• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    三頻容性耦合氮等離子體中N2和N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度和振動(dòng)溫度試驗(yàn)

    2022-05-13 01:38:02吳集盾周峰竹黃曉江
    關(guān)鍵詞:容性等離子體射頻

    鄭 浩,吳集盾,周峰竹,黃曉江,b,c

    (東華大學(xué) a.理學(xué)院,b.磁約束核聚變教育部研究中心,c.紡織行業(yè)先進(jìn)等離子體技術(shù)與應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海 201620)

    隨著半導(dǎo)體工藝的發(fā)展,容性耦合等離子體源要求腔室尺寸越來(lái)越大,射頻電源頻率越來(lái)越高,波長(zhǎng)越來(lái)越小,當(dāng)電磁波的波長(zhǎng)與腔室尺寸接近時(shí),會(huì)產(chǎn)生電磁效應(yīng)(如駐波效應(yīng)、邊緣效應(yīng)等),這些電磁效應(yīng)對(duì)等離子體的放電特性有重要影響,從而影響薄膜沉積和刻蝕過(guò)程[1]。Zhao等[2]對(duì)高頻(high frequency,HF)驅(qū)動(dòng)的容性耦合等離子體開(kāi)展了試驗(yàn)研究,利用全懸浮雙探針和高頻磁探針結(jié)合非線性傳輸線電磁模型,在試驗(yàn)過(guò)程中觀察到由高次諧波引起的駐波效應(yīng)。高次諧波的激發(fā)隨著氣壓的增加而受到抑制,因此等離子體徑向均勻性得到改善。Zhao等[3]進(jìn)一步研究了在雙頻(30和60 MHz)放電中隨著兩驅(qū)動(dòng)電壓波形之間相位差的改變,電非對(duì)稱(chēng)效應(yīng)對(duì)非線性駐波的影響。通過(guò)控制雙頻容性耦合等離子體(dual-frequency capatively coupled plasma,DF-CCP)中HF、低頻(low frequency,LF)電源參數(shù),可以相對(duì)獨(dú)立地調(diào)控離子通量和離子轟擊能量,因此DF-CCP在刻蝕和薄膜沉積工藝中得到了廣泛的應(yīng)用。由于頻率耦合[4-5]以及二次電子[6]的影響,雙頻容性耦合放電中基片上離子通量和離子轟擊能量的獨(dú)立控制存在一定的局限性。近年來(lái)有學(xué)者[8-9]致力于研究電非對(duì)稱(chēng)效應(yīng),即放電由一個(gè)基頻(13.56 MHz)和其諧頻(27.12 MHz)共同驅(qū)動(dòng),通過(guò)調(diào)控2個(gè)頻率之間的相位差,進(jìn)而控制自偏壓和平均鞘層電壓,以此實(shí)現(xiàn)離子通量和能量的獨(dú)立控制。文獻(xiàn)[9-10]研究發(fā)現(xiàn),非正弦剪裁電壓波形是另一種實(shí)現(xiàn)這種獨(dú)立控制的有效方式,不對(duì)稱(chēng)的鋸齒形電壓波形可以調(diào)控到達(dá)電極上的離子能量分布,而對(duì)離子通量的影響較小,另外增加諧波數(shù)目可控制等離子體密度以及離子通量。

    目前LAM公司的CCP Flex系列從下電極板配備2個(gè)不同頻率射頻源,升級(jí)為3個(gè)不同頻率射頻源,在HF和LF之間加入了中頻(intermediate frequency,IF),改善了放電過(guò)程中的離子能量分布和其均勻性[1]。目前刻蝕工藝中的三頻放電技術(shù),即新增一個(gè)射頻電源使之成為三頻容性耦合等離子體(triple-frequency capatively coupled plasma,TF-CCP),可以更靈活地調(diào)控等離子體放電特性,但相關(guān)的研究報(bào)道還非常少,因此,掌握外部參數(shù)對(duì)等離子體性質(zhì)的影響,對(duì)了解TF-CCP的物理機(jī)制具有重要意義。

    由于多個(gè)不同頻率的射頻電源加入放電過(guò)程可以使CCP具有更多外部可調(diào)節(jié)參數(shù),近年來(lái)不少學(xué)者對(duì)TF-CCP開(kāi)展了研究。Wu等[12]建立了一個(gè)分析模型預(yù)測(cè)DF-CCP和TF-CCP放電中的離子能量分布函數(shù)(ion energy distribution functions,IEDFs),該模型的預(yù)測(cè)結(jié)果與粒子模擬結(jié)果吻合較好。Kawamura等[13]采用快速二維流體解析模型模擬HF在TF-CCP放電過(guò)程中對(duì)等離子體均勻性的影響,結(jié)果表明,添加HF源有效地改善了放電過(guò)程中等離子體的徑向均勻性。Sharma等[14]結(jié)合解析模型和粒子模擬,研究發(fā)現(xiàn)可以通過(guò)調(diào)控IF電源來(lái)控制電極上的IEDFs。Chen等[15]提出一種快速半解析方法來(lái)研究HF電流密度在TF-CCP中的作用,隨著HF電流密度的上升,IEDFs中的平均離子能量減少而能量展寬變窄。

    現(xiàn)有研究主要關(guān)注于CCP放電過(guò)程中電子密度(ne)與電子溫度(Te)的檢測(cè),除了CCP中的ne與Te等相關(guān)參數(shù)之外,分子和離子的溫度同樣可以影響等離子體的放電過(guò)程[16]。本文采用光譜擬合的方法測(cè)量了TF-CCP中氮分子離子(N2+)與氮分子(N2)的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度(Tr)與振動(dòng)溫度(Tv)。研究了HF、IF和LF射頻電源分別對(duì)Tr與Tv的影響。

