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    鋁合金表面磁控濺射類石墨鍍層組織與性能研究

    2015-12-05 09:18:10郭巧琴李建平郭永春
    電鍍與精飾 2015年8期
    關(guān)鍵詞:磁控濺射偏壓摩擦系數(shù)

    郭巧琴, 李建平, 郭永春

    (西安工業(yè)大學(xué)材料與化工學(xué)院,陜西西安 710021)

    引 言

    鋁及其合金具有密度小、延展性好、比強(qiáng)度高、導(dǎo)電及導(dǎo)熱性好等優(yōu)點(diǎn)。目前,在汽車、船舶、機(jī)械、航空和航天工業(yè)已大量應(yīng)用。但其缺點(diǎn)是較軟、摩擦系數(shù)較高,導(dǎo)致其耐摩擦磨損性能差,應(yīng)用受到了限制[1-2]。為了克服鋁合金的缺點(diǎn),延長其使用壽命,采用表面改性技術(shù)對其進(jìn)行改性尤為重要。非平衡磁控濺射技術(shù)是20世紀(jì)80年代發(fā)展起來的一種新的表面處理技術(shù),它可以在微米甚至納米尺度上進(jìn)行多元成分摻雜,且組織均勻、致密。類石墨鍍層(GLC鍍層)是一種新型碳膜,具有高硬度、低摩擦系數(shù)和良好的耐磨性等性能[3-4]。本文采用非平衡磁控濺射離子鍍技術(shù)在鋁合金表面制備GLC鍍層,研究基體偏壓對鋁合金組織與性能的影響,為其應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。

    1 實(shí)驗(yàn)

    選用AlZn4.5Mg鋁合金,其主要成分為4.5%Zn,1.5%Mg,0.32%Si,余 量 Al,試 樣 規(guī) 格 為Φ40mm×5mm。

    采用UDP450非平衡磁控濺射鍍膜設(shè)備(如圖1所示)制備類石墨鍍層,設(shè)備真空室內(nèi)徑 d為425mm,實(shí)驗(yàn)中采用2個(gè)碳靶、2個(gè)鉻靶四靶配置。

    圖1 UDP450設(shè)備原理圖

    鍍前將試樣進(jìn)行預(yù)磨和拋光處理,然后用乙醇和丙酮超聲波清洗10min,經(jīng)冷風(fēng)吹干后放入真空室。分別通過調(diào)整基體偏壓為 -60、-90及-120V,進(jìn)行鍍膜處理。

    采用SPI3800-SPA-400型原子力顯微鏡(AFM)觀察鍍層表面的三維形貌及測試粗糙度。應(yīng)用WS-2005涂層劃痕附著力測試儀對鍍層的臨界載荷進(jìn)行測試,最大加載為50N,加載速度是10N/min。鍍層硬度測試采用HVS-1000維氏顯微硬度計(jì),其測試條件載荷為0.25N,保壓15s。采用自制銷-盤摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)對鍍層的摩擦系數(shù)進(jìn)行測試,所用摩擦副為GCr15鋼球,d為5mm,轉(zhuǎn)盤d為43mm,轉(zhuǎn)盤線速度為200mm/s,載荷為40N。

    2 結(jié)果與分析

    2.1 鍍層形貌及粗糙度

    采用原子力顯微鏡對GLC鍍層的表面三維形貌和粗糙度進(jìn)行觀察和測試,其結(jié)果如圖2及圖3所示。

    圖2 不同偏壓下鍍層表面AFM三維形貌

    圖3 不同偏壓下鍍層表面粗糙度曲線

    由圖2可知,在不同基體負(fù)偏壓時(shí)鍍層以島狀方式生長。隨偏壓值的增大,島狀尺寸和鍍層晶粒均減小,表面更加光滑平整。由圖3可知,隨著基體負(fù)偏壓值增大,鍍層表面粗糙度逐漸減小。當(dāng)基體偏壓值為0V時(shí),Ra=20.56nm,當(dāng)基體偏壓值增加到-120V時(shí),Ra=5.46nm,說明隨著基體負(fù)偏壓值增大,鍍層表面的粗糙度逐漸減小。這是由于隨基體負(fù)偏壓值的增加,薄膜生長過程隨之減弱,從而導(dǎo)致鍍層表面粗糙度降低[5];另外,隨基體負(fù)偏壓增大,電場中離化后的離子受到的作用力增加,從而獲得較大的動(dòng)能,離子轟擊后靶材產(chǎn)生的原子或離子的初動(dòng)能增加,當(dāng)濺射到基片時(shí)原子的擴(kuò)散能力提高,原子易于擴(kuò)散至鍍層較低位置處,從而降低鍍層表面粗糙度[6]。

    2.2 臨界載荷測試

    圖4是由劃痕附著力測試儀測試的鍍層臨界載荷曲線。由圖4可知,當(dāng)基體偏壓為0V時(shí),鍍層膜基臨界載荷為12N,當(dāng)基體偏壓增大到-120V時(shí),鍍層的膜基臨界載荷增大到42N。說明隨基體負(fù)偏壓增大,鍍層膜基臨界載荷逐漸增大。施加于基體上的偏壓越大,轟擊離子的能量越高,離子運(yùn)動(dòng)的速率也越大,從而可濺射掉薄膜生長表面上結(jié)合較為疏松的原子并以能量傳遞的方式對薄膜內(nèi)部原子進(jìn)行轟擊。當(dāng)偏壓值繼續(xù)增大時(shí),薄膜的致密性增強(qiáng),導(dǎo)致結(jié)合力逐漸增大[7]。

