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    凸起焊盤板外層線路工藝制作技術(shù)研究

    2021-03-06 09:46:42吳柳松張軍杰劉振寧
    廣東科技 2021年2期
    關(guān)鍵詞:壓膜良率干膜

    文/吳柳松 張軍杰 劉振寧

    0 引言

    凸起焊盤(Raised PAD)技術(shù)是下一代印制電路板(PCB)服務(wù)器中央處理器(CPU)控制模塊基板的主要應(yīng)用技術(shù)之一,常見技術(shù)參數(shù)要求Raised PAD高度為50μm,此要求決定其PCB制作技術(shù)的重點(diǎn)在外層線路。鍍銅Raised PAD做外層線路方法,除了用真空壓膜制作線路,也可用油墨制作線路(先干膜蓋孔),但此種工藝制作外層良率較低。本研究提出先制作出外層線路,然后在線路層再鍍Rai sed PAD,解決Raised PAD使用油墨制作外層良率低問題,并且能夠很好解決Raised PAD的高度增高,不再受到外層線路良率限制,實(shí)現(xiàn)一定程度的工藝技術(shù)突破。

    1 技術(shù)概述

    Raised PAD技術(shù)類產(chǎn)品(見圖1)為美國超威半導(dǎo)體公司、英特爾公司等大客戶應(yīng)市場發(fā)展需求,應(yīng)用前景廣闊。Raised PAD技術(shù)指標(biāo)要求較高,高度為50μm,比綠油厚度高25μm,分布在球柵陣列封裝(BGA)區(qū)域,且PAD是獨(dú)立連線和夾線設(shè)計(jì),因而,Raised PAD產(chǎn)品特征決定其制作工藝制作難點(diǎn)在鍍銅后外層線路制作。外層線路制作使用壓干膜方法,但必須要用真空壓膜才可把銅面PAD高低處覆蓋上干膜,曝光后DES生產(chǎn)出外層線路圖形。也有使用油墨來制作線路。油墨工藝可分絲網(wǎng)印刷、靜電噴涂和浸油,無論采用哪種工藝制作,先用干膜蓋PTH孔(預(yù)防油墨流入PTH孔),再把濕墨均勻覆蓋Raised PAD制作出外層線路。由于Raised PAD高低差造成油墨厚薄不均,影響油墨底層的曝光不良,增加了影像轉(zhuǎn)移難度,導(dǎo)致外層良率較低。本研究提出先制作線路,再鍍銅Raised PAD的方法,不僅能在無真空壓膜設(shè)備下作業(yè),且相比干膜蓋孔后用油墨做線路的工藝方法更精簡,縮短工時(shí)和節(jié)約成本。

    下文介紹5種方案制作線路的工藝方法,主要從工藝流程、生產(chǎn)設(shè)備、使用物料等方面進(jìn)行剖析,給出一套可行的技術(shù)方案,并闡述電鍍、外層和防焊制程的制作參數(shù)及關(guān)鍵品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。

    圖1 Raised Pad 板外觀

    2 技術(shù)難點(diǎn)

    2.1 技術(shù)現(xiàn)狀分析

    Raised PAD制作成品要求高度50±5μm,其高度比綠油厚度高25μm,如圖2所示。

    圖2 Raised Pad介質(zhì)層厚度

    2.2 Raised Pad 工藝流程

    針對外層線路不同工藝方法,Raised Pad板的制作工 藝全流程方案,統(tǒng)計(jì)整理如下:

    (1)方案1:真空壓膜法。具體流程如下:

    開料→內(nèi)層→AOI(自動光學(xué)檢測)→壓合→鉆孔→板電→干膜1→烘烤→鍍銅Raised PAD→鍍金→去膜→真空壓膜→線路曝光→DES→外檢AOI→防焊→文字→干膜2→化金→去膜→成型→電測→FQC→清洗→包裝。

    (2)方案2:“干膜封孔+絲網(wǎng)印刷油墨法”。具體流程如下:

    開料→內(nèi)層→內(nèi)檢AOI→壓合→鉆孔→板電→干膜1→烘烤→鍍銅Raised PAD→鍍金→去膜→熱輥壓膜→曝光→顯影→印刷油墨一面→烘烤→印刷油墨另一面→烘烤→曝光→DES→外檢AOI→防焊→文字→干膜2→化金→去膜→成型→電測→FQC→清洗→包裝。

