雷傳煌,王仁平,盧朝輝
(福州大學(xué) 物理與信息工程學(xué)院,福建福州,350108)
近年來,隨著半導(dǎo)體工藝由微米級進(jìn)入到納米級的發(fā)展,芯片的集成度越來越高,單位面積的功率密度和電流密度不斷上升,容易在大規(guī)模集成電路的電源網(wǎng)絡(luò)產(chǎn)生嚴(yán)重的電壓降問題,進(jìn)而導(dǎo)致芯片功能失效[1]。因此,在先進(jìn)工藝下流片前對大規(guī)模集成電路進(jìn)行電壓降分析是必不可少的[2]。
為了修復(fù)電壓降違例,在傳統(tǒng)優(yōu)化電壓降過程中,需要現(xiàn)在專業(yè)的電壓降簽核工具中進(jìn)行分析電壓降結(jié)果,然后返回到PR 工具中手動調(diào)整和修改layout,該方法過程繁瑣,且手動修改layout 對繞線資源的占用太多。本項目結(jié)合主流電壓降簽核工具Redhawk 的自動化修復(fù)流程,可以直接在該工具中進(jìn)行l(wèi)ayout 的修改,并在達(dá)到電壓降修復(fù)的過程中減小對繞線資源的占用,達(dá)到芯片面積有效利用率的最大化。
本項目基于的中芯國際的55nm(semiconductor manufacturing international corporation,SMIC)的工藝庫,設(shè)計了一款條形碼識別模塊,可以進(jìn)行條形碼識別功能。本文從工程的角度入手,在充分考慮設(shè)計的性能、面積的前提下,在自動布局布線階段采用了可關(guān)斷和多電源電壓等多種低功耗優(yōu)化技術(shù)來改善設(shè)計的功耗和電壓降,最后通過 Apache 公司的電壓降分析工具RedHawk 對設(shè)計進(jìn)行靜態(tài)和動態(tài)電壓降分析和優(yōu)化。
在芯片設(shè)計中,通常假設(shè)有一個理想電源可以提供足夠的電流來滿足標(biāo)準(zhǔn)單元和宏單元的工作電壓要求。但是,由于電源網(wǎng)絡(luò)本身的電阻值的存在,電流流經(jīng)電源網(wǎng)絡(luò)到達(dá)每個標(biāo)準(zhǔn)單元和宏單元上的電源端會損失部分電壓,同時地端會有部分電壓反彈,這一現(xiàn)象被稱為電壓降[3]。電壓降具體分為電源電壓降落(VDD Drop)和地線電壓反彈(VSS Bounce)[4]。
芯片中的電壓降不僅與電流密度和金屬互聯(lián)線的電阻率有關(guān),還和芯片上標(biāo)準(zhǔn)單元和宏單元的工作狀態(tài)有關(guān)。圖1是電源電流經(jīng)由PAD 到達(dá)各個標(biāo)準(zhǔn)單元的電源網(wǎng)絡(luò)示意圖,其中R11~R14為電源線上的寄生電阻,R21~R24為地源線上的寄生電阻,B1~B4為該電源網(wǎng)絡(luò)上的標(biāo)準(zhǔn)單元,I1~I(xiàn)4分為標(biāo)準(zhǔn)單元B1~B4的工作電流。假設(shè)只有標(biāo)準(zhǔn)單元B4工作,B4的工作電流I4經(jīng)過寄生電阻R11~R14并在這些電阻上產(chǎn)生了壓降,使得B4的實際供電電壓小于理想電源電壓Vpower。根據(jù)歐姆定律算得在B4電源端的電壓降為:
圖1 電源網(wǎng)絡(luò)示意圖
此時,對于沒有處于工作狀態(tài)的B3而言,B4的工作電流I4會流過寄生電阻R11~R13并在這些電阻上產(chǎn)生壓降,因此在B3電源端會產(chǎn)生電壓降:
