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【摘 要】等離子體是物質(zhì)存在的又一種基本形態(tài),產(chǎn)生等離子體的方式也多種多樣。螺旋波等離子體源作為一種高密度源,該等離子體源中螺旋波由射頻天線激勵(lì)并沿軸向磁場(chǎng)方向在有限直徑的圓柱形等離子體柱中傳播,具有哨聲波和橫波模式結(jié)構(gòu),由于其電離效率高、磁場(chǎng)約束低、操作簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn),在材料領(lǐng)域都有著非常廣闊的應(yīng)用前景。本文主要介紹了螺旋波等離子體基本特征,包括色散關(guān)系以及天線特征。在材料應(yīng)用方面,針對(duì)國(guó)內(nèi)外螺旋波等離子體薄膜沉積和刻蝕技術(shù)的研究進(jìn)行了基本綜述。
【關(guān)鍵詞】螺旋波;高密度等離子體;等離子體-材料相互作用;應(yīng)用
1.前言
人們現(xiàn)在知曉的三種物質(zhì)狀態(tài)(固、液、氣)在一定狀況下是可以相互轉(zhuǎn)換的,固體加熱到了一定溫度會(huì)變?yōu)橐后w,液體加熱到了一定溫度會(huì)變?yōu)闅怏w,如果對(duì)氣體采取某種加熱手段,使氣體分子離解和電離[1],這時(shí)物質(zhì)會(huì)變成帶正電的原子核和帶負(fù)電的電子組成的一團(tuán)均勻的流體,它的正負(fù)電荷總量相等,因此它是近似電中性的,所以就叫等離子體。
現(xiàn)階段有許多產(chǎn)生等離子體的方式,螺旋波等離子體源因?yàn)槠潆婋x效率高、磁場(chǎng)約束低等優(yōu)勢(shì)已經(jīng)開(kāi)始廣受人們關(guān)注。因此,這種優(yōu)勢(shì)的高密度源有多種應(yīng)用,如在材料領(lǐng)域中應(yīng)用其進(jìn)行薄膜沉積和刻蝕,在航空航天領(lǐng)域的等離子體推力器等。目前所有的螺旋波等離子體材料處理設(shè)備中,處理腔室都被設(shè)計(jì)在源區(qū)的下游。在螺旋波放電中,典型的等離子體電位值非常低,約15-20v,與電子回旋共振類似,但它所需的磁感應(yīng)強(qiáng)度比電子回旋共振所需的875Gs低得多[2]。國(guó)內(nèi)的研究人員們對(duì)螺旋波等離子體在許多不同的方向開(kāi)展了研究,隨著螺旋波等離子體逐漸受到重視,在未來(lái)會(huì)有著非常大的應(yīng)用和潛力價(jià)值。
2.螺旋波等離子體的基本特征
螺旋波是在有限直徑、軸向磁化的圓柱形等離子體中傳播的具有哨聲波模式的波,它由射頻驅(qū)動(dòng)天線激發(fā),并通過(guò)石英管發(fā)射到等離子體中,在那里螺旋波具有橫波模式,并沿著等離子體柱傳播,電磁波的能量則通過(guò)碰撞或無(wú)碰撞阻尼被電子吸收,促進(jìn)等離子體的產(chǎn)生[2]。其頻率比電子回旋頻率大,比離子回旋頻率小。
2.1.螺旋波的色散關(guān)系
螺旋波模式是由與磁場(chǎng)B0成同一角度傳播的多個(gè)低頻哨聲波疊加而成的[2],其色散關(guān)系式:
a為管徑,對(duì)于給定的n0、B0,色散關(guān)系就是一條直線,或者對(duì)于給定的ω、k,n/B 就是常數(shù)。例如,實(shí)驗(yàn)上如果ω、B0固定,k就由天線長(zhǎng)度確定[2]。Ef為電離截面峰值,氬氣為50ev,氫氣為80ev,氧氣為90ev[3]。
2.2.天線