    (3)方案3:“干膜封孔+浸油工藝法”。具體流程如下:

    開料→內(nèi)層→AOI→壓合→鉆孔→板電→干膜1→烘烤→鍍銅Raised PAD→鍍金→去膜→熱輥壓膜→曝光→顯影→烘干→浸油→烘烤→線路曝光→DES→外檢層AOI→防焊→文字→干膜2→化金→去膜→成型→成測→FQC→清洗→包裝。

    (4)方案4:“干膜封孔+靜電噴涂法”。具體流程如下:

    開料→內(nèi)層→AOI→壓合→鉆孔→板電→干膜1→烘烤→鍍銅Raised PAD→鍍金→去膜→壓膜→曝光→顯影→靜電噴涂→預(yù)烤→曝光→DES→外檢AOI→防焊→文字→干膜2→化金→退膜→成型→成測→FQC→清洗→包裝。

    (5)方案5:先外層線路后鍍Raised PAD。具體流程如下:

    開料→內(nèi)層→AOI→壓合→鉆孔→板電→外層線路→DES→外檢AOI→沉銅→干膜1→烘烤→鍍銅Raised PAD→鍍金→去膜→防焊→文字→干膜2→化金→去膜→成型→成測→FQC→清洗→包裝。

    3 Raised Pad線路板制作工藝

    3.1 Raised Pad板的電鍍工藝流程

    Raised Pad電鍍工藝,包含鍍銅與鍍金兩個(gè)流程。從干膜到鍍金制程相關(guān)參數(shù)如下:

    (1)壓膜:板電后,經(jīng)過前處理,清洗烘干板面后,使用熱輥壓膜機(jī)壓上一層感光抗蝕膜。干膜型號W265,此干膜有65μm,保證鍍銅Raised Pad能鍍上大于50μm的厚度。

    (2)曝光:把壓膜后的板放到曝光機(jī)臺面上,放上底片,使用UV光照射,作用是通過底片把圖形轉(zhuǎn)移到板面的干膜層上(LDI曝光機(jī)直接鐳射光作業(yè)把圖形轉(zhuǎn)移到板面的干膜層上,無需底片)。其生產(chǎn)制作參數(shù)為曝光能量280mj~300mj,曝光能量尺6±1格。

    (3)顯影:將曝光完后的板靜置30min后,撕去干膜表層Mylar,放進(jìn)顯影機(jī),利用顯影劑藥水(碳酸鈉)把未曝光的干膜沖洗掉,留下曝光過的干膜覆蓋圖形。其生產(chǎn)制作參數(shù)為線速1.5m/min~2m/min,碳酸鈉濃度1±0.2%。

    (4)烘烤:把顯影后的板插于框架,放置在箱式烤箱內(nèi),設(shè)定溫度120°,時(shí)間10min~20min,目的是使干膜和面銅結(jié)合得更牢固,預(yù)防后續(xù)電鍍藥水的滲鍍。

    (5)鍍銅Raised Pad(凸臺):把烤后的板冷卻常溫后,放到鍍銅線上進(jìn)行鍍銅作業(yè)。其生產(chǎn)制作參數(shù)參考露出銅面積,設(shè)定電流乘以鍍銅時(shí)間來計(jì)算出得到所需的凸臺高度鍍銅面積(0.06ft2)/鍍銅(15ASFX120min)/鍍錫(1ASFX10min)。

    (6)鍍金:Raised Pad板鍍銅后,直接鍍金作業(yè),要求鍍金厚度最小:30U",鎳厚118U"~300U",使用3#鍍金線。生產(chǎn)制作參數(shù)為電流密度(Au:11ASF*Ni:12ASF),線速:0.7m/min,設(shè)定面積:5000mm2。

    通過以上制程后,Raised PAD已制作完成,如圖3~圖5所示。

    圖3 BGA區(qū)域鍍Raised Pad

    圖4 Raised Pad放大10倍

    圖5 Raised Pad切片

    使用切片分析統(tǒng)計(jì)電鍍Raised PAD的厚度,經(jīng)測量,數(shù)據(jù)實(shí)際值都在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi)(見表1、表2)。

