工藝參數(shù)對(duì)直流磁控濺射法制備氧化鋁薄膜的試驗(yàn)研究
2017-06-23 08:11:43武文革,張新宇,伏寧娜等
制造技術(shù)與機(jī)床 2017年3期
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