曹建偉：打造半導(dǎo)體材料高端裝備強(qiáng)企

曹建偉

浙江晶盛機(jī)電股份有限公司黨委書記、董事長(zhǎng)

2006年，浙江大學(xué)的一批教授和博士懷著“半導(dǎo)體高端裝備國(guó)產(chǎn)化”夢(mèng)想，創(chuàng)立了晶盛機(jī)電，并于2012年上市。至今，公司已連續(xù)五年利稅位居中國(guó)電子專用設(shè)備行業(yè)首位，連續(xù)三屆獲中國(guó)創(chuàng)業(yè)板最具成長(zhǎng)性上市公司十強(qiáng)，已成長(zhǎng)為我國(guó)半導(dǎo)體材料及裝備的龍頭企業(yè)。

公司董事長(zhǎng)曹建偉博士帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)全面布局半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)鏈，研發(fā)了多項(xiàng)首創(chuàng)技術(shù)，補(bǔ)齊了多項(xiàng)空白短板，開發(fā)了多項(xiàng)核心裝備，實(shí)現(xiàn)了8—12英寸半導(dǎo)體大硅片核心生長(zhǎng)和加工裝備從全部依賴進(jìn)口到基本國(guó)產(chǎn)化的轉(zhuǎn)變。同時(shí)，在碳化硅、藍(lán)寶石等化合物半導(dǎo)體材料新興領(lǐng)域，從裝備制造向晶體材料深加工延伸，攻克行業(yè)“卡脖子”難題，實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體關(guān)鍵材料設(shè)備國(guó)產(chǎn)化，象牙塔里的夢(mèng)想一步步變成現(xiàn)實(shí)。

“科研是我們的強(qiáng)項(xiàng)，也是我們唯一的出路?！辈芙▊ナ冀K堅(jiān)持親手抓研發(fā)。2009年和2011年，晶盛機(jī)電分別承接了兩項(xiàng)國(guó)家科技重大02專項(xiàng)課題——“300mm硅單晶直拉生長(zhǎng)設(shè)備的開發(fā)”和“8英寸區(qū)熔硅單晶爐國(guó)產(chǎn)設(shè)備研制”，項(xiàng)目不僅順利通過(guò)專家組驗(yàn)收，還相繼研發(fā)成功連續(xù)引晶技術(shù)等多項(xiàng)國(guó)內(nèi)外領(lǐng)先技術(shù)。

“技術(shù)領(lǐng)先，規(guī)模投產(chǎn)”是曹建偉對(duì)晶盛機(jī)電研發(fā)的一貫要求。2年研發(fā)出全自動(dòng)單晶硅生長(zhǎng)爐，改變世界半導(dǎo)體材料裝備格局；7年攻關(guān)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)技術(shù)，從零開始迅速成為技術(shù)、規(guī)模絕對(duì)領(lǐng)先的行業(yè)龍頭；如今，圍繞第三代半導(dǎo)體用碳化硅，晶盛機(jī)電發(fā)起新一輪攻堅(jiān)，推動(dòng)關(guān)鍵裝備和材料的國(guó)產(chǎn)化跨越。

“我們追求做偉大的產(chǎn)品，而不是短期的利潤(rùn)。不止是做第一，而是要做絕對(duì)的第一?！辈芙▊?duì)產(chǎn)品定位有苛刻要求。2018年，全球首顆450kg藍(lán)寶石晶體面世。時(shí)隔一年，700kg級(jí)全球最大的藍(lán)寶石晶體再次被刷新紀(jì)錄，樹立了晶盛機(jī)電在藍(lán)寶石領(lǐng)域的領(lǐng)先地位。面對(duì)半導(dǎo)體用高端石英坩堝全部依賴進(jìn)口的局面，公司用3年多的時(shí)間，成功研發(fā)出12英寸晶體用的32—40英寸半導(dǎo)體級(jí)石英坩堝，再次達(dá)到技術(shù)國(guó)際先進(jìn)，實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，并實(shí)現(xiàn)了半導(dǎo)體用石英坩堝國(guó)內(nèi)市占率第一。目前，晶盛機(jī)電成功生長(zhǎng)出8英寸N型碳化硅晶體，實(shí)現(xiàn)大尺寸碳化硅晶體生長(zhǎng)和加工技術(shù)的自主可控，進(jìn)一步提升了企業(yè)在第三代半導(dǎo)體材料端的競(jìng)爭(zhēng)力。

“晶盛機(jī)電從科研起家，也必須靠科研發(fā)展壯大！”這是曹建偉堅(jiān)信的理念。近年來(lái)，晶盛機(jī)電的研發(fā)經(jīng)費(fèi)占營(yíng)業(yè)收入比例保持在5%～8%，2022年前三季度，共投入研發(fā)費(fèi)用5.1億元，同比增長(zhǎng)106.64%。

為持續(xù)推進(jìn)產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新，晶盛機(jī)電不斷加大人才引育力度，公司研發(fā)技術(shù)人員已超1000人，擁有博士20多人，其中碩士及以上人員占比近20%。曹建偉與管理團(tuán)隊(duì)研究決定，從2019年開始推進(jìn)人力資源變革和流程管理變革，實(shí)施從職能型管理向流程型管理轉(zhuǎn)變，建立了“核心增值流、業(yè)務(wù)監(jiān)控流、賦能支持流”三大類流程運(yùn)行體系，打造高效率的生產(chǎn)制造過(guò)程和裝配零缺陷的產(chǎn)品交付能力。

晶盛機(jī)電正奮力奔跑在半導(dǎo)體材料和裝備研發(fā)制造這條賽道上，為實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)自立自主自強(qiáng)貢獻(xiàn)力量。