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    板狀結(jié)構(gòu)Lamb波頻散補(bǔ)償與聚焦接收成像檢測(cè)?

    2022-03-05 03:24:30闞婷婷閻守國(guó)張碧星
    應(yīng)用聲學(xué) 2022年1期
    關(guān)鍵詞:信號(hào)檢測(cè)方法

    闞婷婷 閻守國(guó) 張碧星

    (1 中國(guó)科學(xué)院聲學(xué)研究所 北京 100190)

    (2 中國(guó)科學(xué)院大學(xué) 北京 100049)

    0 引言

    板狀結(jié)構(gòu)在航空航天、民生設(shè)施中的應(yīng)用越來(lái)越廣泛。這些板狀結(jié)構(gòu)在生產(chǎn)制造以及使用過(guò)程中會(huì)出現(xiàn)疲勞、裂紋等損傷,這存在極大的安全隱患。為了確保工程結(jié)構(gòu)的安全穩(wěn)定,避免經(jīng)濟(jì)財(cái)產(chǎn)的損失以及災(zāi)難事故的發(fā)生,對(duì)板狀結(jié)構(gòu)進(jìn)行無(wú)損檢測(cè)是非常重要的[1?5]。

    超聲導(dǎo)波具有傳播距離遠(yuǎn)、衰減小、對(duì)微小損傷敏感的特性,非常適用于大型板狀結(jié)構(gòu)的無(wú)損檢測(cè)。因此,很多基于導(dǎo)波的成像方法被發(fā)掘出來(lái),如時(shí)間反轉(zhuǎn)法[6]、拓?fù)涑上穹╗7]、頻域波束形成[8]等。這些方法大部分是從傳統(tǒng)體波檢測(cè)的成像方法中轉(zhuǎn)移過(guò)來(lái)的,但是由于導(dǎo)波的頻散和多模式限制,通常選擇低頻窄帶的單一模式導(dǎo)波檢測(cè)方法,因此限制了Lamb 波在結(jié)構(gòu)缺陷檢測(cè)中的應(yīng)用。對(duì)于導(dǎo)波頻散的克服方法,目前一般可采用時(shí)間反轉(zhuǎn)法或主動(dòng)相位補(bǔ)償?shù)姆椒▉?lái)實(shí)現(xiàn)。Ing 等[9]首先使用時(shí)間反轉(zhuǎn)鏡技術(shù)補(bǔ)償了Lamb 波的頻散效應(yīng),實(shí)現(xiàn)了Lamb波的聚焦和板內(nèi)缺陷的檢測(cè)。張海燕等[10]結(jié)合時(shí)間反轉(zhuǎn)法,使用分布式傳感器網(wǎng)絡(luò)對(duì)鋁板中存在的缺陷進(jìn)行檢測(cè)與成像。近年來(lái)隨著對(duì)導(dǎo)波頻散特性的深入研究,學(xué)者們提出一種主動(dòng)消除頻散的方法。Sicard 等[11]提出一種頻域頻散補(bǔ)償算法,在頻率域結(jié)合頻散曲線(xiàn)和傳播距離,調(diào)節(jié)每個(gè)頻率分量的相位,實(shí)現(xiàn)鋼板的導(dǎo)波信號(hào)頻散補(bǔ)償及損傷檢測(cè)。Xie 等[12]提出了單一模式導(dǎo)波聚焦方法,以及一種基于虛擬時(shí)間反轉(zhuǎn)的寬頻帶多模式導(dǎo)波聚焦的方法。對(duì)于導(dǎo)波的多模式問(wèn)題,陳曉等[13]提出一種分?jǐn)?shù)階微分理論,實(shí)現(xiàn)了對(duì)時(shí)頻重疊的S1模式和A1模式信號(hào)的分離。許凱亮等[14]提出了基于時(shí)頻分析的導(dǎo)波多模式分離和重建算法,實(shí)現(xiàn)多模式導(dǎo)波的分離。以上工作主要是為了實(shí)現(xiàn)導(dǎo)波聚焦發(fā)射的過(guò)程,應(yīng)用聚焦導(dǎo)波對(duì)結(jié)構(gòu)進(jìn)行掃描,從而提高對(duì)缺陷的檢測(cè)能力。對(duì)于缺陷散射的導(dǎo)波在傳到換能器后又發(fā)生了頻散與模式轉(zhuǎn)換的問(wèn)題,常規(guī)成像算法通常只提取某一模式的導(dǎo)波信號(hào)進(jìn)行成像,而忽略了模式轉(zhuǎn)換之間蘊(yùn)含的有用信息,并且未考慮接收過(guò)程中的頻散,造成了成像分辨率的不足。

