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    保護(hù)環(huán)對(duì)雙向可控硅靜電防護(hù)器件電容特性的影響

    2022-06-27 12:35:44楊帥康汪洋蘇雪冰張玉葉楊紅嬌,
    電子產(chǎn)品世界 2022年6期
    關(guān)鍵詞:寄生電容

    楊帥康 汪洋 蘇雪冰 張玉葉 楊紅嬌,

    關(guān)鍵詞:雙向可控硅;保護(hù)環(huán);寄生電容;傳輸線脈沖測試系統(tǒng)

    靜電釋放(electro-staticdischarge,ESD)是集成電路(IC)的主要可靠性問題之一[1],因此IC片上需放置靜電防護(hù)器件,其端口的常規(guī)靜電防護(hù)網(wǎng)絡(luò)如圖1所示。靜電防護(hù)器件的設(shè)計(jì)首先應(yīng)滿足ESD窗口要求,此外,ESD防護(hù)器件的寄生電容(CESD)應(yīng)盡可能小,避免器件寄生電容過大影響被保護(hù)電路的工作速度[2]。特別地,傳送高頻信號(hào)的IC端口對(duì)ESD器件電容更加敏感[3]。常規(guī)靜電防護(hù)器件有二極管、三極管、金屬氧化物場效應(yīng)晶體管和可控硅整流器件(siliconcontrolledrectifier,SCR),其中SCR擁有最佳的單位面積靜電泄放能力,可為IC提供高水平的靜電防護(hù)[4]。為了保護(hù)信號(hào)電平高于和低于地的IC引腳,文獻(xiàn)[5][6]提出了雙向可控硅(dual-directionSCR,DDSCR)靜電防護(hù)器件,以滿足正向和反向ESD防護(hù)需求。在與內(nèi)核電路集成時(shí)DDSCR器件外圍需增加保護(hù)環(huán),以實(shí)現(xiàn)器件與電路隔離,對(duì)于防止少數(shù)載流子遷移對(duì)電路造成的干擾和損壞至關(guān)重要,并且也是防止閂鎖的常用方式[7]。本文的主要工作是分析討論保護(hù)環(huán)對(duì)DDSCR器件電容特性的影響,在高低壓工藝下分別制備了帶保護(hù)環(huán)和不帶保護(hù)環(huán)的DDSCR器件,測試并分析了器件寄生電容差異的根本原因。目前基本沒有文獻(xiàn)對(duì)DDSCR的電容模型開展研究,本文工作對(duì)于低容靜電保護(hù)器件設(shè)計(jì)具有一定的指導(dǎo)意義。

    1低壓DDSCR器件結(jié)構(gòu)

    圖2為常規(guī)低壓DDSCR器件剖面圖,器件內(nèi)部不同摻雜類型層次之間的結(jié)電容以及它們的拓?fù)溥B接關(guān)系一并展示于圖中。LVDDSCR器件使用的層次有N注入(ND)、P注入(PD)、P阱(SDPW)、N阱(SDNW)、深N阱(DNWELL)、P外延層(P-EPI)和N型埋層(NBL)。器件采用指狀版圖畫法,為216μm×89μm和232μm×105μm,使用0.18-μmBCD工藝制造。

    LVDDSCR器件的等效電容包括C1-C8,其中ND與SDPW之間形成的結(jié)電容為C1和C4;器件中間用來隔離的復(fù)合層次SDNW/DNWELL與P-EPI之間形成的結(jié)電容為C2和C3;P-EPI與NBL之間形成的結(jié)電容為C5和C6;左右兩側(cè)的隔離DNWELL與P-EPI之間的結(jié)電容為C7和C8。根據(jù)器件的剖面圖分析,得到LVDDSCR器件的等效電容網(wǎng)絡(luò)如圖3所示,結(jié)電容C1和C4短路,不參與電容網(wǎng)絡(luò)搭建。

    圖4為LVDDSCR_GR器件剖面圖,LVDDSCR_GR在LVDDSCR的外周增加了一圈P型保護(hù)環(huán),該保護(hù)環(huán)由P+注入以及包裹它的P阱(SDPW)構(gòu)成。

    保護(hù)環(huán)的加入,使得器件增加了DNWELL與P-EPI之間的結(jié)電容C9、C10,以及P-EPI與NBL間的結(jié)電容C11,因此,器件LVDDSCR_GR的等效電容網(wǎng)絡(luò)變?yōu)閳D5所示。與Anode連接的結(jié)電容沒有變化,但是結(jié)電容C9、C10、C11的加入使得連接到Cathode的電容值增大,因而使得整個(gè)器件寄生電容增大。

    2低壓DDSCR器件測試與分析

    傳輸線脈沖(TLP)測試系統(tǒng)可獲得準(zhǔn)靜態(tài)的I-V特性曲線,是表征器件靜電性能的重要手段之一。該測試系統(tǒng)提供的脈沖信號(hào)為10ns上升時(shí)間和100ns脈沖寬度,可得到等效的HBM靜電防護(hù)等級(jí)。LVDDSCR和LVDDSCR_GR器件的TLP測試結(jié)果如圖6所示,器件的關(guān)鍵靜電性能參數(shù)列于表1。

