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    硅基亞波長光柵波導(dǎo)在微波光子學(xué)中的應(yīng)用

    2022-11-09 07:15:56王俊嘉房崇寶LawrenceChen
    電子學(xué)報 2022年9期
    關(guān)鍵詞:延遲線諧振腔調(diào)制器

    王俊嘉,房崇寶,Lawrence R Chen

    (1.東南大學(xué)光傳感通信綜合網(wǎng)絡(luò)國家地方聯(lián)合工程研究中心,江蘇南京 210096;2.麥吉爾大學(xué)電子工程系,加拿大蒙特利爾 H3A 0E9)

    1 引言

    微波光子學(xué)是微波(射頻)技術(shù)和光子技術(shù)的融合產(chǎn)物[1,2].它的基本原理是利用光電子器件如光學(xué)濾波器、光學(xué)延遲線、電光調(diào)制器、光電探測器等基本元件,通過組合來完成對微波信號的產(chǎn)生、處理和傳輸.隨著電子信息系統(tǒng)向?qū)拵Щ?、陣列化和小型化不斷發(fā)展,微波光子技術(shù)由于具有光子技術(shù)大帶寬與速度快的優(yōu)點,成為解決電子系統(tǒng)面臨的速率和帶寬瓶頸的關(guān)鍵技術(shù)之一.微波光子學(xué)中對微波信號的處理包括了微波信號的延遲、相移、濾波和頻率測量等微波系統(tǒng)中常見的功能.為了達(dá)到減小系統(tǒng)尺寸、降低損耗、實現(xiàn)功能可編程及可重構(gòu)的目的,人們將傳統(tǒng)的微波光子學(xué)中多個光電器件集成到了單個芯片上.目前在微波光子集成領(lǐng)域國內(nèi)外已經(jīng)有了諸多成果和解決方案[3~10].

    硅基亞波長光柵波導(dǎo),是由間距小于波長的周期性排布的波導(dǎo)構(gòu)成[11~20].亞波長周期結(jié)構(gòu)使得衍射和折射表現(xiàn)得像均勻介質(zhì)一樣,其支持的Bloch??赏ㄟ^周期波導(dǎo)傳播,而不會產(chǎn)生由衍射或包層模式引起的損耗.亞波長光柵波導(dǎo)展示了寬帶寬、高耦合效率等優(yōu)點[21~24],基于這些優(yōu)點的器件與裝置已被設(shè)計和演示,包括耦合器[25]、偏振器[26]、偏振分束器[27]等.硅基亞波長光柵波導(dǎo)另一個重要優(yōu)點是它們允許靈活地控制復(fù)合波導(dǎo)的光學(xué)性質(zhì),基于該優(yōu)點所設(shè)計出的器件與裝置包括布拉格光柵諧振腔[11,28,29]、微環(huán)諧振腔[18,20]、真延遲線[30,31]等.這些器件可在光域內(nèi)對微波信號進(jìn)行處理,可應(yīng)用于集成微波光子系統(tǒng)中.

    本文將對基于亞波長光柵波導(dǎo)的微波光子器件的一些研究進(jìn)展進(jìn)行探討.在2.1節(jié)中介紹集成微波光子學(xué)中的亞波長光柵;在2.2節(jié)中將介紹亞波長光柵的原理;在2.3節(jié)中將介紹基于亞波長光柵的布拉格光柵濾波器;在2.4節(jié)中將介紹基于亞波長光柵微環(huán)的諧振腔和調(diào)制器;在2.5節(jié)中主要介紹基于亞波長光柵波導(dǎo)的光學(xué)延遲線.最后進(jìn)行總結(jié)與展望.

    2 原理與應(yīng)用

    2.1 集成微波光子學(xué)中的亞波長光柵

    集成微波光子系統(tǒng)一般由光源、光調(diào)制器、光信號處理器和光電探測器構(gòu)成,如圖1所示[4].入射射頻信號通過光調(diào)制器加載至光信號的邊帶,通過信號處理器加工或者修改邊帶的頻譜特性,并由光學(xué)探測器通過拍頻轉(zhuǎn)換至射頻信號.這一套系統(tǒng)具有天線重構(gòu)、射頻光子濾波、延遲、移相、光波束形成、任意波形產(chǎn)生、頻率上下轉(zhuǎn)換、微波信號產(chǎn)生和頻率測量等功能.基于亞波長光柵寬帶寬、高耦合效率、折射率可控等優(yōu)點,亞 波 長 光 柵 可 用 于 實 現(xiàn) 光 源 的 耦 合[32~35],光 調(diào) 制器[36,37],信號處理中的濾波、延遲、波束形成等功能.本文著重討論亞波長光柵調(diào)制、濾波和延遲.

