統(tǒng)計(jì)技術(shù)在硅單晶輻照生產(chǎn)質(zhì)量控制中的應(yīng)用分析

【摘 "要】對(duì)于質(zhì)量管理體系來說，統(tǒng)計(jì)技術(shù)是非?；A(chǔ)也是非常重要的方法之一，統(tǒng)計(jì)技術(shù)同時(shí)也是科研生產(chǎn)以及質(zhì)量控制重要工具類型。本次研究分析在硅單晶輻照生產(chǎn)質(zhì)量控制過程中，統(tǒng)計(jì)技術(shù)的有效使用，促使中照服務(wù)質(zhì)量控制實(shí)現(xiàn)有效的提升。

【關(guān)鍵詞】統(tǒng)計(jì)技術(shù);硅單晶輻照;生產(chǎn)質(zhì)量控制;應(yīng)用

一、前言

隨著社會(huì)的發(fā)展，近代科研生產(chǎn)的發(fā)展取得了非常顯著的成績(jī)，目前情況下，統(tǒng)計(jì)技術(shù)的使用已經(jīng)涉及到很多個(gè)方面，直接影響到人類認(rèn)識(shí)世界以及改造世界。例如：在戰(zhàn)后，日本的經(jīng)濟(jì)恢復(fù)過程中以及高速發(fā)展過程中，很好的使用了統(tǒng)計(jì)技術(shù)，發(fā)揮了非常顯著的作用。目前決策者決策很大程度的使用統(tǒng)計(jì)技術(shù)分析資料數(shù)據(jù)。就目前來說，目前大部分國(guó)家以及地區(qū)正在推行質(zhì)量管理體系，目前來說，統(tǒng)計(jì)技術(shù)已經(jīng)普遍被國(guó)際、國(guó)內(nèi)的質(zhì)量管理專家認(rèn)為，已經(jīng)逐漸將其作為質(zhì)量管理最重要的方法。

二、統(tǒng)計(jì)技術(shù)概述以及硅單晶輻照生產(chǎn)概述

（一）統(tǒng)計(jì)技術(shù)基本概述

統(tǒng)計(jì)技術(shù)實(shí)質(zhì)上指的是對(duì)相關(guān)統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的收集、整理、分析以及解釋，同時(shí)針對(duì)其所反映的問題得到一定結(jié)論的方法。在使用統(tǒng)計(jì)技術(shù)的基礎(chǔ)上可以實(shí)現(xiàn)透過現(xiàn)象看問的本質(zhì)，正確掌握問題產(chǎn)生而對(duì)原因以及解決問題的有效方法。統(tǒng)計(jì)技術(shù)最明顯的性質(zhì)有以下幾種：第一是描述性、第二是推斷性、第三是風(fēng)險(xiǎn)性。描述性統(tǒng)計(jì)、試驗(yàn)設(shè)計(jì)以及時(shí)間序列分析等統(tǒng)計(jì)技術(shù)分支下還包括一種還是多種的統(tǒng)計(jì)方法。不一致的統(tǒng)計(jì)方法則有著相對(duì)應(yīng)的通途，一部分可以在生產(chǎn)過程是不是正常以及穩(wěn)定判定過程中使用;一部分則可以在質(zhì)量缺陷主次程度分析過程中使用;一部分則可以在不同工藝方法對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的影響程度比較的過程中使用等。

（二） 硅單晶輻照生產(chǎn)基本概述

硅廠送硅抵達(dá)之后，需要工藝組驗(yàn)收、入庫原始硅，同時(shí)需要技術(shù)組嚴(yán)格按照硅單晶輻照要求，完成輻照方案的制定，與此同時(shí)還要在上述的基本上完成工藝卡的編制，工藝組則嚴(yán)格依照工藝卡的實(shí)際標(biāo)準(zhǔn)完成組合裝罐工作，裝罐完成之后將其置入保存水池，反應(yīng)堆運(yùn)行室則需要嚴(yán)格按照工藝卡的實(shí)際標(biāo)準(zhǔn)完成相關(guān)的輻照生產(chǎn)工作，等到出硅之后，則由工藝組清洗、清點(diǎn)以及整理中照硅，測(cè)試組則按照相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)抽測(cè)電阻率，同時(shí)需要技安室按照相關(guān)的標(biāo)準(zhǔn)抽查表面污染情況。

