• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    拋光液成分對(duì)鋁柵化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中鋁去除速率的影響

    2016-09-23 02:41:36張金劉玉嶺閆辰奇張文霞
    電鍍與涂飾 2016年11期
    關(guān)鍵詞:拋光液螯合劑磨料

    張金,劉玉嶺,*,閆辰奇,張文霞

    (1.河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院,天津市電子材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津 300130;2.華北理工大學(xué),河北 唐山 063009)

    ?

    拋光液成分對(duì)鋁柵化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中鋁去除速率的影響

    張金1,劉玉嶺1,*,閆辰奇1,張文霞2

    (1.河北工業(yè)大學(xué)電子信息工程學(xué)院,天津市電子材料與器件重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,天津 300130;2.華北理工大學(xué),河北 唐山 063009)

    在低工作壓力(1 psi)和低磨料用量(納米硅溶膠體積分?jǐn)?shù)2.5%,后同)下,通過(guò)單因素實(shí)驗(yàn)探討了堿性拋光液組分(包括氧化劑H2O2、FA/O型螯合劑和非離子型表面活性劑)含量對(duì)鋁柵化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中鋁去除速率的影響,確定拋光液的組成為:氧化劑1.5%,螯合劑0.5%,表面活性劑1.0%。鋁的去除速率為100 nm/min,拋光后的表面粗糙度為8.85 nm。

    鋁柵;化學(xué)機(jī)械拋光;氧化劑;螯合劑;表面活性劑;去除速率

    First-author's address: Tianjin Key Laboratory of Electronic Materials and Devices, School of Electronic and Information Engineering, Hebei University of Technology, Tianjin 300130, China

    隨著集成電路飛躍式的發(fā)展,柵極高度和SiO2柵氧化層厚度不斷減小,柵介質(zhì)層的可靠性問(wèn)題(多晶硅柵耗盡效應(yīng)、費(fèi)米能級(jí)的釘扎、過(guò)高的柵電阻、嚴(yán)重的柵穿透等現(xiàn)象)越發(fā)嚴(yán)重,很大程度上制約著半導(dǎo)體器件特性的提高[1]。從65 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)開(kāi)始,二氧化硅作為晶體管柵極介電材料已經(jīng)達(dá)到了其物理電氣特性的極限。而45 nm晶體管的尺寸進(jìn)一步縮小,源極和漏極也就靠得更近,漏電流問(wèn)題越嚴(yán)重,使微電子技術(shù)的發(fā)展面臨巨大的挑戰(zhàn)。為改善有效柵氧化層厚度、柵極漏電流、可靠性等問(wèn)題,除了用新型高k材料來(lái)代替?zhèn)鹘y(tǒng)的SiO2柵介質(zhì)層以外,采用金屬鋁柵替代多晶硅柵電極已成為發(fā)展的必然趨勢(shì)[1-2]。2007年英特爾公司最先量產(chǎn)出基于高k金屬柵(HKMG)技術(shù)的處理器,突破了技術(shù)瓶頸[3]。目前45 nm以下技術(shù)節(jié)點(diǎn)HKMG技術(shù)已成為主流,其中替代金屬柵極(RMG)工藝將鋁作為典型的柵電極材料[4]。

    鋁的化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)是形成鋁大馬士革互連后段制程(BEOL)應(yīng)用中的關(guān)鍵過(guò)程。鋁是兩性氧化物,硬度較低(莫氏硬度為2.3 ~ 2.8),并且具有獨(dú)特的電化學(xué)腐蝕特性。因?yàn)殇X柵的高度僅為幾百埃,拋光過(guò)程中存在殘余鋁或?qū)︿X柵過(guò)拋都會(huì)對(duì)器件性能產(chǎn)生不良影響,所以關(guān)鍵是控制去除速率。鋁柵拋光示意圖見(jiàn)圖1。

    圖1 鋁柵拋光示意圖Figure 1 Schematic diagram showing the polishing of aluminum grid

    本文針對(duì)鋁柵不高以及鋁本身的特性,采用低壓力和低磨料濃度,分析了拋光液中氧化劑、螯合劑和表面活性劑含量對(duì)鋁去除速率的影響,為今后去除鋁柵提供一定的參考。

    1 實(shí)驗(yàn)

    1. 1 拋光液成分

    選用納米硅溶膠(二氧化硅平均粒徑70 nm)作為研磨料,體積分?jǐn)?shù)為2.5%。H2O2(質(zhì)量分?jǐn)?shù)30%)為氧化劑。FA/O型螯合劑[5](具有13個(gè)以上螯合環(huán)的多羥多胺大分子有機(jī)物)和多元胺醇型非離子型表面活性劑[6]均由河北工業(yè)大學(xué)微電子所自主研發(fā)。