    表1 Raised PAD鍍銅切片測量數(shù)據(jù) 單位:μm

    表2 Raised PAD鍍金測量數(shù)據(jù) 單位:U〞

    3.2 Raised Pad外層線路制作工藝

    3.2.1 先鍍銅Raised Pad后制作外層線路外層圖形的工序

    (1)去膜。鍍金后Raised Pad板放進(jìn)去膜線作業(yè),其原理利用去膜藥劑(NaOH),把干膜從板面上去除掉,保持板面潔凈。生產(chǎn)制作參數(shù):線速1.0m/min~1.5m/min;碳酸鈉濃度3%~5%。

    (2)壓膜。去膜后Raised Pad板經(jīng)過前處理,清洗烘干板面后,使用熱輥壓膜機(jī)壓上一層感光抗蝕膜,干膜型號HD240,此干膜制作干膜封孔之用,防止后續(xù)印刷油墨時(shí)油墨入孔烤干導(dǎo)致孔內(nèi)油墨清除不干凈。主要參數(shù):線速2.0m/min;壓膜溫度110℃±10℃。

    (3)曝光。把壓膜后的板放到曝光機(jī)臺面上,放上底片,使用UV光照射,通過底片把圖形轉(zhuǎn)移到板面的干膜層上。其生產(chǎn)制作參數(shù):曝光能量90mj~110mj, 曝光能量尺6±1格。

    (4)顯影。曝光完后的板靜置30min后,撕去干膜表層Mylar,放進(jìn)顯影機(jī),利用顯影劑藥水(碳酸鈉)把未曝光的干膜沖洗掉,留下曝光過的干膜覆蓋圖形。生產(chǎn)制作參數(shù):線速4.0m/min~4.5m/min;碳酸鈉濃度1%±0.2%。

    (5)絲網(wǎng)印刷一面。把顯影后板使用絲網(wǎng)印刷機(jī),進(jìn)行單面印刷作業(yè),在板面上印上一層均勻的濕膜(線路油墨或防焊油墨,解析度達(dá)到制作外層線路的要求即可)。生產(chǎn)制作參數(shù):刮刀速度1.5m/min~2.0 m/min;角度45°;壓力1.5kg/cm2~2kg/cm2。

    (6)預(yù)烤。把印好單面的板插框架,放進(jìn)烤箱預(yù)烤,溫度75℃,時(shí)間5min~10min。目的為把濕膜烤干(不粘手為準(zhǔn))。

    (7)絲網(wǎng)印刷另一面。把印刷一面油墨烘烤干的板在同機(jī)臺進(jìn)行另一面印刷作業(yè),在板面上印上一層均勻的濕膜。其生產(chǎn)制作參數(shù):刮刀速度1.5m/min~2.0m/min;角度45°;壓力1.5kg/cm2~2kg/cm2。

    (8)預(yù)烤。把印好雙面油墨的板插框架,放進(jìn)烤箱預(yù)烤,溫度75℃,20min~25min,把濕膜烤干(不粘手為準(zhǔn)進(jìn)行檢驗(yàn)),預(yù)防粘底片給生產(chǎn)造成不便。

    (9)曝光。把印刷雙面油墨烤干的板放到曝光機(jī)臺面上,放上底片,使用UV光照射作業(yè)通過底片把圖形轉(zhuǎn)移到板面的濕膜層上(LDI曝光機(jī)直接鐳射光作業(yè)把圖形轉(zhuǎn)移到板面的濕膜層上,無需底片)。制作生產(chǎn)參數(shù):曝光能量90mj~110mj;曝光能量是5~7格。