（三）我所硅單晶輻照加工的實(shí)際情況分析

我所加工硅單晶輻照史還是較長(zhǎng)的，輻照產(chǎn)品主要是對(duì)3英寸的N型單晶硅、4英寸的N型單晶硅以及5英寸的N型單晶硅完成中子摻雜工作[1]。因?yàn)槭艿揭淮蚊新?、補(bǔ)照后年總命中率、破損率、往返周期等因素的影響，隨著社會(huì)的發(fā)展，我所總共開展了超過2次的擴(kuò)孔，促使其可以有效的滿足顧客的實(shí)際需要。與此同時(shí)，輻照工藝也是存在一定程度的轉(zhuǎn)變，主要是把監(jiān)測(cè)數(shù)據(jù)硅當(dāng)成絕對(duì)檢測(cè)中子注量率。

三、在硅單晶輻照生產(chǎn)質(zhì)量控制中統(tǒng)計(jì)技術(shù)的有效使用

（一）中照硅年總質(zhì)量情況

中照部嚴(yán)格按照實(shí)際情況的需要，對(duì)顧客每年進(jìn)行一次滿意度調(diào)查，同時(shí)在上述基礎(chǔ)上針對(duì)年總命中率進(jìn)行分析，同時(shí)對(duì)顧客滿意度進(jìn)行評(píng)價(jià)分析，不僅對(duì)我所管理評(píng)審提供輸入，同時(shí)也對(duì)下一年度的合同評(píng)審提供輸入[2]。

（二）硅單晶輻照質(zhì)量情況

對(duì)于硅單晶輻照的生產(chǎn)，其非常重要的一個(gè)指標(biāo)就是一次命中率，一次命中率實(shí)際上指的是每一批中照硅主要技術(shù)指標(biāo)在滿足目標(biāo)量占上述這批輻照總量中的百分比大小。但是，因?yàn)槲宜鶎?shí)際不具備測(cè)量全部中照硅的條件，因此，在進(jìn)行測(cè)量的過程中，一般會(huì)選擇抽檢辦法來完成測(cè)量。抽檢方向則是開始檢測(cè)部分，之后對(duì)其整體進(jìn)行推測(cè)，其測(cè)量值跟真實(shí)值兩者之間存在明顯的偏差，其得到的抽檢測(cè)量值知識(shí)跟真實(shí)值有些近似而已。與此同時(shí)，由于這種因素的存在，出現(xiàn)沒有命中的中照硅他用的情況，主要原因有以下兩個(gè)方面：第一個(gè)方面是顧客不會(huì)向我所提供中照硅主要技術(shù)指標(biāo)的實(shí)現(xiàn)情況，第二個(gè)方面則是因?yàn)槭袌?chǎng)需求出于一個(gè)不斷變化的趨勢(shì)下，顧客的目標(biāo)電阻率會(huì)出現(xiàn)相應(yīng)的變化。因此，我所難以準(zhǔn)確地掌握中照硅一次命中率的真實(shí)大小，之前我所開展一次命中率調(diào)查方法是調(diào)查一年一次顧客滿意度，可以得到較為準(zhǔn)確的一次命中率，但是也存在一部分顧客并不會(huì)及時(shí)的答復(fù)滿意度調(diào)查[3]。因?yàn)樯鲜龇N種原因的存在，想要在目前的基礎(chǔ)上，及時(shí)地以及準(zhǔn)確地掌握我所的輻照質(zhì)量情況，一般來說，我們可以使用以下兩種方法：第一個(gè)方法是促使我所退火測(cè)量能力實(shí)現(xiàn)有效的提升，由于我所退火資源還是比較有限的，同時(shí)也有一部分顧客并不同意我所開展退火工作，所以，上述方法實(shí)現(xiàn)存在非常明顯的難度。第二個(gè)方法是于目前的基礎(chǔ)上，嚴(yán)格按照顧客所提供的原始數(shù)據(jù)來完成一次合格率的計(jì)算。但是得出來的一次合格率難以準(zhǔn)確的將一次命中率真實(shí)的反應(yīng)出來，但是一次合格率可以及時(shí)地將我所中照硅生產(chǎn)任務(wù)完成能力反映出來，同時(shí)還可以有效的將我所的中照質(zhì)量真實(shí)地反映出來[4]。就目前來說，我所輻照硅單晶有很多種類型，每一個(gè)顧客的硅單晶大小、長(zhǎng)短、目標(biāo)電阻率以及公稱寬度都是不一致的，所以在計(jì)算的過程中，不可以分門別類的單獨(dú)統(tǒng)計(jì)分析，而且，我們立足質(zhì)量控制這個(gè)方面分析，我們只需要重視以及關(guān)注一次合格率，因?yàn)樯a(chǎn)工藝處于一個(gè)不變化的趨勢(shì)，所以我們可以忽視其他的條件。進(jìn)行統(tǒng)計(jì)的過程中，因?yàn)檠a(bǔ)照硅相比原始硅來說，存在不一致的原始電阻率大小，但是其輻照硅工藝上存在明顯的一致性，因此，對(duì)原始硅同補(bǔ)照硅進(jìn)行一起計(jì)算得到的結(jié)果A，以及對(duì)原始硅同補(bǔ)照硅進(jìn)行分別計(jì)算的結(jié)果得到的結(jié)果B，且A=B，那么就不需要對(duì)補(bǔ)照硅進(jìn)行單獨(dú)的計(jì)算[5]。

