中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展研究

張希穎　王藝環(huán)　吳佳鈞　李涵　王超杰　宋雨

關(guān)鍵詞：美國(guó)出口管制 半導(dǎo)體設(shè)備 技術(shù)外溢 供應(yīng)鏈

一、引言

2014年6月，國(guó)務(wù)院印發(fā)《國(guó)家集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展推進(jìn)綱要》，闡述了我國(guó)集成電路發(fā)展現(xiàn)狀與形勢(shì)，制定了相應(yīng)的保障措施，由此可見國(guó)家對(duì)于我國(guó)集成電路發(fā)展給予高度重視，而半導(dǎo)體相關(guān)檢驗(yàn)、篩選、制造設(shè)備又是開發(fā)出高質(zhì)量集成電路的保障，因此對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備展開研究，對(duì)于加快我國(guó)集成電路追趕和超越的步伐，努力實(shí)現(xiàn)集成電路產(chǎn)業(yè)跨越式發(fā)展具有重要意義。

2020年中國(guó)大陸的半導(dǎo)體制造能力占全球的15%，在尖端半導(dǎo)體領(lǐng)域技術(shù)落后，與中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備需求量與有限設(shè)備供給能力形成巨大反差，結(jié)果是我國(guó)只能大量依靠國(guó)外進(jìn)口滿足國(guó)內(nèi)需求。但美國(guó)新實(shí)施的出口限制聲明中，明確提到把半導(dǎo)體設(shè)備和其他先進(jìn)技術(shù)加入到出口管制清單中，對(duì)華出口管制范圍與內(nèi)容進(jìn)一步擴(kuò)大。而美國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備制造水準(zhǔn)在全球位于首位，并且從全球半導(dǎo)體設(shè)備供應(yīng)量來(lái)看也幾乎由美國(guó)壟斷，美國(guó)對(duì)華更嚴(yán)格的出口管制內(nèi)容，會(huì)讓我國(guó)半導(dǎo)體相關(guān)企業(yè)發(fā)展受阻。因此，在美國(guó)對(duì)我國(guó)實(shí)施高科技出口限制背景下，研究美國(guó)出口限制對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展的影響，具有非常重要的意義。

二、美國(guó)出口管制基本內(nèi)容

（一）擴(kuò)大出口管制內(nèi)容與管制范圍

2020年10月15號(hào)，美國(guó)商務(wù)部工業(yè)安全局（BIS）宣布將六項(xiàng)新興技術(shù)添加到《出口管理?xiàng)l例》（EAR）的商務(wù)部管制清單（CCL）中，出口管制內(nèi)容進(jìn)一步增加。過去該協(xié)定出口限制的對(duì)象，以常規(guī)武器及部分機(jī)床等為主，此次管制對(duì)象新追加了可轉(zhuǎn)為軍用的半導(dǎo)體基板制造技術(shù)及被用于網(wǎng)絡(luò)攻擊的軍用軟件等。不僅如此，美國(guó)出口管制法律對(duì)于高新技術(shù)“出口”這一術(shù)語(yǔ)進(jìn)行了新界定，包括出口、再出口、轉(zhuǎn)賣、視為出口等概念，進(jìn)一步擴(kuò)大了出口范圍管制。

（二）新增違反出口管制的行政處罰措施

美國(guó)商務(wù)部下設(shè)的產(chǎn)業(yè)和工業(yè)安全局頒布實(shí)施了《行政案件處罰指引》，其中新增的行政處罰措施主要包括警告通知書、行政處罰、其他行政制裁措施等三個(gè)方面內(nèi)容。

《行政案件處罰指引》同時(shí)規(guī)定，自我報(bào)檢和主動(dòng)披露可以減輕處罰，同時(shí)對(duì)于初犯者審裁處可考慮降低基準(zhǔn)刑罰數(shù)額，但降低比例不得超過25%。如果違反出口管制還涉及刑事責(zé)任，也可就與出口管制執(zhí)法有關(guān)的刑事罪行，將調(diào)查提交美國(guó)司法部起訴。

