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    仿生纖毛MEMS矢量流速傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及仿真分析

    2020-03-17 01:54:18嚴(yán)中穩(wěn)劉武梁賀龍許海軍訾鵬
    航空科學(xué)技術(shù) 2020年2期
    關(guān)鍵詞:空氣流速梳齒纖毛

    嚴(yán)中穩(wěn),劉武,*,梁賀龍,許海軍,訾鵬

    1.上海交通大學(xué),上海200240

    2.微米/納米加工技術(shù)國家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,上海200240

    精確測(cè)量飛行器流場(chǎng)速度分布對(duì)分析飛行器的空氣動(dòng)力學(xué)性能及實(shí)現(xiàn)飛行器主動(dòng)流動(dòng)控制有著重要的意義。目前,隨著小型飛行器的快速發(fā)展,迫切需要有可分辨0.01m/s 空氣流速變化,量程達(dá)到100m/s 的寬量程、高分辨率的空氣流速傳感器來滿足其空氣動(dòng)力學(xué)測(cè)試需求。

    在自然界中有很多高性能生物纖毛感受器,如蟋蟀的尾須、魚的側(cè)線等,這些生物都是通過自身纖毛來感受外界流場(chǎng)的細(xì)微變化,從而實(shí)現(xiàn)捕食獵物和躲避天敵。經(jīng)過千百萬年的自然選擇進(jìn)化,自然界的纖毛感受器已表現(xiàn)出寬量程和極高靈敏度的性能[1,2]。這為科學(xué)家們研制高性能的傳感器提供了發(fā)展思路。為此,從2000 年開始,各國科學(xué)家們開始從事仿生纖毛微傳感器的研究工作。

    目前,已有報(bào)道的仿生纖毛流速微傳感器大多數(shù)是壓阻式傳感器。2007 年,國內(nèi)東南大學(xué)的黃慶生、魏澤文等設(shè)計(jì)了一種新型可測(cè)二維風(fēng)向硅壓阻式流速流向傳感器[3]。2002年起,美國西北大學(xué)Liu Chang 課題組進(jìn)行了多年仿生纖毛微流速傳感器的研制工作[4],2007 年,該課題組Chen Nannan報(bào)道了雙懸臂梁支撐結(jié)構(gòu)的傳感器[5],其在0~0.4m/s 水流流速量程內(nèi)的分辨率為0.7mm/s。2014 年至今,新加坡南洋理工的Jianmin Miao 團(tuán)隊(duì)和麻省理工學(xué)院Michael S.Triantafyllou 團(tuán)隊(duì)一直合作從事微仿生纖毛傳感器的研究工作。2014年,該合作團(tuán)隊(duì)的Kottapalli等報(bào)道了基于柔性液晶聚合物基底上制備的金應(yīng)變壓阻單元以及該單元中心通過精密裝配黏結(jié)立體光刻制備的Si60 纖毛(直徑400μm、長(zhǎng)2700μm)實(shí)現(xiàn)的仿生纖毛傳感器陣列,其中在風(fēng)中傳感器的量程為8m/s、最小可分辨為0.1m/s 速度變化[6]。2016 年為提高金應(yīng)變壓阻纖毛微傳感器性能,他們采用增加纖毛與流體的接觸面積來提升傳感器的性能,具體采用靜電紡絲技術(shù)在Si60 纖毛制備金字塔形納米纖維支架并在上面制備水凝膠頂[7],該傳感器靈敏度較2014年器件提高3.5~5倍。

    考慮到壓敏電阻對(duì)溫度較敏感易受環(huán)境影響,以及電容式傳感器易制備且有更好溫度特性的特點(diǎn),本文提出了一種基于彎曲折疊梁的不對(duì)稱梳齒電極對(duì)結(jié)構(gòu)的仿生纖毛矢量流速微傳感器,理論分析表明所提出的矢量流速微傳感器有望獲得更高的測(cè)量范圍和分辨率。

    1 微型矢量流速傳感器原理和結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)

    微型矢量流速傳感器測(cè)量原理是將流體經(jīng)過纖毛柱時(shí)帶來的應(yīng)變變化轉(zhuǎn)換為梳齒電極對(duì)之間電容變化,通過測(cè)量電容來實(shí)現(xiàn)流速測(cè)量。

