高熱流密度元器件冷卻用液冷板的研究及優(yōu)化

戰(zhàn)斌飛 徐洪波 張海南 冷冬梅 田長(zhǎng)青 周 遠(yuǎn)

(1 中國(guó)科學(xué)院空間功熱轉(zhuǎn)換技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京 100190；2 中國(guó)科學(xué)院理化技術(shù)研究所 熱力過程節(jié)能技術(shù)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 北京 100190；3 中國(guó)科學(xué)院大學(xué) 北京 100049)

在數(shù)據(jù)中心、新能源汽車和航天航空等領(lǐng)域使用大量的高熱流密度元器件，液冷板因具有高效散熱的特性被廣泛應(yīng)用。目前有許多專家和學(xué)者從事與液冷板高效散熱相關(guān)的研究。魏濤等[1]基于場(chǎng)協(xié)同原理,設(shè)計(jì)出一種菱形肋強(qiáng)化傳熱冷板，傳熱面積相同時(shí),總溫差約為矩形肋冷板的83%。張根烜等[2]采用冷板流道內(nèi)嵌矩形微小型肋片群，散熱能力達(dá)到常規(guī)蛇形通道冷板的4倍以上。李興東等[3]設(shè)計(jì)了用于電子器件散熱的豎向冷板，采用ANSYS軟件對(duì)不同結(jié)構(gòu)的冷板流場(chǎng)、壓力場(chǎng)、溫度場(chǎng)進(jìn)行了模擬分析。賁少愚等[4]選用了3種新型的鋸齒型翅片作為冷板內(nèi)芯，以蒸餾水為介質(zhì)對(duì)其特性進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)研究,結(jié)果表明側(cè)向梯形鋸齒型翅片換熱性能較好。楊冬梅等[5]通過實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證了8流道的微通道液冷板比常規(guī)冷板具有更優(yōu)異的換熱性能。徐德好[6]通過對(duì)系列尺寸冷板進(jìn)行分析對(duì)比和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證，得到了冷板基礎(chǔ)性的設(shè)計(jì)數(shù)據(jù)。張割等[7]基于液冷板設(shè)計(jì)理論進(jìn)行仿真分析,研究了不同功耗下系統(tǒng)所需的流量及對(duì)應(yīng)的芯片溫度和冷板壓損。劉明艷等[8]的研究結(jié)果表明,當(dāng)量直徑在l μm～1 mm的微流道內(nèi),連續(xù)介質(zhì)假設(shè)、N-S方程和傅里葉導(dǎo)熱定律仍然適用，一些適用于常規(guī)通道的經(jīng)典公式仍然適用于微通道冷板的計(jì)算。張程賓等[9]研究了粗糙表面形貌對(duì)流動(dòng)傳熱的影響，粗糙高度增大，有利于強(qiáng)化層流對(duì)流換熱；在相同粗糙高度情況下，粗糙度分布越不規(guī)則，越有利于強(qiáng)化層流換熱。方曉鵬等[10]基于散熱原理,采用往返式流道設(shè)計(jì)出一種低流量強(qiáng)化換熱冷板,僅需深孔鉆冷板的1/3流量即可實(shí)現(xiàn)與深孔鉆冷板相當(dāng)?shù)纳嵝阅堋?/p>

目前與液冷板相關(guān)的研究主要以提高傳熱效率為目的，但針對(duì)液冷板板面溫度均勻性的影響因素和優(yōu)化方法的研究很少。高熱流密度電子元器件除了對(duì)散熱高效要求外，對(duì)于空間內(nèi)溫度均勻性的要求也越來越高。本文以提升液冷板板面溫度均勻性為目的，進(jìn)行了一系列的性能實(shí)驗(yàn)測(cè)試和優(yōu)化設(shè)計(jì)研究。