    圖1 集成微波光子系統(tǒng)示意圖

    2.2 亞波長光柵原理

    一般情況下,一維周期結(jié)構(gòu)包括折射率分別為n1和n2的平板介質(zhì),可以被用作衍射光柵.Rytov發(fā)現(xiàn)[38],當(dāng)光柵周期遠(yuǎn)小于光的波長時,亞波長光柵在光學(xué)范疇內(nèi)會等價于一個垂直于層的單軸晶體,如圖2(a)所示.光柵結(jié)構(gòu)的色散關(guān)系如圖2(b)所示:當(dāng)頻率在輻射區(qū)域,光波經(jīng)過光柵被散射到外界;當(dāng)頻率在布拉格反射區(qū)域,依然沒有導(dǎo)波模式存在,光波由于反射損耗指數(shù)型增加;當(dāng)頻率在亞波長區(qū)域,周期性的波導(dǎo)可以支持Floquet-Bloch模無損傳輸,其對應(yīng)模場分布如圖2(c)所示[39].入射在光柵上的光具有平行或垂直于周期性結(jié)構(gòu)的電場偏振,并且相應(yīng)的等效折射率分別為

    圖2 亞波長光柵原理圖[43]

    這里a是材料折射率為n1的平板介質(zhì)的寬度,Λ是光柵的周期,λ是光波長.這種將光柵結(jié)構(gòu)視為等效均勻材料的處理方法也被稱為有效介質(zhì)理論[40,41].值得注意的是,等效結(jié)構(gòu)的折射率是偏振敏感的.亞波長光柵結(jié)構(gòu)的原理已被揭示,亞波長光柵在集成光學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用在過去的幾年里受到廣泛關(guān)注[42,43].

    在通信波段的亞波長光柵結(jié)構(gòu),周期需要滿足的條件為Λ<ΛBragg≈300 nm,正好在電子束光刻和深紫外光刻條件范圍內(nèi).由于在更長的波長條件下,對尺寸的限制條件更低,因此亞波長光柵結(jié)構(gòu)也可被應(yīng)用于中紅外光范圍[44,45].目前,硅基亞波長光柵波導(dǎo)可以通過周期性排列硅和二氧化硅來實現(xiàn).為了配合CMOS工藝,亞波長光柵波導(dǎo)高度一般為220 nm,氧化硅掩埋層為2~3 μm,被2 μm的氧化硅包層所覆蓋[46].亞波長光柵波導(dǎo)的小尺寸、結(jié)構(gòu)簡單、低非線性[47]、易于加工、易于集成等優(yōu)勢和硅成熟的工藝平臺結(jié)合為高性能光電器件提供了良好的支持.

    2.3 基于亞波長光柵的布拉格光柵濾波器

    布拉格光柵是應(yīng)用于微波光子信號處理系統(tǒng)的常用設(shè)備,提供濾波、分插復(fù)用以及色散補償?shù)裙δ?布拉格光柵基于折射率的周期性變化,因此布拉格光柵可以通過折射率可調(diào)的亞波長光柵波導(dǎo)構(gòu)成.

    Wang等人[11]基于絕緣硅平臺設(shè)計了亞波長光柵布拉格光柵,他們利用交錯的2個亞波長光柵波導(dǎo)形成布拉格光柵.他們定義2個亞波長光柵波導(dǎo)的占空比分別為D1=a Λ1,D2=a Λ2,所以亞波長光柵布拉格光柵的周期變成了Λ1+Λ2,通過改變這2個亞波長光柵波導(dǎo)的占空比,可以得到有效折射率的周期變化并因此可以獲得布拉格反射,如圖3所示.本文通過仿真證明隨著占空比D2的變大,布拉格波長以及不同Bloch模式下的光柵折射率都在變大.

    圖3 亞波長光柵布拉格光柵圖[11]

    Pereira-Martín等人[48]隨后提出了一種基于包層調(diào)制亞波長光柵的復(fù)雜光譜濾波器,結(jié)構(gòu)如圖4(a)和(b)所示.本文研究了2種邊帶調(diào)制亞波長光柵結(jié)構(gòu),一種是硅波導(dǎo)芯,另一種是亞波長光柵波導(dǎo)芯,測試結(jié)果如圖4(c)和(d)所示.這項工作基于先前提出的亞波長光柵布拉格光柵,同時加入邊帶實現(xiàn)精細(xì)調(diào)控可用作任意光譜濾波器,為后續(xù)集成頻譜整形和任意波形產(chǎn)生提供了新方案.