    1 光譜擬合

    N2或N2+的發(fā)射光譜是粒子從較高的能級(jí)向較低能級(jí)躍遷產(chǎn)生的[20]。在同一個(gè)電子態(tài)上,振轉(zhuǎn)光譜帶來(lái)自不同振轉(zhuǎn)態(tài)之間的躍遷,而每一個(gè)振動(dòng)態(tài)的躍遷同時(shí)又包含了許多轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)的躍遷,其中某些轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)的躍遷因?yàn)槭芄庾V儀分辨率的限制而不能被光譜儀分辨出來(lái)[20]。但可以通過(guò)擬合一個(gè)振動(dòng)峰來(lái)得到Tr,而Tv則可以通過(guò)擬合一系列振轉(zhuǎn)譜帶來(lái)獲得。

    假設(shè)粒子的轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)和振動(dòng)態(tài)都呈麥克斯韋-波爾茲曼分布,每種粒子有單一的Tr和Tv,則根據(jù)文獻(xiàn)[20]相應(yīng)能級(jí)輻射的線強(qiáng)度可以表示為

    (1)

    式中:D為對(duì)應(yīng)于某個(gè)輻射的比例常數(shù);λ為輻射對(duì)應(yīng)的波長(zhǎng),由相應(yīng)的能級(jí)躍遷計(jì)算得到,N2和N2+的計(jì)算波長(zhǎng)的參數(shù)主要采用文獻(xiàn)[18]中的數(shù)值;K為波爾茲曼常數(shù);q為弗蘭克-康登因子,即各個(gè)振動(dòng)態(tài)強(qiáng)度的比例因子,N2與N2+的弗蘭克-康登因子采用文獻(xiàn)[23]中的數(shù)值;S為霍爾-倫敦因子,即各個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)強(qiáng)度的比例因子,N2的霍爾-倫敦因子采用文獻(xiàn)[11]中的數(shù)值,N2+的霍爾-倫敦因子由文獻(xiàn)[22]給出;Ez為輻射前振動(dòng)能級(jí)的振動(dòng)能;EJ為輻射前轉(zhuǎn)動(dòng)能級(jí)的轉(zhuǎn)動(dòng)能。

    其中,Ez表達(dá)式為

    Ez=hcye(z+0.5)-hcyexe(z+0.5)2

    (2)

    式中:z為振動(dòng)量子數(shù);h為普朗克常數(shù);c為光速;ye和yexe均為N2或N2+的振動(dòng)態(tài)常數(shù),兩者均由文獻(xiàn)[22]給出。

    EJ表達(dá)式為

    EJ=hcBv=J(J+1)

    (3)

    式中:J為轉(zhuǎn)動(dòng)量子數(shù),Bv為N2或N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)常數(shù),均由文獻(xiàn)[22]給出。

    譜帶的強(qiáng)度分布受每個(gè)轉(zhuǎn)動(dòng)峰展寬的影響。本文根據(jù)文獻(xiàn)[11],采用Phillips提出的綜合了各種展寬效應(yīng)在內(nèi)的有限展寬函數(shù)來(lái)描述轉(zhuǎn)動(dòng)峰的展寬,如式(4)所示

    (4)

    式中:Δλ為與轉(zhuǎn)動(dòng)峰中心波長(zhǎng)的波長(zhǎng)差;a為常數(shù),其值可采用文獻(xiàn)[11]中的數(shù)值;F為轉(zhuǎn)動(dòng)峰的半高寬,峰寬度展開(kāi)到±Fa1/2,其值可采用文獻(xiàn)[20]中的數(shù)值。在計(jì)算過(guò)程中,N2和N2+轉(zhuǎn)動(dòng)態(tài)的量子數(shù)J從0計(jì)算到40,根據(jù)躍遷定則,每一個(gè)J所對(duì)應(yīng)的P、Q和R 3個(gè)分支,再對(duì)所有J對(duì)應(yīng)的轉(zhuǎn)動(dòng)峰疊加后得到了一個(gè)振動(dòng)峰[20]。

    采用Python 3編寫(xiě)了可視化的光譜測(cè)溫軟件MTO(measuring temperature by OES),此程序?yàn)閃indows 64位可執(zhí)行程序(免安裝),可對(duì)N2(C-B)、N2+(B-X)或兩者同時(shí),以及OH(A-X)等的發(fā)射光譜的試驗(yàn)數(shù)據(jù)進(jìn)行擬合,獲得這些粒子的Tr或Tv。在DF-CCP低頻2 MHz功率80 W、高頻27.12 MHz功率10 W、氣壓1.5 Pa條件下,氮?dú)夥烹姇r(shí)所采集的386.0~400.5 nm的發(fā)射光譜圖與使用MTO軟件進(jìn)行擬合。

    N2和N2+的光譜測(cè)量結(jié)果與擬合結(jié)果如圖1所示。由圖1可知,得到的擬合結(jié)果是N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr為291 K,N2的振動(dòng)溫度Tv為2 548 K,N2+的Tr為378 K,N2+的Tv為1686 K,標(biāo)準(zhǔn)差為0.063 74,相關(guān)度為0.994 22。

    圖1 N2和N2+的光譜測(cè)量結(jié)果與擬合結(jié)果Fig.1 N2 and N2+ spectrum measurement results and fitting results

    2 試驗(yàn)裝置

    本文在試驗(yàn)中所使用的多頻CCP放電裝置及診斷系統(tǒng)的示意圖如圖2所示。其中,不銹鋼真空腔的直徑為200 mm和高度為180 mm,內(nèi)部有兩個(gè)大小相同的圓板形鋁電極,其直徑為50 mm,平行放置在真空腔體中,兩個(gè)電極之間的距離固定為30 mm。抽真空系統(tǒng)中,采用一臺(tái)機(jī)械泵(1 420 r/min)與一臺(tái)渦輪分子泵(30 000 r/min)聯(lián)合抽氣,腔內(nèi)的氣壓可抽至10-3Pa。