天線是螺旋波等離子體源中不可或缺的一部分,利用天線的特殊結(jié)構(gòu)可以向等離子體發(fā)射螺旋波。天線結(jié)構(gòu)的改變會(huì)導(dǎo)致螺旋波相速度的變化,此變化又會(huì)對(duì)螺旋波等離子體的電場(chǎng)和磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)造成影響,最終影響功率沉積和能量耦合,所以對(duì)不同種類的天線進(jìn)行研究是非常有意義的。現(xiàn)階段到目前為止,在國(guó)內(nèi)杜丹等人[4]針對(duì)天線長(zhǎng)度對(duì)波吸收和傳播的影響進(jìn)行了模擬,結(jié)果表明了天線的軸向長(zhǎng)度與總輻射能量和輻射電阻有一定關(guān)系。平蘭蘭等人[5]根據(jù)功率沉積和能量耦合對(duì)天線進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計(jì),得出了最佳的結(jié)構(gòu)與尺寸。Ph.Guittienne等人[6]研究了一種新型鳥(niǎo)籠型天線,相比與傳統(tǒng)天線有更好的效果。
2.2.1.Boswell型天線
Boswell型天線是螺旋波等離子體源中最為典型的天線之一,圖2-1為Boswell型天線,該天線能夠在橫向產(chǎn)生射頻磁場(chǎng),該磁場(chǎng)通過(guò)耦合到波磁場(chǎng)的徑向分量來(lái)激勵(lì)螺旋波[7]。
2.2.2.名古屋型天線
Chen在對(duì)螺旋波等離子體了解后,產(chǎn)生了極大的興趣,在天線進(jìn)行了大量的研究,感興趣的讀者可以參考Chen1992年的文章。名古屋型天線的方位角模數(shù)為1,如圖2-2所示,為全波長(zhǎng)的名古屋型天線,實(shí)際實(shí)驗(yàn)中我們通常使用這個(gè)天線的一半就足夠了。電流從中心流出,繞著等離子體到達(dá)頂部,這時(shí)等離子體會(huì)感應(yīng)出與電流方向相反電場(chǎng)Em,在電場(chǎng)Em的作用下正負(fù)電荷發(fā)生分離,電子向天線末端移動(dòng),形成一個(gè)射頻電場(chǎng)Es,與此同時(shí),底部附近產(chǎn)生了相反的電流和電荷。在軸向上,Em和Es方向相反并基本完全抵消,在徑向上,由于空間電荷的影響,也會(huì)產(chǎn)生一個(gè)垂直與B0的電場(chǎng),方向與Em相同,在這兩個(gè)電場(chǎng)的疊加下,可以將能量耦合給螺旋波。
除上述兩種典型天線以外,左螺旋型天線以及右螺旋型天線也是比較常規(guī)的天線。在這幾種天線中,半波長(zhǎng)的右螺旋型天線效率最高。研究表明天線長(zhǎng)度為螺旋波波長(zhǎng)一半、或一半波長(zhǎng)的奇數(shù)倍時(shí)電源能量耦合效率最高,天線長(zhǎng)度為螺旋波波長(zhǎng)、或一半波長(zhǎng)偶數(shù)倍時(shí)耦合效率最低[8]。
3.螺旋波等離子體在材料中應(yīng)用
3.1.薄膜沉積
由于螺旋波等離子體高效率、高密度以及磁場(chǎng)約束大等特點(diǎn),利用螺旋波等離子體進(jìn)行薄膜沉積具有諸多優(yōu)勢(shì)?,F(xiàn)階段國(guó)內(nèi)外對(duì)螺旋波等離子體薄膜沉積的研究也比較重視,開(kāi)展了較多實(shí)驗(yàn)。