1 液冷板模型及測(cè)試系統(tǒng)構(gòu)建

1.1 液冷板初步設(shè)計(jì)及構(gòu)建

本文設(shè)計(jì)制作了一個(gè)全鋁材質(zhì)的微通道液冷板(300 mm×300 mm×15 mm)，采用單進(jìn)口單出口，板面設(shè)置6個(gè)熱負(fù)載區(qū)(共計(jì)18個(gè)熱負(fù)載塊)，具體熱源分布如圖1(a～b)所示。熱源通過與液冷板緊密接觸導(dǎo)熱的方式，將熱量導(dǎo)向液冷板，被液冷板內(nèi)流動(dòng)的制冷劑帶走，從而實(shí)現(xiàn)散熱的目的?；诎迕娴臒嵩捶植歼M(jìn)行液冷板流道設(shè)計(jì)，初步將冷板的進(jìn)出口設(shè)置在同側(cè)，制冷劑從液冷板進(jìn)口流進(jìn)主流道(即分液道)，在主流道向兩側(cè)6個(gè)熱負(fù)載區(qū)均勻分液，每個(gè)散熱分區(qū)再均布3條，保證每個(gè)熱負(fù)載塊下都有供冷卻用的通道。制冷劑主要在進(jìn)行熱交換后，先匯集在側(cè)回流道，再在液冷板末端處匯集，最終流出液冷板，具體冷板結(jié)構(gòu)和流道布局如圖1(c～f)所示。

圖1 液冷板板面熱源分布及流道結(jié)構(gòu)

1.2 液冷板性能測(cè)試系統(tǒng)設(shè)計(jì)及搭建

液冷板性能測(cè)試系統(tǒng)原理如圖2(a)所示。該系統(tǒng)可以既達(dá)到無任何運(yùn)動(dòng)部件和極少的閥門穩(wěn)定運(yùn)行，又可以同時(shí)實(shí)現(xiàn)無動(dòng)力驅(qū)動(dòng)運(yùn)行，還可以根據(jù)板面控制溫度和元器件散熱量需求對(duì)制冷劑流量進(jìn)行有效控制。蓄冷儲(chǔ)液罐、電磁閥、接觸式液冷板、自吸泵通過管道串聯(lián)在一起；加熱增壓裝置設(shè)置在蓄冷儲(chǔ)液罐下半體內(nèi)；溫度傳感器設(shè)置在接觸式液冷板上；控制器通過數(shù)據(jù)傳輸線分別與加熱棒或加熱帶、電子膨脹閥、溫度傳和自吸泵相連接?；谙到y(tǒng)設(shè)計(jì)搭建如圖2(b)所示實(shí)驗(yàn)臺(tái)。

圖2 冷板性能測(cè)試系統(tǒng)

當(dāng)接觸式液冷板的溫度高于控制器設(shè)定的溫度，首先通過溫度傳感器檢測(cè)溫度信號(hào)，再通過溫度傳感器反饋支路傳遞到控制器，控制器做出反應(yīng)，控制支路開啟節(jié)流裝置，制冷劑流入液冷板，在液冷板中發(fā)生相變帶走熱量；若溫度傳感器檢測(cè)到液冷板面的溫度不均勻性較大時(shí)，通過溫度傳感器反饋支路將信號(hào)傳給控制器，通過加熱增壓控制支路做出反應(yīng)，開啟加熱增壓裝置，將蓄冷儲(chǔ)液罐內(nèi)的壓力適當(dāng)升高并保持，從而提高管路中的制冷劑的流量；若板面溫度均勻性仍不滿足要求，則通過自吸泵控制支路開啟自吸泵，在接觸式液冷板出口形成一個(gè)負(fù)壓環(huán)境，可再次提高管路中制冷劑的流量，最后達(dá)到設(shè)定要求。具體液冷板性能測(cè)試系統(tǒng)流程如圖3所示。

圖3 冷板性能測(cè)試系統(tǒng)運(yùn)行控制流程圖

控制溫度設(shè)定為17 ℃；冷板板面布置6個(gè)溫度傳感器(T型)實(shí)時(shí)測(cè)量液冷板板面溫度，通過安捷倫采集儀及軟件實(shí)時(shí)記錄測(cè)試數(shù)據(jù)。板面的熱負(fù)載設(shè)置為300 W，所有熱量均勻分配在6個(gè)散熱區(qū)共計(jì)18個(gè)熱源塊上。室溫維持在20 ℃±0.5 ℃。電偶的布置位置如圖4所示。

