光刻機(jī)巔峰對決

劉芮 鄧宇

站在EUV LLC的肩膀上，背靠美國支持，又有客戶送錢，阿斯麥正式成為“全村的希望”，在摘取EUV光刻機(jī)這顆寶石的道路上狂奔。而一代霸主尼康，自此徹底零落在光刻機(jī)制造史的塵埃之中。

在芯片領(lǐng)域，有一種叫光刻機(jī)的設(shè)備，不是印鈔機(jī)，卻比印鈔機(jī)還金貴。歷數(shù)全球，也只有荷蘭一家叫做阿斯麥（ASML）的公司集全球高端制造業(yè)之大成，一年時間造得出二十臺高端設(shè)備，臺積電與三星每年搶破了頭，中芯國際足足等了三年，也沒能將首臺EUV光刻機(jī)迎娶進(jìn)門。

其實，早在上世紀(jì)80年代，阿斯麥還只是飛利浦旗下的一家合資小公司。全司上下算上老板共31位員工，只能擠在飛利浦總部旁臨時搭起的板房里辦公。一出辦公室就能看到板房旁邊一只巨大的垃圾桶。出門銷售，也只能頂著母公司的名義，在對手的映襯下，顯得弱小、可憐，又無助。

不過說起來，作為半導(dǎo)體行業(yè)“皇冠上的明珠”，光刻機(jī)的本質(zhì)其實與投影儀+照相機(jī)差不多，以光為刀，將設(shè)計好的電路圖投射到硅片之上。在那個芯片制程還停留在微米的時代，能做光刻機(jī)的企業(yè)，少說也有數(shù)十家，而尼康憑借著相機(jī)時代的積累，在日本半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)全面崛起的年代，正是當(dāng)之無愧的巨頭。短短四年，就將昔日光刻機(jī)大國美國拉下馬，與舊王者GCA平起平坐，拿下三成市場份額。手里幾家大客戶英特爾、IBM、AMD、德州儀器，每天排隊堵在尼康門口等待最新產(chǎn)品下線的熱情，與我們?nèi)缃裱郯桶偷戎⑺果淓UV光刻機(jī)交貨的迫切并無二致。

誰也不曾料想，二十年不到，風(fēng)光對調(diào)，作為美國忠實盟友的阿斯麥一躍翻身，執(zhí)掌起代工廠的生殺大權(quán)，更成為大國博弈之間的關(guān)鍵殺招?！叭绻覀兘徊怀鯡UV，摩爾定律就會從此停止，”阿斯麥如是說。但這真的只是一個盛產(chǎn)風(fēng)車、郁金香的國家，憑借一個三十多人的創(chuàng)始團(tuán)隊，創(chuàng)造的一個制造業(yè)奇跡嗎？其實，從那臺等了整整三年還未曾交付的EUV背后，我們不難看出背后真正的贏家。灰姑娘翻身做王后的背后，綿延十多年的，是封鎖與反抗，也是復(fù)仇與合作。

干刻濕刻之戰(zhàn)

從市場角度出發(fā)，作為上世紀(jì)90年代最大的光刻機(jī)巨頭，尼康的衰落，始于那一回157nm光源干刻法與193nm光源濕刻法的技術(shù)之爭。背后起主導(dǎo)作用的，是由英特爾創(chuàng)始人之一戈登·摩爾（Gordon Moore）提出的一個叫做摩爾定律的產(chǎn)業(yè)規(guī)范：集成電路上可容納的元器件的數(shù)量每隔18至24個月就會增加一倍（相應(yīng)的芯片制程也會不斷縮小）。而每一次制程前進(jìn)，也會帶來一次芯片性能的飛躍。

這是對芯片設(shè)計的要求，但同時也在要求光刻機(jī)必須領(lǐng)先設(shè)計環(huán)節(jié)一步，交付出相應(yīng)規(guī)格的設(shè)備來。幾十納米時代的光刻機(jī)，門檻其實并不高，三十多人的阿斯麥能輕易入局這個行業(yè)，連設(shè)計芯片的英特爾也可以自己做出幾臺嘗嘗鮮，左右不過是把買回來的高價零件拼拼湊湊，堆出一臺難度比起照相機(jī)高深些許的設(shè)備。

尼康與他們不同的是，對手靠的是產(chǎn)業(yè)鏈一起發(fā)力，而尼康的零件技術(shù)全部自己搞定，就像如今的蘋果，芯片、操作系統(tǒng)大包大攬，隨便拿出幾塊鏡片，雖不見得能吊打蔡司，但應(yīng)付當(dāng)時的芯片制程卻是綽綽有余的。但造芯也好，造光刻機(jī)也好，關(guān)卡等級其實是指數(shù)級別增加的，上世紀(jì)90年代，光刻機(jī)的光源波長被卡死在193nm，成為了擺在全產(chǎn)業(yè)面前的一道難關(guān)。

