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    防掉落及夾緊機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)與應(yīng)用

    2019-01-19 02:59:52
    機(jī)械研究與應(yīng)用 2018年6期
    關(guān)鍵詞:天車(chē)曲柄工位

    周 道

    (費(fèi)斯托(中國(guó))有限公司,上海 201206)

    0 引 言

    半導(dǎo)體車(chē)間需要頻繁地將晶圓片盒從一個(gè)工位搬運(yùn)到另一個(gè)工位,為了減少污染源并提高工作效率,一般采用天車(chē)系統(tǒng)進(jìn)行自動(dòng)化搬運(yùn)。天車(chē)從工位的正上方將片盒抓取并提升到天車(chē)內(nèi)部,行駛到指定工位時(shí)再將片盒放下,從而完成一次搬運(yùn)動(dòng)作[4-5]。在搬運(yùn)過(guò)程中,為了防止片盒的從空中掉落(由于升降皮帶斷裂等原因),必須在天車(chē)的下部配備防掉落機(jī)構(gòu)以確保安全,同時(shí)為了防止片盒在天車(chē)內(nèi)部水平晃動(dòng),還需要增加一組夾緊機(jī)構(gòu)。

    由于潔凈室對(duì)天車(chē)的體積和重量的要求非常嚴(yán)格,必須最大化地減小內(nèi)部機(jī)構(gòu)所占空間以及重量。目前,一般采用防掉落和夾緊機(jī)構(gòu)分別動(dòng)作的原理,這樣就需要兩組驅(qū)動(dòng)及傳動(dòng)系統(tǒng)(左右對(duì)稱(chēng),共計(jì)需要四個(gè)電機(jī))。筆者巧妙地將防掉落機(jī)構(gòu)和夾緊機(jī)構(gòu)集成在一起,減少了一組電機(jī),卻能實(shí)現(xiàn)同樣的功能。不僅節(jié)約了成本,而且有效地減少了整個(gè)天車(chē)的空間與重量。

    1 防掉落及夾緊機(jī)構(gòu)的機(jī)械結(jié)構(gòu)與工作原理

    1.1 機(jī)械結(jié)構(gòu)

    如圖1所示,整個(gè)機(jī)構(gòu)沿中心面鏡像設(shè)計(jì)與安裝。在圖2中,安裝板1固定在天車(chē)的前后側(cè)板上,曲柄軸2和曲柄軸3固定在安裝板1上。曲柄4、曲柄5和曲柄6分別安裝在曲柄軸2和曲柄軸3上。連桿7和連桿8分別將曲軸4和曲軸6的兩端連接起來(lái)。連桿9將連桿7的中部與曲柄5的端部連接起來(lái)。夾緊輪11安裝在桿10上,桿10的末端與曲柄5之間有彈簧拉緊。電機(jī)12通過(guò)聯(lián)軸器13與絲杠14相連,絲母15在導(dǎo)軌滑塊16的導(dǎo)向作用下左右運(yùn)動(dòng)。固定在絲母15下方的導(dǎo)向柱,可在連桿7中部的導(dǎo)槽中(導(dǎo)槽方向與絲母運(yùn)動(dòng)方向垂直)前后滑動(dòng),同時(shí)推動(dòng)連桿7左右平移。

    圖1 機(jī)構(gòu)整體外觀圖

    圖2 機(jī)構(gòu)組成元件1.安裝板 2、3.曲柄軸 4、5、6.曲柄 7、8、9.連桿 10.桿 11.夾緊輪 12.電機(jī) 13.聯(lián)軸器 14.絲桿 15.絲母 16.滑塊

