Parylene涂層生產(chǎn)中安全防護(hù)措施淺談

李建軍，吳彪，段建國

Parylene涂層生產(chǎn)中安全防護(hù)措施淺談

李建軍，吳彪，段建國

（中國工程物理研究院材料研究所，四川 綿陽 621907）

通過梳理Parylene涂層過程中可能存在的危險(xiǎn)源，對(duì)危險(xiǎn)源和危害因素進(jìn)行了系統(tǒng)辨識(shí)和分析。根據(jù)風(fēng)險(xiǎn)矩陣，對(duì)已識(shí)別的危險(xiǎn)源進(jìn)行危害風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估，確定危險(xiǎn)源的風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)。列出重要危險(xiǎn)源清單，并提出合理的控制措施。采取控制措施可最大限度地減小可能產(chǎn)生的事故后果，有力保障生產(chǎn)順利進(jìn)行。

Parylene涂層；危險(xiǎn)源；風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估；控制措施

1 引言

在國民經(jīng)濟(jì)生產(chǎn)生活中，安全防護(hù)措施與預(yù)防的重要性逐漸凸顯[1]。Parylene涂層被廣泛應(yīng)用于高活性材料、電子元件以及珍貴文物等腐蝕防護(hù)。Parylene涂層生產(chǎn)中日常接觸的危險(xiǎn)源有以下特點(diǎn)：①各種化學(xué)試劑有強(qiáng)烈刺激性氣味，易揮發(fā)，長時(shí)間接觸對(duì)呼吸道等造成傷害；②粉塵長時(shí)間吸入肺部會(huì)導(dǎo)致塵肺、肺癌；③粉塵與化學(xué)試劑易燃易爆，處理不好會(huì)有火災(zāi)隱患；④機(jī)械傷害，各類工具導(dǎo)致的劃傷、割傷以及飛濺物傷害；⑤高溫燙傷、低溫凍傷等。

以上危險(xiǎn)因素嚴(yán)重威脅操作者的身體健康與人身安全，稍有疏忽會(huì)導(dǎo)致爆炸、火災(zāi)、粉塵吸入毒害身體等安全事故的發(fā)生，造成財(cái)產(chǎn)損失與人員傷害。因此應(yīng)對(duì)Parylene涂層過程中的危險(xiǎn)源進(jìn)行辨識(shí)和防護(hù)，使之得到有效控制。本文以Parylene涂層過程為分析對(duì)象，旨在探討如何全面辨識(shí)危險(xiǎn)源，完善風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估機(jī)制，從而加強(qiáng)管理，消除隱患，規(guī)避和有效防范涂層過程中的危險(xiǎn)與危害。

2 危險(xiǎn)源辨識(shí)和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估

2.1 危險(xiǎn)源辨識(shí)方法

危險(xiǎn)源辨識(shí)的方法有很多，常見的有安全檢查表、工作危害分析法、危險(xiǎn)與可操作性研究、事件樹分析、故障樹分析等，每一項(xiàng)都有其使用范圍、局限性與目的性[2]。

本文采用工作危害分析法進(jìn)行危險(xiǎn)源辨識(shí)，辨識(shí)思路如圖1所示。

圖1 危險(xiǎn)源辨識(shí)思路

工作危害分析法是通過分析檢測活動(dòng)過程匯總或特定場所/區(qū)域人員、工作任務(wù)、使用的設(shè)備設(shè)施、材料和樣品及工作環(huán)境之間的相互關(guān)系識(shí)別出過程中每個(gè)步驟存在的危險(xiǎn)源。該方法廣泛適用于生產(chǎn)的各個(gè)環(huán)節(jié)。

2.2 危害和有害因素分析

生產(chǎn)過程中危險(xiǎn)和有害因素分為四大類，分別是人的因素、物的因素、環(huán)境因素和管理因素。對(duì)Parylene涂層過程中主要危險(xiǎn)源和有害因素進(jìn)行了分析，結(jié)果如表1所示。

表1 危險(xiǎn)源和有害因素表

危險(xiǎn)源因素具體危險(xiǎn)和有害因素 人的因素行為性危險(xiǎn)和有害因素操作錯(cuò)誤誤操作依誤操作具體情形而定、不確定度大 物的因素物理性危害和有害因素設(shè)備、設(shè)施、工具缺陷外露運(yùn)動(dòng)件手術(shù)刀、單面刀片、雙面刀片使用不規(guī)范劃傷手，鉗工桌子夾具易夾手 高溫傷害升華爐、裂解爐、石英管等高溫部位多部位溫度高、高溫燙傷 低溫傷害冷阱低溫部位冷阱溫度低、低溫凍傷 運(yùn)動(dòng)物傷害飛濺物飛濺物劃傷皮膚、進(jìn)入眼睛 高壓氣瓶壓縮氣體氣瓶砸傷、高壓氣體傷害 化學(xué)性危害和有害因素易燃液體容易著火石油醚、乙二胺、乙酸乙酯、清漆、乙酸丁酯、二甲苯等 揮發(fā)性液體刺激性傷害石油醚、乙二胺、乙酸乙酯、清漆、乙酸丁酯、二甲苯等 環(huán)境因素室內(nèi)作業(yè)環(huán)境不良通排風(fēng)故障/換氣能力不足導(dǎo)致室內(nèi)充滿刺激性氣味 照明不良/容易導(dǎo)致意外傷害

