建立合理的神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)模型。通過非樣本點(diǎn)的數(shù)據(jù)驗(yàn)證,證明了BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的可行性。運(yùn)用BP神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)技術(shù)與DSP相結(jié)合可以實(shí)現(xiàn)光柵莫爾條紋的高倍細(xì)分,簡化硬件系統(tǒng)結(jié)構(gòu),提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性,具有廣泛的應(yīng)用前景。
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