雕刻東西，花樣要精細(xì)，刀尖就得鋒利，但是要如何把193nm的光波再“磨”細(xì)呢？大半個半導(dǎo)體業(yè)界都參與進(jìn)來，分兩隊人馬躍躍欲試：尼康等公司主張在前代技術(shù)的基礎(chǔ)上，采用157nm的 F2激光，走穩(wěn)健道路。新生的EUV LLC聯(lián)盟則押注更激進(jìn)的極紫外技術(shù)，用僅有十幾納米的極紫外光，刻十納米以下的芯片制程。但技術(shù)都已經(jīng)走到這地步，不管哪一種方法，做起來其實都不容易。

這時候臺積電一個叫做林本堅的鬼才工程師出現(xiàn)了：降低光的波長，光源出發(fā)是根本方法，但高中學(xué)生都知道，水會影響光的折射率——在透鏡和硅片之間加一層水，原有的193nm激光經(jīng)過折射，不就直接越過了157nm的天塹，降低到132nm了嘛！林本堅拿著這項“沉浸式光刻”方案，跑遍美國、德國、日本等國，游說各家半導(dǎo)體巨頭，但都吃了閉門羹。甚至有某公司高層給臺積電COO蔣尚義捎了句狠話，讓林本堅“不要攪局”。

畢竟這只是理想情況，在精密的機(jī)器中加水構(gòu)建浸潤環(huán)境，既要考慮實際性能，又要操心污染。如果為了這一條短期替代方案，耽誤了光源研究，吃力不討好只是其次，被對手反超可就不好看了。

于是，尼康選擇了在157nm上一條道走到黑，卻沒意識到背后有位虎視眈眈的攪局者。當(dāng)時尚是小角色的阿斯麥決定賭一把，相比之前在傳統(tǒng)干式微影上的投入，押注浸潤式技術(shù)更有可能以小博大。于是和林本堅一拍即合，僅用一年時間，就在2004年拼全力趕出了第一臺樣機(jī)，并先后奪下IBM和臺積電等大客戶的訂單。

尼康晚了半步，很快也亮出了干式微影157nm技術(shù)的成品，但畢竟被阿斯麥搶了頭彩，更何況波長還略落后于對手。等到一年后又完成了對浸潤式技術(shù)的追趕，客戶卻已經(jīng)不認(rèn)“老合作伙伴”了，畢竟光刻機(jī)不是小朋友的玩具，更替要錢，學(xué)習(xí)更要成本。

但這一切還只是個開始。

阿斯麥崛起

2000年初做錯了干刻濕刻的選擇之前，其實早在1997年，美國政府一手干預(yù)，使得尼康被EUV LLC排擠在該聯(lián)盟之外時，就已經(jīng)注定了如今光刻機(jī)市場一家獨大的結(jié)局。

前面提到，當(dāng)年為了嘗試突破193nm，英特爾更傾向于激進(jìn)的EUV方案，于是早在1997年，就攢起了一個叫EUV LLC的聯(lián)盟。聯(lián)盟成員的名字個個如雷貫耳——除了英特爾和牽頭的美國能源部以外，還有摩托羅拉、AMD、IBM，以及能源部下屬三大國家實驗室：勞倫斯利弗莫爾國家實驗室、桑迪亞國家實驗室和勞倫斯伯克利實驗室。

這些實驗室是美國科技發(fā)展的幕后英雄，之前的研究成果覆蓋物理、化學(xué)、制造業(yè)、半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的各類前沿方向，有核武器、超級計算機(jī)，甚至還有二十多種新發(fā)現(xiàn)的化學(xué)元素。資金到位，技術(shù)入場，人才云集，但偏偏聯(lián)盟中的美國光刻機(jī)企業(yè)SVG、Ultratech早在上世紀(jì)80年代就被尼康打得七零八落，根本爛泥扶不上墻。于是，英特爾想拉來尼康和阿斯麥一起入伙。但問題在于，這兩家公司，一個來自日本，一個來自荷蘭，都不是本土企業(yè)。

偏偏美國政府又將EUV技術(shù)視為推動本國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的核心技術(shù)，并不太希望外國企業(yè)參與其中，更何況上世紀(jì)80年代在半導(dǎo)體領(lǐng)域搶了美國風(fēng)頭的日本。但EUV光刻機(jī)又幾乎逼近物理學(xué)、材料學(xué)以及精密制造的極限，光源功率要求極高，透鏡和反射鏡系統(tǒng)也極致精密，還需要真空環(huán)境，配套的抗蝕劑和防護(hù)膜的良品率也不高。別說是小國日本與荷蘭，就算是美國，想要憑一己之力自主突破這項技術(shù)，也是癡人說夢。

美國自然不會給日本扼住美國半導(dǎo)體咽喉的機(jī)會。在一份提交給國會的報告之中，美國專家明確指出“尼康可能會將技術(shù)轉(zhuǎn)移回日本，從而徹底消滅美國光刻機(jī)產(chǎn)業(yè)”。日本是敵人，但荷蘭還是有改造成“美利堅好同志”的機(jī)會的。