    圖2 三頻容性耦合等離子體CCP裝置及診斷系統(tǒng)Fig.2 Triple-frequency capacitive coupling plasma device and diagnostic system

    在三頻放電中,頻率為13.56與2.00 MHz的兩個(gè)射頻電源先分別通過(guò)各自的匹配器,再一起接入自制的混頻器,最后連接到頂部電極,另一個(gè)頻率為27.12 MHz的射頻電源通過(guò)匹配器后施加到底部電極。本文中提到的功率均為射頻電源的輸出功率與反射功率的差,其反射功率均調(diào)節(jié)到3 W以?xún)?nèi)。

    等離子體放電過(guò)程中,多個(gè)射頻電源同時(shí)使用且功率較高時(shí),電極會(huì)產(chǎn)生大量熱量。因此,兩個(gè)電極需持續(xù)使用水冷系統(tǒng)進(jìn)行降溫,既防止設(shè)備過(guò)熱造成試驗(yàn)器件損壞,又避免因溫度過(guò)高產(chǎn)生干擾而影響試驗(yàn)數(shù)據(jù),保證試驗(yàn)條件穩(wěn)定。

    發(fā)射光譜儀OES(Avaspec-2048TEC)通過(guò)透鏡和光纖連接到腔體側(cè)面窗口,其分辨率為0.13 nm,可檢測(cè)的波長(zhǎng)范圍為200~900 nm。等離子體放電時(shí),OES選取絕對(duì)輻射模式,沿放電中平面診斷發(fā)射光譜。

    3 結(jié)果與討論

    本試驗(yàn)中,電極間距固定在30 mm,純氮(99.995%)通過(guò)質(zhì)量流量控制器控制在10 mL/min,氣壓固定在1.5 Pa,放電時(shí)打開(kāi)循環(huán)水冷系統(tǒng)對(duì)電極進(jìn)行水冷。在雙頻放電中,射頻電源分別通過(guò)單獨(dú)的匹配器連接到底部電極與頂部電極。在三頻放電中,IF頻率為13.56 MHz與LF頻率為2.00 MHz的兩個(gè)電源先分別通過(guò)各自的匹配器,再一起接入自制的混頻器,最后連接到頂部電極。另一個(gè)HF頻率為27.12 MHz的電源通過(guò)匹配器后施加到底部電極。發(fā)射光譜診斷系統(tǒng)連接到腔體上的左側(cè)的窗口,同時(shí)保持透鏡高度在兩個(gè)電極的中間。

    N2和N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr與其平動(dòng)溫度平衡所需的弛豫時(shí)間非常短,因此,通過(guò)測(cè)量三頻容性耦合氮等離子體中Tr的變化可以估計(jì)等離子體中氣體宏觀溫度的變化。

    三頻容性耦合氮等離子體中N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr分別隨著不同頻率射頻源的功率變化如圖3所示。由圖3可知,隨著HF、IF和LF功率的增加,N2的Tr均隨之升高。其中HF的作用最為明顯,當(dāng)PIF和PLF均固定在50 W,PHF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tr從303 K上升至367 K;IF次之,當(dāng)PHF和PLF均固定在50 W,PIF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tr從318 K上升至350 K;影響最小的是LF,當(dāng)PHF和PIF均固定在50 W,PLF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tr從321 K上升至340 K。由此說(shuō)明,HF使等離子體發(fā)熱最為明顯,而LF功率的增加對(duì)等離子體的加熱作用較小,IF居于兩者之間。

    圖3 N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨著不同頻率射頻源的功率變化Fig.3 Rotational temperatures (Tr)of nitrogen molecule (N2) as a function of different power,respectively

    文獻(xiàn)[11]的研究如式(5)所示,等離子體中的電子密度ne與電源角頻率ω的平方和射頻電源偏壓V的乘積成正比。在多頻放電過(guò)程中HF更能有效地影響等離子體中的電子密度ne,而LF對(duì)ne的影響就遠(yuǎn)不如HF的明顯。等離子體密度提高了之后各種粒子之間的碰撞加劇,從而導(dǎo)致溫度的升高。與圖3中的試驗(yàn)結(jié)果和結(jié)論相吻合。

    ne∝ω2V

    (5)

    三頻容性耦合氮等離子體中N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr分別隨著HF、IF和LF功率的變化如圖4所示。由圖4可知:當(dāng)PIF和PLF均固定在50 W,PHF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tr從403 K上升至453 K;當(dāng)PHF和PLF均固定在50 W,PIF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tr從420 K上升至443 K;當(dāng)PHF和PIF均固定在50 W,PLF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tr從414 K上升至432 K。N2+的Tr隨HF、IF和LF功率的變化與圖3中N2的Tr有類(lèi)似的趨勢(shì),但整體上N2+的Tr比N2的Tr高約100 K。N2+的平動(dòng)溫度比N2的平動(dòng)溫度高,說(shuō)明離子在一定程度上能被等離子體中的電場(chǎng)加熱。

    圖4 N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨著不同頻率射頻源的功率變化Fig.4 Rotational temperatures (Tr)of nitrogen molecule ion (N2+) as a function of different power,respectively

    三頻容性耦合氮等離子體中N2的振動(dòng)溫度Tv隨著HF、IF和LF功率的變化如圖5所示。由圖5可知:當(dāng)PIF和PLF均固定在50 W,PHF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tv從2 539 K上升至3 050 K;當(dāng)PHF和PLF均固定在50 W,PIF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tv從2 825 K略下降至2 696 K;當(dāng)PHF和PIF均固定在50 W,PLF從10 W增加到120 W時(shí),N2的Tv在2 760 K左右基本保持不變。N2的Tv隨HF功率的增加而上升的趨勢(shì)非常明顯,而隨IF和LF功率的變化并不明顯,基本保持不變或略有下降。由此表明,HF功率的增加有助于提高N2的化學(xué)活性并有利于其分解,而IF和LF功率對(duì)N2的化學(xué)活性影響較小。