    1. 2 拋光工藝

    以法國(guó)Alpsitec公司的E460E拋光機(jī)和羅門(mén)哈斯POLITEX拋光墊為實(shí)驗(yàn)平臺(tái),采用與填充柵極鋁金屬相同的濺射方式在p型硅襯底上沉積一層鋁膜并用線切割成厚度為(2.5 ± 0.1) mm、直徑3英寸的鋁片。CMP工藝參數(shù)為:工作壓力1 psi(1 psi ≈ 6.895 kPa),背壓0 psi,拋光頭轉(zhuǎn)速55 r/min,拋光墊轉(zhuǎn)速60 r/min,拋光液流速150 mL/min,時(shí)間180 s,溫度25 °C,拋光液pH 9.65 ~ 10.55。

    1. 3 表征與性能測(cè)試

    采用美國(guó)惠普-安捷倫公司的Agilent 5600LS型原子力顯微鏡(AFM)觀察表面形態(tài)。

    采用 Mettle Toledo AB204-N型分析天平(精度±0.1 mg)測(cè)量拋光前后鋁片的質(zhì)量,按式(1)[7]計(jì)算去除速率v(nm/min)。

    式中,mΔ為拋光前后鋁片的質(zhì)量差,R為鋁片的半徑(3.81 cm),ρ為鋁的密度(2.69 g/cm3),t為拋光時(shí)間,π = 3.141 6。

    2 結(jié)果與討論

    2. 1 氧化劑對(duì)去除速率的影響

    選定螯合劑體積分?jǐn)?shù)為0.5%,表面活性劑體積分?jǐn)?shù)為1.0%,研究了氧化劑的體積分?jǐn)?shù)對(duì)去除速率的影響,如圖2所示。

    圖2 氧化劑含量對(duì)鋁去除速率的影響Figure 2 Effect of oxidant content on aluminum removal rate

    由圖 2可見(jiàn),隨著氧化劑含量增加,鋁的去除速率先增大后減小,最終趨于平穩(wěn)。若不使用氧化劑,雖然去除速率也較快,但化學(xué)機(jī)械拋光中的機(jī)械作用會(huì)嚴(yán)重?fù)p傷鋁表面,并且會(huì)在表面產(chǎn)生化學(xué)腐蝕,最終造成劃傷、非均勻腐蝕等缺陷,影響鋁柵器件的性能。另外,雖然由于硬度低、耐磨性差,鋁容易去除,但其表面極易生成一層能防止金屬腐蝕的致密氧化膜(Al2O3·H2O),其莫氏硬度為9,僅次于金剛石,如在有氧化膜的情況下進(jìn)行化學(xué)機(jī)械拋光,會(huì)大大降低去除速率并導(dǎo)致表面缺陷。因此,應(yīng)促使氧化膜發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成硬度低、可溶性產(chǎn)物,再結(jié)合機(jī)械作用提高去除速率。影響去除速率最主要的兩個(gè)反應(yīng)是氧化與螯合。在適量氧化劑作用下,鋁首先會(huì)被拋光液中的氧化劑(溶液中含有的 O2及 H2O2)氧化,在表面生成氧化膜,該氧化膜在堿性條件下反應(yīng)生成可溶的偏鋁酸根[8]。反應(yīng)方程式如下:

    隨著氧化劑用量增加,反應(yīng)方程式向右進(jìn)行,加快了鋁的去除速率。然而,當(dāng)氧化劑過(guò)多時(shí),氧化膜不能及時(shí)轉(zhuǎn)化成偏鋁酸根,由于其硬度大,僅靠機(jī)械作用難以去除,其致密的特性也阻礙了化學(xué)反應(yīng)進(jìn)行,最終降低了去除速率??紤]到鋁柵高度問(wèn)題,去除速率不宜過(guò)快,選擇氧化劑的體積分?jǐn)?shù)為1.5%。

    2. 2 螯合劑對(duì)去除速率的影響

    當(dāng)氧化劑體積分?jǐn)?shù)為1.5%,表面活性劑體積分?jǐn)?shù)為1.0%時(shí),螯合劑含量對(duì)去除速率的影響如圖3所示。隨著螯合劑含量增加,鋁的去除速率逐漸升高。在特定的機(jī)械作用條件下,鋁表面生成的氧化物和氫氧化物的化學(xué)反應(yīng)勢(shì)壘被打破,與螯合劑反應(yīng)生成可溶性大分子配合物。在CMP過(guò)程中,加快質(zhì)量傳遞(即反應(yīng)產(chǎn)物脫離的同時(shí)新的反應(yīng)物進(jìn)入到拋光界面進(jìn)行反應(yīng))可提高拋光速率。增加螯合劑就增大了可溶性產(chǎn)物的生成量,從而提高了鋁的去除速率。