（三）提高美國(guó)出口審查制度穩(wěn)定性

根據(jù)2018年8月13日《美國(guó)出口管制改革法案》（ECRA）規(guī)定，當(dāng)ECRA正式生效實(shí)行后，于1979年實(shí)施的《出口管理法》（EAA）和美國(guó)商務(wù)部制定的EAR相關(guān)的法規(guī)、行政令、行政許可等將繼續(xù)生效，為美國(guó)出口管制提供了永久的法律基礎(chǔ)。這同時(shí)也解決了早在2001年EAA終止到期后，只能基于《國(guó)際緊急經(jīng)濟(jì)授權(quán)法》（IEEPA）依靠總統(tǒng)通過行政命令和“年度延續(xù)通知”對(duì)EAR進(jìn)行重新授權(quán)來(lái)臨時(shí)延期美國(guó)出口管制相關(guān)規(guī)定。ECRA憑借其長(zhǎng)期有效性，使得美國(guó)現(xiàn)行出口管制法律和管制措施更穩(wěn)定、明確、可預(yù)測(cè)，但也意味著與美國(guó)有相關(guān)物項(xiàng)貿(mào)易往來(lái)的國(guó)家將會(huì)進(jìn)入有史以來(lái)最嚴(yán)格、范圍最廣出口管制時(shí)代。

三、中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展現(xiàn)狀

（一）半導(dǎo)體設(shè)備供需不平衡

據(jù)國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備與材料協(xié)會(huì)（SEML）數(shù)據(jù)顯示，2013-2020年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)需求規(guī)模持續(xù)增長(zhǎng)，2019年中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)規(guī)模達(dá)到134.5億美元，同比增長(zhǎng)2.6%;2020年達(dá)到187.2億美元，比上年增長(zhǎng)39%。即使在疫情下，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備需求規(guī)模依然不斷擴(kuò)大。

但我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)剛處于起步階段，部分半導(dǎo)體設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率處于較低水平。長(zhǎng)江存儲(chǔ)項(xiàng)目初期的成膜設(shè)備國(guó)產(chǎn)化率約為2%-3%;量測(cè)設(shè)備的國(guó)產(chǎn)化率約為1%-2%;光刻機(jī)、涂膠顯影、測(cè)試、研磨拋設(shè)備的國(guó)產(chǎn)率幾乎為0。在美國(guó)出口管制下，我國(guó)不斷擴(kuò)張的市場(chǎng)需求規(guī)模與國(guó)產(chǎn)化水平不足導(dǎo)致的我國(guó)供需不平衡問題更加突出。

（二）半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展結(jié)構(gòu)不平衡

2018年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備主要集中在前道制程設(shè)備，其比重為78%，測(cè)試設(shè)備占比為10%，封裝設(shè)備比重約為7%。根據(jù)中國(guó)大陸海關(guān)數(shù)據(jù)顯示，2020年1-11月，中國(guó)大陸半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)整體進(jìn)口金額達(dá)到168.6億美元，前道半導(dǎo)體制造設(shè)備的進(jìn)口金額達(dá)到127.3億美元，同比增長(zhǎng)38.4%;晶圓制造設(shè)備進(jìn)口達(dá)到7.8億美元，同比下降17.8%;封裝輔助設(shè)備的進(jìn)口達(dá)到33.5億美元，同比增長(zhǎng)9.4%。這表明我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展結(jié)構(gòu)失衡明顯。

（三）國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)規(guī)模較小

據(jù)中國(guó)電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會(huì)數(shù)據(jù)顯示，2019年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備TOP10企業(yè)共完成銷售收入143.43億元，排列首位的浙江晶盛機(jī)電公司銷售收入達(dá)到28.86億元，其次為北方華創(chuàng)科技公司，為28.42億元。但我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)規(guī)模仍處于較低水平，設(shè)備需求多依賴于國(guó)外進(jìn)口。從企業(yè)性質(zhì)來(lái)看，這10家企業(yè)中只有1家企業(yè)是國(guó)有控股，其他9家是民營(yíng)企業(yè)。在2020年全球前十半導(dǎo)體設(shè)備廠商當(dāng)中，都是美國(guó)、日本、荷蘭廠商。這些均表明我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)規(guī)模較小。