    針對(duì)這一問(wèn)題,本文在理論分析的基礎(chǔ)上,結(jié)合有限元仿真方法,對(duì)與缺陷作用后的回波信號(hào)進(jìn)行聚焦接收處理,提出一種基于頻散補(bǔ)償?shù)娜毕荻ㄎ怀上袼惴?,并利用該方法?duì)二維和三維模型板中的缺陷進(jìn)行檢測(cè)成像,驗(yàn)證了此方法的有效性。

    1 Lamb波頻散補(bǔ)償理論

    Lamb 波是指在上下表面自由的板中傳播的波,是由邊界及縱橫波經(jīng)過(guò)多次反射所耦合出來(lái)的。對(duì)于厚度為2h的各向同性的板,頻散方程[15]表示為

    其中:k=ω/cp,k2l=ω2/v2l ?k2,k2s=ω2/v2s ?k2。式中k為波數(shù),ω為角頻率,cp為板的相速度,vl和vs分別為板的縱波速度和橫波速度。式(1)中右上角取+1時(shí)代表對(duì)稱(chēng)模式,取?1時(shí)代表反對(duì)稱(chēng)模式。對(duì)式(1)求解得如圖1所示導(dǎo)波相速度cp和群速度cg的頻散曲線(xiàn),模型參數(shù)如表1所示。

    表1 模型參數(shù)Table 1 The parameters of model

    圖1 鋁板頻散曲線(xiàn)圖Fig.1 Dispersion curves for aluminum

    從圖1所示的頻散曲線(xiàn)可以看出,不同頻率的波傳播速度是不同的,缺陷回波信號(hào)從缺陷傳播到接收點(diǎn)時(shí)會(huì)發(fā)生頻散。設(shè)在接收點(diǎn)x處接收的缺陷回波信號(hào)為r(x,t),運(yùn)用傅里葉變換將其變換到頻率域可表示為

    其中,t為時(shí)間,其中缺陷相當(dāng)于一個(gè)被動(dòng)聲源位于坐標(biāo)原點(diǎn)O處,x表示缺陷與接收點(diǎn)之間的距離,記錄與缺陷作用后缺陷處的信號(hào)為S(0,ω)。為了方便說(shuō)明頻散補(bǔ)償求解過(guò)程,先假設(shè)缺陷回波中只包含一個(gè)模式,R(x,ω)可表示為

    由相速度的頻散方程可知導(dǎo)波的相速度cp是隨頻率f的變化而變化的,在式(4)中,當(dāng)x≠0 時(shí),不同頻率的波的相移便不同,并且隨著x的增加,相位差就越大,變到時(shí)域波形將會(huì)展開(kāi),導(dǎo)致能量不集中。在已知導(dǎo)波頻散特性和導(dǎo)波傳播距離的基礎(chǔ)上,相位因子φ(ω)是可以通過(guò)計(jì)算得到的。通過(guò)引入補(bǔ)償因子?φ(ω),就能夠?qū)Σ煌l率的波進(jìn)行頻散補(bǔ)償,對(duì)接收信號(hào)R(x,ω)施加頻散補(bǔ)償后得

    不同頻率的波經(jīng)頻散補(bǔ)償后相位是相同的,對(duì)式(5)進(jìn)行反傅里葉變換得到聚焦接收信號(hào)rf(t)為

    經(jīng)過(guò)頻散補(bǔ)償后,缺陷散射信號(hào)變?yōu)镺位置處未發(fā)生頻散的信號(hào)。

    2 多模式Lamb波信號(hào)的聚焦接收

    在應(yīng)用Lamb 波進(jìn)行板狀結(jié)構(gòu)的缺陷檢測(cè)時(shí),在給定的頻率下至少存在兩個(gè)模式(A0 模式和S0模式)在板中傳播,如圖1所示。實(shí)際應(yīng)用中為了避免導(dǎo)波的頻散和多模特性,降低信號(hào)分析難度,通常在低頻范圍選擇性激發(fā)單一模式的Lamb 波(如S0模式),但是當(dāng)Lamb 波與缺陷相互作用時(shí),會(huì)發(fā)生模式轉(zhuǎn)換現(xiàn)象,因此Lamb 波檢測(cè)時(shí)頻散和多模式現(xiàn)象不可避免,為了提高缺陷檢測(cè)的精度,本文提出對(duì)缺陷的多模式回波信號(hào)進(jìn)行聚焦接收處理。