    雖然螯合劑對(duì)鋁的去除速率有促進(jìn)作用,但其過(guò)多會(huì)造成兩個(gè)問(wèn)題:一是去除速率過(guò)快,無(wú)法控制去除鋁柵的高度;二是會(huì)造成非均勻腐蝕。因此螯合劑的體積分?jǐn)?shù)為0.5%時(shí)最佳。

    2. 3 表面活性劑對(duì)去除速率的影響

    選定氧化劑體積分?jǐn)?shù)為1.5%,螯合劑體積分?jǐn)?shù)為0.5%,表面活性劑含量對(duì)去除速率的影響如圖4所示。

    圖3 螯合劑含量對(duì)鋁去除速率的影響Figure 3 Effect of chelating agent content on aluminum removal rate

    圖4 表面活性劑含量對(duì)鋁去除速率的影響Figure 4 Effect of surfactant content on aluminum removal rate

    從圖 4可知,表面活性劑含量對(duì)鋁的去除速率影響不大。添加少量表面活性劑即可減小拋光液黏度,避免黏度過(guò)大導(dǎo)致的拋光液流動(dòng)性差、不能均勻分布在拋光墊上的情況,提高表面均勻性,還能降低拋光界面的溫度[9-10]。利用表面活性劑的潤(rùn)濕性降低拋光液的表面張力后,再通過(guò)滲透作用將磨料顆粒包裹起來(lái),降低其表面能。同時(shí),一些表面活性劑分子吸附在磨料顆粒周圍,避免發(fā)生聚沉或凝聚,使膠體粒徑減小,保證了體系的穩(wěn)定性和拋光液質(zhì)量[11-12]。最終選擇表面活性劑的體積分?jǐn)?shù)為1.0%。

    2. 4 拋光效果

    在磨料體積分?jǐn)?shù)為2.5 %,氧化劑體積分?jǐn)?shù)為1.5%,螯合劑體積分?jǐn)?shù)為0.5%,活性劑體積分?jǐn)?shù)為1.0%的條件下,鋁的去除速率為100 nm/min,拋光后表面粗糙度為8.85 nm(見(jiàn)圖5)。

    圖5 拋光后鋁柵的表面形貌Figure 5 Surface morphology of aluminum grid after polishing

    3 結(jié)論

    在低壓力和低磨料濃度下考察了拋光液中不同體積分?jǐn)?shù)的氧化劑、螯合劑和表面活性劑對(duì)鋁柵去除速率的影響,并分析了各組分的影響機(jī)理。當(dāng)氧化劑體積分?jǐn)?shù)為1.5%,螯合劑體積分?jǐn)?shù)為0.5%,表面活性劑體積分?jǐn)?shù)為1.0%時(shí),測(cè)得去除速率為100 nm/min,表面粗糙度為8.85 nm。

    [1] JOSSE E, SKOTNICKI T. Polysilicon gate with depletion-or-metallic gate with buried channel: what evil worse? [C] International Electron Devices Meeting—IEDM ′99 Technology Digest, December 5-8, 1999. Washington, DC: IEEE, 1999: 661-664.

    [2] GHANI T, ARMSTRONG M, AUTH C, et al. A 90nm high volume manufacturing logic technology featuring novel 45nm gate length strained silicon CMOS transistors [C] International Electron Devices Meeting—IEDM ′03 Technological Digest, December 5-8, 2003. Washington, DC: IEEE, 2003: 978-980.

    [3] 趙軍. 高K-金屬柵極和45納米[J]. 信息系統(tǒng)工程, 2008 (3): 72-75.

    [4] HSIEH D B, TSAI T C, HUANG S F, et al. Characterization of high-K/metal gate using picosecond ultrasonics [J]. Microelectronic Engineering, 2011, 88 (5): 583-588.

    [5] 河北工業(yè)大學(xué). 微電子專用螯合劑的使用方法: 200610014908.3 [P]. 2007-01-03.

    [6] 河北工業(yè)大學(xué). 超大規(guī)模集成電路多層銅布線化學(xué)機(jī)械全局平面化拋光液: 02116759.1 [P]. 2003-02-26.

    [7] MA S H, WANG S L, LIU Y L, et al. Alkaline barrier slurry applied in TSV chemical mechanical planarization [J]. Journal of Semiconductors, 2014, 35 (2): 026002.

    [8] 韓麗麗, 劉玉嶺, 牛新環(huán), 等. ULSI鋁布線化學(xué)機(jī)械拋光研究[J]. 微電子學(xué), 2012, 42 (4): 576-579, 583.

    [9] WENG T T, MISHRA A, GUO Y J, et al. Regulation of lung surfactant secretion by microRNA-150 [J]. Biochemical and Biophysical Research Communications,2012, 422 (4): 586-589.