    機(jī)構(gòu)中所有的關(guān)節(jié)處均安裝軸承,保證動(dòng)作順滑,同時(shí)減少顆粒污染物的產(chǎn)生。所有軸類(lèi)零件采用304不銹鋼制作,所有連接桿類(lèi)零件采用6061鋁合金制作,夾緊輪表面材質(zhì)為聚氨酯,這樣在保證機(jī)構(gòu)剛性和減小機(jī)構(gòu)自重中找到一個(gè)平衡點(diǎn)。電機(jī)采用緊湊型直流電機(jī),絲杠和導(dǎo)軌均選用小型規(guī)格。為了保證系統(tǒng)的可靠性,在絲母左右移動(dòng)示教位置的兩端,安裝U型光電傳感器,防止運(yùn)動(dòng)超過(guò)極限而損壞自身結(jié)構(gòu)。

    1.2 工作原理

    以圖2所示的這一側(cè)機(jī)構(gòu)為例,絲母處在左側(cè)位置時(shí),整個(gè)機(jī)構(gòu)為關(guān)閉狀態(tài),用于防掉落的連桿和夾緊用的夾緊輪均收縮在安裝板的正下方,此時(shí)片盒可以自由地進(jìn)出天車(chē)。當(dāng)電機(jī)旋轉(zhuǎn),驅(qū)動(dòng)絲母向右移動(dòng)時(shí),絲母下方的導(dǎo)向通過(guò)導(dǎo)槽推動(dòng)連桿也向右移動(dòng),同時(shí)防掉落連桿和夾緊輪開(kāi)始向左打開(kāi),并不斷地向前延伸,絲母到達(dá)右限位時(shí),連桿和夾緊輪正好張開(kāi)到最大位置,連桿處于片盒的正下方(有一定的間隙)、夾緊輪夾緊片盒的兩側(cè),完成打開(kāi)夾緊動(dòng)作。收回的動(dòng)作和打開(kāi)夾緊的動(dòng)作正好相反。

    從機(jī)械原理角度分析,可以將該機(jī)構(gòu)看作兩套曲柄連桿的集成,簡(jiǎn)化的原理圖如圖3所示。

    圖3 結(jié)構(gòu)原理圖

    其中曲柄4、曲柄6、連桿7和連桿8組成一個(gè)系統(tǒng);此外,曲柄4、曲柄5、連桿7和連桿9組成另一個(gè)系統(tǒng),兩個(gè)曲柄連桿系統(tǒng)共用了部分桿件,通過(guò)機(jī)械原理自由度的分析,兩個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)都是確定的,不存在過(guò)約束和欠約束情況。V0表示連桿7的瞬時(shí)平移速度,V1表示C點(diǎn)繞A點(diǎn)的瞬時(shí)旋轉(zhuǎn)速度,V2表示G點(diǎn)繞A點(diǎn)的瞬時(shí)旋轉(zhuǎn)速度。

    2 運(yùn)動(dòng)仿真分析與夾緊輪創(chuàng)新設(shè)計(jì)

    2.1 運(yùn)動(dòng)仿真分析

    已知片盒底部寬度為383 mm,夾緊位置寬度為362 mm;兩側(cè)固定板間距為518 mm。通過(guò)多次調(diào)整和運(yùn)動(dòng)仿真,得出各根桿件的理想長(zhǎng)度,如圖3所示:

    AB=CD=EF=200 mm,AC=BD=110 mm,AE=BF=50 mm,EH=40 mm,AG=100 mm,GH=100 mm,GK=40 mm,GJ=50 mm。另外,CAE、DBF分別為一整根桿件,折角為135°,A點(diǎn)和B點(diǎn)為固定點(diǎn)。

    2.1.1打開(kāi)夾緊位置分析

    當(dāng)絲母移動(dòng)到左端時(shí),機(jī)構(gòu)處于打開(kāi)夾緊狀態(tài),如圖4(a)所示。此時(shí),兩側(cè)防掉落連桿的最小距離L=518-(84+30÷2)×2=320 mm<片盒底部寬度383 mm,每側(cè)有31.5 mm的交集,符合防掉落功能的要求;另外,兩側(cè)夾緊輪的最小距離L1=518-(65.5+45÷2)×2=342 mm,這是沒(méi)有片盒時(shí)的理論值,小于片盒夾緊位置的寬度,且?jiàn)A緊輪的ΔL=(362-342)÷2=10 mm,也符合夾緊功能的需求。