四、美國(guó)出口管制下中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)面臨的問題

（一）企業(yè)受處罰因素增加

BIS通過一些裁量因素對(duì)企業(yè)受處罰程度進(jìn)行評(píng)定，既可能讓違法企業(yè)從重處罰，也可能從輕處罰。當(dāng)OEE認(rèn)定企業(yè)違反了出口管制條例，對(duì)于情節(jié)嚴(yán)重、案件性質(zhì)惡劣的企業(yè)將處以最高100萬(wàn)美元罰款，以及相關(guān)企業(yè)法人可能會(huì)面臨長(zhǎng)達(dá)10年監(jiān)禁。但OEE也會(huì)考慮違反企業(yè)是否采取補(bǔ)救措施，是否積極配合OEE調(diào)查，是否可獲得許可證等三方面。若企業(yè)符合以上三點(diǎn)之一，OEE將會(huì)考慮降低罰款金額，但降低比例不會(huì)超過25%。對(duì)于新細(xì)化的處罰因素、處罰措施，讓中國(guó)與美國(guó)相關(guān)物項(xiàng)貿(mào)易往來(lái)的企業(yè)如履薄冰，稍有閃失就會(huì)遭受巨額處罰以及監(jiān)禁。如何讓中國(guó)企業(yè)在美國(guó)出口管制新規(guī)下良性運(yùn)營(yíng)，減少處罰風(fēng)險(xiǎn)是中國(guó)企業(yè)急需解決的問題。

（二）半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)供應(yīng)鏈?zhǔn)軟_擊

美國(guó)出口管制政策使我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)海外供應(yīng)鏈面臨被切斷風(fēng)險(xiǎn)。我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備主要依靠外國(guó)廠商提供，全球前十大半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)基本上來(lái)自美國(guó)、日本、歐洲，而包括中電科集團(tuán)、晶盛機(jī)電等企業(yè)在內(nèi)的中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)規(guī)模普遍較小，且大部分在光伏、LED領(lǐng)域占比較高，并不涉及集成電路核心生產(chǎn)設(shè)備光刻機(jī)，所以國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)對(duì)海外供應(yīng)鏈具有嚴(yán)重的進(jìn)口依賴。2020年4月28日，路透社報(bào)道美國(guó)出臺(tái)并實(shí)施新一輪針對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備的出口管制，這就意味著美國(guó)以國(guó)家安全之名，針對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)加大了出口管制力度。事實(shí)上，近幾年美國(guó)聯(lián)邦政府一直在出臺(tái)有意針對(duì)中方企業(yè)的限制政策，不斷阻礙我國(guó)對(duì)半導(dǎo)體設(shè)備從美國(guó)及“長(zhǎng)臂管轄權(quán)”范圍內(nèi)其他國(guó)家的引進(jìn)。在我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備嚴(yán)重依賴進(jìn)口的行業(yè)背景下，美國(guó)愈演愈烈的出口管制給我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)供應(yīng)鏈帶來(lái)破裂風(fēng)險(xiǎn)。

（三）企業(yè)發(fā)展資金受限

資金是企業(yè)發(fā)展的重要因素之一，制造半導(dǎo)體設(shè)備的民營(yíng)企業(yè)如果沒有得到充足的資金支持，將面臨破產(chǎn)風(fēng)險(xiǎn)。而美國(guó)2018年生效的ECRA和《外國(guó)投資風(fēng)險(xiǎn)審查現(xiàn)代化法》（FIRRMA）不但在ECRA中進(jìn)一步強(qiáng)化技術(shù)出口管制，而且還建立了外資安全審查制度與技術(shù)出口管制制度的聯(lián)動(dòng)關(guān)系，從而形成對(duì)中國(guó)相關(guān)企業(yè)投資領(lǐng)域的封鎖。這樣既限制了外國(guó)投資者的資金流入，又影響了國(guó)內(nèi)投資者的心理預(yù)期，使相關(guān)行業(yè)的上市公司股價(jià)大跌。以中芯國(guó)際為例，在美國(guó)出口管制影響下，當(dāng)天開盤和收盤差價(jià)跌逾7%。因此如何恢復(fù)投資者的信心，鼓勵(lì)民間資本介入和加強(qiáng)資金支持也是發(fā)展半導(dǎo)體設(shè)備的重點(diǎn)。