    假設(shè)回波信號(hào)中包含兩個(gè)模式,即

    其中,φ1(ω)和φ2(ω)分別為兩個(gè)模式的相位因子。與單模式頻散補(bǔ)償類(lèi)似,引入頻散補(bǔ)償因子?φ1(ω)和?φ2(ω),由式(7)可得

    其中,Δφ(ω)=φ1(ω)?φ2(ω),反傅里葉變換到時(shí)域得

    其中,前兩項(xiàng)s1和s2表示得到完全頻散補(bǔ)償?shù)膬蓚€(gè)模式,s′1、s′2表示未被完全補(bǔ)償?shù)母蓴_項(xiàng)。前兩項(xiàng)時(shí)域上恢復(fù)為原始無(wú)頻散形式,應(yīng)用窗函數(shù)截取O位置處的信號(hào),得到聚焦接收信號(hào):

    當(dāng)回波信號(hào)中包含多個(gè)模式時(shí),可采用同樣的方法引入補(bǔ)償因子后截取即可得到聚焦接收信號(hào)。

    在缺陷檢測(cè)時(shí),聲波遇到缺陷發(fā)生了反射,在接收點(diǎn)接收到缺陷回波信號(hào),通常接收點(diǎn)與缺陷之間的距離x是未知的,在對(duì)接收的缺陷回波信號(hào)進(jìn)行頻散補(bǔ)償時(shí),應(yīng)用預(yù)設(shè)相位來(lái)對(duì)信號(hào)進(jìn)行補(bǔ)償,x′為該相位對(duì)應(yīng)的傳播距離,式(5)改寫(xiě)為

    從式(11)中可以看到,當(dāng)x′=x時(shí),頻散的波得到完全頻散補(bǔ)償,對(duì)應(yīng)得到的rf(t)的峰值將達(dá)到最大。當(dāng)回波信號(hào)中包含兩個(gè)模式時(shí),采用類(lèi)似的補(bǔ)償方法,將對(duì)缺陷的定位問(wèn)題轉(zhuǎn)化為尋找補(bǔ)償后信號(hào)的峰值問(wèn)題,當(dāng)信號(hào)補(bǔ)償?shù)木嚯x等于缺陷與換能器之間的實(shí)際距離時(shí),信號(hào)的峰值達(dá)到最大。

    應(yīng)用有限元軟件對(duì)含有缺陷的鋁板進(jìn)行模擬,二維板狀模型如圖2所示,設(shè)置鋁板的長(zhǎng)度為2 m,厚度為0.004 m,材料參數(shù)如表1所示。在板中心位置上下表面施加法向力源,以此激發(fā)Lamb 波的對(duì)稱(chēng)模式,激勵(lì)信號(hào)為5 個(gè)周期漢寧窗調(diào)制的正弦波,中心頻率為250 kHz。在距離激勵(lì)源0.5 m 處設(shè)置凹槽類(lèi)缺陷,缺陷大小為2 mm×2 mm。接收點(diǎn)位于鋁板上表面,分別距離激發(fā)點(diǎn)0.2 m、0.3 m、0.4 m、0.5 m。

    圖2 計(jì)算模型示意圖Fig.2 Diagram of simulation model

    為了保證計(jì)算的精度和速度,網(wǎng)格的劃分也是一個(gè)重要的環(huán)節(jié)。通常網(wǎng)格的尺寸應(yīng)小于最小激勵(lì)模式波長(zhǎng)的1/10,對(duì)應(yīng)的時(shí)間步長(zhǎng)應(yīng)小于速度最快的模式導(dǎo)波通過(guò)一個(gè)網(wǎng)格所用的時(shí)間。依據(jù)此標(biāo)準(zhǔn),在聲源中心頻率為250 kHz時(shí),設(shè)置網(wǎng)格大小為0.5 mm,時(shí)間步長(zhǎng)為20 ns。

