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    基于三次樣條曲線插值的壓力傳感器溫度補(bǔ)償研究

    2020-09-26 11:26:21王文博馬琳王永鵬楊熠
    機(jī)電信息 2020年23期
    關(guān)鍵詞:溫度補(bǔ)償壓力傳感器

    王文博 馬琳 王永鵬 楊熠

    摘要:壓阻式壓力傳感器受半導(dǎo)體溫度特性的影響,易產(chǎn)生熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移,這是影響傳感器性能的主要因素。現(xiàn)介紹了采用三次樣條曲線插值方法對(duì)壓阻式壓力傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移進(jìn)行補(bǔ)償修正的方法,通過(guò)試驗(yàn)驗(yàn)證了三次樣條曲線插值補(bǔ)償方法對(duì)壓力傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移的補(bǔ)償效果。該方法對(duì)于解決高精度壓力傳感器的溫度補(bǔ)償問(wèn)題具有較高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

    關(guān)鍵詞:三次樣條曲線插值;壓力傳感器;熱零點(diǎn)漂移;熱靈敏度漂移;溫度補(bǔ)償

    0 引言

    壓阻式壓力傳感器是利用半導(dǎo)體材料硅的壓阻效應(yīng)制成的傳感器,具有靈敏度高、穩(wěn)定性好、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、測(cè)量精度高、易于微型化和集成化等優(yōu)點(diǎn),是一種發(fā)展迅速且應(yīng)用廣泛的新型傳感器。

    硅壓阻式壓力傳感器的感應(yīng)膜片的材料是用半導(dǎo)體硅材料制成的,而半導(dǎo)體材料存在著熱漂移問(wèn)題[1],在環(huán)境溫度改變的情況下,當(dāng)外界應(yīng)力不變時(shí),其電阻值會(huì)隨之改變,主要表現(xiàn)為傳感器的零點(diǎn)溫度漂移和靈敏度溫度漂移,溫度漂移大大降低了傳感器在測(cè)量時(shí)的穩(wěn)定性、精確度。

    溫度補(bǔ)償方法主要分為硬件補(bǔ)償和軟件補(bǔ)償兩種方式。

    (1)硬件補(bǔ)償主要分為串并聯(lián)電阻、熱敏電阻網(wǎng)絡(luò)、二極管補(bǔ)償以及利用電路進(jìn)行溫度補(bǔ)償。硬件補(bǔ)償主要基于傳感器的溫度漂移是隨著溫度單調(diào)變化的理想情況,忽略了其他因素對(duì)傳感器溫度漂移的影響,因此并不能達(dá)到很好的溫度補(bǔ)償效果。

    (2)軟件補(bǔ)償?shù)姆椒ㄖ饕轻槍?duì)傳感器的輸出信號(hào)進(jìn)行調(diào)整,主要分為查表法、分段線性插值法、神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法和三次樣條曲線插值的方法。

    同硬件補(bǔ)償方法相比,軟件補(bǔ)償?shù)姆椒ū容^靈活,并且補(bǔ)償效果明顯,能夠及時(shí)高效地提高壓力傳感器的精度。在軟件補(bǔ)償方法中,查表法要求數(shù)據(jù)量較大,分段線性插值法精度不高,神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)方法網(wǎng)絡(luò)不穩(wěn)定,訓(xùn)練時(shí)間較長(zhǎng)[2]。

    三次樣條曲線插值的方法是目前使用較為廣泛的一種方法,因?yàn)槿螛訔l曲線插值由分段三次曲線連接而成,在連接點(diǎn)處二階可導(dǎo),具有良好的光滑性,能夠準(zhǔn)確反映傳感器的真實(shí)特性[3]。

    基于此,本文提出了一種基于三次樣條曲線插值的溫度補(bǔ)償方法,并針對(duì)一種典型的硅壓阻式壓力傳感器進(jìn)行實(shí)際處理和分析。

    1 三次樣條曲線插值方法

    對(duì)曲線進(jìn)行擬合時(shí),多項(xiàng)式擬合精度較高,但對(duì)于插值節(jié)點(diǎn)很多的多項(xiàng)式擬合,插值結(jié)果并不理想。所以一般采用分段法,即在若干個(gè)小區(qū)間上使用次數(shù)較低的多項(xiàng)式進(jìn)行插值。