（四）企業(yè)獲取技術(shù)渠道受限

美國(guó)商務(wù)部以國(guó)家安全和外交利益為由，通過推出各種出口管制法案和政策，對(duì)華實(shí)施技術(shù)封鎖，導(dǎo)致我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)獲取技術(shù)渠道受限，主要包括商品進(jìn)口和技術(shù)引進(jìn)兩個(gè)方面。一是美國(guó)出口管制限制了我國(guó)大多數(shù)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口貿(mào)易，使我國(guó)獲取技術(shù)渠道減少。二是美國(guó)對(duì)華產(chǎn)品出口限制的同時(shí)，還伴隨著高技術(shù)出口阻斷。半導(dǎo)體高技術(shù)領(lǐng)域的知識(shí)產(chǎn)權(quán)和技術(shù)轉(zhuǎn)讓都將中斷發(fā)展，或者另起爐灶，或者技術(shù)路線實(shí)現(xiàn)突破，否則永遠(yuǎn)受制于美國(guó)。雖然中國(guó)半導(dǎo)體制造設(shè)備并非完全依賴美國(guó)，但美國(guó)通過出口管制多邊機(jī)制，施壓其盟友對(duì)中國(guó)實(shí)施“圍堵”。一系列更高端化管制致使半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)外溢渠道變窄，且除美國(guó)外其他的替代技術(shù)源欠缺，這將進(jìn)一步減少我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)外溢，嚴(yán)重遏制中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)技術(shù)進(jìn)步。

五、促進(jìn)中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)發(fā)展的對(duì)策

（一）建立企業(yè)合規(guī)體系

在美國(guó)出口管制體系下，中方企業(yè)為能夠健康發(fā)展，需要對(duì)美國(guó)出口管制下有關(guān)行政處罰措施和裁量因素進(jìn)行全面了解，盡快建立健全企業(yè)自身出口管制合規(guī)體系，將出口管制合規(guī)管理納入日常業(yè)務(wù)中。能夠準(zhǔn)確判斷和反映中美貿(mào)易往來(lái)時(shí)可能存在的出口管制合規(guī)風(fēng)險(xiǎn)和預(yù)警因素，并對(duì)存在可能的違規(guī)情況提供有效的證據(jù)進(jìn)行自我檢查和自我糾正。同時(shí)，在企業(yè)可能面臨美國(guó)出口管制處罰風(fēng)險(xiǎn)時(shí)，應(yīng)立即尋求外部律師的幫助和專業(yè)建議，并及時(shí)檢視和梳理風(fēng)險(xiǎn)、采取美國(guó)法律鼓勵(lì)的自我檢舉和主動(dòng)披露、及時(shí)補(bǔ)救和積極配合調(diào)查等對(duì)減輕處罰有積極幫助的應(yīng)對(duì)措施，爭(zhēng)取避免遭受美國(guó)方面的嚴(yán)厲處罰。

（二）優(yōu)化國(guó)內(nèi)外供應(yīng)鏈結(jié)構(gòu)