    圖3為各個(gè)接收點(diǎn)接收到的時(shí)域波形,其中第一個(gè)波包為直達(dá)波,后面的波包為與缺陷作用后的散射回波。由波速法判定導(dǎo)波的模式,計(jì)算得到第一個(gè)波包的速度為5040 m/s,與S0 模式的理論群速度5119 m/s 接近,故對(duì)稱(chēng)方式激勵(lì)時(shí),板中只存在S0 模式。在與缺陷作用后,缺陷回波在傳播過(guò)程中發(fā)生模式轉(zhuǎn)換,分為兩個(gè)波包,計(jì)算波包的速度分別為5025 m/s 和3024 m/s,分別對(duì)應(yīng)為S0 模式和A0 模式(A0 模式理論群速度3137 m/s)。當(dāng)接收點(diǎn)與缺陷的距離逐漸增大時(shí),缺陷回波信號(hào)在時(shí)間上不斷被拉長(zhǎng),并且由于頻散效應(yīng),每個(gè)波包也被拉長(zhǎng),幅值降低,在實(shí)際檢測(cè)過(guò)程中將增加信號(hào)分析過(guò)程中的難度,接著截取在0.2 m 處接收的缺陷回波進(jìn)行頻散補(bǔ)償處理。

    圖3 不同位置的時(shí)域波形Fig.3 Temporal waveforms at different locations

    應(yīng)用公式(8)的方法對(duì)回波信號(hào)中的兩個(gè)模式進(jìn)行頻散補(bǔ)償,補(bǔ)償后的結(jié)果如圖4(a)所示,其中下方藍(lán)色曲線(xiàn)是截取的缺陷回波信號(hào),上方黑色曲線(xiàn)是對(duì)頻散補(bǔ)償后的結(jié)果。虛線(xiàn)中截取的是經(jīng)過(guò)完全頻散補(bǔ)償?shù)膬蓚€(gè)模式的疊加信號(hào),對(duì)應(yīng)公式(9)中的前兩項(xiàng)信號(hào),第一個(gè)波包和第三個(gè)波包分別對(duì)應(yīng)公式(9)中的s′1和s′2,是頻散沒(méi)有被完全補(bǔ)償?shù)母蓴_項(xiàng),截取O位置處的信號(hào)得到聚焦接收信號(hào),如圖4(b)中紅色曲線(xiàn)所示。聚焦接收處理克服了導(dǎo)波檢測(cè)中的頻散和模式轉(zhuǎn)換現(xiàn)象,信號(hào)在時(shí)域上的持續(xù)時(shí)間由原來(lái)的61 μs 減少到23 μs,在幅度上聚焦接收信號(hào)的峰值是普通接收信號(hào)峰值的1.938倍,從圖中也可以明顯看出聚焦效果是比較好的。

    從以上的分析中可知,當(dāng)兩個(gè)模式的信號(hào)得到完全頻散補(bǔ)償時(shí),信號(hào)的峰值將達(dá)到最大。在應(yīng)用缺陷回波信號(hào)對(duì)缺陷進(jìn)行定位時(shí),通過(guò)在一定距離范圍內(nèi)對(duì)信號(hào)進(jìn)行頻散補(bǔ)償,尋找補(bǔ)償后信號(hào)峰值達(dá)到最大時(shí)對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償距離即為缺陷與傳感器的實(shí)際距離。

    應(yīng)用圖4(a)中的在距離缺陷0.3 m 接收的回波數(shù)據(jù)來(lái)判斷缺陷位置,結(jié)合圖1中群速度頻散曲線(xiàn)以及聲源的中心頻率,判斷缺陷的位置在0.1~0.5 m 的范圍內(nèi),以0.001 m 的間隔遞增按照聚焦接收的方法對(duì)信號(hào)進(jìn)行頻散補(bǔ)償,得到補(bǔ)償后信號(hào)幅值的最大值隨補(bǔ)償距離x的變化如圖5所示,隨著補(bǔ)償距離的增加,信號(hào)的峰值整體上先逐漸增大,在x=0.297 m時(shí)達(dá)到最大值,隨后又逐漸減小。由此得到缺陷與接收點(diǎn)的距離為0.297 m,實(shí)際上缺陷距離接收點(diǎn)0.3 m,誤差為1%,在誤差允許的范圍內(nèi)。