由表1不難看出，Parylene涂層過程危害主要集中在“物的因素”，“人的因素”主要體現(xiàn)在操作失誤等方面，“環(huán)境因素”則體現(xiàn)在室內(nèi)作業(yè)環(huán)境不良。在此次危險(xiǎn)和有害因素分析中未列入管理因素的問題。

2.3 危險(xiǎn)源辨識(shí)與風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估

在分析危險(xiǎn)和有害因素的基礎(chǔ)上，按風(fēng)險(xiǎn)矩陣分析方法來辨識(shí)各類危險(xiǎn)與危害因素的安全風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)[3]。風(fēng)險(xiǎn)矩陣包括風(fēng)險(xiǎn)矩陣的選擇、嚴(yán)重程度的評(píng)價(jià)、概率的評(píng)價(jià)和風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)的得出四個(gè)步驟。風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)=發(fā)生的概率×事件的嚴(yán)重度[3]。一種風(fēng)險(xiǎn)矩陣的定義形式如表2所示。確定各種危險(xiǎn)源轉(zhuǎn)化成安全事故或人身傷害的風(fēng)險(xiǎn)大小，并決定是否需要采取相應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)控制措施。

按上述方法對(duì)Parylene涂層所有作業(yè)活動(dòng)的危險(xiǎn)源進(jìn)行辨識(shí)和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估，確定了各危險(xiǎn)源的風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)，結(jié)果如表3所示。由表3可知，Parylene涂層風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)平均為中等風(fēng)險(xiǎn)，無高風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)以上風(fēng)險(xiǎn)，其中，有一部分中等風(fēng)險(xiǎn)的危險(xiǎn)源及危害因素發(fā)生概率大，危害程度嚴(yán)重，在日常生產(chǎn)中需做好防范與控制措施，規(guī)避這些危險(xiǎn)因素。

表2 風(fēng)險(xiǎn)矩陣

嚴(yán)重度風(fēng)險(xiǎn)等級(jí) 低概率中概率高概率 輕微傷害極低風(fēng)險(xiǎn)低風(fēng)險(xiǎn)中等風(fēng)險(xiǎn) 中等傷害低風(fēng)險(xiǎn)中等風(fēng)險(xiǎn)高風(fēng)險(xiǎn) 嚴(yán)重傷害中等風(fēng)險(xiǎn)高風(fēng)險(xiǎn)高風(fēng)險(xiǎn)

3 控制措施

為預(yù)防和控制潛在安全事故或意外傷害，根據(jù)Parylene涂層危險(xiǎn)源辨識(shí)、危險(xiǎn)風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估的結(jié)果，將“發(fā)生概率大，傷害程度嚴(yán)重”列為重要危險(xiǎn)源，針對(duì)該類危險(xiǎn)源提出相應(yīng)的控制措施。重要危險(xiǎn)源清單及控制措施如表4所示。

