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    半導(dǎo)體制造技術(shù)綜述

    2016-06-04 08:18:19黃廣龍國家知識產(chǎn)權(quán)局專利局專利審查協(xié)作廣東中心廣州510000
    山東工業(yè)技術(shù) 2016年11期
    關(guān)鍵詞:光刻半導(dǎo)體薄膜

    黃廣龍(國家知識產(chǎn)權(quán)局專利局專利審查協(xié)作廣東中心,廣州 510000)

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    半導(dǎo)體制造技術(shù)綜述

    黃廣龍
    (國家知識產(chǎn)權(quán)局專利局專利審查協(xié)作廣東中心,廣州510000)

    摘要:半導(dǎo)體技術(shù)就是以半導(dǎo)體為材料,制作成組件及集成電路的技術(shù)。在半導(dǎo)體技術(shù)中,光刻技術(shù)和薄膜制備技術(shù)是常用的工藝技術(shù)。本文介紹了光刻技術(shù)和薄膜制備技術(shù)現(xiàn)狀和進(jìn)展情況。

    關(guān)鍵詞:半導(dǎo)體;光刻;圖形;薄膜;沉積

    0 引言

    人來研究半導(dǎo)體器件已經(jīng)超過135年[1]。尤其是進(jìn)近幾十年來,半導(dǎo)體技術(shù)迅猛發(fā)展,各種半導(dǎo)體產(chǎn)品如雨后春筍般地出現(xiàn),如柔性顯示器、可穿戴電子設(shè)置、LED、太陽能電池、3D晶體管、VR技術(shù)以及存儲器等領(lǐng)域蓬勃發(fā)展。本文針對半導(dǎo)制造技術(shù)的演變和主要內(nèi)容的研究進(jìn)行梳理簡介和統(tǒng)計分析,了解半導(dǎo)體制造技術(shù)的專業(yè)技術(shù)知識,掌握該領(lǐng)域技術(shù)演進(jìn)路線,同時提升對技術(shù)的理解和把握能力。

    1 半導(dǎo)體技術(shù)

    半導(dǎo)體制造技術(shù)是半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展的基礎(chǔ),制造技術(shù)水平的高低直接影響半導(dǎo)體產(chǎn)品的性能及其發(fā)展。光刻,刻蝕,沉積,擴(kuò)散,離子注入,熱處理和熱氧化等都是常用的半導(dǎo)體制造技術(shù)[2]。而光刻技術(shù)和薄膜制備技術(shù)是半導(dǎo)體制造技術(shù)中最常用的工藝,下面主要對以上兩種技術(shù)進(jìn)行簡介和分析。

    2 光刻技術(shù)

    主流的半導(dǎo)體制造過程中,光刻是最復(fù)雜、昂貴和關(guān)鍵的制造工藝。大概占成本的1/3以上。主要分為光學(xué)光刻和非光學(xué)光刻兩大類。據(jù)目前所知,廣義上的光刻(通過某種特定方式實現(xiàn)圖案化的轉(zhuǎn)移)最早出現(xiàn)在1796年,AloysSenefelder發(fā)現(xiàn)石頭通過化學(xué)處理后可以將圖像轉(zhuǎn)移到紙上。1961年,光刻技術(shù)已經(jīng)被用于在硅片上制造晶體管,當(dāng)時的精度是5微米?,F(xiàn)在,X射線光刻、電子束光刻等已經(jīng)開始被用于的半導(dǎo)體制造技術(shù),最小精度可以達(dá)到10微米。

    光學(xué)投影式光刻是半導(dǎo)體制造中最常用的光刻技術(shù),主要包括涂膠/前烘、曝光、顯影、后烘等。非光學(xué)光刻技術(shù)主要包括極深紫外光刻(EUV)、電子束光刻(E-beam Lithography)、X射線光刻(X-ray lithography)。判斷光刻的主要性能標(biāo)準(zhǔn)有分辨率(即可以曝光出來的最小特征尺寸)、對準(zhǔn)(套刻精度的度量)、產(chǎn)量。

    隨著半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展,器件的小型化(特征尺寸減小)和集成電路的密集度提高,傳統(tǒng)的光學(xué)光刻制造技術(shù)開始步入發(fā)展瓶頸狀態(tài),其面臨的關(guān)鍵技術(shù)問題在于如何提高分辨率。