同理,B4的工作電流I4會給同一電源網(wǎng)絡(luò)上的每一個標(biāo)準(zhǔn)單元都造成一定的電壓降。目前芯片的規(guī)模基本是在百萬級門電路以上,標(biāo)準(zhǔn)單元在一個時鐘周期往往存在大量翻轉(zhuǎn)的情況,一定程度的電壓降是不可避免的[5]。在先進(jìn)半導(dǎo)體制造工藝下,由于電源網(wǎng)絡(luò)設(shè)計的不合理,芯片會往往也會電壓降問題更加明顯,進(jìn)而導(dǎo)致對芯片的性能甚至功能產(chǎn)生嚴(yán)重影響[6]。
電壓降可以影響cell 和net 的delay。通過fab 廠提供liberty 文件可以知道cell delay 是input slew 和output load 的函數(shù)。如圖2 所示,由于峰值電壓的減小,有電壓降的單元實例的電壓擺幅會小于標(biāo)準(zhǔn)電壓,導(dǎo)致input slew 變大,進(jìn)而會影響接收單元的cell delay 和net delay。
圖2 電壓降與delay 關(guān)系圖
由電壓降所產(chǎn)生的cell delay 和net delay 也會進(jìn)一步造成建立時間和保持時間的時序違例。如圖3 所示,如果電壓降位于數(shù)據(jù)路徑,數(shù)據(jù)路徑的延時增加,它可能產(chǎn)生建立時間時序違例;如果電壓降位于時鐘路徑,時鐘源點到第二級寄存器的延時增加,它可能產(chǎn)生保持時間時序違例。
圖3 電壓降引起setup 和hold 時序違例示意圖
電壓降不僅對芯片的時序有影響,也會對噪聲容限造成損傷。由于電壓降的存在,晶體管的噪聲容限更進(jìn)一步降低,使得在百萬級晶體管的設(shè)計中處理連線耦合噪聲效應(yīng)變得更加困難。
2.1.1 靜態(tài)電壓降分析原理和流程
電壓降包括靜態(tài)電壓降分析和動態(tài)電壓降分析。靜態(tài)電壓降分析是根據(jù)一段時間內(nèi)得到的平均功耗計算流過芯片上每個單元的平均電流,從而得到的平均電壓降。電源網(wǎng)絡(luò)中存在的開路,通孔的缺失,存在浮空塊和懸掛塊,電源條寬度或者密度不足,以及高電流密度都會導(dǎo)致靜態(tài)電壓降問題。
如圖4 所示,靜態(tài)電壓降分析時,把供電PAD 等效為理想的直流電流源,把電源地網(wǎng)絡(luò)等效為電阻R 網(wǎng)絡(luò)。
圖4 靜態(tài)電壓降電源網(wǎng)絡(luò)等效電路圖
靜態(tài)電壓降的計算過程:
(1)計算每個instance 流過的平均電流:使用前面計算出來每個instance 的平均功耗,通過lavg=Pavg/Vsupply公式計算每個instance 的平均電流。
(2)計算每個節(jié)點的電壓:有了每個instance 流過的平均電流再加上前面抽取的電源網(wǎng)絡(luò)上的電阻,根據(jù)基爾霍夫定律就可以算出每個節(jié)點的電壓。
(3)計算靜態(tài)電壓降值:根據(jù)每個節(jié)點的電壓可以算出每個instance 電源網(wǎng)絡(luò)上的壓降和地線上的地彈,然后把兩者加起來除供電電壓就是電壓降值。
2.1.2 動態(tài)電壓降分析原理和流程
動態(tài)電壓降分析是通過芯片翻轉(zhuǎn)率最高的一段時間計算得到電路的瞬時峰值電流,從而得到的芯片上動態(tài)電壓降結(jié)果。動態(tài)電壓降分析主要檢查因芯片上標(biāo)準(zhǔn)單元翻轉(zhuǎn)情況而導(dǎo)致的局部電壓降違例。