為了表現(xiàn)誠意，阿斯麥同意在美國建立一所工廠和一個研發(fā)中心，以此滿足所有美國本土的產(chǎn)能需求。另外，還保證55%的零部件均從美國供應(yīng)商處采購，并接受定期審查。所以為什么美國能禁止荷蘭的光刻機(jī)出口中國，一切的原因都始于此時。但不管怎么說，美國能源部還是和阿斯麥達(dá)成了協(xié)議，允許其加入EUV LLC，共同參與開發(fā)，共享研究成果。

6年時間里，EUV LLC的研發(fā)人員發(fā)表了數(shù)百篇論文，大幅推進(jìn)了EUV技術(shù)的研究進(jìn)展，割地求和的阿斯麥雖然只是其中的小角色，但也有機(jī)會分得一杯羹。分享技術(shù)只是一方面，收購走后門其實也是美國送給阿斯麥的一份大禮。2009年，美國的Cymer公司研發(fā)出EUV所需的大功率光源，成為阿斯麥的供應(yīng)商，更在四年后以25億美元高價直接被后者并購。別忘了，這可是光刻機(jī)的核心零件，這樣頂尖的技術(shù)，全球范圍也不超過三家。

毫不夸張地說，阿斯麥雖然是一家荷蘭企業(yè)，但崛起的背后，其實是一場地地道道的美國式成功。

尼康落敗

錯失EUV關(guān)上了尼康光刻機(jī)的大門，而盟友的背叛則徹底焊死了尼康想要突圍的出路。說實話，當(dāng)年的英特爾為了防止核心設(shè)備供應(yīng)商一家獨大，其實還是挺想帶著尼康一起玩的。32nm工藝制程時甚至獨家采用尼康的光刻機(jī)，而之前的45nm，之后的22nm，也都是尼康和阿斯麥同時供貨。就連在2010年的LithoVision大會上，英特爾還宣布將一直沿用193nm沉浸式光刻至11nm節(jié)點。但備胎終究是備胎，一轉(zhuǎn)身，英特爾就為了延續(xù)摩爾定律的節(jié)奏，巨資入股阿斯麥，順帶將EUV技術(shù)托付出去。

另一邊，相比一步步集成了全球制造業(yè)精華的阿斯麥，早年間就習(xí)慣單打獨斗的尼康在遭遇美國封鎖后，更是一步步落后，先進(jìn)設(shè)備技術(shù)跟不上且不提，就連落后設(shè)備的制造效率也遲遲提不上來。當(dāng)年，相同制程，阿斯麥宣稱“每小時可加工175～200片晶圓”，而尼康的數(shù)據(jù)是“每小時200片”。但果真如此嗎？這背后涉及到了一個叫做稼動率的制造業(yè)名詞，簡單理解為一臺機(jī)器設(shè)備實際的生產(chǎn)數(shù)量與可能的生產(chǎn)數(shù)量的比值。

使用阿斯麥的設(shè)備，三星與臺積電的稼動率常年維持在95%上下，一個詞語概括，靠譜！但反觀尼康，被迫自研，什么零件都能做，但又總是差點意思。導(dǎo)致同一批次的相同設(shè)備，每一臺的性能都不盡相同。就像買了二十臺蘋果手機(jī)，這臺只能發(fā)微信，那臺只能刷視頻，剩下18臺還正送檢維修。設(shè)備雖便宜，但稼動率最多只能達(dá)到50%左右，對晶元代工廠來說，實在不劃算。因此，英特爾新CEO上任后，立刻拋棄了尼康，甚至就連中國大陸的芯片代工廠都看不上尼康，其生產(chǎn)出的設(shè)備，只能退出IC光刻，賣給三星、LG、京東方，用來生產(chǎn)面板。

這邊舊人哭，那邊新人笑：2012年，英特爾連同三星和臺積電，三家企業(yè)共計投資52.29億歐元，先后入股阿斯麥，以此獲得優(yōu)先供貨權(quán)，結(jié)成緊密的利益共同體。站在EUV LLC的肩膀上，背靠美國支持，又有客戶送錢，阿斯麥自此正式成為“全村的希望”，在摘取EUV光刻機(jī)這顆寶石的道路上，一路孤獨地狂奔。

終于，在2015年，第一臺可量產(chǎn)的EUV樣機(jī)正式發(fā)布。正所謂機(jī)器一響，黃金萬兩，當(dāng)年只要能搶先拿到機(jī)器開工，就相當(dāng)于直接開動了印鈔產(chǎn)線，EUV光刻機(jī)也因此被冠上了“印錢許可證”的名號。而在這臺價值1.2億美元，重達(dá)180噸的巨無霸設(shè)備背后，實際上90%的部件均來自外部廠商，主要是美國和歐洲的公司。

整個西方最先進(jìn)的工業(yè)體系，托舉起了如今的阿斯麥。而一代霸主尼康，也自此徹底零落在光刻機(jī)制造史的塵埃之中。