    [10] PETERSON E R, SHEARER M. Simulation of spreading surfactant on a thin liquid film [J]. Applied Mathematics and Computation, 2012, 218 (9): 5157-5167.

    [11] 王新, 劉玉嶺, 王弘英. Cu-CMP中磨料粒子的機(jī)械作用實(shí)驗(yàn)分析[J]. 電子器件, 2002, 25 (3): 220-223.

    [12] 張磊, 汪海波, 張澤芳, 等. 一種新型復(fù)合磨料對(duì)銅的化學(xué)機(jī)械拋光研究[J]. 功能材料與器件學(xué)報(bào), 2011, 17 (5): 520-525.

    [ 編輯:杜娟娟 ]

    Effect of composition of polishing solution on aluminum removal rate in chemical mechanical polishing of aluminum grid

    Z HANG Jin, LIU Yu-ling*, YAN Chen-qi, ZHANG Wen-xia

    Under the conditions of a low polishing pressure (1 psi) and a low content of abrasives (nano-silica sol 2.5vol%), the effect of composition of alkaline polishing solution, including oxidant (H2O2), FA/O chelating agent and nonionic surfactant on aluminum removal rate during chemical mechanical polishing of aluminum grid was studied through single factor experiment. The composition of polishing solution was determined as follows: oxidant 1.5vol%, chelating agent 0.5vol% and surfactant 1.0vol%. The aluminum removal rate is 100 nm/min and the surface roughness of polished aluminum grid is 8.85 nm.

    aluminum grid; chemical mechanical polishing; oxidant; chelating agent; surfactant; removal rate

    TN305.2; TG175.3

    A

    1004 - 227X (2016) 11 - 0575 - 04

    2016-03-29

    2016-05-05

    國(guó)家中長(zhǎng)期科技發(fā)展規(guī)劃02科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(2009ZX02308)。

