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    “芯”的那些事

    2022-06-13 06:59:42
    發(fā)明與創(chuàng)新 2022年19期
    關(guān)鍵詞:離子注入晶圓光刻膠

    芯片制造——“沙子變形記”

    1959 年,美國電子工程師杰克·基爾比成功制造出世界上第一塊芯片,將人類科技水平推向一個新的高峰。如今,芯片不僅在智能手機、電視機、計算機、汽車等設(shè)備上被廣泛應(yīng)用,在軍事、通信等方面也不可或缺。

    然而,一塊小小的芯片究竟是如何被制造出來的,你真的清楚嗎?

    打造地基——晶圓

    沙子中含有的硅元素是地球地殼中第二大組成元素,約占地殼總質(zhì)量的25%。硅的化學(xué)性質(zhì)穩(wěn)定,具有優(yōu)異的半導(dǎo)體特性,是芯片制造的“靈魂”原料。

    芯片制造的第一步,就是要將從二氧化硅中提煉出的高純度硅晶體制成硅錠,再將硅錠切割成圓盤,并將其拋光后形成晶圓,晶圓相當(dāng)于芯片的“地基”,芯片就是以晶圓為“地基”,再將所需的電路和器件“建”在上面。

    知識小貼士

    99.999 999 999%是芯片制造對硅材料的最低純度要求,即每10 億個硅原子中不得超過1 個雜質(zhì)原子。

    光刻

    芯片內(nèi)的距離以納米為單位,芯片制造需要用到光刻工藝。

    在晶圓上涂一層特殊的光刻膠,再將包含數(shù)十億個電路元件的芯片“藍圖”制作成掩膜,利用光的投影將縮小版的掩膜投影到晶圓的光刻膠膜上。光刻膠膜發(fā)生光化學(xué)反應(yīng),被光照過的地方變得可溶于水,經(jīng)過顯影清洗后留下的圖案與掩膜上的一致。再用特制的化學(xué)藥水蝕刻暴露的晶圓,蝕刻完成后,清除所有光刻膠,便能得到縱橫交錯的電路溝槽。

    知識小貼士

    納米是長度單位,1 nm 相當(dāng)于4 倍原子大小。我們常見的芯片有14 nm 芯片、7 nm 芯片、5 nm 芯片。

    摻雜

    通過離子注入賦予硅晶體管的特性。

    為了改變某些區(qū)域的導(dǎo)電性,覆蓋了光刻膠的晶圓經(jīng)過離子束轟擊后,未被光刻膠覆蓋的部分嵌入了雜質(zhì),雜質(zhì)會改變某些區(qū)域內(nèi)硅的導(dǎo)電性。

    知識小貼士

    在芯片制造過程中,約有70 多道離子注入工序,對離子注入能量需要控制得很精準(zhǔn),并要求在工藝上精益求精。

    薄膜沉積

    通過化學(xué)或者物理氣相金屬沉積,再重復(fù)光刻和蝕刻工藝,進行金屬連接。

    一塊運作正常的芯片需要連接數(shù)以百萬計的傳導(dǎo)線路,包含幾十層結(jié)構(gòu),每層結(jié)構(gòu)都離不開光刻和蝕刻。從平面看,芯片像密集交織的高速公路;從立體看,芯片就像是擁有許多房間、樓宇的“超級城市”。

    封裝與測試

    封裝是把裸片放在一塊基板上,引出管腳后固定包裝成為一個整體。測試是對已制造完成的芯片進行結(jié)構(gòu)及電氣功能的確認,以保證芯片符合系統(tǒng)的需求。

    圖2 自動化封裝設(shè)備(圖/新華社 劉 潺 攝)

    芯片中的“珠穆朗瑪峰”

    圖3 “神威·太湖之光”超級計算機使用的國產(chǎn)芯片(圖/新華社)

    CPU 被稱作芯片中的“珠穆朗瑪峰”,是所有時期各種電子元件構(gòu)成的計算機中央處理器的統(tǒng)稱。其結(jié)構(gòu)主要包括控制單元、運算器、高速緩存器、動態(tài)隨機存取存儲器四個部分,分別對應(yīng)控制、運算、高速數(shù)據(jù)交換存儲、短暫存儲四個用途。

    CPU 作為電子終端產(chǎn)品的核心部件,被大規(guī)模應(yīng)用在電腦、大型服務(wù)器、商用無人機等設(shè)備上。

    知識小貼士

    芯片的大致分類

    按不同的處理信號可分為模擬芯片、數(shù)字芯片。

    按國際標(biāo)準(zhǔn)分類方式可分為集成電路、分立器件、傳感器、光電子。

    按電路可分為模擬集成電路、數(shù)字集成電路、混合信號集成電路。

    按使用功能可分為GPU、CPU、FPGA、DSP、ASIC、SOC。

    按不同應(yīng)用場景可分為民用級(消費級)、工業(yè)級、汽車級、軍工級、航天級。

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