圖4 液冷板板面溫度傳感器布置

2 液冷板性能測(cè)試

2.1 單相冷卻實(shí)驗(yàn)測(cè)試

使用水作為制冷劑對(duì)液冷板進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試，進(jìn)口水溫約為15 ℃，板面的總發(fā)熱量為300 W，其他系統(tǒng)部件未使用，在水冷卻實(shí)驗(yàn)穩(wěn)定運(yùn)行后，采集板面溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，水冷卻液冷板溫度變化如圖5所示。由圖5可知，液冷板用水冷卻時(shí)，整個(gè)板面最大溫差約在2 ℃，可以發(fā)現(xiàn)測(cè)點(diǎn)5記錄的溫度變化曲線整體較低，主要因?yàn)闇y(cè)點(diǎn)5的位置接近液冷板的進(jìn)口，制冷劑從進(jìn)口流入時(shí)的溫度較低，從而影響整體板面的溫度均勻性。

圖5 水冷卻液冷板溫度變化

2.2 相變冷卻實(shí)驗(yàn)測(cè)試

基于經(jīng)驗(yàn)選取4種常見、不可燃且標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)較高的制冷劑進(jìn)行對(duì)比分析：R22、R124、R142b、R236fa，具體物性如表1所示。制冷劑均不可燃，也就避免了最后選用的制冷劑在實(shí)際應(yīng)用中由于局部溫度過高導(dǎo)致著火等不安全因素的存在。其中，R236fa的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)最高，R22的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)最低。

表1 4種制冷劑的物性參數(shù)

依次將4種制冷劑應(yīng)用在液冷板中進(jìn)行實(shí)驗(yàn)研究，為了進(jìn)行有效對(duì)比，選取系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)(即液冷板板面溫度只在一定范圍內(nèi)波動(dòng))，控制4次實(shí)驗(yàn)液冷板板面的熱源總發(fā)熱量為300 W，進(jìn)口壓力均控制在制冷劑本身標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)溫度對(duì)應(yīng)的飽和壓力，控制溫度均設(shè)定為17 ℃，相同的實(shí)驗(yàn)室室內(nèi)溫度，其它部件在4種制冷劑實(shí)驗(yàn)時(shí)控制相同。4種制冷劑應(yīng)用的具體板面溫度曲線如圖6所示。

圖6 4種制冷劑用于液冷板運(yùn)行溫度

4種制冷劑依次用作液冷板制冷劑，液冷板的板面溫度均勻性由圖6可知，按照從R22、R124、R142b、R236fa的應(yīng)用順序，液冷板的板面溫度均勻性依次變好，即使用R22液冷板的板面溫度均勻性最差，R236fa的板面均勻性最好。其中，R236fa的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)最高，R22的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)最低。

綜上所述，液冷板選用不同的相變制冷劑，板面的溫度均勻性也不同，且液冷板板面的溫度均勻性與選用的相變制冷劑的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)有關(guān)，即相變制冷劑的沸點(diǎn)越高其液冷板板面溫度越均勻。根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的研究和分析，優(yōu)先選用R236fa作為液冷板的制冷劑。

表2所示為液冷板板面6個(gè)測(cè)點(diǎn)的平均溫度。由表2可知，測(cè)點(diǎn)5和測(cè)點(diǎn)6的的平均溫度最低，測(cè)點(diǎn)1和測(cè)點(diǎn)2的平均溫度最高，因?yàn)闇y(cè)點(diǎn)5和測(cè)點(diǎn)6所處的熱源區(qū)距離液冷板的進(jìn)口近，測(cè)點(diǎn)1和測(cè)點(diǎn)2距離液冷板的進(jìn)口遠(yuǎn)，說明測(cè)點(diǎn)到液冷板進(jìn)口的距離會(huì)影響液冷板板面的均勻性，距離液冷板進(jìn)口越近的測(cè)點(diǎn)其溫度越低，反之距離越遠(yuǎn)的測(cè)點(diǎn)溫度越高。