表3 危險(xiǎn)源辨識(shí)和風(fēng)險(xiǎn)評(píng)估結(jié)果匯總

作業(yè)風(fēng)險(xiǎn)危險(xiǎn)源工作狀態(tài)危險(xiǎn)性評(píng)價(jià)風(fēng)險(xiǎn)等級(jí) 正常異常緊急概率傷害程度 設(shè)備裝置維護(hù)氣瓶因固定不當(dāng)或撞擊摔倒發(fā)生人身傷害或造成設(shè)備損壞√ 低嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 設(shè)備線路老化漏電，手套箱漏氣等√ 低嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 涂層設(shè)備維護(hù)冷阱低溫凍傷√ 低嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 接觸高溫加熱毯燙傷√ 中嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 高溫誤用石油醚引發(fā)火災(zāi)√ 低特別嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 裂解爐溫度過高燙傷√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 取出高溫石英管燙傷√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 刀片斷裂√ 高一般低風(fēng)險(xiǎn) 在鉗工桌上夾傷或改刀鑿傷√ 中嚴(yán)重低風(fēng)險(xiǎn) 高溫異味刺激肺部√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 刀片易劃傷手指√ 低一般中等風(fēng)險(xiǎn) 螺絲刀、鏟刀對(duì)手的傷害√ 中嚴(yán)重低風(fēng)險(xiǎn) 化學(xué)試劑管理使用二甲苯毒性傷害，接觸過敏反應(yīng)，易燃易爆，吸入神經(jīng)系統(tǒng)和對(duì)臟器的傷害√ 中嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 石油醚慢性毒性，易揮發(fā)被人吸入體內(nèi)，易燃易爆√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 乙二胺人體吸入過敏反應(yīng)，易燃易爆√ 低嚴(yán)重低風(fēng)險(xiǎn) 乙酸乙酯易燃易爆，對(duì)眼鼻喉有刺激作用，濃度過高，吸入引起麻醉反應(yīng)，揮發(fā)性極強(qiáng)√ 中嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 乙酸丁酯對(duì)眼及上呼吸道均有強(qiáng)烈的刺激作用，有麻醉作用，可引起結(jié)膜炎、角膜炎，角膜上皮有空泡形成√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 清漆中含有大量的甲醛等氣體，對(duì)人體傷害極大√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 粉塵傷害開箱裝入干燥器，開干燥器，開手套箱，過度艙粉塵吸入傷害√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn) 產(chǎn)品清洗粉塵吸入√ 高嚴(yán)重中等風(fēng)險(xiǎn)

表4 重要危險(xiǎn)源清單及控制措施

作業(yè)活動(dòng)危險(xiǎn)源風(fēng)險(xiǎn)等級(jí)控制措施 涂層設(shè)備的日常維護(hù)冷阱的低溫凍傷、石英管的高溫時(shí)取出燙傷、石英管銷毀時(shí)玻璃割傷、加熱毯的高溫燙傷、刀片割傷、改刀鑿傷、刮刀割傷、高溫誤用石油醚易發(fā)火災(zāi)、高溫氣味傷害肺部中等風(fēng)險(xiǎn)清爐時(shí)戴防割傷手套，防止刀片劃傷，起到一定的保護(hù)作用；佩戴石棉手套取石英管和清理冷阱；高溫時(shí)不用石油醚清洗管道；穿戴工作服、佩戴口罩，注意個(gè)人防護(hù) 使用化學(xué)試劑配漆使用二甲苯、清漆、石油醚、乙酸丁酯等液體，氣體吸入過量導(dǎo)致人體的不適，干粉和液體防爆柜中擺放位置不當(dāng)中等風(fēng)險(xiǎn)穿戴好工作服手套、佩戴口罩，保持通風(fēng)，風(fēng)機(jī)設(shè)備老化應(yīng)該及時(shí)更新，控制火源，干粉和液體防爆柜中分開存放；滅火器放置位置與數(shù)量設(shè)置合理 處理含粉塵產(chǎn)品粉塵吸入傷害，對(duì)裸露皮膚、手部的腐蝕傷害，易燃容易導(dǎo)致燃燒、火災(zāi)中等風(fēng)險(xiǎn)穿好防護(hù)服，戴好口罩、細(xì)紗手套與乳膠手套，注意防火，提高作業(yè)人員危險(xiǎn)意識(shí) 各設(shè)備接電問題各設(shè)備檢查線路老化漏電對(duì)設(shè)備人員的傷害中等風(fēng)險(xiǎn)定期檢查線路是否正常、設(shè)備定期檢查是否正常工作

通過上述控制措施可以最大限度減小可能產(chǎn)生的事故后果，有力保障Parylene涂層生產(chǎn)任務(wù)順利進(jìn)行。

4 小結(jié)

Parylene涂層操作是一項(xiàng)涉及面廣、影響因素多、操作難度大的工作，只有在實(shí)際工作中采取科學(xué)的管理方法，制定嚴(yán)格的管理措施，完善安全體系，提高涂層人員安全意識(shí)，才能使涂層生產(chǎn)的危險(xiǎn)因素降低，減少各種安全事故的發(fā)生，切實(shí)有效保證涂層操作人員的人身安全。

［1］張興凱.安全生產(chǎn)危機(jī)預(yù)警初探［J］.中國安全生產(chǎn)科學(xué)技術(shù)，2005，1（1）：36-40.

［2］陳春梅.危險(xiǎn)源辨識(shí)方法［J］.社科論壇，2013（4）：127-128.

［3］李爭峰.對(duì)危險(xiǎn)源辨識(shí)、風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)技術(shù)方法的應(yīng)用探討［J］.石油化工安全技術(shù)，2003，21（3）：3-5.

X937

A

10.15913/j.cnki.kjycx.2020.13.052

2095－6835（2020）13－0128－02

李建軍，高級(jí)工，1993-09參加工作，主要從事涂層防護(hù)工作。

段建國（1961—），男，高級(jí)技師，主要從事涂層防護(hù)與表面噴漆工作。

〔編輯：嚴(yán)麗琴〕