四、總結(jié)

我所重要核技術(shù)服務(wù)之一就是生產(chǎn)硅單晶輻照，在原來基礎(chǔ)上進(jìn)行了多次研究分析，目前已經(jīng)取得較為顯著的成績(jī)，但促使中照硅質(zhì)量成為一個(gè)永恒的話題，同時(shí)將其成為一個(gè)永恒不變的目的，不僅如此，我們還需要在上述的基礎(chǔ)上，促使質(zhì)量實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步提升。詳細(xì)建議有以下幾個(gè)方面：首先是對(duì)于可以反映每一爐段的一次合格率曲線圖我們需要及時(shí)的完成構(gòu)建，在上述的基礎(chǔ)上促使輻照生產(chǎn)人員以及質(zhì)量管理人員都可以及時(shí)的、有效的掌握輻照質(zhì)量的實(shí)際趨勢(shì)，并且在上述的基礎(chǔ)上完成輻照生產(chǎn)工藝的改進(jìn)，促使一次命中率有效的提升。其次是針對(duì)不一致的硅，需要在進(jìn)行合同簽訂的過程中，對(duì)其進(jìn)行有效的區(qū)別，針對(duì)分析對(duì)待，并且需要輻照技術(shù)研究實(shí)現(xiàn)進(jìn)一步強(qiáng)化，同時(shí)促使輻照命中率有效的提升。再次是對(duì)于統(tǒng)計(jì)技術(shù)的學(xué)習(xí)，對(duì)技術(shù)人員系統(tǒng)學(xué)習(xí)需要進(jìn)行有效的組織安排，促使硅單晶輻照生產(chǎn)技術(shù)力量實(shí)現(xiàn)有效的強(qiáng)化，進(jìn)一步明確中照硅數(shù)據(jù)處理對(duì)統(tǒng)計(jì)技術(shù)的實(shí)際需求，最后構(gòu)成文件。接下來是根據(jù)實(shí)際需要構(gòu)建相關(guān)的QC小組，該小組成員針對(duì)硅單晶輻照生產(chǎn)過程中存在的幾點(diǎn)問題進(jìn)行分析研究，同時(shí)針對(duì)生產(chǎn)過程中需要解決的問題進(jìn)行分析，在完成研究分析之后，需要針對(duì)問題產(chǎn)生的原因進(jìn)行措施方案的構(gòu)建，并且將措施最大程度的貫徹落實(shí)。最后是促使中照硅的退火資源得到強(qiáng)化，促使其退火的能力有效的提升，這樣一來就會(huì)促使我所可以在很短的時(shí)間內(nèi)及時(shí)的、準(zhǔn)確地掌握中照硅質(zhì)量，進(jìn)而促使我所中照硅質(zhì)量有效的提升，促使顧客滿意度以及我所在同行中的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)力實(shí)現(xiàn)有效的而提升。

參考文獻(xiàn)：

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