    圖4 基于包層調(diào)制亞波長光柵的復(fù)雜光譜濾波器[48]

    表1總結(jié)了基于亞波長光柵布拉格光柵濾波器的部分成果[48~50].由表1可以看出,目前亞波長光柵布拉格光柵濾波器的品質(zhì)因子達(dá)到了105級別,線寬達(dá)到10.97 pm,優(yōu)于傳統(tǒng)硅基布拉格光柵,后續(xù)想要進(jìn)一步提高,需要在材料和工藝方面尋求突破.

    表1 亞波長布拉格光柵濾波器相關(guān)成果

    2.4 亞波長光柵微環(huán)諧振腔和調(diào)制器

    除了布拉格光柵,環(huán)形諧振腔也可以實現(xiàn)濾波和色散補償?shù)裙δ?亞波長光柵波導(dǎo)可直接構(gòu)成亞波長光柵環(huán)形諧振腔.圖5(a)為Wang等人[11]提出的亞波長光柵環(huán)形諧振腔的示意圖.其中環(huán)形波導(dǎo)和直波導(dǎo)的間隙g為640 nm,亞波長光柵波導(dǎo)的周期Λ為300 nm.圖5(b)是2.5D FDTD仿真的電場分布結(jié)果,可以看出亞波長環(huán)形諧振腔的工作原理與傳統(tǒng)環(huán)形諧振器類似,即光耦合到腔中并在腔中循環(huán),區(qū)別在于模式的不同.亞波長光柵在波導(dǎo)和環(huán)的區(qū)域內(nèi)都是Bloch模.制備出的亞波長光柵環(huán)形諧振腔如圖5(c)所示.圖5(d)~(f)顯示了具有不同環(huán)半徑的亞波長光柵環(huán)形諧振腔的實驗結(jié)果,并在表2中總結(jié)了這些結(jié)果.從表2可知,較大的環(huán)導(dǎo)致較小的自由光譜范圍(FSR).諧振峰的品質(zhì)因子Q值(定義為λ0/Δλ,其中λ0是諧振的中心波長,Δλ是相應(yīng)的3 dB帶寬)和消光比(ER)取決于損耗,而損耗取決于亞波長光柵波導(dǎo)的占空比和彎曲半徑.為了進(jìn)一步改善消光比,Wang等人設(shè)計了跑道型亞波長光柵環(huán)形諧振腔,最后得到了33 dB的消光比,詳見文獻(xiàn)[51].

    圖5 亞波長光柵微環(huán)諧振腔和調(diào)制器[11]

    表2 不同半徑的亞波長光柵微環(huán)諧振腔

    為了進(jìn)一步提高品質(zhì)因子,Wang等人[52]提出了梯形硅柱形成的不對稱結(jié)構(gòu),如圖6所示.該結(jié)構(gòu)利用了梯形硅柱的結(jié)構(gòu)可有效控制傳播模場,增加內(nèi)環(huán)模場分量,從而可以顯著降低外環(huán)彎曲損耗.該結(jié)構(gòu)代替了傳統(tǒng)的矩形硅柱制備出了半徑為5 μm的亞波長光柵環(huán)形諧振腔,將傳輸損耗大幅降低到6.07 dB/cm,使其Q值最高達(dá)到45 000.

    圖6 梯形硅柱形成的不對稱結(jié)構(gòu)[52]

    基于亞波長光柵環(huán)形諧振腔,Pan等人[53]提出了一種電光聚合物滲透的高速調(diào)制器,如圖7所示.亞波長光柵波導(dǎo)的Bloch模式與電光聚合物大面積重疊,優(yōu)化后可達(dá)到36.2%.該調(diào)制器的3 dB調(diào)制帶寬大于40 GHz,能耗低于26 fJ/bit,為硅基調(diào)制器提供了新方案.

    圖7 電光聚合物滲透的高速調(diào)制器[53]

    目前亞波長光柵環(huán)形諧振腔的品質(zhì)因子高于布拉格光柵,同時具備高速可調(diào)諧特性.通過此類濾波器/調(diào)制器進(jìn)行頻譜整形,可在光域中進(jìn)行信號處理,從而獲得低損耗、高帶寬、不受電磁干擾的微波信號.

    2.5 亞波長光柵延遲線

    光學(xué)延遲線是集成微波光子信號處理的重要模塊,被廣泛應(yīng)用于移相控制中.高延遲、連續(xù)可調(diào)諧、較寬的運行帶寬以及低損耗都是光學(xué)延遲線的重要需求[54].