    圖4 導(dǎo)波聚焦接收Fig.4 Focused reception of guided waves

    圖5 幅值的最大值與補(bǔ)償距離關(guān)系曲線(xiàn)Fig.5 Relationship between maximum amplitude and compensation distance

    為了驗(yàn)證此方法的有效性,分別在距離接收點(diǎn)0.2~0.8 m 的范圍內(nèi),每隔0.1 m 設(shè)置一個(gè)缺陷進(jìn)行有限元模擬。對(duì)得到的回波數(shù)據(jù)進(jìn)行補(bǔ)償從而對(duì)缺陷位置進(jìn)行定位,計(jì)算結(jié)果如表2所示,誤差范圍都在2%以?xún)?nèi),結(jié)果是比較準(zhǔn)確的。通過(guò)頻散補(bǔ)償,將補(bǔ)償后信號(hào)的峰值達(dá)到最大時(shí)對(duì)應(yīng)的補(bǔ)償距離視為計(jì)算得到的缺陷位置,利用這個(gè)方法可以對(duì)缺陷位置進(jìn)行準(zhǔn)確判斷。

    表2 缺陷計(jì)算位置及實(shí)際位置Table 2 The calculated location and actual location of defects

    3 缺陷成像算法

    三維模型中,信號(hào)不再以平面波形式傳播,而是以柱面波形式傳播,當(dāng)聲傳播距離遠(yuǎn)大于波長(zhǎng)時(shí),公式(3)可改為

    其中,r表示缺陷與接收點(diǎn)之間的距離,在對(duì)信號(hào)進(jìn)行歸一化處理后分析過(guò)程與平面波的處理一樣。通過(guò)頻散補(bǔ)償?shù)姆椒梢哉业饺毕菖c接收點(diǎn)之間的距離,根據(jù)得到的距離提出一種基于頻散補(bǔ)償?shù)娜毕輽z測(cè)算法。在對(duì)三維板中缺陷進(jìn)行定位時(shí),傳感器布置和缺陷位置如圖6所示,對(duì)感興趣的缺陷區(qū)域布置N個(gè)傳感器,Lamb 波經(jīng)其中一個(gè)傳感器激勵(lì),與缺陷相互作用后產(chǎn)生的缺陷回波被各個(gè)傳感器接收,將帶有缺陷板與健康板中測(cè)得的信號(hào)做差來(lái)獲取缺陷散射信號(hào)。應(yīng)用聚焦接收的方法計(jì)算得到接收傳感器與缺陷的距離,提出基于頻散補(bǔ)償?shù)娜毕莩上袼惴ǎ?/p>

    其中,H(x,y)是像素點(diǎn)(x,y)處的對(duì)比度值,lij代表應(yīng)用頻散補(bǔ)償法對(duì)第i個(gè)驅(qū)動(dòng)器激勵(lì)、第j個(gè)傳感器接收的信號(hào)進(jìn)行計(jì)算得到的缺陷與傳感器j的距離,Lij代表像素點(diǎn)(x,y)與傳感器j的距離。為了對(duì)比成像結(jié)果,將上述方法與常用的延時(shí)疊加算法[16]得到的結(jié)果比較,延時(shí)疊加算法:

    其中,fij(t)代表第i個(gè)驅(qū)動(dòng)器激勵(lì)、第j個(gè)傳感器接收的散射信號(hào),L1和L2分別代表像素點(diǎn)(x,y)與傳感器i、j的距離,cg1為激勵(lì)的Lamb 波模式的群速度,cg2為缺陷回波中主要傳播模式的群速度。

    建立如圖6所示的三維板有限元模型,板的尺寸為1 m×1 m×0.004 m,模型的材料、激勵(lì)信號(hào)以及激發(fā)方式與二維模型建模方法一樣,其中中心傳感器的坐標(biāo)為(0.500, 0.500)m,水平方向和豎直方向傳感器的間隔均為0.15 m,缺陷為10 mm的半通孔,中心位置坐標(biāo)為(0.575, 0.425)m。