    一般的分段插值法存在一個(gè)嚴(yán)重的缺點(diǎn),就是會(huì)導(dǎo)致插值函數(shù)在子區(qū)間的端點(diǎn)處不光滑,而三次樣條曲線插值就不存在這個(gè)問(wèn)題。三次樣條曲線插值由分段三次曲線連接而成,在連接點(diǎn)處有二階連續(xù)導(dǎo)數(shù),從而可以保證在連接點(diǎn)處光滑連接[4]。

    得到n-2個(gè)方程組成方程組,求解可得mi的值,對(duì)mi連續(xù)兩次積分求得gi(x),最終得到三次樣條插值函數(shù)g(x)[5]。

    2 建立溫度補(bǔ)償模型

    溫度補(bǔ)償硬件系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如圖1所示。首先由信號(hào)調(diào)理模塊對(duì)傳感器輸出的模擬信號(hào)進(jìn)行放大、濾波等處理后送AD轉(zhuǎn)換器進(jìn)行AD轉(zhuǎn)換,單片機(jī)對(duì)AD轉(zhuǎn)換的數(shù)據(jù)進(jìn)行整理,應(yīng)用三次樣條曲線插值方法進(jìn)行溫度補(bǔ)償處理。

    傳感器采用恒流源供電,在測(cè)量壓力變化時(shí),保持自身工作電流不變,降低環(huán)境溫度變化對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響。用電容、電阻組成抗電瞬變干擾電路,防止尖峰電流的沖擊。傳感器輸出的差動(dòng)信號(hào)經(jīng)過(guò)儀表放大器放大(放大倍數(shù)約為100倍),減少信號(hào)干擾。

    溫度補(bǔ)償模型采用高精度的16位AD轉(zhuǎn)換器AD7705對(duì)傳感器信號(hào)進(jìn)行模數(shù)轉(zhuǎn)換。AD7705 是ADI公司推出的具有高精度的∑-Δ型AD轉(zhuǎn)換器,具有優(yōu)良的噪聲抑制功能,內(nèi)置增益選擇適當(dāng)?shù)脑?,能夠?qū)崿F(xiàn)16位無(wú)跳碼輸出。AD7705的內(nèi)部PGA設(shè)為1,這樣可以實(shí)現(xiàn)極低噪聲輸出,放大后的模擬信號(hào)經(jīng)過(guò)濾波、轉(zhuǎn)換,能夠完全抑制雜質(zhì)信號(hào)的影響,輸出準(zhǔn)確的16位數(shù)字信號(hào)。

    MCU采用TI公司的MSP430F149單片機(jī),是基于RISC體系結(jié)構(gòu)的混合信號(hào)16位高性能單片機(jī),具有較強(qiáng)的數(shù)據(jù)處理運(yùn)算能力,32 kB的FLASH和2 kB的SRAM保證了足夠的代碼空間和數(shù)據(jù)存儲(chǔ)空間。

    壓力傳感器一般是在m個(gè)標(biāo)準(zhǔn)溫度Ti(i=1,2,…,m),n個(gè)標(biāo)準(zhǔn)壓力Pj(j=1,2,…,n)下進(jìn)行標(biāo)定,得到m×n個(gè)標(biāo)定點(diǎn)?;跇?biāo)定過(guò)程獲得的壓力傳感器的實(shí)測(cè)數(shù)據(jù),可以得到壓力傳感器的輸入輸出關(guān)系。具體溫度補(bǔ)償步驟為:

    (1)根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù),在Ti(i=1,2,…,m)固定的情況下對(duì)壓力信號(hào)Pj(j=1,2,…,n)進(jìn)行三次樣條插值,得到n條被測(cè)壓力的插值曲線;

    (2)將與標(biāo)定溫度Ti相對(duì)應(yīng)的實(shí)測(cè)溫度ti代入第(1)步得到的n條插值曲線,即為n個(gè)被測(cè)壓力Pj;