    器件的TLP測試結(jié)果表明,不帶P型保護(hù)環(huán)的器件LVDDSCR與帶保護(hù)環(huán)的器件LVDDSCR_GR相比,觸發(fā)電壓和維持電壓基本相同。它們的正向觸發(fā)電壓Vt1分別為22.23V和23.12V,反向觸發(fā)電壓分別為23.7V和24.04V,維持電壓Vh都在22V左右。這說明二者的ESD電流主要泄放路徑一致,仍位于器件內(nèi)部。保護(hù)環(huán)的增加使得器件內(nèi)部的熱量分布有所改進(jìn),因此LVDDSCR_GR器件的失效電流相比LVDDSCR有所提升。該器件的失效電流(It2)略有不對(duì)稱,這是由于版圖布局采用指狀,不是完全對(duì)稱的布局,因此器件的正反會(huì)存在略微的不對(duì)稱現(xiàn)象。

    Keysight公司的B1505A功率器件分析儀可測試器件C-V特性。采用該設(shè)備測試獲得的LVDDSCR、LVDDSCR_GR器件在1MHz和5MHz頻率下的C-V特性曲線如圖7所示。隨著電壓的增加,器件的寄生電容呈下降趨勢,同一個(gè)器件在5MHz頻率下的電容值高于1MHz頻率下的電容值。器件LVDDSCR在增加了保護(hù)環(huán)后,在1MHz的頻率下測試發(fā)現(xiàn),LVDDSCR與LVDDSCR_GR器件的寄生電容有較大差別。在零偏壓條件下,1MHz的頻率下電容值由原來的1135fF增加到1463fF,5MHz的頻率下電容值由原來的1237fF增加到1658fF。

    為了評(píng)定ESD器件的寄生電容和泄放靜電能力,引入品質(zhì)因子(featureofmerit,F(xiàn)OM)來表征ESD器件的綜合性能:

    式中VHBM為ESD器件能夠承受的HBM電壓,CESD為器件寄生電容,A為器件面積。

    通過計(jì)算得到在1MHz下LVDDSCR與LVDDSCR_GR的正向FOM值分別為15.6和15.5,反向FOM值分別為14.5和12.2,說明LVDDSCR器件綜合能力最佳。

    3高壓DDSCR器件結(jié)構(gòu)

    高壓工藝下雙向可控硅帶保護(hù)環(huán)和不帶保護(hù)環(huán)的靜電保護(hù)器件剖面圖分別如圖8和9所示。HVDDSCR與LVDDSCR器件結(jié)構(gòu)相似,但是由于工藝發(fā)生變化,額外增加了高壓N阱(HVNWELL)層次,同時(shí)為了調(diào)節(jié)器件的觸發(fā)電壓,觸發(fā)面增加了NDT層次,SDPW與SDNW之間的距離也增加。兩個(gè)高壓器件的寄生電容網(wǎng)絡(luò)與LVDDSCR和LVDDSCR_GR器件相同,已在剖面圖上標(biāo)識(shí),因此不再單獨(dú)作圖。器件HVDDSCR和HVDDSCR_GR均為多指結(jié)構(gòu),采用指狀版圖畫法,為221μm×95μm和237μm×111μm,使用0.18-μmBCD工藝制造。

    4高壓DDSCR器件測試與分析

    利用TLP系統(tǒng)測試得到HVDDSCR和HVDDSCR_GR器件的ESD特性。在高壓工藝下,由于ESD設(shè)計(jì)窗口的不同,器件的部分尺寸與層次進(jìn)行了調(diào)整,因此器件的ESD特性相應(yīng)發(fā)生了變化。

    器件HVDDSCR和HVDDSCR_GR的觸發(fā)電壓都在72V左右,HVDDSCR的維持電壓比HVDDSCR_GR的稍高一些,但都在23V左右。器件HVDDSCR的正反向失效電流分別為2.23A和4.51A,器件HVDDSCR_GR的正反向失效電流都在3.5A以上,綜合來看器件HVDDSCR_GR的魯棒性更強(qiáng)。同樣,高壓器件版圖布局也采用指狀畫法,亦存在正反向失效電流不對(duì)稱現(xiàn)象。

    電容測試結(jié)果如圖11所示,高壓工藝下不帶保護(hù)環(huán)的DDSCR器件等效電容在1000fF以下。在1MHz頻率下零偏壓時(shí)HVDDSCR的寄生電容為810fF,HVDDSCR_GR電容為1740fF。在5MHz頻率下HVDDSCR_GR的電容值由HVDDSCR的922fF增加到1922fF。通過計(jì)算得到在1MHz下HVDDSCR與HVDDSCR_GR的正向FOM值分別為19.7和10.6,反向FOM值分別為39.8和11.7,驗(yàn)證了HVDDSCR_GR器件的綜合能力最佳,與低壓工藝分析一致。

    5結(jié)語

    論文分別在高低壓工藝下制備了帶保護(hù)環(huán)和不帶保護(hù)環(huán)的DDSCR器件,TLP測試結(jié)果表明,P型保護(hù)環(huán)對(duì)器件的觸發(fā)點(diǎn)、維持點(diǎn)以及魯棒性影響不大,并未帶來較大變化,原因是DDSCR器件泄放電流的主要路徑存在于器件內(nèi)部,P型保護(hù)環(huán)不會(huì)影響器件的泄放靜電能力。而C-V測試結(jié)果發(fā)現(xiàn),P型保護(hù)環(huán)會(huì)引入新的結(jié)電容,使得DDSCR器件的寄生電容網(wǎng)絡(luò)發(fā)生變化,從而增大DDSCR器件的寄生電容。

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