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    用于射頻濾波器的LN單晶薄膜XBAR的性能研究

    2022-11-18 04:54:08杜如帆田亞會張巧珍李百川李紅浪
    壓電與聲光 2022年5期
    關(guān)鍵詞:雙層結(jié)構(gòu)單層諧振

    杜如帆,田亞會,張巧珍,李百川,李紅浪

    (1.上海師范大學(xué) 信息與機電工程學(xué)院,上海 200234;2.中國科學(xué)院聲學(xué)研究所,北京 100190;3.國家納米科學(xué)中心,北京 100190)

    0 引言

    隨著 5G 的發(fā)展,射頻前端對具有更高頻率、更大帶寬和更低插入損耗的高性能濾波器的需要極為迫切。聲表面波(SAW)和體聲波(BAW)濾波器因其各自的局限性,尚不能完全滿足5G發(fā)展的高頻、大帶寬需求。其中,SAW器件的工作頻率受限于光刻精度,其應(yīng)用局限于3 GHz以下頻段。采用高聲速氮化鋁(AlN)為襯底的BAW可以通過調(diào)控薄膜厚度實現(xiàn)更高的工作頻率(f),但其機電耦合系數(shù)較小,無法實現(xiàn)大帶寬。鈮酸鋰(LN)薄膜聲學(xué)諧振器可以兼顧高聲速和大機電耦合系數(shù)(K2)的特性,這為高頻、大帶寬濾波器的實現(xiàn)提供了可能[1]。

    近年來,Yandrapalli等[2]提出了以ZY-LN薄膜作為襯底,帶有叉指電極(IDT)的橫向激發(fā)體聲波諧振器 (XBAR) 的概念。Plessky等[3]對XBAR進行了一系列的性能優(yōu)化,通過調(diào)整LN薄膜的歐拉角和電極金屬化率,使XBAR實現(xiàn)了更大的K2和更高的諧振頻率。

    然而,XBAR單層結(jié)構(gòu)的溫度穩(wěn)定性較差,Patel M S等指出Y切LN的頻率溫度系數(shù)(TCF)較低,約為-90×10-6/℃[4]。因此,本文提出使用LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)來改善TCF[5-7],并對比研究了LN薄膜和LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)的XBARs上蘭姆波的激勵[8]。結(jié)果表明,LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)在提高TCF的同時能具有較高的頻率和較大的機電耦合系數(shù)。

    1 XBAR的有限元建模

    本文使用有限元(FEM)軟件COMSOL Multiphysics建立了XBAR的準(zhǔn)3D周期結(jié)構(gòu)模型,如圖1所示。邊界條件在傳播方向(y)上設(shè)置為Floquet周期性條件,在垂直傳播方向(x)上設(shè)置為連續(xù)周期性條件。LN和SiO2的材料參數(shù)及溫度系數(shù)分別來自于文獻[9-11],LN薄膜單層結(jié)構(gòu)及LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)的XBAR結(jié)構(gòu)參數(shù)如表1所示。

    圖1 XBAR準(zhǔn)三維模型

    表1 XBAR模型結(jié)構(gòu)參數(shù)

    XBAR的工作頻率與蘭姆波反對稱模的階數(shù)(n)、厚度方向的波速(v)和壓電薄膜厚度(d)間的關(guān)系[12]為

    f×2d=(2n-1)×v

    (1)

    機電耦合系數(shù)(K2)[3]為

    (2)

    式中:fr為諧振頻率;fa為反諧振頻率。

    頻率溫度系數(shù)(TCF)[13]為

    (3)

    (4)

    式中:T0為室溫,即25 ℃;T為實際溫度;fr,T0為室溫下的諧振頻率;fr,T為實際溫度下的諧振頻率。 本文中計算TCF所用的溫度變化范圍為-40~100 ℃。

    2 結(jié)果與分析

    為了驗證模型的有效性,基于建立的準(zhǔn)3D周期結(jié)構(gòu),仿真計算了LN薄膜單層結(jié)構(gòu)XBAR的輸入導(dǎo)納曲線,其結(jié)果與文獻[3]中3D模型計算結(jié)果對比如圖2所示。由圖可見,導(dǎo)納曲線中主模式(一階反對稱(A1)蘭姆波)的諧振和反諧振頻率基本吻合。其中文獻[3]在橫向方向加入完美匹配層(PML),使雜散模式得到抑制。該仿真計算中LN薄膜的厚度為400 nm,v=3 834.7 m/s[14],由此可見,蘭姆波的一階反對稱模式的諧振頻率f=4.83 GHz,滿足式(1)關(guān)系f=v/2d。