    圖1為微型矢量流速傳感器結(jié)構(gòu)示意圖。當(dāng)流體作用在傳感器時(shí),流場(chǎng)作用力作用在多纖毛柱上,纖毛柱帶動(dòng)懸浮薄膜運(yùn)動(dòng),使得連接在薄膜的梳齒對(duì)發(fā)生位置上的移動(dòng),梳齒電極對(duì)之間的電容就會(huì)隨著距離改變而變化。

    圖1 傳感器結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1 Schematic diagram of the sensor

    微型矢量流速傳感器的結(jié)構(gòu)主要由4 組彎曲折疊梁、組成差分結(jié)構(gòu)的不對(duì)稱梳齒電極、多纖毛柱以及懸浮薄膜組成。傳感器以4in(1in=25.4mm)的SOI(絕緣體上的硅)圓片(器件層厚度為45μm、埋層二氧化硅厚度為3μm、Handel層厚度為300μm)為基底進(jìn)行制備,其具體結(jié)構(gòu)尺寸見表1。

    綜合考慮電容極板布置便利和大的差分電容變化需求,本文采用圖1所示的不等間隙的電容布置形式,其中梳齒電極小間隙為3.5μm,大間隙為20μm。

    圖2 為不對(duì)稱梳齒電極差分示意圖,通過理論分析平行板電容器的電容可以表示為:

    式中:ε為空氣的介電常數(shù);s和d為表示重疊面積和電容器左右兩極板之間的距離。

    圖2 不對(duì)稱梳齒電極差分結(jié)構(gòu)(單位:μm)Fig.2 Asymmetric comb electrode differential structure

    當(dāng)動(dòng)極板上移時(shí)左邊小間隙變大,右邊小間隙變小,現(xiàn)在假設(shè)初始電容為c0,左右兩邊的初始小間隙為δ,動(dòng)極板上移Δδ。此時(shí)左邊小間隙變?yōu)棣?Δδ,右邊小間隙為δ+Δδ。

    由式(1)可得:

    差分電容為:

    當(dāng)滿足Δδ<<δ時(shí),根據(jù)泰勒級(jí)數(shù)展開可得電容:

    表1 傳感器的尺寸參數(shù)Table 1 Size parameters of sensor

    當(dāng)省略高次項(xiàng)時(shí)得到:

    從理論分析得到差分結(jié)構(gòu)對(duì)靈敏度有顯著提高,并且可以降低傳感器受環(huán)境等影響。

    2 微型矢量流速傳感器的仿真分析

    2.1 流體-纖毛作用力分析

    本文采用解析法求解流體作用于纖毛柱所產(chǎn)生的力[8-10]。對(duì)于纖毛所受流體運(yùn)動(dòng)可以假設(shè)無滑移,流體以平行于無限平板結(jié)構(gòu)的層流情況,平板上的流體速度分布情況如式(7)所示:

    其中:

    式中:U0為邊界層外的自由流速;ω為角速率;t為時(shí)間;z為與平板距離;μf為流體動(dòng)力黏度;ρf為流體密度。

    根據(jù)Stokes 研究成果,單位長(zhǎng)度纖毛上所受的流體作用力[9]為:

    式中:Zs為流阻;Ur為纖毛相對(duì)流體的速度。得到Zs表達(dá)式為:

    式中:Rh為纖毛半徑;G和g表達(dá)式如式(13)、式(14)所示:

    Ur為流體流速減去纖毛速度,其表達(dá)式如式(15)所示:

    式中:φh為纖毛角位移。

    綜合式(7)~式(15),纖毛所受流體黏滯力[10]為:

    式(16)體現(xiàn)了力與流速之間的關(guān)系,通過Matlab 仿真計(jì)算得到纖毛受力跟流速之間的關(guān)系如圖3所示。

    從圖中可以看出一定范圍內(nèi)的流速跟力之間是呈性線性關(guān)系的。

    2.2 微型矢量流速傳感器的應(yīng)變與應(yīng)力分析

    當(dāng)纖毛柱受到運(yùn)動(dòng)流體作用時(shí),微傳感器的纖毛柱、支撐薄膜和折疊梁會(huì)產(chǎn)生形變。為了保證微傳感器的空氣下流速測(cè)量量程能達(dá)到100m/s,本文采用ANSYS軟件分析了空氣流速為100m/s 時(shí)該傳感器所受的應(yīng)變和應(yīng)力情況。圖4(a)為應(yīng)變的分析結(jié)果,從仿真結(jié)果中得到最大的應(yīng)變?yōu)?.133μm,結(jié)果表明梳齒電極小間隙設(shè)計(jì)的3.5μm能夠滿足要求。圖4(b)是應(yīng)力的分析結(jié)果,從仿真結(jié)果得到最大應(yīng)力為位于折疊梁上的0.29MPa,且該應(yīng)力值遠(yuǎn)小于SU-8纖毛柱自身強(qiáng)度和Si的自身強(qiáng)度,因而該傳感器空氣流速的量程可達(dá)100m/s。