    圖6 傳感器布置和缺陷位置示意圖Fig.6 Diagram of sensor placement and defect location

    圖7給出了陣元4 激發(fā)、其余各個(gè)傳感器接收的缺陷回波波形。從圖中可以看出由于導(dǎo)波的模式轉(zhuǎn)換和頻散現(xiàn)象,缺陷回波信號(hào)中包含兩個(gè)波包,并且每個(gè)波包的時(shí)間寬度變長(zhǎng)。應(yīng)用聚焦接收的方法對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理,得到缺陷與各個(gè)傳感器之間的距離如表3所示。更換激發(fā)陣元,對(duì)各組缺陷回波數(shù)據(jù)處理得到式(13)中的lij。

    表3 傳感器與缺陷之間距離Table 3 Distance between sensor and defect

    圖7 各傳感器接收的缺陷回波信號(hào)Fig.7 Defect echo signal received by each sensor

    利用仿真得到的缺陷回波信號(hào)用上面兩種方法進(jìn)行成像,得到的損傷成像結(jié)果如圖8所示,圖8(a)是延時(shí)疊加成像結(jié)果圖,可以大致判斷缺陷的區(qū)域,取信號(hào)峰值點(diǎn)(0.587, 0.418)m作為損傷位置,由于算法本身的限制以及Lamb 波的頻散和模式轉(zhuǎn)換現(xiàn)象,使得缺陷周?chē)鷧^(qū)域雜波較多,成像結(jié)果的精度較差。圖8(b)是基于頻散補(bǔ)償?shù)某上窠Y(jié)果圖,在缺陷位置處能量集中,可以清楚地判斷缺陷的位置,其中信號(hào)的峰值位置位于(0.591, 0.408)m,而缺陷的準(zhǔn)確位置位于(0.575, 0.425)m,產(chǎn)生誤差的原因是缺陷具有一定的尺寸,信號(hào)經(jīng)多次反射使得接收信號(hào)的持續(xù)時(shí)間變長(zhǎng),影響了對(duì)缺陷位置識(shí)別的精度。對(duì)比兩種成像方法,為了提高延時(shí)疊加成像的分辨率,只能通過(guò)增加傳感器的數(shù)量來(lái)抑制其他位置波的干擾,增加了檢測(cè)的計(jì)算量與復(fù)雜度。而基于頻散補(bǔ)償?shù)某上穹椒ǖ木扰c檢測(cè)時(shí)傳感器的數(shù)量多少無(wú)關(guān),只需要少數(shù)的傳感器就可得到分辨率較高的圖像,更有利于對(duì)缺陷做出正確的評(píng)估。

    圖8 缺陷檢測(cè)成像Fig.8 Defect detection imaging

    4 結(jié)論

    Lamb 波檢測(cè)在大型板狀結(jié)構(gòu)的無(wú)損檢測(cè)中發(fā)揮著重要作用,但是導(dǎo)波的頻散和多模式特性使得Lamb 波檢測(cè)的信號(hào)變得比較復(fù)雜。本文通過(guò)理論分析對(duì)與缺陷作用后的回波信號(hào)進(jìn)行聚焦接收,聚焦接收可有效抑制缺陷回波信號(hào)的頻散和模式轉(zhuǎn)換問(wèn)題,在此基礎(chǔ)上提出缺陷定位成像算法。應(yīng)用有限元仿真軟件建立含有缺陷的鋁板聲學(xué)仿真模型,獲取缺陷回波數(shù)據(jù),結(jié)合鋁板的頻散曲線(xiàn)在一定距離范圍內(nèi)對(duì)各個(gè)模式的信號(hào)進(jìn)行頻散補(bǔ)償,提取補(bǔ)償后信號(hào)的峰值,將尋找缺陷位置的問(wèn)題轉(zhuǎn)化為尋找信號(hào)的峰值問(wèn)題。結(jié)果表明當(dāng)信號(hào)補(bǔ)償距離等于缺陷與換能器之間的實(shí)際距離時(shí),得到的信號(hào)幅值達(dá)到最大,并在二維模型板中驗(yàn)證了此方法在缺陷定位中的準(zhǔn)確性。進(jìn)一步根據(jù)頻散補(bǔ)償方法計(jì)算得到的缺陷與傳感器之間的距離,對(duì)三維模型板中缺陷進(jìn)行成像,成像結(jié)果與延時(shí)疊加成像結(jié)果相比,可以在傳感器數(shù)量較少的情況下準(zhǔn)確地顯示缺陷的位置,得到分辨率更高的結(jié)果,從而更有望應(yīng)用于實(shí)際缺陷檢測(cè)中。

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