    張金(1986-),男,河北唐山人,在讀博士研究生,從事微電子技術(shù)與材料研究。

    劉玉嶺,教授,(E-mail) liuyl@jingling.com.cn。

    猜你喜歡
    拋光液螯合劑磨料
    磨粒類型對(duì)K9玻璃剪切增稠拋光的影響
    磁流變拋光液制備過(guò)程中的氣泡動(dòng)力學(xué)模型
    Synthesis of new non-fluorous 2,2'-bipyridine-4,4'-dicarboxylic acid esters and their applications for metal ions extraction in supercritical carbon dioxide
    營(yíng)養(yǎng)元素與螯合劑強(qiáng)化植物修復(fù)重金屬污染土壤研究進(jìn)展
    幾種螯合劑在CIP堿性清洗中的應(yīng)用研究
    水基拋光液的分散性改善方法和應(yīng)用研究綜述
    40Cr熱噴涂件抗植物磨料磨損性能試驗(yàn)
    磨料水射流技術(shù)及其在水下結(jié)構(gòu)物切割中的應(yīng)用
    焊接(2015年5期)2015-07-18 11:03:40
    磨料水射流作用下混凝土損傷場(chǎng)的數(shù)值模擬
    磨料水銑混凝土的效能研究
    国产精品女同一区二区软件| av又黄又爽大尺度在线免费看| 成年女人在线观看亚洲视频| 2021少妇久久久久久久久久久| 国产亚洲5aaaaa淫片| av线在线观看网站| 一级毛片久久久久久久久女| 中文字幕av成人在线电影| 少妇精品久久久久久久| 欧美丝袜亚洲另类| 亚洲欧美清纯卡通| 日本av免费视频播放| 高清在线视频一区二区三区| 亚洲欧美清纯卡通| 五月玫瑰六月丁香| 欧美三级亚洲精品| 精品人妻一区二区三区麻豆| 久久韩国三级中文字幕| 亚洲av中文av极速乱| 国产成人一区二区在线| 国产91av在线免费观看| 91精品国产国语对白视频| 亚洲真实伦在线观看| 国产淫语在线视频| 久久这里有精品视频免费| 久久精品熟女亚洲av麻豆精品| 欧美人与善性xxx| 国产亚洲一区二区精品| 一级二级三级毛片免费看| 最黄视频免费看| 网址你懂的国产日韩在线| 欧美成人午夜免费资源| 丝袜脚勾引网站| 九色成人免费人妻av| 男女啪啪激烈高潮av片| 国产伦精品一区二区三区四那| 简卡轻食公司| 免费av中文字幕在线| 欧美日韩精品成人综合77777| 国产黄片美女视频| 国产爽快片一区二区三区| 午夜福利视频精品| 永久网站在线| 亚洲国产精品国产精品| 久久久久网色| 国产精品欧美亚洲77777| av国产免费在线观看| 亚洲在久久综合| 晚上一个人看的免费电影| 日韩三级伦理在线观看| 内射极品少妇av片p| 久热久热在线精品观看| 超碰av人人做人人爽久久| 国产黄色免费在线视频| 高清毛片免费看| 日韩av免费高清视频| 制服丝袜香蕉在线| 国产一区有黄有色的免费视频| 国精品久久久久久国模美| 制服丝袜香蕉在线| 久久久久久久亚洲中文字幕| 插阴视频在线观看视频| 久久久久视频综合| 精品人妻偷拍中文字幕| 欧美激情国产日韩精品一区| 特大巨黑吊av在线直播| av卡一久久| 高清日韩中文字幕在线| 国产有黄有色有爽视频| 亚洲三级黄色毛片| 一本一本综合久久| 少妇的逼好多水| 国产免费福利视频在线观看| 熟女av电影| 欧美成人午夜免费资源| 中文字幕精品免费在线观看视频 | 中文字幕亚洲精品专区| 国精品久久久久久国模美| 日韩av免费高清视频| av国产免费在线观看| 亚洲国产高清在线一区二区三| 国产精品不卡视频一区二区| 亚洲精品一区蜜桃| 欧美丝袜亚洲另类| 午夜激情福利司机影院| 亚洲国产欧美人成| 国产黄频视频在线观看| 大香蕉久久网| 国产av一区二区精品久久 | 春色校园在线视频观看| 一级毛片久久久久久久久女| 国产高潮美女av| 美女中出高潮动态图| 国产人妻一区二区三区在| 中国国产av一级| 久久久久久九九精品二区国产| 老女人水多毛片| 日韩欧美精品免费久久| 2018国产大陆天天弄谢| 国产黄频视频在线观看| 国产精品久久久久久久电影| 亚洲av成人精品一区久久| 午夜老司机福利剧场| 成人特级av手机在线观看| 丰满人妻一区二区三区视频av| 中文天堂在线官网| 日韩,欧美,国产一区二区三区| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 欧美精品国产亚洲| 成人黄色视频免费在线看| 人妻夜夜爽99麻豆av| 久久av网站| 新久久久久国产一级毛片| 性色av一级| 97在线视频观看| 国产真实伦视频高清在线观看| 国产精品一区二区在线观看99| 成年女人在线观看亚洲视频| 免费看不卡的av| 亚洲在久久综合| 亚洲精品乱码久久久v下载方式| 99久久中文字幕三级久久日本| 亚洲经典国产精华液单| 国产爽快片一区二区三区| 亚洲va在线va天堂va国产| 国产一区二区在线观看日韩| 蜜桃在线观看..