“微米劃片師”

人物名片：

劉宏文，沈陽和研科技股份有限公司機(jī)械工程師，沈陽五一勞動獎?wù)芦@得者

與微觀世界打交道，在頭發(fā)絲上開槽“畫畫”，劉宏文所從事的職業(yè)，每天都在跟精度較勁，0.002毫米是他所能容忍的最大定位偏差。

劉宏文是沈陽和研科技股份有限公司（以下簡稱“和研科技”）的一名機(jī)械工程師，提高劃片機(jī)的精度是他的主要工作之一。作為半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈的重要一環(huán)，劃片機(jī)的高端機(jī)型曾長期被國外壟斷，其中最重要的一點(diǎn)，就是國產(chǎn)與進(jìn)口在精準(zhǔn)度上存在0.003毫米的差距。這么微小的差距肉眼是看不出來的，但在芯片制造領(lǐng)域，失之毫厘，便會差之千里，“所以我們每天都在與精度較勁，讓誤差降至最低?！眲⒑晡目谥械恼`差，是以微米為單位的，將上百個(gè)芯片精準(zhǔn)從晶圓上剝離，定位誤差需控制在2微米以內(nèi)。2微米是多少？劉宏文舉了個(gè)形象的例子：“1 根頭發(fā)的粗細(xì)是70微米。”

“早年國產(chǎn)的劃片機(jī)發(fā)展不起來，除技術(shù)問題外，還有一個(gè)原因就是沒有客戶愿意給我們試錯(cuò)的機(jī)會。”劉宏文說，一張晶圓上擁有幾十個(gè)甚至上百個(gè)芯片，而芯片的價(jià)格從幾十元到上百萬元不等，客戶出于各種考慮，更傾向于購買外國的劃片機(jī)。直至2018年，和研科技成功研制出第一臺12英寸半自動雙軸劃片機(jī)，這一困境才有所變化。

提高劃片機(jī)的切割精度是一個(gè)較為前沿的領(lǐng)域。作為機(jī)械工程師的劉宏文不僅要畫圖紙，研究出工藝工序，還要經(jīng)常去實(shí)驗(yàn)室試錯(cuò)，和工人在一起裝配機(jī)器。為的就是能在千萬個(gè)步驟中找到突破口，使定位偏差再下降幾微米。

2020年，劉宏文提出了一個(gè)大膽設(shè)想：對劃片機(jī)的噴水罩進(jìn)行提升改進(jìn)。這樣不僅能提高綜合精度，延長刀片壽命，降低刀片工作時(shí)的熱度，還能減少芯片的崩邊率，一舉多得。很快，這一想法得到了公司領(lǐng)導(dǎo)的支持，公司為該項(xiàng)目建了研發(fā)團(tuán)隊(duì)，拿出大量的晶圓、芯片不惜成本地讓他試錯(cuò)。

就這樣，劉宏文帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)進(jìn)行了兩年多的“噴水罩研究”重點(diǎn)攻關(guān)，由他主導(dǎo)研發(fā)的氣缸噴水罩有了重大突破，劃片機(jī)切割品質(zhì)得到大幅提高。該項(xiàng)目所涉及的DS9系列劃片機(jī)入選遼寧省首臺（套）重大技術(shù)裝備推廣應(yīng)用指導(dǎo)目錄，實(shí)現(xiàn)了對進(jìn)口設(shè)備的國產(chǎn)化替代。那段時(shí)間，他和團(tuán)隊(duì)幾乎天天泡在實(shí)驗(yàn)室里，做了幾千次的實(shí)驗(yàn)，每做完一次實(shí)驗(yàn)，都會興奮地跑到電子顯微鏡前去驗(yàn)證?！爸灰芾^續(xù)嘗試，就還有成功的可能?！庇趧⒑晡亩?，失敗早已是家常便飯，但只要還有機(jī)會，一切就有可能。