    圖4 不同偏壓下鍍層臨界載荷曲線

    2.3 鍍層硬度測試

    不同偏壓下制備的GLC鍍層硬度如圖5所示。

    圖5 不同偏壓時(shí)鍍層硬度曲線

    由圖5可知,當(dāng)基體偏壓為0V時(shí),鍍層的硬度為130HV,隨基體偏壓增加至-120V時(shí),鍍層的硬度為235HV。由此可見,隨基體負(fù)偏壓增加,鍍層硬度逐漸增加。偏壓的作用可以吸引高能離子轟擊鍍層表面,從而使鍍層更加致密。碳原子被高能氬離子從靶材上濺出以后,依賴荷能離子轉(zhuǎn)移的能量在真空室中運(yùn)動(dòng),有的直接沉積到基體表面上,部分原子在真空腔中被電離成離子,這些被電離的靶材離子在偏壓作用下,一邊沉積,一邊轟擊鍍層表面和基體[8-9];另外,偏壓還吸引部分荷能氬離子對鍍層進(jìn)行轟擊,這樣在轟擊的作用下,部分和基體結(jié)合不牢固的原子就會被濺射出去,同時(shí)由于偏壓的作用,使得靶材離子具備足夠高的能量在鍍層的表面遷移,增強(qiáng)了基體表面的成膜能力,減少了鍍層的微觀孔隙率,進(jìn)而提高了鍍層的致密度;在一定范圍內(nèi)偏壓越大,轟擊能量就越大,鍍層就越致密,從而增大了鍍層的硬度[10]。

    2.4 鍍層摩擦系數(shù)及磨痕形貌

    圖6為銷-盤摩擦磨損試驗(yàn)機(jī)測試的鍍層摩擦系數(shù)曲線。圖7為摩擦系數(shù)測試后鍍層表面的金相顯微形貌。

    圖6 不同偏壓下鍍層的摩擦系數(shù)曲線

    圖7 不同偏壓下鍍層的磨痕形貌

    從圖6可知,對于純基體,未施加基片負(fù)偏壓時(shí),鍍層的摩擦系數(shù)約為0.35。當(dāng)施加基體偏壓-60V時(shí),鍍層摩擦系數(shù)為0.30,隨基體偏壓繼續(xù)增加至-120V時(shí),鍍層摩擦系數(shù)降低至0.19。說明鋁合金表面施鍍類石墨鍍層可以降低鋁合金的摩擦系數(shù),且隨基體負(fù)偏壓的增加,其摩擦系數(shù)逐漸減小。這是由于在基體負(fù)偏壓的作用下,鍍層在生長過程中受到高能粒子的轟擊,可以更好地使靶材粒子直接沖擊基體,更好地使基體表面的原子活化,提高基體表面原子的活化率,從而提高了膜層與基體的結(jié)合力和硬度,因此,鍍層的摩擦系數(shù)減?。?1-13]。

    由圖7可知,基體未施加偏壓時(shí),經(jīng)磨損試驗(yàn)后,鍍層大部分區(qū)域磨損嚴(yán)重,形成明顯溝槽,且表面有大量黏著物。這是因?yàn)榛w與GCr15鋼球之間的摩擦力較大,磨損過程中形成的磨屑,容易黏附在鍍層表面形成黏附物,在切向摩擦力的長期作用下鍍層上有的區(qū)域發(fā)生疲勞剝落而留下凹坑,說明鋁合金基體的磨損機(jī)理主要為黏著磨損和磨粒磨損。當(dāng)基體施加-60V偏壓后,鍍層的磨痕變窄,犁溝變淺,但是表面有較多粘著物。說明鍍層磨損機(jī)理主要為粘著磨損為主。隨基體偏壓繼續(xù)增大至-120V時(shí),鍍層的磨痕繼續(xù)變窄,變淺,磨損機(jī)制主要以磨粒磨損為主。

    3 結(jié)論

    1)基體偏壓在-60~-120V范圍內(nèi),類石墨鍍層均以島狀方式生長。且隨著偏壓值的增大,島狀尺寸減小,鍍層晶粒減小,粗糙度減小。

    2)基體偏壓在-60~-120V范圍內(nèi),隨基體負(fù)偏壓增大,鍍層膜基臨界載荷逐漸增大。當(dāng)基體偏壓為-120V時(shí),鍍層的膜基臨界載荷最大為42N。

    3)基體偏壓在-60~-120V范圍內(nèi),隨基體負(fù)偏壓增大,鍍層摩擦系數(shù)減小,當(dāng)基體偏壓為-120V時(shí),鍍層摩擦系數(shù)最低為0.19,其磨損機(jī)制由磨粒磨損和粘著磨損轉(zhuǎn)變?yōu)槟チDp。

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