    Wang等人[30]提出了基于亞波長光柵不同有效折射率、相同長度波導(dǎo)陣列的集成光學(xué)真延遲線,如圖8所示.該器件相比于傳統(tǒng)波長可變延遲線具有更大的運行帶寬,超過幾十太赫茲,可以用于超寬帶寬光信號.如圖8(e)所示,觀察到的光譜具有9 nm的周期性特征,對應(yīng)于9 ps的時間延遲增量.為了進(jìn)一步證實研究時間延遲的增量,Wang等人在Mach-Zehnder干涉儀每個臂上設(shè)有不同占空比的亞波長光柵波導(dǎo)(圖8(e)).通過測量光譜響應(yīng),可證實亞波長光柵延遲線可獲得亞皮秒的分辨率.該工作給硅基延遲線的發(fā)展提供了新思路.

    圖8 集成光學(xué)真延遲線[30]

    Sun等人[55]提出了一種基于亞波長光柵啁啾布拉格光柵做成的光學(xué)延遲線.其通過串聯(lián)10個亞波長光柵布拉格光柵形成了階梯式啁啾來實現(xiàn)延遲線,如圖9所示.與先前的結(jié)構(gòu)相比,該設(shè)計可以通過調(diào)節(jié)負(fù)載部分的間隙來控制帶寬和布拉格波長.該器件測試得出6 ps的步進(jìn)延遲和41.7 nm的總帶寬以及60 ps的總延遲,結(jié)果如圖9(b)和圖9(c)所示.該研究中所設(shè)計出的亞波長光柵啁啾布拉格光柵光學(xué)延遲線在運行帶寬和延遲范圍之間取得了較好的平衡.同時該研究也展示了典型應(yīng)用示范,即相控陣天線的光波束形成,如圖9(d)所示.同時,該課題組的Wang等人[56]設(shè)計了一種基于亞波長光柵波導(dǎo)且折射率可變的光學(xué)延遲線.該設(shè)計利用彎曲的結(jié)構(gòu)節(jié)省了空間,在緊湊的空間內(nèi)實現(xiàn)了高延遲性能.

    圖9 基于亞波長光柵啁啾布拉格光柵做成的光學(xué)延遲線[55]

    3 結(jié)論與展望

    本文主要介紹了集成微波光子學(xué)中的硅基亞波長光柵波導(dǎo)濾波器、調(diào)制器和光學(xué)延遲線.對于濾波器,這里主要介紹了亞波長布拉格光柵以及亞波長光柵環(huán)形諧振腔2種亞波長光柵濾波器.亞波長光柵布拉格光柵通過改變其占空比或邊帶形貌來調(diào)整布拉格波長和線寬;亞波長光柵環(huán)形諧振腔亦是通過占空比和形貌等參數(shù)優(yōu)化以獲得較高的品質(zhì)因子;基于亞波長光柵環(huán)形諧振腔滲入光學(xué)聚合物可形成高速光調(diào)制器;而光學(xué)延遲線,則是通過改變其亞波長光柵波導(dǎo)的占空比和形貌來控制時間延遲,以獲得自由度更高的調(diào)控.

    與傳統(tǒng)的硅基集成微波光子學(xué)中的濾波器、調(diào)制器和光學(xué)延遲線相比,由硅基亞波長光柵波導(dǎo)構(gòu)成的濾波器、調(diào)制器和光學(xué)延遲線具有更靈活、更高可調(diào)諧性和理論上更低損耗等特性.雖然硅基亞波長光柵波導(dǎo)的優(yōu)勢十分明顯,但仍有不足.亞波長光柵波導(dǎo)在制備工藝、結(jié)構(gòu)、材料、尺寸等方面仍需優(yōu)化.在制備工藝方面,現(xiàn)有工作大部分依賴電子束曝光,未來需要進(jìn)一步結(jié)合CMOS工藝平臺參數(shù),設(shè)計合理的器件建構(gòu),例如使用邊帶調(diào)制,從而實現(xiàn)系統(tǒng)級集成微波光子應(yīng)用.在材料方面,絕緣硅并非唯一選擇,未來可以考慮氮化硅、鈮酸鋰等材料.

    硅基亞波長光柵波導(dǎo)構(gòu)成的濾波器和光學(xué)延遲線還在不斷發(fā)展中,相信在不久的將來,硅基亞波長光柵波導(dǎo)在微波光子學(xué)中的應(yīng)用會更加廣泛,由其構(gòu)成的微波光子器件的性能也會變得越來越好.

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