盧俊男：匠心專注二十年，成為半導體芯片蝕刻領域佼佼者

史向前

他擁有在臺灣頂級芯片制造企業(yè)、臺灣第一家可以量產(chǎn)12英寸晶圓存儲器制造商茂德科技工作及擔任主管的豐富經(jīng)驗；同時擁有在中國內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進的集成電路芯片制造企業(yè)——中芯國際工作的獨特經(jīng)歷。20余年來，他始終堅守在半導體芯片蝕刻技術(shù)領域的第一線，跟全球半導體芯片蝕刻領域同行和上下游供應商、客戶勠力同心，一起推動行業(yè)前沿產(chǎn)品的研發(fā)和量產(chǎn)制造，形成了前瞻性、國際化的視野，有許多對集成電路領域尤其是半導體芯片蝕刻方面持續(xù)創(chuàng)新的理念以及獨特的專業(yè)洞察。他，就是中芯國際集成電路制造（北京）有限公司工程部資深經(jīng)理盧俊男。

結(jié)緣蝕刻技術(shù)，匠心積淀

1994年，18歲的盧俊男進入臺灣中興大學攻讀物理專業(yè)本科。1998年本科畢業(yè)后，由于興趣使然，他進入臺灣交通大學攻讀電子研究專業(yè)，之后便與集成電路結(jié)下了不解之緣。2000年畢業(yè)的時候，臺灣地區(qū)僅有少數(shù)研究團隊在此領域展開研究工作。帶著對知識的渴望和對世界一流半導體芯片設計、研發(fā)技術(shù)的向往，2000年研究生畢業(yè)后盧俊男進入茂德科技工作。

當時，茂德科技股份有限公司已經(jīng)是全球知名的動態(tài)隨機存取記憶體設計、研發(fā)、制造及行銷公司，在臺灣地區(qū)屬于行業(yè)頭部企業(yè)，其擁有的先進設備、工藝和設計方法，無一不對盧俊男產(chǎn)生巨大的震撼與吸引，因此他不得不抓緊一切時間努力學習并研究相關(guān)知識。很快，盧俊男作為核心研發(fā)人員參與了茂德科技關(guān)于旋涂材料層平坦技術(shù)及光阻層制造技術(shù)、溝槽蝕刻方法等多項蝕刻專業(yè)技術(shù)的研發(fā)，由于其研究成果所具有的高端創(chuàng)新性和無可比擬的實用價值，盧俊男先后獲得了兩項發(fā)明專利，并得到美國版權(quán)局的認可；這些研究成果極大地促進了茂德科技半導體芯片蝕刻技術(shù)的發(fā)展。

2008年對于盧俊男來說是頗具重要意義的一年，在茂德科技工作8年之后，32歲的盧俊男帶著一身的技術(shù)和對行業(yè)的思考，滿載著成果進入內(nèi)陸工作。先后在重慶渝德科技有限公司和中航（重慶）微電子有限公司擔任部門經(jīng)理。面對全新的工作環(huán)境和研究條件，盧俊男心無旁騖，將自己的全部熱情和精力投入到工作和科研中。很快他的專業(yè)技能得到了業(yè)內(nèi)同行的認可，身邊的同事評價他“工作勤奮認真，嚴于律己，善于奉獻”，并且展現(xiàn)出了“非常扎實的基礎理論、寬廣的專業(yè)知識和嚴謹?shù)墓ぷ髯黠L”，獲得了公司上下的一致認可與褒獎。

初心不變，方能行遠

時間總是會善待勤奮且聰明的人。盧俊男的一言一行無不流露著對行業(yè)滿腔熱忱與勇于突破的雄心。很快，他在大陸半導體蝕刻技術(shù)領域取得的成績越來越顯赫，受到了中芯國際集成電路制造有限公司的關(guān)注。2014年中芯國際向他伸出了橄欖枝。中芯國際是世界領先的集成電路芯片代工企業(yè)之一，也是中國內(nèi)地規(guī)模最大、技術(shù)最先進的集成電路芯片制造企業(yè)，能夠進入中芯國際并擔任北京B1蝕刻工程部資深經(jīng)理，本身就證明盧俊男的專業(yè)技能已經(jīng)居于全球頂級水平。在中芯國際，盧俊男參與了中芯國際0.18微米到28納米等多項重大技術(shù)制程工藝的研發(fā)設計和量產(chǎn)制造，為中芯國際的發(fā)展做出了許多突出貢獻。

在半導體芯片蝕刻技術(shù)方面，盧俊男毫無疑問是行業(yè)佼佼者。鑒于他深厚的行業(yè)背景和超強的個人能力，受邀參加2018年度世界集成電路大會，為行業(yè)發(fā)展建言獻策。

堅持初心，方能行遠。盧俊男的確用行動推動著自己所熱愛的行業(yè)的發(fā)展，用盧俊男自己的話說：“我會一直堅守在芯片蝕刻技術(shù)的第一線，力求做出更多的貢獻。只要能發(fā)揮我自己的長處，找準自己的目標，做好自己專業(yè)的工作就心滿意足了。”盧俊男深情地說。

不難看出，盧俊男的確是一個對半導體芯片蝕刻技術(shù)心存赤子之心的人。小小的芯片上承載著他此生最大的熱忱。如今剛過不惑之年的盧俊男，正處于職業(yè)生涯黃金時期，相信未來在集成電路領域一定會創(chuàng)造更多屬于他的精彩。