    2.1.2收回位置分析

    當(dāng)絲母移動(dòng)到右端時(shí),機(jī)構(gòu)處于收回狀態(tài),如圖4(a)、(b)所示,此時(shí)兩側(cè)加緊機(jī)構(gòu)的最小距離L2=518-8×2=502 mm>片盒最大寬度417,對(duì)片盒進(jìn)出天車(chē)不構(gòu)成干涉。

    圖4 打開(kāi)和收回狀態(tài)下的運(yùn)動(dòng)位置仿真

    2.2 夾緊輪創(chuàng)新設(shè)計(jì)

    在夾緊輪的設(shè)計(jì)上,一般是直接將夾緊輪剛性固定在連桿上,這樣做的缺點(diǎn)是容易將片盒兩側(cè)夾壞,或者由于過(guò)載從而縮短直流電機(jī)的壽命,對(duì)電氣調(diào)試的要求極其高。對(duì)該設(shè)計(jì)進(jìn)行了優(yōu)化:將夾緊輪11固定在桿10上,然后再將桿10固定在連桿8上,這樣夾緊輪11和桿10就是浮動(dòng)的,為了在夾緊動(dòng)作時(shí)產(chǎn)生夾緊力,在桿10的末端和曲柄5之間安裝一個(gè)拉伸彈簧。當(dāng)夾緊輪未接觸到片盒時(shí),在彈簧的拉力作用下桿10和曲柄5貼合在一起;當(dāng)夾緊輪接觸到片盒時(shí),彈簧開(kāi)始拉伸,從而對(duì)片盒產(chǎn)生了一個(gè)夾緊力。夾緊力的大小可以在設(shè)計(jì)時(shí)通過(guò)計(jì)算得出,在本文的設(shè)計(jì)中:

    夾緊輪的ΔL=10 mm,彈簧常數(shù)K=2.06 N/mm,根據(jù)杠桿原理,則彈簧的ΔL=10×1.25=12.5 (mm),彈簧的拉伸力F=12.5×2.06=25.75 (N)。

    得出:夾緊力F1=25.75×1.25=32.2 N

    另外,在實(shí)際使用中,如果想調(diào)整夾緊力,只需更換不同彈簧常數(shù)的彈簧就可以實(shí)現(xiàn),而不需要改變現(xiàn)有結(jié)構(gòu)和控制程序,非常便捷。

    3 結(jié) 語(yǔ)

    為了減少天車(chē)系統(tǒng)中防掉落及夾緊機(jī)構(gòu)的所占空間和重量,通過(guò)優(yōu)化原有機(jī)械結(jié)構(gòu),將兩組獨(dú)立的曲柄連桿機(jī)構(gòu)集成在一起,在不改變?cè)泄δ艿幕A(chǔ)上,減少了一組電機(jī)和相關(guān)傳動(dòng)機(jī)構(gòu),并對(duì)該機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)組成、工作原理和夾緊輪的創(chuàng)新設(shè)計(jì)做了介紹,最后進(jìn)行了仿真設(shè)計(jì)分析。圖5為機(jī)構(gòu)裝配時(shí)的情形,圖6為天車(chē)實(shí)物的整體外觀(下方左右箭頭處為防掉落及夾緊機(jī)構(gòu)),防掉落及夾緊機(jī)構(gòu)位于天車(chē)底部。該機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)巧妙、運(yùn)行可靠,不僅適用于潔凈室天車(chē)系統(tǒng)中,也可在其他工業(yè)領(lǐng)域中的抓取設(shè)備上推廣應(yīng)用。

    圖5 防掉落夾緊機(jī)構(gòu)實(shí)物裝配 圖6 天車(chē)整體外觀

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