    (3)對(duì)標(biāo)定溫度Ti和第(2)步得到的Pj進(jìn)行三次樣條插值,得到Pj與Ti的插值曲線。

    3 試驗(yàn)驗(yàn)證與分析

    在驗(yàn)證試驗(yàn)中,選取中國(guó)電科49所自主研制生產(chǎn)的MY86-0.4壓阻式壓力傳感器,量程為0~0.4 MPa,工作溫度范圍為-45~125 ℃。測(cè)試時(shí)依次取溫度點(diǎn)-45 ℃、-30 ℃、-20 ℃、25 ℃、85 ℃、100 ℃、125 ℃。在每個(gè)溫度點(diǎn)施加標(biāo)準(zhǔn)壓力0.01 MPa、0.05 MPa、0.1 MPa、0.2 MPa、0.3 MPa、0.4 MPa(標(biāo)定3個(gè)行程),得到252個(gè)標(biāo)定數(shù)值[6],測(cè)得補(bǔ)償前傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移數(shù)據(jù),如表1所示。

    根據(jù)標(biāo)定數(shù)據(jù)進(jìn)行三次樣條插值溫度補(bǔ)償,補(bǔ)償后傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移數(shù)據(jù)如表2所示。

    補(bǔ)償前傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移最大分別為-0.848 05%FS、0.291 39%FS,經(jīng)過(guò)三次樣條插值溫度補(bǔ)償后熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移最大分別為-0.150 25%FS、0.051 89%FS。根據(jù)補(bǔ)償前后傳感器熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移數(shù)據(jù),得到熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移曲線,如圖2、圖3所示。從圖中可以看出,傳感器在-45~125 ℃的熱零點(diǎn)漂移和熱靈敏度漂移指標(biāo)得到明顯提升。

    4 結(jié)語(yǔ)

    本文介紹了三次樣條插值擬合方法在壓力傳感器溫度補(bǔ)償中的應(yīng)用,通過(guò)單片機(jī)對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理實(shí)現(xiàn)了傳感器熱零點(diǎn)和熱靈敏度的補(bǔ)償,傳感器的精度得到了很大提高。該方法易于實(shí)現(xiàn),編制的軟件執(zhí)行效率高,擬合曲線相當(dāng)光滑,無(wú)毛刺、尖峰現(xiàn)象出現(xiàn),還可以降低信號(hào)調(diào)理電路和AD轉(zhuǎn)換模塊對(duì)系統(tǒng)精度的影響。該方法對(duì)于解決高精度壓力傳感器的溫度補(bǔ)償問(wèn)題具有較高的推廣應(yīng)用價(jià)值。

    [參考文獻(xiàn)]

    [1] 黃強(qiáng).壓力傳感器的寬溫區(qū)補(bǔ)償方法研究[D].淮北:淮北師范大學(xué),2017.

    [2] 行鴻彥,彭基偉,呂文華.一種濕度傳感器溫度補(bǔ)償?shù)娜诤纤惴╗J].傳感技術(shù)學(xué)報(bào),2012,25(12):1711-1716.

    [3] 李新,喬愛(ài)民.三次樣條插值在稱重儀表誤差補(bǔ)償中的應(yīng)用[J].電子設(shè)計(jì)工程,2011,19(11):48-50.

    [4] 王冰冰,李淮江.基于三次樣條插值的硅壓阻式壓力傳感器的溫度補(bǔ)償[J].傳感技術(shù)學(xué)報(bào),2015,28(7):1003-1007.

    [5] 樊尚春,張秋利,秦杰.基于樣條曲線插值的壓力傳感器的溫度補(bǔ)償[J].北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào),2006,32(6):684-686.

    [6] 陶佰睿,顧丁,苗鳳娟,等.一種基于單片機(jī)的濕度傳感器校準(zhǔn)實(shí)驗(yàn)平臺(tái)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[J].傳感技術(shù)學(xué)報(bào),2013,26(3):435-438.

    收稿日期:2020-08-05

    作者簡(jiǎn)介:王文博(1987—),男,吉林長(zhǎng)春人,工程師,主要從事傳感器設(shè)計(jì)與研究工作。

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