    圖5 N2的振動(dòng)溫度Tv隨著不同頻率射頻源的功率變化Fig.5 Vibrational temperatures (Tv)of nitrogen molecule (N2) as a function of different power,respectively

    三頻容性耦合氮等離子體中N2+的振動(dòng)溫度Tv隨著HF、IF和LF功率的變化如圖6所示。由圖6可知:當(dāng)PIF和PLF均固定在50 W,PHF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tv從1 813 K上升至2 519 K;當(dāng)PHF和PLF均固定在50 W,PIF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tv從2 185 K下降至1 927 K;當(dāng)PHF和PIF均固定在50 W,PLF從10 W增加到120 W時(shí),N2+的Tv從2 348 K下降至1 910 K。N2+的Tv隨HF功率的增加而上升的趨勢(shì)非常明顯,與N2的Tv隨HF的變化趨勢(shì)基本一致,而隨IF或LF功率的增加而有所下降。由此表明,HF功率的增加也有利于提高N2+的化學(xué)活性并有利于其分解,而IF和LF功率的增加能一定程度上降低N2+的化學(xué)活性。HF功率的提高能夠更有效地提高等離子體密度并降低電子溫度,從而產(chǎn)生更多低能電子,而IF和LF功率的增加不有利于產(chǎn)生能使N2+振動(dòng)激發(fā)的低能電子。

    圖6 N2+的振動(dòng)溫度Tv隨著不同頻率射頻源的功率變化Fig.6 Vibrational temperatures (Tv)of nitrogen molecule ion (N2+) as a function of different power,respectively

    振動(dòng)溫度與該振動(dòng)態(tài)粒子的密度(nv)有關(guān)可以表示為[20]

    nv=nengkv(Te)

    (6)

    式中:ne為電子密度;ng為基態(tài)的密度;kv為振動(dòng)激發(fā)反應(yīng)的速率系數(shù),kv是電子溫度Te的函數(shù)。

    振動(dòng)溫度隨該振動(dòng)態(tài)粒子相對(duì)數(shù)量R(R=nv/ng)的增加而上升。從式(6)可以看出,振動(dòng)態(tài)粒子相對(duì)數(shù)量R正比于ne和kv。HF功率的增加一方面能夠更有效地提高電子密度,另一方面能降低電子溫度,產(chǎn)生更多低能電子,同時(shí)驗(yàn)證了上文在分析圖3時(shí)的結(jié)論。而在低氣壓下,N2的振動(dòng)激發(fā)主要來(lái)源于低能電子(2 eV左右)的碰撞,即較低的電子溫度有利于振動(dòng)激發(fā)率的提高。

    當(dāng)IF和LF總功率(PIF和PLF的和為80 W)保持不變時(shí),N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨HF功率的變化如圖7所示。PHF在不同的條件下均從10 W增加至120 W。條件分別為:PLF固定在80 W(中頻IF電源為關(guān)閉狀態(tài));PIF固定在20 W,PLF固定在60 W;PIF為40 W且PLF為40 W。這意味著這3種情況中,IF和LF功率之和保持在80 W不變,在相同的HF功率情況下,TF-CCP的總功率也是保持不變的。由圖7可知,N2的Tr均隨著HF的升高而上升,在總功率固定時(shí)IF的增加容易導(dǎo)致N2的Tr上升,這說(shuō)明了IF的加入容易導(dǎo)致等離子體發(fā)熱。

    圖7 IF和LF總功率保持不變,N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨HF功率的變化Fig.7 Rotational temperatures (Tr)of nitrogen molecule (N2)as a function of the HF power when the total of IF and LF power is kept constant

    當(dāng)IF和LF總功率保持不變時(shí),N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨HF功率的變化如圖8所示。3種條件下PHF均從10 W增加至120 W,條件分別為:PLF固定在80 W(中頻IF電源為關(guān)閉狀態(tài));PIF固定在20 W,PLF固定在60 W;PIF為40 W且PLF為40 W。由圖8可知,這3種情況下N2+的Tr隨著HF功率的升高而上升,同時(shí)IF占總功率的比例增加也更容易導(dǎo)致N2+的Tr上升,并且從整體上看N2+的Tr比N2的Tr更高一些。

    圖8 IF和LF總功率保持不變,N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度Tr隨HF功率的變化Fig.8 The rotational temperatures (Tr)of nitrogen molecule ion (N2+)as a function of the HF power when the total of IF and LF power is kept constant

    當(dāng)IF和LF總功率保持不變時(shí),N2的振動(dòng)溫度Tv隨HF功率的變化如圖9所示。條件分別為:在PLF固定在80 W(中頻IF電源為關(guān)閉狀態(tài));PIF固定在20 W,PLF固定在60 W;PIF為40 W且PLF為40 W。由圖9可知,這3種情況下當(dāng)PHF均從10 W增加至120 W時(shí),N2的Tv都隨HF功率的增加而上升。但因?yàn)镹2的Tv隨IF和LF功率的變化并不明顯,所以IF功率的增減對(duì)N2的Tv影響非常之小,3條曲線基本重合。說(shuō)明IF的加入能基本不改變N2的化學(xué)活性。

    圖9 IF和LF總功率保持不變,N2的振動(dòng)溫度Tv隨HF功率的變化Fig.9 The vibrational temperatures (Tv)of nitrogen molecule (N2)as a function of the HF power when the total of IF and LF power is kept constant