    圖2 單層LN薄膜XBAR的導(dǎo)納仿真對比

    圖3為LN厚度為400 nm時,XBAR在諧振處激勵模態(tài)的表面位移和線位移,藍(lán)線為沿傳播方向(y方向)在厚度上的線位移。從位移能量分布上看,該諧振為A1模,進一步驗證了圖2中在頻率4.8 GHz附近出現(xiàn)的諧振的主要模式為A1模。

    圖3 單層LN薄膜XBAR在諧振處的表面位移和線位移

    壓電薄膜厚度是制約XBAR工作頻率和性能的關(guān)鍵參數(shù)。為了進行對比分析,本文仿真計算了3種不同LN薄膜厚度下的XBAR單層結(jié)構(gòu)和雙層結(jié)構(gòu)的導(dǎo)納曲線,結(jié)果如圖4所示。其中,雙層結(jié)構(gòu)的SiO2溫補層厚度為200 nm。由圖4(a)可見, 單層結(jié)構(gòu)XBAR激勵A(yù)1模的諧振頻率對LN薄膜厚度十分敏感,隨著LN厚度的增加,諧振頻率顯著下降。當(dāng)LN厚度分別為200 nm和400 nm時,諧振頻率達(dá)到9.27 GHz和 4.83 GHz,均符合式(1)中頻率與薄膜厚度的關(guān)系。由圖4(b)可見,增加SiO2溫度補償層后,其諧振頻率對LN薄膜厚度變化敏感度明顯降低。此外,雙層結(jié)構(gòu)中SiO2薄膜不僅可以提高器件的溫度穩(wěn)定性,且對雜散模式也有一定的抑制作用。這是由于SiO2的體聲波速度比LN低,使聲場能量往低聲速泄露,部分雜散模式得到抑制。

    圖4 不同LN厚度下XBAR的導(dǎo)納對比

    本文進一步計算了不同LN厚度下雙層結(jié)構(gòu)的f、K2、TCF隨SiO2厚度的變化關(guān)系,結(jié)果如圖5所示。由圖可見,TCF隨著SiO2厚度增大而增大,而f、K2都隨著SiO2厚度增大而減小。在圖5(c)中,當(dāng)SiO2層較薄時(<300 nm),雙層結(jié)構(gòu)的TCF對SiO2的厚度較敏感,會迅速增加。當(dāng)SiO2厚度繼續(xù)增加時(>300 nm),其對TCF的影響趨于平緩。本文提出的LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)XBAR可以根據(jù)應(yīng)用需求進行調(diào)諧,如當(dāng)SiO2的厚度為200 nm,LN薄膜厚度為300 nm時,其TCF可以改善到-55.7×10-6/℃,同時機電耦合系數(shù)約為13%,工作頻率達(dá)到4.14 GHz。相同SiO2厚度下,當(dāng)LN厚度為200 nm時,雙層結(jié)構(gòu)的TCF可以增加到-36.1×10-6/℃,比單層結(jié)構(gòu)提升了近70×10-6/℃,同時諧振頻率能達(dá)到4.75 GHz,機電耦合系數(shù)為8%。

    圖5 不同LN厚度下雙層結(jié)構(gòu)XBAR的f、K2、TCF隨SiO2厚度變化曲線

    3 結(jié)束語

    本文建立了XBAR準(zhǔn)3D周期結(jié)構(gòu)有限元模型,并驗證了其有效性。對比研究了LN單層結(jié)構(gòu)和LN/SiO2雙層結(jié)構(gòu)上的蘭姆波A1模傳播特性。結(jié)果表明,增加SiO2溫度補償層可以明顯改善XBAR的頻率溫度系數(shù);同時,SiO2薄膜覆蓋層還能起到抑制雜散模式的作用。下一步將通過相關(guān)的實驗進行驗證。

    基于本文提出的LN/SiO2雙層XBAR結(jié)構(gòu),通過優(yōu)化結(jié)構(gòu)參數(shù),有望設(shè)計出滿足當(dāng)前高頻(f>3 GHz)、大帶寬的應(yīng)用需求,且具有良好的溫度補償作用的聲學(xué)諧振器。

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