于威等人[9]采用螺旋波等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù),以SiH4作為源反應(yīng)氣體在Si和玻璃襯底上制備了納米Si薄膜。結(jié)果表明,襯底溫度與納米薄膜的質(zhì)量有關(guān)系,在較低的溫度下,顆粒大小保持在4-8mm之間,樣品的表面光滑,晶粒分布均勻,所獲得的納米Si薄膜質(zhì)量高。隨著襯底溫度的提高,薄膜晶化度和晶粒尺寸的增加。G.S.Fu等人[10]研究了ZnO的薄膜生成,結(jié)果表明ZnO薄膜有著很好的c軸擇優(yōu)取向,通過(guò)霍爾效應(yīng)的測(cè)量的結(jié)果顯示,沉積薄膜的遷移率可達(dá)到5cm2/(v.s)[10]。C Sarra-Bournet等人[11]利用在Ar/O2/N2混合氣體,采用螺旋波等離子在以玻璃和硅片為基底上沉積了二氧化鈦薄膜。研究結(jié)果表明,在低溫條件下可以制備出結(jié)晶態(tài)二氧化鈦薄膜,同時(shí)利用氮可以控制所需的晶體結(jié)構(gòu)。蘇州大學(xué)於俊等人[12]采用不同比例N2/Ar螺旋波等離子體對(duì)Si表面進(jìn)行氮化處理合成SiON。通過(guò)研究發(fā)現(xiàn),當(dāng)溫度為室溫時(shí),內(nèi)層以Si3N4為主,外層以SiON為主[12],并且隨著N2含量的增多表面會(huì)越來(lái)越平整,同時(shí)還發(fā)現(xiàn)了樣品表面疏水性能與等離子體的處理有一定關(guān)系,當(dāng)使用等離子體處理后,疏水性能提高。蘇州大學(xué)錢嘉偉[13]使用螺旋波等離子體源在硅襯底表面快速沉積碳納米材料。結(jié)果顯示,隨著磁場(chǎng)的增加,薄膜生長(zhǎng)速率隨著等離子體密度變化增加而增加,并且當(dāng)薄膜在2100Gs時(shí),最低摩擦系數(shù)為0.005。當(dāng)磁場(chǎng)變大時(shí),薄膜也更為致密[13]。季佩宇等人[14]通過(guò)Ar/CH4螺旋波等離子化學(xué)氣相沉積法制備了垂直石墨烯納米片,通過(guò)改變生長(zhǎng)時(shí)間實(shí)現(xiàn)了對(duì)垂直石墨烯納米片參數(shù)的調(diào)制。結(jié)果表明,垂直石墨烯納米片的高度隨時(shí)間呈現(xiàn)線性變化,由4min時(shí)的1.2μm增加到25min時(shí)的6.2μm,平均生長(zhǎng)速率為0.26μm/min。隨生長(zhǎng)時(shí)間的增加,垂直石墨烯納米片尺寸增加,最終導(dǎo)致結(jié)晶度增加。
3.2.刻蝕
在刻蝕上相較于電容耦合等離子體源與電感耦合等離子體源,螺旋波等離子體源有著更加高的電子密度,而高密度的等離子體源可以有效的提高刻蝕速率。Chen在早些年提出[15]以迷你放電為基本單元的大型陣列螺旋波等離子體源,在擴(kuò)展區(qū)中兩邊通過(guò)電磁鐵對(duì)等離子體進(jìn)行改善徑向約束,從而進(jìn)行刻蝕由于需要很大的電磁鐵,這種裝置不適合大規(guī)模制造,也沒(méi)有被半導(dǎo)體工業(yè)采用。但關(guān)于螺旋波等離子體的刻蝕研究沒(méi)有就此停止。
H.Kitagawa等人[16]通過(guò)NF3螺旋波等離子體對(duì)硅進(jìn)行刻蝕研究。結(jié)果表明,氣壓會(huì)影響硅的刻蝕速率,氣壓越低,刻蝕速率也越低,并且腔室中的低磁場(chǎng)會(huì)使刻蝕變得更加均勻。Jung-Hyung Kim等人[17]研究了脈沖調(diào)制螺旋波等離子體中的多晶硅刻蝕。研究發(fā)現(xiàn),在脈沖模式下與自偏壓成正比的抗蝕率高于連續(xù)模式。通過(guò)調(diào)節(jié)調(diào)制頻率可提高刻蝕速率和選擇性。P.Chabert等人[18]研究了SF6螺旋波等離子體對(duì)4H-SiC的刻蝕速率與氣壓、功率、襯底偏置電壓、基片臺(tái)及螺旋波源間距的關(guān)系。在確保良好均勻性的前提下,最高刻蝕速率達(dá)到1.35μm/min在4H-SiC基片上的刻蝕深度為330μm。Hyoun Woo Kim等人[19]利用O2/Cl2螺旋波等離子體刻蝕Ru進(jìn)行了研究。