| 日本欧美国产在线视频| 欧美日韩在线观看h| 亚洲av成人精品一区久久| 国产精品一区www在线观看| 国产成人免费无遮挡视频| 亚洲欧美成人综合另类久久久| 岛国毛片在线播放| 亚洲成人一二三区av| 激情 狠狠 欧美| 自拍偷自拍亚洲精品老妇| 交换朋友夫妻互换小说| 91狼人影院| 男人添女人高潮全过程视频| 青青草视频在线视频观看| 十分钟在线观看高清视频www | 综合色丁香网| 99热国产这里只有精品6| 国产男女超爽视频在线观看| 熟妇人妻不卡中文字幕| 亚洲欧美清纯卡通| 国产亚洲欧美精品永久| 视频区图区小说| 国产精品.久久久| 男女无遮挡免费网站观看| 亚洲精品国产av蜜桃| 亚洲国产精品成人久久小说| 天堂8中文在线网| 欧美精品国产亚洲| 哪个播放器可以免费观看大片| 在线看a的网站| 国产男女超爽视频在线观看| 人妻一区二区av| 成人综合一区亚洲| 直男gayav资源| 狂野欧美白嫩少妇大欣赏| 日本欧美国产在线视频| 最后的刺客免费高清国语| 在线天堂最新版资源| 亚洲高清免费不卡视频| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 视频区图区小说| 男女下面进入的视频免费午夜| 欧美日韩精品成人综合77777| 亚洲国产高清在线一区二区三| 色综合色国产| 人妻制服诱惑在线中文字幕| 看十八女毛片水多多多| 色网站视频免费| 黄色配什么色好看| 十八禁网站网址无遮挡 | 欧美日韩国产mv在线观看视频 | 美女中出高潮动态图| 亚洲人成网站高清观看| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 国产大屁股一区二区在线视频| a级毛色黄片| 日韩一区二区三区影片| 久久久久网色| 国产精品久久久久久精品电影小说 | 免费不卡的大黄色大毛片视频在线观看| 国产精品偷伦视频观看了| 亚洲精品乱码久久久久久按摩| 亚洲国产高清在线一区二区三| 免费看光身美女| 久久毛片免费看一区二区三区| 国产淫语在线视频| 成人综合一区亚洲| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 亚洲av在线观看美女高潮| 新久久久久国产一级毛片| av线在线观看网站| 又爽又黄a免费视频| 久久久久久人妻| 免费黄网站久久成人精品| 亚洲国产精品成人久久小说| 一本久久精品| 中文字幕精品免费在线观看视频 | 亚洲一级一片aⅴ在线观看| 亚洲精品亚洲一区二区| 男女啪啪激烈高潮av片| 亚洲第一区二区三区不卡| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 性色avwww在线观看| 欧美日韩一级在线毛片| 亚洲成人免费电影在线观看 | 日本五十路高清| 亚洲少妇的诱惑av| 免费黄频网站在线观看国产| 亚洲成人免费av在线播放| 精品亚洲成a人片在线观看| 久久亚洲精品不卡| 性色av一级| 亚洲欧美一区二区三区国产| 五月天丁香电影| 亚洲 欧美一区二区三区| 亚洲欧洲精品一区二区精品久久久| 欧美日韩一级在线毛片| 亚洲人成电影观看| 母亲3免费完整高清在线观看| 久久久国产精品麻豆| 国产高清不卡午夜福利| 久久人妻熟女aⅴ| 婷婷色麻豆天堂久久| 免费观看a级毛片全部| 国产精品偷伦视频观看了| 欧美人与性动交α欧美精品济南到| 精品国产乱码久久久久久小说| 精品久久久久久电影网| 国产一区亚洲一区在线观看| √禁漫天堂资源中文www| 黄片播放在线免费| 亚洲精品av麻豆狂野| 搡老乐熟女国产| 亚洲欧美日韩高清在线视频 | 日韩电影二区| 国产精品久久久人人做人人爽| 国产日韩欧美在线精品| 宅男免费午夜| 成人亚洲精品一区在线观看| 叶爱在线成人免费视频播放| 电影成人av| 国产一区二区三区av在线| 十分钟在线观看高清视频www| av在线播放精品| 一级毛片女人18水好多 | 亚洲成人免费av在线播放| 国产无遮挡羞羞视频在线观看| 国产精品久久久久久精品古装| 亚洲av成人不卡在线观看播放网 | 日韩视频在线欧美| 国产精品av久久久久免费| 99精品久久久久人妻精品| 少妇人妻 视频| 一本色道久久久久久精品综合| 久久人人爽av亚洲精品天堂| 男男h啪啪无遮挡| 一边摸一边抽搐一进一出视频| 一边摸一边做爽爽视频免费| 黑人巨大精品欧美一区二区蜜桃| 日韩 欧美 亚洲 中文字幕| 在线精品无人区一区二区三| 美女高潮到喷水免费观看| 久久精品人人爽人人爽视色| 电影成人av| 在线观看免费午夜福利视频| 国产亚洲午夜精品一区二区久久| 丁香六月欧美| a 毛片基地| 国产日韩欧美亚洲二区| 亚洲人成网站在线观看播放| 亚洲av日韩精品久久久久久密 | 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 久久精品亚洲av国产电影网| av片东京热男人的天堂| 国产人伦9x9x在线观看| 在现免费观看毛片| 亚洲精品一区蜜桃| 亚洲精品久久成人aⅴ小说| 九草在线视频观看| 又大又爽又粗| av又黄又爽大尺度在线免费看| 