表2 使用R236fa液冷板板面各測(cè)點(diǎn)的平均溫度

對(duì)使用R236fa的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)匯總并進(jìn)一步分析，可以看出，其在4種制冷劑使用中，板面溫度均勻性最好，但其液冷板板面的溫度溫差仍然較差，因?yàn)槠骄鶞囟茸罡叩狞c(diǎn)和平均溫度最低的點(diǎn)溫差達(dá)約2.6 ℃。此外，雖然兩相蒸發(fā)換熱可以有效利用相變蒸發(fā)換熱原理實(shí)現(xiàn)高效冷卻，降低制冷劑流量，但對(duì)比水冷卻實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，可以看出使用兩相制冷劑會(huì)導(dǎo)致板面的溫度均勻性變差。

通過實(shí)驗(yàn)測(cè)試結(jié)果可得，初步模型性能還存在優(yōu)化空間，例如流道可進(jìn)行仿真研究，根據(jù)仿真結(jié)果優(yōu)化流道布置并確定最優(yōu)化方案。

3 液冷板性能優(yōu)化

鑒于該液冷板結(jié)構(gòu)還存在優(yōu)化空間，分析其可能存在的問題：分液不均、流道無擾流結(jié)構(gòu)以及制冷劑在各流道間相互影響等。所以針對(duì)第1個(gè)問題，對(duì)液冷板不同的流道設(shè)計(jì)進(jìn)行仿真優(yōu)化研究；針對(duì)第2個(gè)問題，在流道腔內(nèi)增加擾流結(jié)構(gòu)；針對(duì)第3個(gè)問題，將單進(jìn)口單出口改為單進(jìn)口多出口設(shè)計(jì)。由于液冷板板面冷卻性能測(cè)試需要布置6個(gè)區(qū)域熱源，所以本次設(shè)計(jì)對(duì)應(yīng)各熱源區(qū)域設(shè)置單獨(dú)的換熱腔，減小各區(qū)域之間的相互影響。

3.1 液冷板流道優(yōu)化方案設(shè)計(jì)

基于上面的設(shè)想，提出了雙通道六腔(a)、雙通道橫柱六腔(b)、雙通道斜柱六腔(c)、雙通道斜柱開孔六腔(d)4種優(yōu)化方案，其中雙通道指的每個(gè)換熱腔與主流道之前有兩條通道，該設(shè)計(jì)可以增加換熱腔的進(jìn)液流量和減少單進(jìn)口過小而造成堵塞的問題；依次增加橫柱、斜柱或開孔的設(shè)計(jì)，是為了增加對(duì)流體的擾流作用，增強(qiáng)流體與流道壁面的表面?zhèn)鳠嵯禂?shù)，促使制冷劑在流道內(nèi)進(jìn)行充分換熱，流道設(shè)計(jì)方案如圖7所示，最后進(jìn)行相應(yīng)的仿真研究及對(duì)比。

圖7 新型液冷板流道設(shè)計(jì)方案

3.2 液冷板性能優(yōu)化仿真驗(yàn)證

設(shè)置液冷板流道上壁面均勻受熱即均勻熱流，設(shè)置流道下壁面為絕熱，熱負(fù)載仍為300 W，液冷板流道進(jìn)口設(shè)置為相同的流量進(jìn)口，液冷板流道出口設(shè)置為相同的壓力出口，制冷劑選為單相水冷卻，針對(duì)設(shè)計(jì)方案里面存在擾流設(shè)計(jì)，故將流體湍流模型設(shè)置為k-ε模型，利用Fluent軟件進(jìn)行仿真模擬。

4種流道設(shè)計(jì)方案的速度場(chǎng)模擬結(jié)果如圖8所示。由圖8可知，按照(a)～(d)的順序，從開始某些區(qū)域存在分流不均，直至最后的制冷劑可以在流道內(nèi)分液相對(duì)均勻，因?yàn)闊o液或少液的流道設(shè)計(jì)其板面溫度均勻性一定差，所以方案(d)與其它3種方案相比，具有最佳的分液均勻優(yōu)勢(shì)及提升板面溫度均勻性的優(yōu)勢(shì)。