如圖5 所示,動態(tài)電壓降分析時,把供電PAD 等效為理想的交流電流源,把電源地網(wǎng)絡(luò)上等效為有電阻、電容、電感的網(wǎng)絡(luò)。
圖5 動態(tài)電壓降電源網(wǎng)絡(luò)等效電路圖
動態(tài)電壓降的計算過程:
(1)計算每個instance 流過的瞬態(tài)電流:對于翻轉(zhuǎn)的instance,流過的電流為PWL(piece-wise linear)current。
(2)計算每個節(jié)點的電壓:每個節(jié)點的動態(tài)電壓波形通過瞬態(tài)仿真計算獲得。RedHawk 根據(jù)VCD 文件指定的翻轉(zhuǎn)率(toggle rate)信息推導(dǎo)出信號線最壞情況的翻轉(zhuǎn)場景。使用來自LIB 文件或APL 的電流配置文件中最壞情況的翻轉(zhuǎn)場景的電流,并根據(jù)抽取出的寄生電阻計算出每個節(jié)點的電壓。
(3)計算Dynamic IR Drop:根據(jù)每個節(jié)點的電壓可以算出每個instance 電源網(wǎng)絡(luò)上的壓降和地線上的地彈,然后把兩者加起來就是電壓降值。
本項目是一個基于中芯國際55nm 工藝的條形碼識別模塊,Chip size 大約是 2730μm×2770μm。本設(shè)計基于Apache 公司的RedHawk 工具進(jìn)行電壓降的分析與簽核,它做的各種分析的準(zhǔn)確度很高,通過了它的檢驗,可以達(dá)到流片的要求。根據(jù) Foundry 的提供的資料,電壓降分析的Signoff 標(biāo)準(zhǔn)如下:
功耗分析 Process Corner:Typical-Typical。
工作電壓:1.2V。
靜態(tài)電壓降的最大限值:3%。
動態(tài)電壓降的最大限值:15%。
2.2.1 靜態(tài)電壓降分析
靜態(tài)電壓降主要是基于平均功耗分析得來的,得到的是平均的電壓降的大小。平均功耗由內(nèi)部功耗,開關(guān)功耗以及泄露功耗三部分構(gòu)成。
根據(jù)voltage drop map 可以看到整個模塊的電源/地線的靜態(tài)電壓降的熱點區(qū)域(Hot Spot)即電壓降比較大的位置,圖6 為模塊內(nèi)所有電源線和地線的電壓降熱點圖??梢杂^察到VDD 的最大電壓降為19.60mV,VSS 的最大電壓降為18.60mV,單元實例上的最大電壓降為38.18mV,超過了32.4mV 的理想閾值,出現(xiàn)了電壓降違例。
圖6 改善前靜態(tài)電壓降熱點分布圖
圖7 改善前最差靜態(tài)電壓降結(jié)果圖
在分析靜態(tài)電壓降前,需要查看電源網(wǎng)絡(luò)的連接性,確保沒有短路、開路和電源網(wǎng)絡(luò)連接過孔缺失的存在。通過分析電壓降較差的區(qū)域發(fā)現(xiàn)并沒有缺失Power via 導(dǎo)致電源網(wǎng)絡(luò)連接性不強(qiáng),但通過Toggle density map 和Power density map 發(fā)現(xiàn)存在這部分的單元實例的翻轉(zhuǎn)率較高,產(chǎn)生的平均功耗比較高,因此導(dǎo)致電壓降比較高。通過使用Redhawk 的FAO(Fixing and Optimization)功能,可以對熱點區(qū)域的靜態(tài)電壓降進(jìn)行自動化修復(fù)。FAO 功能基于修改熱點區(qū)域中電源條的寬度來達(dá)到的電壓降目標(biāo),同時寫出電源線修改后的相關(guān)信息以便于在PR 工具中使用,具體的腳本如下:
FAO 完成后,工具需要重新執(zhí)行電源網(wǎng)絡(luò)電阻參數(shù)的抽取、設(shè)置封裝寄生參數(shù)和電壓降的分析。根據(jù)電壓降優(yōu)化后的熱點圖8 和結(jié)果圖9 得到,此時單元實例的最大靜態(tài)電壓降由之前的38.18mV 降為29.57mV,所以此項目通過加寬熱點區(qū)域部分的電源線寬度的方式可以使靜態(tài)電壓降滿足簽核要求。
圖8 改善后靜態(tài)電壓降熱點分布圖
圖9 改善后最差靜態(tài)電壓降結(jié)果圖
2.2.2 動態(tài)電壓降分析
為了模擬芯片工作的真實場景,動態(tài)電壓降需要使用后仿真得到的VCD 波形文件進(jìn)行動態(tài)功耗計算。VCD 波形文件中包含芯片處于高翻轉(zhuǎn)率的時間段,RedHawk 可以在這個時間段通過VCD 提供的翻轉(zhuǎn)數(shù)據(jù)計算動態(tài)功耗和電壓降。
基于工具對模塊動態(tài)IR Drop 分析結(jié)果,如圖10 所示,可以看出中心區(qū)域IR Drop 出現(xiàn)比較嚴(yán)重的違例,其VDD 的最大電壓降為92.60mV,VSS 的最大電壓降為92.20mV,其中單元實例上最大的電壓降達(dá)到185.65mV,超過了148.5mV 的理想閾值。
圖10 改善前動態(tài)電壓降熱點分布圖
圖11 改善前的最差動態(tài)電壓降結(jié)果圖
通過Power density map 發(fā)現(xiàn)中心區(qū)域的功耗密度最大,這是因為功耗較大的單元實例聚集在一起造成的。在設(shè)計的signoff 階段時,單元實例的布局確定下來了,此時挪動單元實例的位置會造成關(guān)鍵路徑時序的變化,甚至導(dǎo)致嚴(yán)重的時序違例。增加電源條則容易導(dǎo)致電源條和信號線短路而引入新的DRC 問題。該工程修復(fù)動態(tài)IR Drop 方法主要是將一些驅(qū)動過大的單元實例替換成驅(qū)動較小的單元實例和在熱點區(qū)域插入Decap 電容來修復(fù)。
利用Redhawk 的FAO 功能對熱點區(qū)域進(jìn)行插入Decap 單元的方法,工具會自動尋找到熱點區(qū)域內(nèi)可以插Decap 單元的位置,并合理地加入Decap 單元和寫出插入的Decap 單元的相關(guān)信息以便于在PR 工具中使用,具體的腳本如下:
FAO 完成后,根據(jù)電壓降優(yōu)化后的熱點圖12 和結(jié)果圖13 得到,此時單元實例最大的動態(tài)電壓降由之前的185.65mV 降為134.05mV,在保證時序收斂的前提下,通過將大驅(qū)動單元實例替換成小驅(qū)動單元實例和增加Decap單元的方式可以取得較好動態(tài)電壓降優(yōu)化效果。
圖12 改善后動態(tài)電壓降熱點分布圖
圖13 改善后的最差動態(tài)電壓降結(jié)果圖
為了保證芯片的可靠性和良品率,對芯片進(jìn)行IR drop分析是必不可少的。本文基于Redhawk 的電壓降自動化修復(fù)流程,對芯片功耗和電壓降產(chǎn)生機(jī)制、靜態(tài)和動態(tài)電壓降分析流程作出介紹,并對實際的物理模塊進(jìn)行了電壓降分析優(yōu)化。本項目中靜態(tài)電壓降減少了8.16mV,動態(tài)電壓降減少了51.6mV,最終靜態(tài)電壓降占工作電壓的2.74%,動態(tài)電壓降占工作電壓的12.41%,達(dá)到了該項目的signoff要求。