亚洲色图综合在线观看| 亚洲午夜精品一区,二区,三区| 免费看av在线观看网站| 久热这里只有精品99| 久久国产精品大桥未久av| 亚洲色图 男人天堂 中文字幕| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看 | 亚洲精品第二区| 亚洲精品国产av蜜桃| 精品人妻在线不人妻| 亚洲av日韩精品久久久久久密 | 国产成人免费观看mmmm| 国产精品亚洲av一区麻豆| 校园人妻丝袜中文字幕| 9191精品国产免费久久| 黄网站色视频无遮挡免费观看| 久久久国产欧美日韩av| 亚洲久久久国产精品| 久久99一区二区三区| 观看av在线不卡| 久久久久久久久免费视频了| 少妇 在线观看| 日韩精品免费视频一区二区三区| 大香蕉久久网| 国产色视频综合| 成人影院久久| 久久久久网色| 亚洲av成人不卡在线观看播放网 | 天堂俺去俺来也www色官网| 久久人人97超碰香蕉20202| 精品人妻在线不人妻| 99国产综合亚洲精品| 香蕉国产在线看| 久久影院123| 中文字幕高清在线视频| 免费看av在线观看网站| avwww免费| 久久中文字幕一级| 日本av免费视频播放| 国产精品 欧美亚洲| 一区二区三区乱码不卡18| 亚洲精品国产区一区二| 欧美变态另类bdsm刘玥| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 久久久久国产一级毛片高清牌| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 亚洲国产成人一精品久久久| 岛国毛片在线播放| 国产成人一区二区三区免费视频网站 | 美女主播在线视频| 久久 成人 亚洲| 亚洲国产欧美日韩在线播放| 一区二区日韩欧美中文字幕| 人成视频在线观看免费观看| 欧美国产精品一级二级三级| 精品福利观看| 日韩精品免费视频一区二区三区| 永久免费av网站大全| 亚洲成国产人片在线观看| 国产片特级美女逼逼视频| 丁香六月天网| 久久人妻熟女aⅴ| 高清av免费在线| 精品福利观看| 日韩精品免费视频一区二区三区| 国产亚洲精品久久久久5区| 在线av久久热| 色婷婷久久久亚洲欧美| 国产免费又黄又爽又色| 国产女主播在线喷水免费视频网站| 久久久国产一区二区| 午夜视频精品福利| 免费黄频网站在线观看国产| 看免费成人av毛片| 亚洲人成电影观看| 国产成人啪精品午夜网站| 日本欧美国产在线视频| 日韩制服丝袜自拍偷拍| 看十八女毛片水多多多| 最新的欧美精品一区二区| 久久久久视频综合| 国产激情久久老熟女| 国产亚洲午夜精品一区二区久久| 自拍欧美九色日韩亚洲蝌蚪91| av又黄又爽大尺度在线免费看| 国产一区二区在线观看av| 国产极品粉嫩免费观看在线| 99精品久久久久人妻精品| 亚洲天堂av无毛| 欧美精品一区二区大全| 亚洲一码二码三码区别大吗| 欧美日韩亚洲综合一区二区三区_| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| 国产精品一区二区在线观看99| 色网站视频免费| 欧美激情高清一区二区三区| 大型av网站在线播放| 男的添女的下面高潮视频| 日韩人妻精品一区2区三区| 欧美亚洲 丝袜 人妻 在线| 亚洲天堂av无毛| 色婷婷av一区二区三区视频| 中文字幕av电影在线播放| 伊人久久大香线蕉亚洲五| 欧美黑人欧美精品刺激| 别揉我奶头~嗯~啊~动态视频 | 99热网站在线观看| 精品高清国产在线一区| 涩涩av久久男人的天堂| 高清黄色对白视频在线免费看| 欧美中文综合在线视频| 亚洲精品第二区| 高清视频免费观看一区二区| 国产黄色免费在线视频| www.熟女人妻精品国产| 侵犯人妻中文字幕一二三四区| a级片在线免费高清观看视频| 亚洲美女黄色视频免费看| 亚洲色图综合在线观看| 纯流量卡能插随身wifi吗| 视频区欧美日本亚洲| 精品久久蜜臀av无| 性色av乱码一区二区三区2| 国产精品成人在线| 日日摸夜夜添夜夜爱| 亚洲伊人色综图| 欧美在线一区亚洲| 久久影院123| 国产高清视频在线播放一区 | 1024香蕉在线观看| 亚洲人成电影观看| 亚洲精品av麻豆狂野| 国产亚洲精品第一综合不卡| 欧美精品一区二区大全| av一本久久久久| 婷婷成人精品国产| 人体艺术视频欧美日本| svipshipincom国产片| 亚洲精品在线美女| 国产男女超爽视频在线观看| 一级毛片电影观看| 亚洲精品国产av蜜桃| 狠狠婷婷综合久久久久久88av| 成人三级做爰电影| 亚洲中文字幕日韩| 欧美日韩综合久久久久久| 国产成人啪精品午夜网站| 久久精品久久久久久久性| 看十八女毛片水多多多| 爱豆传媒免费全集在线观看| a 毛片基地| 欧美激情 高清一区二区三区| 久久99精品国语久久久| 国产精品三级大全| av不卡在线播放| 精品亚洲乱码少妇综合久久| 熟女av电影| 99国产综合亚洲精品| 国产熟女午夜一区二区三区| 一级片'在线观看视频| 又粗又硬又长又爽又黄的视频| 少妇猛男粗大的猛烈进出视频| 国产亚洲av高清不卡| 