中微尹志堯：半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)要超越才能發(fā)展

半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域門檻很高，同時(shí)風(fēng)險(xiǎn)比較大

只有中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的大發(fā)展，才能支撐半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展

因?yàn)檎拇罅χС忠约懊耖g的努力，近年來，我國(guó)很多地區(qū)都相應(yīng)地開發(fā)出不同的、很有競(jìng)爭(zhēng)力的半導(dǎo)體設(shè)備。以上這些，可以說都是最近幾年中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的亮點(diǎn)。當(dāng)然這些成績(jī)也只是國(guó)產(chǎn)設(shè)備初步的發(fā)展，要真正做到國(guó)產(chǎn)高端設(shè)備全面進(jìn)入國(guó)內(nèi)和國(guó)際兩個(gè)市場(chǎng)還需要相當(dāng)多的努力。

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展也有幾十年了，我們的設(shè)備之所以不能進(jìn)入大生產(chǎn)線，一方面是工藝問題，另一方面，我們并沒有完全搞清楚研發(fā)生產(chǎn)的樣機(jī)與能夠在大生產(chǎn)線上重復(fù)、可靠、安全使用的生產(chǎn)設(shè)備的區(qū)別。要做出一個(gè)真正能夠在生產(chǎn)線可以使用的設(shè)備，重復(fù)性、可靠性、安全性非常重要。樣機(jī)出來了，工藝也走通了，只是完成了設(shè)備的10%，要進(jìn)入大生產(chǎn)線還有90%的事情要做，其中包括市場(chǎng)開拓，客戶評(píng)介，售后服務(wù)等一系列的問題。

國(guó)內(nèi)設(shè)備公司只立足國(guó)內(nèi)市場(chǎng)是很難生存的，因?yàn)橹袊?guó)市場(chǎng)只占國(guó)際半導(dǎo)體設(shè)備市場(chǎng)的5%，甚至更小。但如果進(jìn)入國(guó)際市場(chǎng)就會(huì)遇到很高的壁壘，這個(gè)壁壘不僅僅是技術(shù)的壁壘，還有區(qū)域性、政治性壁壘以及法律的風(fēng)險(xiǎn)等。因此，只有中國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的大發(fā)展，才能夠支撐中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

中微在進(jìn)行設(shè)備研發(fā)之初就知道，我們不能按照國(guó)外最先進(jìn)的技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì)，因?yàn)榧词刮覀冏龀鰜硗瑯酉冗M(jìn)的設(shè)備也沒辦法打入市場(chǎng)與對(duì)手競(jìng)爭(zhēng)，用戶不可能花時(shí)間測(cè)試一件他們已經(jīng)有的設(shè)備，所以，我們必須設(shè)計(jì)出超過國(guó)外設(shè)備能力的，包括工藝加工方面的能力，特別是在產(chǎn)能和成本方面有相當(dāng)優(yōu)勢(shì)的產(chǎn)品，才有可能打入市場(chǎng)。中微的設(shè)計(jì)基本圍繞兩個(gè)方面，一是在反應(yīng)器的設(shè)計(jì)上采用甚高頻去耦合的反應(yīng)離子刻蝕技術(shù)，這在當(dāng)時(shí)是最新的概念，最近5年，國(guó)際上同類公司都采用了這一技術(shù)，證明我們?cè)缙诘倪x擇是正確的。另外一方面，我們?cè)O(shè)計(jì)了一個(gè)可以單臺(tái)獨(dú)立操作的雙臺(tái)反應(yīng)器系統(tǒng)，到現(xiàn)在為止，業(yè)界已經(jīng)廣泛地接受了這種可以單臺(tái)操作的但是是雙臺(tái)反應(yīng)器的系統(tǒng)，這個(gè)概念的設(shè)備，可以使客戶得到35%左右的生產(chǎn)效率的提高以及35%左右成本的節(jié)省，同時(shí)設(shè)備的占地面積也相應(yīng)地減少

35%左右。這樣的設(shè)備才有競(jìng)爭(zhēng)力。中微目前已經(jīng)完成了第一代產(chǎn)品的開發(fā)并已初步進(jìn)入市場(chǎng)，在生產(chǎn)線上也已經(jīng)得到非常穩(wěn)定的結(jié)果。目前公司面臨兩個(gè)任務(wù)，一個(gè)是設(shè)備全面進(jìn)入市場(chǎng)，提高產(chǎn)量，擴(kuò)大市場(chǎng)占有率，二是，公司目前也在緊鑼密鼓地開發(fā)下一代產(chǎn)品，下一代產(chǎn)品也會(huì)很快進(jìn)入市場(chǎng)，下一代產(chǎn)品將可以做到22nm級(jí)甚至更為先進(jìn)。

中國(guó)半導(dǎo)體設(shè)備業(yè)要發(fā)展，首先要有一個(gè)很好的設(shè)計(jì)理念，不能跟蹤國(guó)外的技術(shù)，這是沒有前途的，一定要找到一個(gè)突破點(diǎn)，在技術(shù)上或者設(shè)計(jì)上、產(chǎn)量上、成本上有獨(dú)到的地方。只有“趕上”在設(shè)備行業(yè)是沒有辦法生存的，必須超過。其次，要注意市場(chǎng)推廣和銷售問題。做出一個(gè)好產(chǎn)品如何打市場(chǎng)，如何進(jìn)行銷售、如何做好售后服務(wù)，這些都是非常重要的問題。

隨著半導(dǎo)體照明市場(chǎng)快速啟動(dòng)，LED外延芯片的核心設(shè)備MOCVD市場(chǎng)日益受到關(guān)注。中微具有高壓熱化學(xué)反應(yīng)的經(jīng)驗(yàn)，面對(duì)發(fā)展非?？焖俚腖ED市場(chǎng)，中微已經(jīng)決定進(jìn)入MOCVD領(lǐng)域，并將快速推出具有競(jìng)爭(zhēng)力的設(shè)備。