圖8 4種流道設(shè)計(jì)方案的速度場(chǎng)模擬結(jié)果

4種流道設(shè)計(jì)方案的溫度場(chǎng)模擬結(jié)果如圖9所示。由圖9可知，按照(a)～(d)的順序，從開始某些區(qū)域存在局部熱點(diǎn)，直至最后的制冷劑可以在流道內(nèi)相對(duì)受熱均勻，而流道內(nèi)工質(zhì)的溫度的均勻性可以直接影響最后液冷板板面溫度的均勻性。這一結(jié)果也再次證實(shí)速度場(chǎng)得出的結(jié)論，即雙通道斜柱開孔六腔的設(shè)計(jì)相比其它3種設(shè)計(jì)是最優(yōu)的。

圖9 4種流道設(shè)計(jì)方案的溫度場(chǎng)模擬結(jié)果

3.3 液冷板性能優(yōu)化實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

按照確定好的液冷板流道優(yōu)化設(shè)計(jì)方案進(jìn)行加工和組裝，為了裝配便利，將液冷板進(jìn)行分體加工，主要分為基板和蓋板兩部分，蓋板和基板共同組成完整液冷板。d-流道設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)及組裝如圖10所示。

圖10 d-流道設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)及組裝

對(duì)于新加工的液冷板調(diào)整性能測(cè)試實(shí)驗(yàn)臺(tái)：為了全方位了解液冷板板面的溫度變化情況，在各熱源區(qū)域分別布置兩個(gè)溫度測(cè)點(diǎn)；為了進(jìn)一步通過調(diào)節(jié)各換熱腔出口的壓力來實(shí)現(xiàn)對(duì)各換熱腔制冷劑流量的調(diào)控，在6個(gè)出口各增設(shè)一個(gè)可調(diào)開度手閥和一個(gè)即測(cè)即顯壓力表。溫度測(cè)點(diǎn)的布置、出口手閥和壓力表的設(shè)置以及實(shí)驗(yàn)臺(tái)的搭建如圖11所示。實(shí)驗(yàn)測(cè)試使用R236fa進(jìn)行調(diào)試，測(cè)試開始前，出口手閥均調(diào)為最大開度，同時(shí)電磁閥調(diào)控范圍設(shè)定為17 ℃±1 ℃。

圖11 測(cè)點(diǎn)布置、出口設(shè)置和實(shí)驗(yàn)臺(tái)搭建

為了快速調(diào)節(jié)和減少各出口之間的相互影響，設(shè)計(jì)了可調(diào)節(jié)多出口流量的方法，如圖12所示?？紤]到處于遠(yuǎn)端的熱源換熱腔所需的制冷劑流量相對(duì)其他換熱腔要多，主要思路是先調(diào)節(jié)遠(yuǎn)端橫向兩個(gè)熱源腔板面溫度到一致，然后以其中一個(gè)換熱腔板面溫度為參照，豎向調(diào)節(jié)相近的未調(diào)節(jié)的換熱腔對(duì)應(yīng)的出口開度，使兩腔溫度一致后，再次重復(fù)橫向調(diào)節(jié)步驟，橫向調(diào)節(jié)完畢以后，確認(rèn)橫向兩腔與前面橫向兩腔相對(duì)應(yīng)的溫度是否接近。若有較大溫差，重復(fù)第二步豎向調(diào)節(jié)；若滿足要求，繼續(xù)后面的豎向調(diào)節(jié)。

圖12 液冷板出口流量調(diào)節(jié)流程圖

調(diào)節(jié)出口開度過程板面溫度變化如圖13所示。由圖13可知，溫度波動(dòng)的范圍隨著調(diào)節(jié)進(jìn)程逐漸變小，按照提出的調(diào)控液冷板出口開度的方法確實(shí)有效提高了板面的溫度均勻性，證實(shí)了該方法的有效性。

圖13 調(diào)節(jié)出口開度過程板面溫度變化

調(diào)試完成后，對(duì)系統(tǒng)再次運(yùn)行測(cè)試，選取穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)的溫度數(shù)據(jù)繪制曲線進(jìn)行分析對(duì)比，調(diào)整后液冷板板面溫度變化如圖14所示。由圖14可知，相比調(diào)節(jié)之前，系統(tǒng)穩(wěn)定運(yùn)行時(shí)液冷板板面溫度的變化幅度明顯變小，即液冷板板面的溫度均勻性有了極大的提高。