    (10)酸性蝕刻線(DES)。即顯影機(jī)(Deve loping)、蝕刻機(jī)(Etching)、去膜機(jī)(Stripping)的水平線連線作業(yè)。把曝光過的板放進(jìn)顯影機(jī),顯影出所需要的圖形,不需要的露出銅面,經(jīng)過蝕刻機(jī)內(nèi)酸性蝕刻液腐蝕掉其銅面,留下保護(hù)膜覆蓋圖形,經(jīng)過去膜機(jī)內(nèi)去膜藥劑(氫氧化鈉)把覆蓋銅面上的保護(hù)膜去掉,得到銅層線路圖。生產(chǎn)參數(shù):顯影機(jī)速度:3.5m/min~4m/min,壓力1.5kg/cm2~2.0 kg/cm2,碳酸鈉濃度1%±0.2%;蝕刻機(jī)速度:1OZ銅厚為參 考,4.5m/min±0.5 m/min,壓 力2.0kg/cm2~3.0 kg/cm2;去膜機(jī)速度:4m/min~5m/min,壓力1.5kg/cm2~2.0 kg/cm2,氫氧化鈉濃度3%~5%。

    (11)外檢AOI。針對蝕刻出外層線路圖形進(jìn)行品質(zhì)檢驗(yàn),與CAM客戶原稿設(shè)計(jì)圖形比對是否完整;如不完整,存在缺失項(xiàng),查看判別,檢修,直到符合客戶需求品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。其作業(yè),檢驗(yàn)制程缺陷,預(yù)防品質(zhì)不良出現(xiàn),及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題、解決問題。

    圖6~圖8為Raised Pad外層線路的不同工藝制作、不同工序所呈現(xiàn)出當(dāng)時(shí)的線路。

    圖6 真空壓膜法線路顯影后

    圖7 “干膜+油墨”法線路顯影后

    圖8 Raised Pad線路蝕刻后

    3.2.2 先外層線路后制作鍍銅Raised Pad的工序

    (1)壓膜。板電后,經(jīng)過前處理,清洗烘干板面后,使用熱輥壓膜機(jī)壓上一層感光抗蝕膜。干膜型號HD7240,此壓膜溫度110℃±10℃,壓膜速度2.5m/min±0.5m/min。

    (2)曝光。把壓膜后的板放到曝光機(jī)臺面上,放上底片,使用UV光照射,通過底片把圖形轉(zhuǎn)移到板面的干膜層上(LDI曝光機(jī)直接鐳射光作業(yè)把圖形轉(zhuǎn)移到板面的干膜層上,無需底片)。生產(chǎn)制作參數(shù):曝光能量80mj±10mj, 曝光能量尺6±1格。

    (3)顯影。曝光完后板靜置15min后,撕去干膜表層Mylar,放進(jìn)顯影機(jī),利用顯影劑藥水(碳酸鈉)把未曝光的干膜沖洗掉,留下曝光過的干膜覆蓋圖形。生產(chǎn)制作參數(shù):線速1.5m/min~2m/min;碳酸鈉濃度1±0.2%。

    (4) DES.生產(chǎn)參數(shù):顯影機(jī)速度3.5m/min-4m/min,壓 力1.5kg/cm2~2.0 Kg/cm2,碳 酸 鈉 濃度1±0.2%;蝕刻機(jī)速度1OZ銅厚為參考,4.5m/min±0.5 m/min,壓力2.0kg/cm2~3.0 kg/cm2;去膜機(jī)速度4m/min~5m/min,壓力1.5kg/cm2-2.0 kg/cm2,氫氧化鈉濃度3%~5%。

    (5)外檢AOI(光學(xué)自動檢測設(shè)備)。針對蝕刻出外層線路圖形進(jìn)行品質(zhì)檢驗(yàn),與CAM客戶原稿設(shè)計(jì)圖形比對是否完整;如不完整,存在缺失項(xiàng),查看判別,檢修,直到符合客戶需求品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)。其作業(yè),檢驗(yàn)制程缺陷,預(yù)防品質(zhì)不良出現(xiàn),及時(shí)發(fā)現(xiàn)問題、解決問題。

    (6)沉銅。把外層線路獨(dú)立的單元,通過沉銅線,沉積一層薄的銅層連接起來,為后面電鍍提供能導(dǎo)電的導(dǎo)體。此為化學(xué)銅在線路圖形之間作為電鍍導(dǎo)體的一種運(yùn)用。生產(chǎn)參數(shù):線速2m/min。

