中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28 納米工藝全覆蓋

2023 年，中國電科實現(xiàn)國產(chǎn)離子注入機28 納米工藝制程全覆蓋， 有力保障我國集成電路制造行業(yè)在成熟制程領(lǐng)域的產(chǎn)業(yè)安全。離子注入機是芯片制造中的關(guān)鍵裝備。在芯片制造過程中，需要摻入不同種類的元素按預(yù)定方式改變材料的電性能，這些元素以帶電離子的形式被加速至預(yù)定能量并注入至特定半導(dǎo)體材料中，離子注入機就是執(zhí)行這一摻雜工藝的芯片制造設(shè)備。