圖14 調(diào)整后液冷板板面溫度變化

調(diào)整后各測(cè)點(diǎn)的平均溫度如表3所示。由表3可知，測(cè)點(diǎn)10的溫度比其他測(cè)點(diǎn)溫度都要高，一方面是由于其測(cè)點(diǎn)遠(yuǎn)離進(jìn)口，另一方面，在換熱腔內(nèi)可能存在分液不均或測(cè)點(diǎn)過于靠近熱源等問題，所以在后續(xù)實(shí)驗(yàn)中還需進(jìn)一步確認(rèn)和排除。從其他測(cè)點(diǎn)采集的溫度實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)和平均值來看，液冷板板面溫度最大溫差約在2 ℃以內(nèi)，已經(jīng)接近單相水冷卻液冷板板面溫度的均勻程度，這也說明相變液冷板板面溫度均勻性測(cè)試和優(yōu)化的研究工作取得了較大進(jìn)步。

表3 調(diào)整后各測(cè)點(diǎn)的平均溫度

4 結(jié)論

本文建立了一個(gè)單進(jìn)口單出口的液冷板模型并加工實(shí)體，以提高液冷板板面溫度均勻性為目的，設(shè)計(jì)了液冷板測(cè)試系統(tǒng)及其運(yùn)行控制方案，進(jìn)行性能測(cè)試。在相同的工況條件下，控制板面溫度為17 ℃，熱負(fù)載為300 W，室溫維持在約20 ℃，選用水、多種相變制冷劑分別作為制冷劑進(jìn)行實(shí)驗(yàn)測(cè)試；提出優(yōu)化液冷板流道的方案，進(jìn)一步基于確定的流道結(jié)構(gòu)進(jìn)行加工和裝配，利用CFD仿真和實(shí)驗(yàn)兩種方法確認(rèn)優(yōu)化方案的有效性，最終實(shí)現(xiàn)液冷板板面溫度均勻性的有效提升，得到如下結(jié)論：

1)水為冷卻工質(zhì)時(shí)，板面溫度最大溫差在2 ℃以內(nèi)；選用4種制冷劑進(jìn)行測(cè)試，按照R22、R124、R142b、R236fa的順序，液冷板的板面的溫度均勻性依次變好，其中使用R236fa時(shí)，板面溫度最大溫差為2.6 ℃。推斷出液冷板板面的溫度均勻性與選用的相變制冷劑的標(biāo)準(zhǔn)沸點(diǎn)有關(guān)，即相變制冷劑的沸點(diǎn)越高，其液冷板板面溫度越均勻。

2)在相變冷卻實(shí)驗(yàn)測(cè)試中，液冷板進(jìn)口處的溫度相對(duì)較低，會(huì)影響整體液冷板板面的均勻性，反之距離進(jìn)口越遠(yuǎn)的測(cè)點(diǎn)溫度越高；與水單相冷卻實(shí)驗(yàn)對(duì)比，使用兩相制冷劑會(huì)導(dǎo)致板面的溫度均勻性變差。

3)基于提出的4種液冷板設(shè)計(jì)方案，通過相應(yīng)的單相仿真模擬計(jì)算，最終確定雙通道斜柱開孔六腔設(shè)計(jì)的流道設(shè)計(jì)方案最好，即該方案流道分流最均勻且溫度場(chǎng)局部熱點(diǎn)最少。

4)通過對(duì)比實(shí)驗(yàn)中調(diào)節(jié)手閥開度前后板面溫度的均勻性，可以驗(yàn)證已提出調(diào)節(jié)方案流程的有效性。從實(shí)驗(yàn)中實(shí)時(shí)采集的溫度數(shù)據(jù)和平均值來看，液冷板板面溫度最大溫差最終可以控制在2 ℃以內(nèi)，接近單相水冷卻液冷板板面溫度的均勻程度。