    當(dāng)IF和LF總功率保持不變時(shí),N2+的振動(dòng)溫度Tv隨HF功率的變化如圖10所示。條件分別為:PLF固定在80 W(中頻IF電源為關(guān)閉狀態(tài));PIF固定在20 W,PLF固定在60 W;PIF為40 W且PLF為40 W。由圖10可知,這3種情況下當(dāng)PHF均從10 W增加至120 W時(shí),N2+的Tv也都隨HF功率的增加而上升,但其上升趨勢(shì)隨IF和LF功率的變化有所下降,這說(shuō)明隨著IF功率的增加會(huì)降低N2+的Tv。這印證了上文在分析圖6中得出的結(jié)論,同時(shí)也說(shuō)明了IF功率的加入與加強(qiáng)能一定程度上降低N2+的化學(xué)活性。

    圖10 IF和LF總功率保持不變,N2+的振動(dòng)溫度Tv隨HF功率的變化Fig.10 The vibrational temperatures (Tv)of nitrogen molecule ion (N2+)as a function of the HF power when the total of IF and LF power is kept constant

    4 結(jié) 語(yǔ)

    本文使用光譜擬合的方法研究三頻容性耦合氮等離子體中N2和N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度和振動(dòng)溫度。研究結(jié)果發(fā)現(xiàn):

    (1)HF功率對(duì)等離子體的加熱作用最為明顯,IF功率次之,LF功率作用較小。這是因?yàn)殡S著等離子體密度升高,其離子體間碰撞加劇導(dǎo)致溫度升高,且離子在一定程度上能被鞘層附近電場(chǎng)加熱,所以整體上N2+的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度比N2的轉(zhuǎn)動(dòng)溫度高約100 K。

    (2)N2和N2+的振動(dòng)溫度隨HF功率的增加而明顯上升,隨IF、LF功率的增加而基本不變或略有下降,這表明HF功率可顯著提高N2和N2+的化學(xué)活性并有利于其的分解,而IF、LF功率的影響不大甚至在一定程度上降低N2和N2+的化學(xué)活性。這與高頻功率能夠更有效地提高等離子體密度且降低電子溫度,從而產(chǎn)生更多低能電子有關(guān),而IF和LF功率并不有利于產(chǎn)生能使N2+振動(dòng)激發(fā)的低能電子。

