盛美上海王暉“ 陰差陽錯”的大國工匠

張賀

截至5月5日收盤，科創(chuàng)板公司盛美上海總市值達(dá)到466億元，超過了4，900多家A股公司。但誰能想到，這家打破海外壟斷的半導(dǎo)體設(shè)備公司，卻是一個“意外”。創(chuàng)始人王暉經(jīng)歷了一次又一次“陰差陽錯”的選擇，最終成就了如今的盛美上海。而跨越中、日、美三國的求學(xué)經(jīng)歷，也讓王暉與其他半導(dǎo)體大佬有所不同。

新老朋友聚首，難免提到上學(xué)時分科或分專業(yè)的往事，再順帶暢想一下沒有經(jīng)歷的另一種人生。如果王暉遇到這個話題，或許會暢想兩次。

高考恢復(fù)第二年，王暉以貴陽四中第一的成績進入清華大學(xué)精密儀器系。但其實王暉并沒有報考清華，他第一志愿是北大物理系，第二志愿是浙大。不過因為有輕微色弱，王暉被認(rèn)為不適合學(xué)習(xí)物理。北大招生老師就把王暉推薦到清華，恰好當(dāng)年清華精密儀器系對色弱沒有限制。

就這樣，王暉從心心念念的物理專業(yè)轉(zhuǎn)到了精密儀器專業(yè)。在清華除了理論層面的學(xué)習(xí)，王暉還親自操作了車、洗、磨床等實操工序。這些都為后來的深造打下基礎(chǔ)。

1984年，王暉獲得清華大學(xué)代招的教育部公派留學(xué)日本的指標(biāo)赴日留學(xué)。不過王暉卻不得不再次換方向。原本要跟隨的東京大學(xué)精密工學(xué)科工業(yè)機器人專業(yè)教授即將退休，這名教授就將王暉推薦到大阪大學(xué)。在大阪大學(xué)安排的面試交流中，王暉放棄了工業(yè)機器人方向，改為森勇藏教授研究的半導(dǎo)體精密加工和半導(dǎo)體設(shè)備。

原本要學(xué)習(xí)物理的貴州娃，因為兩次不得已的選擇，最終在大阪大學(xué)研究起了半導(dǎo)體設(shè)備，并取得了工學(xué)碩士和博士學(xué)位，趕上了日本的半導(dǎo)體浪潮。

博士畢業(yè)后，王暉又赴美留學(xué)。1993年，王暉加入QuesterTechnology公司，從工藝工程師到研發(fā)部經(jīng)理，期間獲得6項美國專利，方向是大氣壓CVD設(shè)備及工藝。

常言道：機遇偏愛有準(zhǔn)備的人。1998年半導(dǎo)體行業(yè)的一件大事就把王暉推到了創(chuàng)業(yè)的路上。這年，IBM宣布推出世界上第一個采用銅金屬材料的微處理器，半導(dǎo)體制程工藝也由此進入銅互連時代。恰好王暉在大阪大學(xué)曾系統(tǒng)學(xué)習(xí)過精密鍍銅、電拋光等內(nèi)容，他提出可用于超薄仔晶層的多陽極局部電鍍銅（MultiAnodePartialPlating）技術(shù)，成立了ACMResearch（盛美半導(dǎo)體）。

但是任何產(chǎn)業(yè)的發(fā)展都不可能僅由某一個環(huán)節(jié)帶動。因為技術(shù)太過前沿，此時ACMResearch的無應(yīng)力銅拋光（SFP）技術(shù)還很難找到市場。王暉也一度想過賣掉ACMResearch。

不得不說，王暉總能遇到貴人相助。和中微公司的尹志堯類似，上海半導(dǎo)體的傳奇人物江上舟也找上了王暉。最終上海發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的決心打動了后者，2005年盛美上海應(yīng)運而生。有了之前的挫折，這次王暉的思路十分清晰，把市場規(guī)模更大、國產(chǎn)尚屬空白的單片清洗設(shè)備作為突破口。

2008年，盛美上海的SAPS技術(shù)研發(fā)成功，克服了傳統(tǒng)兆聲波工藝中兆聲波能量在晶圓表面分布不均勻的問題，同時還能更好地消除芯片創(chuàng)造期間互聯(lián)結(jié)構(gòu)中的殘留物和其他隨機缺陷。2015年，TEBO技術(shù)研發(fā)成功，進一步解決了傳統(tǒng)兆聲波清洗難以控制氣泡進而對晶圓表面圖形結(jié)構(gòu)造成損傷的問題。2018年研發(fā)成功的Tahoe清洗設(shè)備則在保證清洗效果的同時，可以大幅減少硫酸使用量，幫助客戶降低成本和節(jié)能減排。

