硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)

常琳 聶磊

揚(yáng)州虹揚(yáng)科技發(fā)展有限公司 江蘇 揚(yáng)州225115

引言

硅片腐蝕是利用氫氧化鈉對多晶硅進(jìn)行腐蝕，目的是為了去除硅片在多線切割鋸切片時(shí)產(chǎn)生的表面損傷層，同時(shí)利用氫氧化鈉對硅腐蝕的各向異性，爭取反射率較低的表面織構(gòu)。

目前在硅片腐蝕工藝中，首先將圓形硅片放入到專用載具中，其次將專用載具放入到恒溫腐蝕池中腐蝕一定時(shí)間，并在機(jī)械臂的抖動下加速腐蝕，使硅片在沒有保護(hù)的地方腐蝕成溝槽，形成芯片的初步形狀；但是現(xiàn)有的機(jī)械臂結(jié)構(gòu)復(fù)雜，而且不利于形成旋轉(zhuǎn)腐蝕，腐蝕效果差。

授權(quán)公告號為CN207398077U的專利公開了一種用于挖溝槽的硅片旋轉(zhuǎn)裝置，該裝置只能實(shí)現(xiàn)在刻蝕槽內(nèi)刻蝕，無法實(shí)現(xiàn)提升后旋轉(zhuǎn)或者旋轉(zhuǎn)后提升。

1 裝置設(shè)計(jì)

硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)，包括裝有腐蝕槽的底座和安裝架，所述安裝架設(shè)置在底座上，且安裝架上安裝有第一轉(zhuǎn)軸，所述安裝架位于所述腐蝕槽外側(cè)，所述第一轉(zhuǎn)軸的端部安裝有驅(qū)動電機(jī)，且第一轉(zhuǎn)軸下方安裝有輔助機(jī)構(gòu)，所述輔助機(jī)構(gòu)位于所述腐蝕槽內(nèi)部。在上述技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本文還做了如下改進(jìn)：

（1）所述輔助機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)架和支撐板，所述支撐板間隔安裝在第一轉(zhuǎn)軸下方，且支撐板之間安裝有旋轉(zhuǎn)架，采用本步的有益效果是通過支撐板能夠保證第一轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動時(shí)，旋轉(zhuǎn)架能夠隨之轉(zhuǎn)動。

（2）它還包括傳動機(jī)構(gòu)，所述傳動機(jī)構(gòu)安裝在第一轉(zhuǎn)軸內(nèi)部，且傳動機(jī)構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動，采用本步的有益效果是通過傳動機(jī)構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架運(yùn)動，以此實(shí)現(xiàn)硅片能夠在腐蝕槽中轉(zhuǎn)動，提高腐蝕的均勻性。

（3）傳動機(jī)構(gòu)包括第二轉(zhuǎn)軸、主動輪、從動輪和第二驅(qū)動電機(jī)，所述第二驅(qū)動電機(jī)安裝第一轉(zhuǎn)軸內(nèi)部，且第二驅(qū)動電機(jī)的輸出端安裝有主動輪，所述旋轉(zhuǎn)架內(nèi)部穿設(shè)有第二轉(zhuǎn)軸，所述第二轉(zhuǎn)軸的末端安裝有從動輪，所述主動輪與從動輪之間通過鏈條連接，采用本步的有益效果是通過第二驅(qū)動電機(jī)帶動第二轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動。

（4）鏈條外側(cè)套裝有保護(hù)套。

2 圖示說明

為了更清楚地說明本文的技術(shù)方案，下面將對具體實(shí)施方式中所需要使用的附圖作簡單地介紹。圖1為本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)的第二轉(zhuǎn)軸的結(jié)構(gòu)示意圖；