    猜你喜歡
    容性等離子體射頻
    高比例電纜進(jìn)線110 k V變電站無(wú)功優(yōu)化計(jì)算研究
    5G OTA射頻測(cè)試系統(tǒng)
    通信樞紐樓如何防止容性負(fù)載誘發(fā)諧振過(guò)載宕機(jī)的探討
    連續(xù)磁活動(dòng)對(duì)等離子體層演化的影響
    關(guān)于射頻前端芯片研發(fā)與管理模式的思考
    基于低溫等離子體修飾的PET/PVC浮選分離
    等離子體種子處理技術(shù)介紹
    ALLESS轉(zhuǎn)動(dòng)天線射頻旋轉(zhuǎn)維護(hù)與改造
    電子制作(2016年1期)2016-11-07 08:42:54
    腹腔鏡射頻消融治療肝血管瘤
    容性設(shè)備絕緣在線監(jiān)測(cè)技術(shù)研究
    電子世界(2014年24期)2014-10-21 20:10:00
    亚洲婷婷狠狠爱综合网| 日韩伦理黄色片| 精品亚洲成国产av| 伊人久久精品亚洲午夜| 国产伦精品一区二区三区视频9| 热re99久久精品国产66热6| 国产黄频视频在线观看| 美女福利国产在线 | 我的女老师完整版在线观看| 一级爰片在线观看| 国产免费视频播放在线视频| 亚洲av免费高清在线观看| 亚洲第一av免费看| 全区人妻精品视频| 成年女人在线观看亚洲视频| 如何舔出高潮| 少妇人妻精品综合一区二区| 性色avwww在线观看| 校园人妻丝袜中文字幕| 欧美成人a在线观看| 精品国产三级普通话版| 亚洲,欧美,日韩| 秋霞伦理黄片| 99热这里只有是精品50| 国产淫片久久久久久久久| 国产精品欧美亚洲77777| 99热国产这里只有精品6| 亚洲色图av天堂| 久久久a久久爽久久v久久| 中文字幕制服av| 毛片一级片免费看久久久久| 久久久久人妻精品一区果冻| 身体一侧抽搐| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 一级黄片播放器| 国产在视频线精品| 久久99热这里只频精品6学生| 国产成人精品婷婷| 在线观看一区二区三区| 秋霞伦理黄片| 国产免费视频播放在线视频| 黄色日韩在线| 女性被躁到高潮视频| 亚州av有码| 国产av码专区亚洲av| 亚洲精品中文字幕在线视频 | 国产精品99久久久久久久久| 日韩视频在线欧美| 少妇人妻精品综合一区二区| 午夜老司机福利剧场| 搡老乐熟女国产| 国内揄拍国产精品人妻在线| 男女无遮挡免费网站观看| 91精品国产国语对白视频| 自拍欧美九色日韩亚洲蝌蚪91 | 亚洲精品亚洲一区二区| 国产精品久久久久久久电影| 91狼人影院| 国产69精品久久久久777片| 国产爱豆传媒在线观看| 成人一区二区视频在线观看| 亚洲精品第二区| 亚洲,一卡二卡三卡| 色婷婷av一区二区三区视频| 久久久久久九九精品二区国产| 久久av网站| 九九爱精品视频在线观看| av不卡在线播放| 美女xxoo啪啪120秒动态图| 国产精品福利在线免费观看| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 亚洲性久久影院| 三级经典国产精品| 只有这里有精品99| 自拍欧美九色日韩亚洲蝌蚪91 | 中国三级夫妇交换| 亚洲色图综合在线观看| 亚洲欧美日韩卡通动漫| 国产 精品1| 蜜桃亚洲精品一区二区三区| 久久这里有精品视频免费| 日韩,欧美,国产一区二区三区| 人体艺术视频欧美日本| 在线观看一区二区三区| 天美传媒精品一区二区| 国产中年淑女户外野战色| 欧美成人午夜免费资源| 亚洲欧美日韩东京热| 高清黄色对白视频在线免费看 | 成人亚洲精品一区在线观看 | 欧美bdsm另类| 丰满迷人的少妇在线观看| 午夜老司机福利剧场| 欧美丝袜亚洲另类| 日本欧美视频一区| 欧美最新免费一区二区三区| av免费观看日本| 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 国产成人a∨麻豆精品| 青春草国产在线视频| 99热这里只有是精品50| .国产精品久久| 国产黄频视频在线观看| 搡女人真爽免费视频火全软件| av免费观看日本| 日日撸夜夜添| 六月丁香七月| 97在线人人人人妻| 国产精品一区二区在线观看99| 国产极品天堂在线| 免费av中文字幕在线| 亚洲婷婷狠狠爱综合网| 国产乱人偷精品视频| 国产一区二区三区综合在线观看 | 美女国产视频在线观看| 最近最新中文字幕免费大全7| 久久综合国产亚洲精品| 日日啪夜夜爽| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 久久ye,这里只有精品| 天堂俺去俺来也www色官网| 人人妻人人爽人人添夜夜欢视频 | 黄片wwwwww| av卡一久久| 在线观看人妻少妇| 大话2 男鬼变身卡| 免费观看性生交大片5| 亚洲人成网站在线播| 中文字幕久久专区| 亚洲第一区二区三区不卡| 制服丝袜香蕉在线| 最近最新中文字幕免费大全7| 人人妻人人添人人爽欧美一区卜 | 亚洲精品国产av蜜桃| 又爽又黄a免费视频| 久久毛片免费看一区二区三区| 免费观看av网站的网址| 国产成人免费观看mmmm| 大片免费播放器 马上看| 简卡轻食公司| 日韩一区二区视频免费看| 成年美女黄网站色视频大全免费 | 日韩免费高清中文字幕av| 亚洲精品中文字幕在线视频 | 欧美成人午夜免费资源| 国产在线视频一区二区| 国产 一区精品| 97在线视频观看| 午夜免费鲁丝| 99久久综合免费| 啦啦啦啦在线视频资源| 国产伦精品一区二区三区四那| 久久国产精品大桥未久av | 女人久久www免费人成看片| freevideosex欧美| 一级a做视频免费观看| 日本一二三区视频观看| 国产69精品久久久久777片| 97超碰精品成人国产| 全区人妻精品视频| 日韩欧美 国产精品| 成人黄色视频免费在线看| 91久久精品国产一区二区三区| 国产精品久久久久成人av| 干丝袜人妻中文字幕| 联通29元200g的流量卡| av在线蜜桃| 亚洲综合色惰| 日本av手机在线免费观看| 国产精品一区www在线观看| 久久久久久久久久久丰满| 日韩国内少妇激情av| 国产极品天堂在线| 3wmmmm亚洲av在线观看| 国产亚洲91精品色在线| 中文乱码字字幕精品一区二区三区| 精品亚洲乱码少妇综合久久| 欧美区成人在线视频| 菩萨蛮人人尽说江南好唐韦庄| 最近中文字幕高清免费大全6| 久久国产亚洲av麻豆专区| 国产免费一区二区三区四区乱码| 国产在线一区二区三区精| 