結(jié)果表明,當(dāng)Cl2/(O2+Cl2)氣體流量為20%時(shí),達(dá)到最大刻蝕速率0.00056μm/min。腔室壓力對(duì)Ru的刻蝕速率也有很大影響。Ru的刻蝕速率隨著壓力增加而增加。在高壓下,存在較多自由基,產(chǎn)生較多揮發(fā)性的RuO4是提高刻蝕速率的原因。他們針對(duì)ICP和HWP兩種不同等離子體源對(duì)Ru的刻蝕也做了研究[20],結(jié)果表明,無(wú)論在哪種等離子體源下,Ru的刻蝕速率在Cl2/(O2+Cl2)氣體流量比0.1-0.3范圍內(nèi)達(dá)到最大值,且隨總氣體流量的增加而增加。ICP刻蝕Ru表面為純Ru,而螺旋等離子體刻蝕Ru表面為非晶和RuO2組成。J.Sporre[21]等人采用螺旋波氫等離子體對(duì)EUV光學(xué)元件Sn刻蝕做了相關(guān)研究,結(jié)果表明,在2000W的射頻功率下,可以在6分鐘內(nèi)從一個(gè)1cm2基板上完全蝕刻超過(guò)240mm的錫,蝕刻速率約為38mm/min。
4.結(jié)論以及未來(lái)展望
本文主要針對(duì)等離子體與材料的相互作用,介紹了一種高密度的螺旋波等離子體源。首先,介紹了螺旋波等離子體的基本特征,討論了螺旋波的色散關(guān)系、天線種類以及原理,這些特征對(duì)于理解螺旋波等離子體是非常必要的。而后,對(duì)螺旋波等離子體在材料領(lǐng)域中的研究進(jìn)行了綜述。
對(duì)于未來(lái)螺旋波等離子體還有很長(zhǎng)的一段路要走,在未來(lái)的發(fā)展需要達(dá)到以下目標(biāo):
(1)通過(guò)射頻功率能高效率的將能量耦合到螺旋波等離子體中,但對(duì)于其中的物理機(jī)制,現(xiàn)在還尚不明確。Shamrai提出TG模式吸收機(jī)理,TG模式吸收機(jī)理認(rèn)為螺旋波的等離子體源中有兩種波,即螺旋波和 TG波。螺旋波位于等離子體內(nèi)部與表面的TG波耦合,TG波屬準(zhǔn)靜電波在等離子體表面吸收能量[22]。弱螺旋波阻尼和強(qiáng)TG波阻尼致使螺旋波放電產(chǎn)生等離子體的高電離效率,這是目前人們普遍接受的機(jī)制。
(2)螺旋波等離子體源基本現(xiàn)象的深入研究,如低磁場(chǎng)峰現(xiàn)象,在磁場(chǎng)60Gs左右時(shí),會(huì)出現(xiàn)一個(gè)等離子體密度峰值,因?yàn)槁菪◤哪┒诉吔绶瓷洌▽?dǎo)體和絕緣體的相位相反),從而增加電離和密度。低場(chǎng)峰的物理機(jī)制既然對(duì)了解等離子體特性有所幫助,也能促進(jìn)螺旋波等離子體源的發(fā)展和設(shè)計(jì)。
(3)應(yīng)用,在工業(yè)應(yīng)用方面,除了現(xiàn)有的等離子體蝕刻、沉積、電推力器和材料表面處理工藝外,還可以在環(huán)境和醫(yī)療領(lǐng)域進(jìn)行研發(fā)。希望在不久的將來(lái)能發(fā)揮重要作用。
參考文獻(xiàn):
[1]趙化僑編著. 等離子體化學(xué)與工藝[M]. 合肥:中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)出版社,1993.02.
[2]邁克爾·A.力伯曼(Michael A.Lieberman)著;蒲以康譯. 等離子體放電與材料工藝原理 第2版[M].北京:電子工業(yè)出版社,2018.01.
[3]N. Sharma,M. Chakraborty,N.K. Neog,M. Bandyopadhyay. Design of a helicon plasma source for ion–ion plasma production[J]. Fusion Engineering and Design,2017,117.