    (7)鍍銅Raised Pad工序制作相關(guān)參數(shù)參照以上Raised Pad板的電鍍工藝流程工序(1)~(6)。

    Raised Pad外層線路制作依據(jù)基材銅經(jīng)過板電后,整體銅厚在35μm~40μm。按照銅厚35μm外層銅厚進(jìn)行補(bǔ)償線寬作業(yè),其正常補(bǔ)償38μm?,F(xiàn)首件測量線寬數(shù)據(jù)在中值偏上,符合生產(chǎn)要求。根據(jù)數(shù)據(jù)顯示(見表3、表4、表5),Raised Pad板的首件板制作完,線寬測量數(shù)據(jù)以及相關(guān)阻抗測量值在中值偏上,都在標(biāo)準(zhǔn)范圍內(nèi),符合生產(chǎn)要求,后續(xù)批量生產(chǎn)。

    表3 TOP面Raised Pad線寬測量數(shù)據(jù) 單位:μm

    表4 Bottom 面阻抗線寬測量數(shù)據(jù) 單位:μm

    表5 Bottom 面阻抗值測量數(shù)據(jù) 單位:Ω

    4 Raised Pad線路板制作工藝對比

    4.1 先制作Raised Pad后制作線路的工藝流程

    先鍍銅Raised Pad后線路制作,由于Raised Pad存在高低差,無真空壓膜設(shè)備,只能選用油墨制作線路。預(yù)防油墨入孔去墨不凈,PTH孔先使用干膜蓋孔,再絲印油墨(或噴涂,浸油作業(yè))。由于工藝流程長,油墨在Raised Pad之間厚薄不均,抗蝕刻能力差異,導(dǎo)致最終線路良率較低。 見圖9。

    圖9 PCB先鍍銅Raised Pad后制作外層線路工藝流程

    4.2 先制作線路后制作Raised Pad的工藝流程

    先制作外層線路,由于在板電后壓膜生產(chǎn),不存在Raised Pad高低差影響,因而,其外層制作的良率較高,達(dá)90%以上,可到達(dá)到方案1使用真空壓膜設(shè)備生產(chǎn)Raised Pad板的外層良率。見圖10。

    圖10 PCB 板先制作外層線路后鍍銅Raised Pad工藝流程

    4.3 Raised Pad線路制作的缺陷與工藝改進(jìn)

    Raised Pad在制作線路時(shí),由于Raised Pad存在高低差,導(dǎo)致抗蝕劑干膜或油墨在覆蓋Raised Pad的全面、填充側(cè)壁時(shí),其厚度受工藝技術(shù)設(shè)備局限性出現(xiàn)不均勻現(xiàn)象,影響抗蝕刻效果(見圖11~圖13)。具體改進(jìn)對策見表6。

    圖11 Raised Pad對位不正

    圖12 Raised Pad殘缺

    圖13 Raised Pad線路不良

    表6 Raised Pad制作線路缺陷工藝改善主要對策

    5 Raised Pad線路制作方案比較

    針對5種方案的設(shè)備,依據(jù)不同制作工藝流程及生產(chǎn)產(chǎn)品良率進(jìn)行統(tǒng)計(jì)比較,見圖14、表7。

    圖14 Raised Pad板不同工序制作外層良率

    表7 Raised Pad板不同工藝方法相關(guān)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)

    統(tǒng)計(jì)分析以上5種方案流程,前4種先鍍銅Rais ed Pad后制作線路,方案5剛好相反,其優(yōu)勢如下:

    A.縮短工序,可減去使用干膜蓋孔和濕墨制作線路兩個(gè)工序。

    B.精簡工藝,省略濕墨印刷制作線路,減少一次影像轉(zhuǎn)移工藝。

    C.節(jié)省工時(shí),沉銅(10分鐘)與絲印油墨(3小時(shí)-制作10PNL板計(jì)時(shí))耗時(shí)相差甚遠(yuǎn)。

    D.物料節(jié)省,省去濕墨的物料和工治具的消耗。

    E.良率提升>30%,即方案5的外層良率90%相比方案2、方案3、方案4的外層線路良率50%~60%,差異>30%。

    綜上所述,Raised Pad 外層線路制作,不同的工藝制作方法生產(chǎn)良率存在差異,后續(xù)工藝將不斷改善,優(yōu)化參數(shù),改良方法,不斷提高產(chǎn)品良率,持續(xù)改善之。

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