免费大片黄手机在线观看| 只有这里有精品99| 狂野欧美激情性xxxx在线观看| 国产亚洲精品久久久com| 国产爽快片一区二区三区| 国产一区二区三区综合在线观看 | 欧美97在线视频| 亚洲久久久国产精品| 亚洲人成网站在线观看播放| 一级片'在线观看视频| 成人高潮视频无遮挡免费网站| 日韩一区二区视频免费看| 国产人妻一区二区三区在| 亚洲综合精品二区| 在现免费观看毛片| 国产亚洲精品久久久com| 18禁裸乳无遮挡免费网站照片| 老司机影院成人| 少妇熟女欧美另类| 亚洲精品一区蜜桃| 免费人成在线观看视频色| 久久国产乱子免费精品| 大陆偷拍与自拍| 色5月婷婷丁香| 欧美精品国产亚洲| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 国产v大片淫在线免费观看| 九草在线视频观看| 国产精品三级大全| 国产v大片淫在线免费观看| 精品熟女少妇av免费看| 18禁在线播放成人免费| av在线app专区| 久久精品人妻少妇| 免费播放大片免费观看视频在线观看| 国产av精品麻豆| 性色avwww在线观看| 观看美女的网站| 亚洲av福利一区| 久久99蜜桃精品久久| 亚洲精华国产精华液的使用体验| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 日韩视频在线欧美| 美女中出高潮动态图| 国产成人一区二区在线| 网址你懂的国产日韩在线| 日本-黄色视频高清免费观看| 成人黄色视频免费在线看| 久久久久视频综合| 久久精品久久精品一区二区三区| 国产片特级美女逼逼视频| 国产91av在线免费观看| 观看免费一级毛片| 日日啪夜夜撸| 日本一二三区视频观看| 久久久久国产网址| 夫妻午夜视频| 乱码一卡2卡4卡精品| 久久久午夜欧美精品| av卡一久久| 成人午夜精彩视频在线观看| 99久久中文字幕三级久久日本| 最近2019中文字幕mv第一页| 插逼视频在线观看| 黄色怎么调成土黄色| av在线老鸭窝| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 熟女人妻精品中文字幕| 大陆偷拍与自拍| 深爱激情五月婷婷| 成人一区二区视频在线观看| 亚洲国产精品专区欧美| 美女视频免费永久观看网站| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 国产成人免费无遮挡视频| 久久久精品免费免费高清| 一区二区三区乱码不卡18| 精品国产乱码久久久久久小说| 看十八女毛片水多多多| av网站免费在线观看视频| 日韩中字成人| 中文精品一卡2卡3卡4更新| 国产黄片视频在线免费观看| 亚洲国产色片| 九九爱精品视频在线观看| 18+在线观看网站| 免费观看av网站的网址| 婷婷色综合大香蕉| 久久ye,这里只有精品| 亚洲四区av| 97在线人人人人妻| 熟女av电影| av在线蜜桃| 国精品久久久久久国模美| 成年女人在线观看亚洲视频| av免费在线看不卡| 亚洲精品国产av蜜桃| 亚洲精品自拍成人| 能在线免费看毛片的网站| 国产精品人妻久久久久久| 七月丁香在线播放| 久久精品国产a三级三级三级| 午夜福利在线在线| 人妻少妇偷人精品九色| 久久国产精品大桥未久av | 国产乱人偷精品视频| 国产精品不卡视频一区二区| 亚洲精品一二三| 精品亚洲乱码少妇综合久久| 亚洲性久久影院| 最近中文字幕2019免费版| 哪个播放器可以免费观看大片| 中国国产av一级| 嘟嘟电影网在线观看| 亚洲av成人精品一区久久| 五月开心婷婷网| 日韩中字成人| 亚洲婷婷狠狠爱综合网| 男人和女人高潮做爰伦理| 成年女人在线观看亚洲视频| 亚洲av中文av极速乱| 美女xxoo啪啪120秒动态图| 国产精品伦人一区二区| 黄色一级大片看看| 精品一区二区免费观看| 国产av国产精品国产| 亚洲精品456在线播放app| 国产探花极品一区二区| 日韩制服骚丝袜av| 久久人人爽人人片av| 亚洲成人av在线免费| 激情五月婷婷亚洲| 热re99久久精品国产66热6| 大陆偷拍与自拍| 丰满乱子伦码专区| 波野结衣二区三区在线| 精品一区二区免费观看| 麻豆成人午夜福利视频| 亚洲,欧美,日韩| 色吧在线观看| 最近2019中文字幕mv第一页| 伊人久久精品亚洲午夜| 亚洲av男天堂| 日本欧美国产在线视频| 99re6热这里在线精品视频| 久久99热这里只有精品18| 一本久久精品| 成年女人在线观看亚洲视频| 男人舔奶头视频| 一边亲一边摸免费视频| 久久久久国产精品人妻一区二区| 国产欧美亚洲国产| 99久久中文字幕三级久久日本| 久久精品国产亚洲网站| 精品酒店卫生间| 免费不卡的大黄色大毛片视频在线观看| 亚洲四区av| 欧美+日韩+精品| 美女国产视频在线观看| 久久午夜福利片| 尾随美女入室| 精品久久久久久电影网| 国产老妇伦熟女老妇高清| 十八禁网站网址无遮挡 | 日本与韩国留学比较| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 联通29元200g的流量卡| 亚洲欧美成人综合另类久久久| 亚洲精品久久午夜乱码| 国产日韩欧美在线精品| 国产真实伦视频高清在线观看| 亚洲va在线va天堂va国产| 亚洲欧美成人精品一区二区| 色婷婷av一区二区三区视频| 亚洲精品第二区| www.av在线官网国产| 国产成人精品婷婷| 国产v大片淫在线免费观看| 永久网站在线| 嫩草影院新地址| 国产免费又黄又爽又色| 国产一区二区在线观看日韩| 精品一区二区三区视频在线| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片| 搡女人真爽免费视频火全软件| 热99国产精品久久久久久7| 一级毛片aaaaaa免费看小| 亚洲精品,欧美精品| 国产亚洲最大av| 狠狠精品人妻久久久久久综合| 欧美日韩一区二区视频在线观看视频在线| 麻豆国产97在线/欧美| 亚洲精品456在线播放app| 欧美+日韩+精品| 一边亲一边摸免费视频| 亚洲av综合色区一区| 在线看a的网站| 欧美成人a在线观看| 国产av一区二区精品久久 | av一本久久久久| 男人狂女人下面高潮的视频| 亚洲av日韩在线播放| 亚洲自偷自拍三级| 国产精品嫩草影院av在线观看| 精品酒店卫生间| 国产精品爽爽va在线观看网站| 热99国产精品久久久久久7| 国产精品不卡视频一区二区| 美女国产视频在线观看| 午夜老司机福利剧场| 成人综合一区亚洲| 亚洲熟女精品中文字幕| 97热精品久久久久久| 熟女av电影| 亚洲精品色激情综合| 