[4]杜丹,李帥,陽(yáng)璞瓊,馮軍,向東,龔學(xué)余. 螺旋天線軸向長(zhǎng)度對(duì)螺旋波傳播、吸收的影響[J]. 計(jì)算物理:1-12.
[5]平蘭蘭,張新軍,楊樺,徐國(guó)盛,萇磊,吳東升,呂虹,鄭長(zhǎng)勇,彭金花,金海紅,何超,甘桂華.螺旋波等離子體原型實(shí)驗(yàn)裝置中天線的優(yōu)化設(shè)計(jì)與功率沉積[J].物理學(xué)報(bào),2019,68(20):229-239.
[6]Guittienne P,Chevalier E,Hollenstein C . Towards an optimal antenna for helicon waves excitation[J]. Journal of Applied Physics,2005,98(8):1147.
[7]房同珍.螺旋波激發(fā)等離子體源的原理和應(yīng)用[J].物理,1999(03):38-43.
[8]L.Porte,S.M.Yun,D.Amush,F(xiàn).F.Chen,Plasma Sources Sci.Technol.,2003,12:287.
[9]于威,朱海豐,王保柱,韓理,傅廣生.螺旋波等離子體沉積納米硅薄膜結(jié)構(gòu)特性[J].功能材料與器件學(xué)報(bào),2004(02):177-181.
[10]Guangsheng,F(xiàn)u,and,et al. Epitaxial growth of ZnO films by helicon-wave-plasma-assisted sputtering[J]. Physica B Condensed Matter,2006.
[11]Sarra-Bournet C,Charles C,Boswell R .Characterization of nanocrystalline N-doped titanium oxide obtained by N2/O2/Ar low-field helicon plasma sputtering[J]. Journal of Physics D Applied Physics,2011,44(45):455202.
[12]於俊,黃天源,季佩宇,金成剛,諸葛蘭劍,吳雪梅.螺旋波等離子體合成SiON薄膜及其特性[J].科學(xué)通報(bào),2017,62(19):2125-2131.
[13]錢嘉偉. 磁場(chǎng)對(duì)螺旋波等離子體合成碳納米(DLC)材料影響的實(shí)驗(yàn)研究[D].蘇州大學(xué),2020.
[14]Peiyu Ji,Jiali Chen,Tianyuan Huang,Chenggang Jin,Lanjian Zhuge,Xuemei Wu. Fast preparation of vertical graphene nanosheets by helicon wave plasma chemical vapor deposition and its electrochemical performance[J]. Diamond & Related Materials,2020,108.
[15]Francis F Chen. Helicon discharges and sources:a review This article was originally part of the special ‘Interaction of electromagnetic waves with low-temperature plasmas,published in PSST,vol 23,issue 6 .[J]. Plasma Sources Science and Technology,2015,24(1).
[16]Kitagawa H,Tsunoda A,Shindo H,et al. Etching characteristics in helicon wave plasma[J]. Plasma Sources ence and Technology,1993,2(1):11.
[17]Kim J H,Kang C J,Ahn T H,et al. Characteristics of self bias voltage and poly-Si etching in pulsed helicon wave plasma[J]. Thin Solid Films,1999,345(1):124-129.
[18]Chabert P,Proust N,Perrin J,et al. High rate etching of 4H-SiC using a SF6/O2 helicon plasma[J]. Applied Physics Letters,2000,76(16):2310-2312.
[19]Hyoun,Woo,Kim,et al. Study of Ru etching using O2/Cl2 helicon plasmas[J]. Materials Science and Engineering:B,2002.
[20]Kim H . Characteristics of Ru etching using ICP and helicon O2/Cl2 plasmas[J]. Thin Solid Films,2005,475(1-2):32-35.
[21]Sporre J,Elg D,Andruczyk D,et al. In-situ Sn contamination removal by hydrogen plasma[J]. Proceedings of SPIE - The International Society for Optical Engineering,2012:82.
[22]趙高. 螺旋波等離子體源實(shí)驗(yàn)及特性研究[D].北京印刷學(xué)院,2015.
(作者單位:成都大學(xué) 機(jī)械工程學(xué)院)