面對(duì)我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)嚴(yán)重進(jìn)口依賴與美國(guó)出口管制的兩難困境，我國(guó)企業(yè)應(yīng)在國(guó)內(nèi)大力培育本土供應(yīng)商，同時(shí)在國(guó)外加強(qiáng)國(guó)際產(chǎn)能合作。國(guó)內(nèi)方面，在現(xiàn)有高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)園區(qū)的基礎(chǔ)上，基于比較優(yōu)勢(shì)建立園區(qū)內(nèi)企業(yè)專業(yè)分工機(jī)制，利用引導(dǎo)企業(yè)間相互合作競(jìng)爭(zhēng)、加強(qiáng)“產(chǎn)學(xué)研”合作等方式，加速我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)R&D中心自主研發(fā)成果轉(zhuǎn)化落實(shí)，積極進(jìn)行高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)集群發(fā)展轉(zhuǎn)型，從產(chǎn)業(yè)聚集轉(zhuǎn)型為創(chuàng)新聚集，逐步形成我國(guó)國(guó)內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)本土產(chǎn)業(yè)鏈。國(guó)外方面，我國(guó)應(yīng)積極尋求與歐盟國(guó)家貿(mào)易合作可能性，歐盟國(guó)家對(duì)美方具有牽制作用，荷蘭、德國(guó)、法國(guó)等國(guó)家均有可能成為我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備進(jìn)口的穩(wěn)定貿(mào)易伙伴。另外，我國(guó)應(yīng)以實(shí)際行動(dòng)抵制美國(guó)單邊貿(mào)易保護(hù)主義，不斷在國(guó)際平臺(tái)中發(fā)聲表明開放立場(chǎng)，加強(qiáng)與其他國(guó)家自由貿(mào)易往來(lái)與技術(shù)交流，重新搭建我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)海外供應(yīng)鏈。

（三）拓寬融資渠道

半導(dǎo)體設(shè)備的發(fā)展除了國(guó)家的財(cái)政支持之外，仍需要大量的民間資本介入。但是由于部分半導(dǎo)體設(shè)備的制作要求高，專業(yè)性強(qiáng)和周期性明顯，造成商業(yè)銀行、證券公司等金融機(jī)構(gòu)進(jìn)入門檻高。這些金融機(jī)構(gòu)必須了解半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展規(guī)律，積極探索與半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)的合作點(diǎn)。如銀行可以進(jìn)行政策性傾斜，對(duì)北方華創(chuàng)、中微公司等這樣的龍頭企業(yè)放寬貸款條件，為相關(guān)企業(yè)尤其是IC設(shè)備和光刻設(shè)備設(shè)置專門的融資渠道。另外政府可以建設(shè)相關(guān)設(shè)備專項(xiàng)基金和地方基金，充分發(fā)揮基金在全產(chǎn)業(yè)鏈布局的優(yōu)勢(shì)，加強(qiáng)基金所投企業(yè)間上中下游的結(jié)合和提高產(chǎn)品設(shè)備的資金周轉(zhuǎn)率，為本土半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)發(fā)展提供更多資金支持。

（四）挖掘本土技術(shù)潛力

隨著半導(dǎo)體設(shè)備性能不斷優(yōu)化、信息傳遞更快，為半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)提供了機(jī)遇，這也令其他與半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)有聯(lián)系的企業(yè)注意到新的增長(zhǎng)點(diǎn)。由此，我國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備企業(yè)在攻克半導(dǎo)體核心設(shè)備的同時(shí)，可以開發(fā)并充分利用有限的資源，開拓細(xì)分市場(chǎng)，積累一些基礎(chǔ)專利和核心專利，提高每個(gè)細(xì)分領(lǐng)域的生產(chǎn)效率，著力發(fā)展新的增長(zhǎng)點(diǎn)。擁有一些高科技含量專利可以為其他競(jìng)爭(zhēng)公司建起技術(shù)壁壘，并成為半導(dǎo)體設(shè)備細(xì)分市場(chǎng)的潛力股。半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)品新細(xì)分市場(chǎng)上，企業(yè)可以利用不同的技術(shù)或新功能進(jìn)行技術(shù)創(chuàng)新，確立自己的本土核心技術(shù)優(yōu)勢(shì)，占據(jù)一定的市場(chǎng)份額，為中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)提供技術(shù)保障，在國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)獲得競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)。

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（作者單位：河北經(jīng)貿(mào)大學(xué)）

責(zé)任編輯：張莉莉