打破多年依賴進(jìn)口局面納米等離子刻蝕機(jī)進(jìn)大生產(chǎn)線

半導(dǎo)體工藝裝備是一個(gè)非常復(fù)雜的系統(tǒng)。多年來，中國半導(dǎo)體行業(yè)所需設(shè)備幾乎全部依賴進(jìn)口。近20年來，中國半導(dǎo)體行業(yè)的強(qiáng)勁發(fā)展不僅沒有拉動(dòng)中國半導(dǎo)體裝備的發(fā)展，反而由于引進(jìn)的沖擊使中國的半導(dǎo)體設(shè)備行業(yè)瀕臨全軍覆沒。

隨著中國近年來集成電路、光伏、LED、FPD產(chǎn)業(yè)與國際先進(jìn)水平差距的縮小，相關(guān)的配套材料、零備件、工藝設(shè)備、維護(hù)服務(wù)等支撐行業(yè)迎來了千載難逢的發(fā)展機(jī)遇。國家重大科技專項(xiàng)的實(shí)施，大大增強(qiáng)了中國半導(dǎo)體裝備產(chǎn)業(yè)的整體競(jìng)爭(zhēng)能力。

中國近年來半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步與國家重大專項(xiàng)的支持有關(guān)，更為重要的是中國本土芯片制造企業(yè)、太陽能電池片、顯示面板企業(yè)、LED芯片制造企業(yè)的技術(shù)進(jìn)步和跨越式發(fā)展拉動(dòng)了設(shè)備產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。北方微電子是國內(nèi)第一家將半導(dǎo)體核心工藝設(shè)備進(jìn)入主流生產(chǎn)線的本土設(shè)備企業(yè)。

國產(chǎn)設(shè)備進(jìn)入主流大生產(chǎn)線，首先是本土設(shè)備制造商要熟悉和遵從國際半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的國際慣例和游戲規(guī)則，在各個(gè)方面一定要比國外競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手做得更好、更到位，設(shè)備技術(shù)工藝性能、設(shè)備價(jià)格、服務(wù)支持、備品備件、耗材成本等都要有量化指標(biāo)，而且有相對(duì)的競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)才能獲取客戶的興趣和信任。

半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)，是中國在未來戰(zhàn)略性新型產(chǎn)業(yè)實(shí)現(xiàn)跨越的根本保證，這已經(jīng)得到各級(jí)領(lǐng)導(dǎo)和業(yè)內(nèi)專家的認(rèn)同，設(shè)備產(chǎn)業(yè)也受到前所未有的重視和極大的關(guān)注。但是，一個(gè)先進(jìn)的半導(dǎo)體制造工廠是可以依靠花重金引進(jìn)先進(jìn)設(shè)備建設(shè)起來的，而一個(gè)先進(jìn)的設(shè)備工廠是無法靠引進(jìn)來建成的。國際主流設(shè)備公司研發(fā)一臺(tái)大型設(shè)備從立項(xiàng)到研發(fā)成功再到客戶認(rèn)可大約需要4到5年時(shí)間，研發(fā)的方向和資金的投入需要具有極高的風(fēng)險(xiǎn)控制能力，尤其是對(duì)市場(chǎng)、技術(shù)趨勢(shì)的判斷和把握，設(shè)備產(chǎn)業(yè)被認(rèn)為是極具風(fēng)險(xiǎn)的產(chǎn)業(yè)。對(duì)國內(nèi)設(shè)備企業(yè)來說，跟蹤已非易事，要實(shí)現(xiàn)技術(shù)引領(lǐng)就更為艱難，成功需要堅(jiān)持，也需要機(jī)遇。

一家設(shè)備企業(yè)從初創(chuàng)到實(shí)現(xiàn)自負(fù)盈虧，并實(shí)現(xiàn)自我持續(xù)發(fā)展，最根本的是要開發(fā)出市場(chǎng)認(rèn)可、客戶需要、而且與競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手相比更具競(jìng)爭(zhēng)力的產(chǎn)品，在銷售推廣、生產(chǎn)制造、質(zhì)量控制、售后服務(wù)、財(cái)務(wù)管理、人力資源、知識(shí)產(chǎn)權(quán)、資本運(yùn)營等各方面都具備國際一流的能力和水平，這些都需要時(shí)間，需要設(shè)備產(chǎn)業(yè)自身堅(jiān)持不懈的努力，更需要產(chǎn)業(yè)界更多的理解和持續(xù)不斷的支持。此次國家重大專項(xiàng)的目標(biāo)不是突破幾項(xiàng)關(guān)鍵技術(shù)、獲得幾項(xiàng)科研成果，而是通過持續(xù)不斷的努力，在某些科技領(lǐng)域獲得國際競(jìng)爭(zhēng)優(yōu)勢(shì)，培育幾個(gè)具有國際競(jìng)爭(zhēng)力的世界級(jí)企業(yè)。

來源:中國電子報(bào)