無論是SAPS、TEBO還是Tahoe，均為盛美上海全球首創(chuàng)，而且市場開拓也較為順利。2009年SAPS清洗設(shè)備進入全球存儲器龍頭企業(yè)韓國海力士開展產(chǎn)品驗證，2011年公司用于12英寸45nm工藝的SAPS清洗設(shè)備首次取得海力士的正式訂單，并于2013年獲得了海力士的多臺重復(fù)訂單。

隨著產(chǎn)品獲得了國際先進客戶的認(rèn)可，盛美上海在業(yè)界打出名堂，又于2015年后順利取得了長江存儲、中芯國際及華虹集團等客戶的訂單。

有了訂單，業(yè)績自然手到擒來。2018年，盛美上海營業(yè)總收入和歸屬母公司股東凈利潤分別同比增長116.99%和751.98%。2019-2020年，雖然歸母凈利潤同比增速遠(yuǎn)不如2018年，但也都在45%以上。

除了業(yè)績水漲船高，王暉在資本市場也連連收獲。2017年ACMResearch登陸納斯達(dá)克，2021年盛美上海也在科創(chuàng)板上市。

雖然盛美上海清洗設(shè)備的國內(nèi)市占率已達(dá)到23%，全球份額也躋身前五，但清洗設(shè)備市場空間畢竟有限，只占整個半導(dǎo)體設(shè)備市場規(guī)模的6%左右。因此，對盛美上海和王暉來說，向其他設(shè)備拓展不可避免。

除了在半導(dǎo)體清洗設(shè)備繼續(xù)深耕，盛美上海的武器庫還增加了半導(dǎo)體電鍍設(shè)備、半導(dǎo)體拋銅設(shè)備、先進封裝濕法設(shè)備、立式爐管設(shè)備等，是全球少數(shù)幾家掌握芯片銅互連電鍍銅技術(shù)核心專利并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化的公司之一。曾經(jīng)因為太過前沿而難有用武之地的無應(yīng)力銅拋光（SFP）技術(shù)也隨著半導(dǎo)體工藝的進步而找到市場。

在盛美上海的營收構(gòu)成中，半導(dǎo)體清洗設(shè)備的占比從2018年的91.11%降至2022年72.34%，毛利占比也從91.76%降至71.43%。

而且這種情況還沒有停止。

2022年年報顯示，去年盛美上海在立式爐管設(shè)備、涂膠顯影Track設(shè)備、等離子體增強化學(xué)氣相沉積PECVD設(shè)備、先進封裝用金屬剝離濕法設(shè)備、新型化合物半導(dǎo)體系列濕法設(shè)備、化學(xué)機械研磨后（Post-CMP）清洗設(shè)備等取得新的突破。尤其是氣相沉積設(shè)備是半導(dǎo)體制造的三大核心設(shè)備之一，該設(shè)備的拓展為盛美上海進一步打開成長空間。

這背后自然離不開對研發(fā)的持續(xù)投入。數(shù)據(jù)顯示，2018-2022年盛美上海研發(fā)投入占營業(yè)收入的比例從未低于13%，2021年甚至達(dá)到17.18%。近兩年研發(fā)人員數(shù)量占比也在44%左右。2019-2022年，盛美上海的技術(shù)人員占比也從未低于40%，本科及以上學(xué)歷人員占比也基本維持在6成左右，2022年則提高到67.31%。

需要注意的是，在此前幾年沒有將研發(fā)投入資本化的盛美上海，2022年資本化研發(fā)投入占研發(fā)投入的比例達(dá)到11.2%，對其業(yè)績產(chǎn)生積極影響。當(dāng)然，相比去年同比增長151.08%、6.68億元的歸母凈利潤，不足5，000萬元的資本化研發(fā)投入似乎影響不大。而且同類公司中，北方華創(chuàng)和中微公司也早已將研發(fā)投入資本化。但這種突然的變化卻不能忽視。

不過，相比中微公司、兆易創(chuàng)新、芯源微、拓荊科技等半導(dǎo)體企業(yè)要么控股權(quán)捉襟見肘，要么沒有實控人，王暉的牌要好打得多。2023年一季報顯示，王暉控股的ACMResearch持有盛美上海82.5%的股權(quán)，這在整個A股都極為罕見。

翻看ACMResearch和盛美上海的發(fā)展歷史，關(guān)于融資的內(nèi)容和金額確實較少。究其原因，半導(dǎo)體設(shè)備的科班出身幫助王暉在產(chǎn)品研發(fā)上更游刃有余。而從單片清洗設(shè)備入局的單點突破和差異化競爭策略，則幫助盛美上海更快地實現(xiàn)產(chǎn)品突破和訂單積累。1998年成立的母公司ACMResearch，在21世紀(jì)初通過銷售基于無應(yīng)力銅拋光技術(shù)的工具，也使得盛美上海不至于從零開始。

而更深層的原因，則是王暉求學(xué)時兩次“陰差陽錯”的抉擇，讓他最終成了半導(dǎo)體設(shè)備的大國工匠。