3 具體實(shí)施

下面將結(jié)合附圖對本文技術(shù)方案進(jìn)行詳細(xì)的描述。

如圖1-2所示，本文所述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)，包括裝有腐蝕槽1的底座2和安裝架3，所述安裝架3設(shè)置在底座2上，且安裝架3上安裝有第一轉(zhuǎn)軸4，所述安裝架3位于所述腐蝕槽1外側(cè)，所述第一轉(zhuǎn)軸4的端部安裝有第一驅(qū)動電機(jī)5，且第一轉(zhuǎn)軸4下方安裝有輔助機(jī)構(gòu)6，所述輔助機(jī)構(gòu)6位于所述腐蝕槽1內(nèi)部；本實(shí)施例中的第一轉(zhuǎn)軸4是穿過安裝架3，在第一驅(qū)動電機(jī)5的帶動下，能夠?qū)崿F(xiàn)轉(zhuǎn)動，具體與安裝架3的安裝方式屬于現(xiàn)有技術(shù)，此處不再贅述；第一驅(qū)動電機(jī)5設(shè)置在安裝架3外側(cè)，且輸出端與第一轉(zhuǎn)軸4的一端連接，這樣第一驅(qū)動電機(jī)5轉(zhuǎn)動時(shí)，能夠?qū)崿F(xiàn)第一轉(zhuǎn)軸4的轉(zhuǎn)動，以此，也能帶動輔助機(jī)構(gòu)6運(yùn)動，脫離腐蝕槽。

如圖1所示，所述輔助機(jī)構(gòu)6包括旋轉(zhuǎn)架601和支撐板602，所述支撐板602間隔安裝在第一轉(zhuǎn)軸4下方，且支撐板602之間安裝有旋轉(zhuǎn)架601；本實(shí)施例中支撐板602為兩塊，起到連接支撐的作用，旋轉(zhuǎn)架601是安裝在支撐板602之間，這樣第一轉(zhuǎn)軸4運(yùn)動時(shí)，旋轉(zhuǎn)架601也能夠繞著第一轉(zhuǎn)軸4運(yùn)動；本實(shí)施例中的旋轉(zhuǎn)架601用于放置腐蝕用花籃，其包括放置部和固定部，放置部通過連桿和擋板形成上方開口，內(nèi)部為凹型的放置空間，開口處放置有固定部，固定部也是由連桿和擋板組成，形成和放置空間相配合的固定部，固定部與放置部通過位于其兩端螺栓固定。

如圖1所示，它還包括傳動機(jī)構(gòu)7，所述傳動機(jī)構(gòu)7安裝在第一轉(zhuǎn)軸4內(nèi)部，且傳動機(jī)構(gòu)7能夠帶動旋轉(zhuǎn)架601轉(zhuǎn)動；在腐蝕時(shí)，需要保證硅片能夠旋轉(zhuǎn)，這樣才能夠?qū)崿F(xiàn)均勻腐蝕，所以需要額外的結(jié)構(gòu)帶動旋轉(zhuǎn)架601運(yùn)動。

如圖1所示，所述傳動機(jī)構(gòu)7、輔助機(jī)構(gòu)6均為PVC材質(zhì)，所述鏈條705外側(cè)套裝有保護(hù)套706。

本實(shí)施例的運(yùn)動過程：先加裝有花籃的硅片放置在旋轉(zhuǎn)架601中，固定好后，啟動第一驅(qū)動電機(jī)704，帶動第一轉(zhuǎn)軸4轉(zhuǎn)動，使得旋轉(zhuǎn)架601能夠落入腐蝕槽1中；啟動第二驅(qū)動電機(jī)704，帶動主動輪702轉(zhuǎn)動，以此實(shí)現(xiàn)從動輪703轉(zhuǎn)動，從而帶動第二轉(zhuǎn)軸701轉(zhuǎn)動，旋轉(zhuǎn)架601能夠完成轉(zhuǎn)動，在腐蝕完畢后，啟動第一驅(qū)動電機(jī)704，帶動第一轉(zhuǎn)軸4轉(zhuǎn)動，使得旋轉(zhuǎn)架601脫離腐腐蝕槽。

4 結(jié)束語

本文闡述的一種硅片生產(chǎn)用輔助腐蝕機(jī)構(gòu)，通過第一轉(zhuǎn)軸能夠?qū)崿F(xiàn)旋轉(zhuǎn)架進(jìn)入或者脫離腐蝕槽，代替人工操作。通過傳動機(jī)構(gòu)能夠帶動旋轉(zhuǎn)架轉(zhuǎn)動，從而提高硅片的腐蝕效果。結(jié)構(gòu)簡單，成本低，且實(shí)用性高。