国产精品久久久久久久久免| 天堂中文最新版在线下载| 免费大片18禁| 国产高清三级在线| 哪个播放器可以免费观看大片| 久久久久网色| 国产成人一区二区在线| 欧美精品一区二区免费开放| 少妇猛男粗大的猛烈进出视频| tube8黄色片| 午夜福利高清视频| 国产黄片视频在线免费观看| 国产日韩欧美在线精品| 婷婷色综合大香蕉| 一区二区三区免费毛片| 赤兔流量卡办理| 一区二区av电影网| 97精品久久久久久久久久精品| 色综合色国产| 精品一区在线观看国产| 亚洲不卡免费看| 国产极品天堂在线| 免费观看的影片在线观看| 久久久久久久久久成人| 亚洲自偷自拍三级| 亚洲人成网站在线播| 男女边摸边吃奶| 18禁在线无遮挡免费观看视频| kizo精华| 一本色道久久久久久精品综合| 秋霞在线观看毛片| 亚洲电影在线观看av| 一级毛片电影观看| 亚洲精品乱码久久久v下载方式| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 欧美成人a在线观看| 色5月婷婷丁香| 少妇人妻 视频| 91久久精品国产一区二区成人| 亚洲成人一二三区av| 国产色婷婷99| 国产精品一区二区三区四区免费观看| 亚洲av欧美aⅴ国产| 爱豆传媒免费全集在线观看| 国产精品一区二区在线不卡| 亚洲人成网站在线播| 色网站视频免费| 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 国产在视频线精品| 在线观看一区二区三区激情| 寂寞人妻少妇视频99o| 男女边吃奶边做爰视频| 久久精品国产a三级三级三级| 免费av不卡在线播放| 五月玫瑰六月丁香| 欧美日韩亚洲高清精品| 看免费成人av毛片| 18禁裸乳无遮挡动漫免费视频| 国产精品伦人一区二区| 中文字幕av成人在线电影| 欧美xxxx黑人xx丫x性爽| 亚洲精品国产av蜜桃| 精品一区二区三卡| 色吧在线观看| 99久久人妻综合| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区| 中文乱码字字幕精品一区二区三区| 国产av精品麻豆| 王馨瑶露胸无遮挡在线观看| 亚洲色图av天堂| 午夜免费鲁丝| 在线播放无遮挡| 欧美少妇被猛烈插入视频| 亚洲三级黄色毛片| 各种免费的搞黄视频| 亚洲av在线观看美女高潮| 又大又黄又爽视频免费| 极品教师在线视频| 蜜臀久久99精品久久宅男| 国产中年淑女户外野战色| 免费高清在线观看视频在线观看| 丝瓜视频免费看黄片| 日韩中文字幕视频在线看片 | 国产亚洲午夜精品一区二区久久| 久久久久久久久久成人| 一本久久精品| 蜜臀久久99精品久久宅男| 欧美成人午夜免费资源| 一级a做视频免费观看| 高清视频免费观看一区二区| 插阴视频在线观看视频| 中文字幕av成人在线电影| 国产精品蜜桃在线观看| 各种免费的搞黄视频| 在线播放无遮挡| 六月丁香七月| 日韩av不卡免费在线播放| 亚洲国产成人一精品久久久| 国产成人精品婷婷| 国产在线视频一区二区| 婷婷色综合www| 国产极品天堂在线| 国产乱人偷精品视频| 欧美另类一区| h日本视频在线播放| 国产人妻一区二区三区在| 欧美精品一区二区免费开放| 丝袜喷水一区| 青青草视频在线视频观看| 夫妻性生交免费视频一级片| 乱系列少妇在线播放| 日韩中字成人| 一级毛片aaaaaa免费看小| 最近中文字幕高清免费大全6| 99视频精品全部免费 在线| 一级黄片播放器| 国产伦精品一区二区三区视频9| av专区在线播放| 久久久久久久精品精品| 日本黄大片高清| 免费看日本二区| 色婷婷av一区二区三区视频| 18+在线观看网站| 好男人视频免费观看在线| 日韩av不卡免费在线播放| 内地一区二区视频在线| 黑人猛操日本美女一级片| 成人免费观看视频高清| 日韩 亚洲 欧美在线| 日韩欧美 国产精品| 欧美日韩亚洲高清精品| 日韩不卡一区二区三区视频在线| 免费黄网站久久成人精品| 又大又黄又爽视频免费| 内地一区二区视频在线| 久久精品国产自在天天线| 国模一区二区三区四区视频| 成人亚洲精品一区在线观看 | 伦精品一区二区三区| 91aial.com中文字幕在线观看| 久久 成人 亚洲| 国产伦理片在线播放av一区| 免费av中文字幕在线| 国产av一区二区精品久久 | 久久久久精品性色| 岛国毛片在线播放| 久久青草综合色| 久久精品国产亚洲av涩爱| 啦啦啦中文免费视频观看日本| 亚洲最大成人中文| 91精品伊人久久大香线蕉| 精品少妇黑人巨大在线播放| 高清不卡的av网站| 免费大片黄手机在线观看| 深爱激情五月婷婷| 在线精品无人区一区二区三 | 久久鲁丝午夜福利片| 国产av国产精品国产| 大陆偷拍与自拍| 久久久色成人| 亚洲精品视频女| 免费看av在线观看网站| 亚洲成人中文字幕在线播放| 久久精品国产亚洲av天美| 丰满人妻一区二区三区视频av| 亚洲三级黄色毛片| 777米奇影视久久| a级一级毛片免费在线观看| 中国国产av一级| 国产在线免费精品| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 国产免费福利视频在线观看| 一本一本综合久久| 老司机影院毛片| 我要看黄色一级片免费的| 成年美女黄网站色视频大全免费 | 街头女战士在线观看网站| a级毛色黄片| 少妇丰满av| 精品亚洲成a人片在线观看 | 久久久久久久亚洲中文字幕| 午夜激情久久久久久久| a级一级毛片免费在线观看| 久久综合国产亚洲精品| 国产精品一区二区三区四区免费观看| 一级毛片我不卡| 日韩一本色道免费dvd| 国内精品宾馆在线| 婷婷色麻豆天堂久久| 又黄又爽又刺激的免费视频.| av在线播放精品| 亚洲精品自拍成人| 一个人免费看片子| 午夜免费鲁丝| 日韩av不卡免费在线播放| 国产亚洲av片在线观看秒播厂| 日本爱情动作片www.在线观看| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 国产在线一区二区三区精| 视频中文字幕在线观看| 成人毛片60女人毛片免费| 亚洲国产精品国产精品| 日韩成人av中文字幕在线观看| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 观看免费一级毛片| 高清不卡的av网站| 汤姆久久久久久久影院中文字幕| 日本欧美视频一区| 国产免费视频播放在线视频| 亚洲精品,欧美精品| 成人一区二区视频在线观看| 亚洲国产最新在线播放| av免费观看日本| 蜜桃在线观看..| 国产老妇伦熟女老妇高清| 少妇人妻久久综合中文| 亚洲最大成人中文|