    圖3 力與流速對(duì)應(yīng)關(guān)系Fig.3 Correspondence between force and flow rate

    圖4 流速為100m/s傳感器的應(yīng)變和應(yīng)力分析Fig.4 Strain and stress analysis of a flow rate of 100m/s

    2.3 傳感器性能分析

    本文設(shè)計(jì)的傳感器為電容式流速傳感器,通過分析空氣流速與差分電容的變化關(guān)系,并根據(jù)微電容的測(cè)試能力,我們可以得到傳感器的靈敏度、量程和分辨率。

    本文分別分析了采用彎曲折疊梁和傳統(tǒng)直梁支撐時(shí),傳感器動(dòng)梳齒應(yīng)變和差分電容與空氣流速的關(guān)系。圖5為ANSYS有限元分析得到的應(yīng)變和流速關(guān)系圖。圖6為計(jì)算得到的流速與差分電容關(guān)系圖。根據(jù)圖5和圖6的結(jié)果,我們可知,對(duì)于彎曲折疊梁和直梁支撐傳感器,其在100m/s空氣流速范圍內(nèi),它們的差分電容與流速關(guān)系近似為線性關(guān)系,它們的靈敏度分別為1.45fF/m/s、0.13fF/m/s。相比直梁傳感器靈敏度,彎曲折疊梁傳感器的靈敏度可以提升約11.1倍??紤]到典型的電容測(cè)試芯片AD7746電容測(cè)量量程在±4pF,分辨率為4aF,采用彎曲折疊梁的傳感器的分辨率可達(dá)0.01m/s,量程大于100m/s。

    圖5 不同結(jié)構(gòu)流速與應(yīng)變位移關(guān)系圖Fig.5 Relationship between velocity and strain displacement of different structures

    圖6 不同結(jié)構(gòu)流速與電容關(guān)系圖Fig.6 Relationship between flow velocity and capacitance of different structures

    3 微型矢量流速傳感器的工藝制造

    基于MEMS加工技術(shù),本文提出了如圖7所示的基于SOI硅片的工藝制造路線。具體工藝步驟:(1)清洗SOI硅片;(2)在SOI上器件層制備Cr/Au電極及其引線;(3)DRIE刻蝕得到懸浮薄膜結(jié)構(gòu)、梳齒結(jié)構(gòu)和折疊梁;(4)制造SU8膠纖毛柱;(5)通過犧牲孔實(shí)現(xiàn)犧牲層釋放,得到懸浮薄膜、梳齒和折疊梁結(jié)構(gòu)。

    目前,制造工作已經(jīng)完成工藝步驟(1)~步驟(4),圖8為對(duì)應(yīng)的傳感器結(jié)構(gòu)實(shí)物照片。制備的傳感器結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,圖形清晰。證實(shí)了工藝流程設(shè)計(jì)合理。后續(xù),我們將完成傳感器犧牲層釋放并開展實(shí)際性能測(cè)試工作。

    4 結(jié)束語

    圖7 MEMS矢量流速傳感器加工工藝路線Fig.7 Process sequence used for MEMS vector flow sensor

    圖8 傳感器照片F(xiàn)ig.8 Sensor experiment photo

    提出了一種基于MEMS 技術(shù)的仿生纖毛矢量流速微傳感器,該傳感器采用彎曲折疊梁與不對(duì)稱梳齒電極等結(jié)構(gòu)。我們運(yùn)用解析法和有限元仿真分析相結(jié)合的方法,進(jìn)行了流體—固體—靜電場(chǎng)分析。分析結(jié)果表明,所設(shè)計(jì)的微流速傳感器在空氣下的測(cè)試量程可達(dá)100m/s、靈敏度可達(dá)0.01m/s。此外,我們還提出了該傳感器的制備工藝流程,并通過工藝試驗(yàn)驗(yàn)證了該方法的可行性。

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