国产精品香港三级国产av潘金莲 | 欧美日韩一级在线毛片| 免费不卡黄色视频| 久久ye,这里只有精品| 国产精品 欧美亚洲| 国产精品一区二区在线不卡| 狂野欧美激情性xxxx| 一级片免费观看大全| 1024视频免费在线观看| 国产日韩一区二区三区精品不卡| 天天躁夜夜躁狠狠躁躁| 天堂中文最新版在线下载| 国产视频首页在线观看| av在线老鸭窝| 久久久亚洲精品成人影院| xxxhd国产人妻xxx| 亚洲少妇的诱惑av| 久久性视频一级片| 咕卡用的链子| 人人妻人人爽人人添夜夜欢视频| 18禁裸乳无遮挡动漫免费视频| 又紧又爽又黄一区二区| 久久久国产精品麻豆| 国产亚洲午夜精品一区二区久久| 女人被躁到高潮嗷嗷叫费观| 狠狠婷婷综合久久久久久88av| 黄色a级毛片大全视频| 男女午夜视频在线观看| 欧美日韩成人在线一区二区| 国产成人a∨麻豆精品| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 精品福利永久在线观看| 男女高潮啪啪啪动态图| 妹子高潮喷水视频| 大陆偷拍与自拍| 国产日韩一区二区三区精品不卡| 无遮挡黄片免费观看| 免费人妻精品一区二区三区视频| 亚洲国产最新在线播放| 国产又色又爽无遮挡免| 一级毛片 在线播放| 久久久精品区二区三区| 亚洲国产精品一区二区三区在线| 亚洲,一卡二卡三卡| 国产精品香港三级国产av潘金莲 | 老司机在亚洲福利影院| 国产精品二区激情视频| 久久久久视频综合| 黄色 视频免费看| 久久免费观看电影| 欧美乱码精品一区二区三区| 男女床上黄色一级片免费看| 777米奇影视久久| www.自偷自拍.com| 丝袜人妻中文字幕| 免费在线观看视频国产中文字幕亚洲 | 老司机亚洲免费影院| 国产精品九九99| 搡老乐熟女国产| 国产xxxxx性猛交| 一区二区av电影网| 日韩一区二区三区影片| 亚洲国产精品一区二区三区在线| 久久综合国产亚洲精品| 国产淫语在线视频| 久久久精品国产亚洲av高清涩受| 一级a爱视频在线免费观看| 精品少妇黑人巨大在线播放| 午夜久久久在线观看| 极品少妇高潮喷水抽搐| 婷婷色综合大香蕉| 午夜两性在线视频| 免费女性裸体啪啪无遮挡网站| 日日夜夜操网爽| 久久国产精品男人的天堂亚洲| 国产麻豆69| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 亚洲精品自拍成人| www日本在线高清视频| 人人妻人人澡人人爽人人夜夜| 国产日韩一区二区三区精品不卡| 巨乳人妻的诱惑在线观看| 国产精品秋霞免费鲁丝片| 亚洲精品一二三| 日韩伦理黄色片| 啦啦啦啦在线视频资源| 日韩人妻精品一区2区三区| 国产免费视频播放在线视频| 丁香六月天网| 一级片免费观看大全| 亚洲情色 制服丝袜| 欧美+亚洲+日韩+国产| 天堂中文最新版在线下载| av一本久久久久| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 色94色欧美一区二区| 大码成人一级视频| 亚洲精品一卡2卡三卡4卡5卡 | 99热网站在线观看| 美女国产高潮福利片在线看| a级片在线免费高清观看视频| 免费观看a级毛片全部| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 久久精品熟女亚洲av麻豆精品| 青草久久国产| 美国免费a级毛片| 蜜桃在线观看..| 日韩一卡2卡3卡4卡2021年| 亚洲欧美精品综合一区二区三区| 在线天堂中文资源库| xxx大片免费视频| 国产一级毛片在线| 亚洲五月婷婷丁香| 久久久精品区二区三区| 这个男人来自地球电影免费观看| 九色亚洲精品在线播放| 老鸭窝网址在线观看| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 人体艺术视频欧美日本| 一级毛片我不卡| 一级毛片黄色毛片免费观看视频| 一区二区三区乱码不卡18| 叶爱在线成人免费视频播放| 99九九在线精品视频| 天天添夜夜摸| 一本久久精品| 中文字幕另类日韩欧美亚洲嫩草| 最近手机中文字幕大全| 国产伦人伦偷精品视频| 又黄又粗又硬又大视频| 成年美女黄网站色视频大全免费| 日本欧美国产在线视频| 国产精品一区二区在线观看99| av国产久精品久网站免费入址| 国产av精品麻豆| 国产精品久久久久成人av| 日本a在线网址| 丝袜脚勾引网站| 国产黄色免费在线视频| a 毛片基地| 最新的欧美精品一区二区| 韩国高清视频一区二区三区| 在线观看免费日韩欧美大片| 老汉色∧v一级毛片| 免费在线观看黄色视频的| www.自偷自拍.com| 99久久精品国产亚洲精品| tube8黄色片| 日韩av免费高清视频| 国产午夜精品一二区理论片| 男女高潮啪啪啪动态图| 亚洲,欧美精品.| 久久精品久久精品一区二区三区| 国产一区二区激情短视频 | 青青草视频在线视频观看| 久久av网站| 免费在线观看日本一区| 看十八女毛片水多多多| av电影中文网址| 大型av网站在线播放| 手机成人av网站| 国产黄频视频在线观看| 午夜视频精品福利|