    雖然,改進(jìn)傳統(tǒng)光學(xué)光刻制造技術(shù)的方法多種,但傳統(tǒng)的光學(xué)投影式技術(shù)已經(jīng)處于發(fā)展緩慢的階段。與傳統(tǒng)的投影式光刻技術(shù)發(fā)展緩慢相比,下一代光刻技術(shù)比如EUV、E-beam、X-ray、納米壓印等的發(fā)展很快。各大光刻廠商紛紛致力于研制下一代光刻技術(shù),如三星的極紫外光刻、尼康的浸潤式光刻等。目前先進(jìn)的光刻技術(shù)主要集中在國外,國內(nèi)的下一代光刻技術(shù)和光刻設(shè)備發(fā)展相對較為滯后。

    3 薄膜制備技術(shù)

    半導(dǎo)體制造工藝中,在硅片上制作的器件結(jié)構(gòu)層絕大多數(shù)都是采用薄膜沉積的方法完成。薄膜的一般定義為在襯底上生長的薄固體物質(zhì),其一維尺寸(厚度)遠(yuǎn)小于另外二維的尺寸。常用的薄膜包括: SiO2, Si3N4, poli-Si, Metal等。常用的薄膜沉積方法分為化學(xué)氣相沉積(Chemical Vapor Deposition)和物理氣相沉積(Physical Vapor Deposition)兩種?;瘜W(xué)氣相沉積利用化學(xué)反應(yīng)生成所需的薄膜材料,常用于各種介質(zhì)材料和半導(dǎo)體材料的沉積,如SiO2, poly-Si, Si3N4等[3]。物理氣相沉積利用物理機(jī)制制備所需的薄膜材料,常用于金屬薄膜的制備,如Al, Cu, W, Ti等。沉積薄膜的主要分為三個階段:晶核形成—聚集成束—形成連續(xù)膜。為了滿足半導(dǎo)體工藝和器件要求,通常情況下關(guān)注薄膜的一下幾個特性:(1)臺階覆蓋能力;(2)低的膜應(yīng)力;(3)高的深寬比間隙填充能力;(4)大面積薄膜厚度均勻性;(5)大面積薄膜介電電學(xué)折射率特性;(6)高純度和高密度;(7)與襯底或下層膜有好的粘附能力。臺階覆蓋能力以及高的深寬比間隙填充能力,是薄膜制備技術(shù)的關(guān)鍵技術(shù)問題。我們都希望薄膜在不平整襯底表面的厚度具有一致性。厚度不一致容易導(dǎo)致膜應(yīng)力、電短路等問題。而高的深寬比間隙填充能力則有利于半導(dǎo)體器件的進(jìn)一步微型化及其性能的提高。同時,低的膜應(yīng)力對所沉積的薄膜而言也是非常重要的。

    圖1 因應(yīng)力造成的薄膜表面龜裂

    4 結(jié)語

    雖然,與不斷更新?lián)Q代的半導(dǎo)產(chǎn)品相比,半導(dǎo)體制造技術(shù)發(fā)展較為緩慢,大部分制造技術(shù)發(fā)展已經(jīng)趨于成熟。但是,隨著不斷發(fā)展的半導(dǎo)體行業(yè),必然會對半導(dǎo)體制造技術(shù)的提出更高的要求,以滿足半導(dǎo)體產(chǎn)品的快速發(fā)展。因此,掌握和了解半導(dǎo)體制造技術(shù)的相關(guān)專利知識有利于推進(jìn)該領(lǐng)域的發(fā)展。

    參考文獻(xiàn):

    [1] Most of the classic device papers are collected in S.M Sze,Ed.,Semiconductor Devices:Pioneering Papers,World Sci. ,Singapore,1991.

    [2]劉恩科.半導(dǎo)體物理學(xué)[M].第7版,電子工業(yè)出版社,2008.

    [3]麻蒔立男. 薄膜制備技術(shù)基礎(chǔ)[M].化學(xué)工業(yè)出版社,2009.

    DOI:10.16640/j.cnki.37-1222/t.2016.11.038

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