“超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”通過科技成果鑒定

本刊訊2018年1月9日上午，中國電子材料行業(yè)協(xié)會(huì)組織行業(yè)專家對中國恩菲和中硅高科共同承擔(dān)的“超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”進(jìn)行成果鑒定。該項(xiàng)目于2015年10月10日得到河南省科技廳審批，隨后，中國恩菲依托中硅高科，發(fā)揮強(qiáng)大的研發(fā)團(tuán)隊(duì)和持續(xù)的技術(shù)研發(fā)能力，結(jié)合已有四氯化硅提純工藝技術(shù)，經(jīng)過2年潛心研發(fā)，該項(xiàng)研發(fā)成果已經(jīng)得到了應(yīng)用實(shí)踐檢驗(yàn)。

鑒定委員會(huì)聽取了項(xiàng)目組的匯報(bào)并對現(xiàn)場進(jìn)行了詳實(shí)考察，審查了相關(guān)資料，經(jīng)質(zhì)疑和討論，一致認(rèn)為：“超高純四氯化硅技術(shù)研發(fā)項(xiàng)目”自主研發(fā)了“以多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅為原料制備光纖用OVD級高純四氯化硅的吸附精餾提純工藝、以O(shè)VD級高純四氯化硅為原料制備光纖用PCVD級超高純四氯化硅的光催化反應(yīng)精餾提純工藝、超高純四氯化硅的全自動(dòng)充裝技術(shù)和裝備、超高純四氯化硅產(chǎn)品密閉在線取樣系統(tǒng)”等先進(jìn)的工藝及裝備技術(shù)，保證了產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定性及檢測結(jié)果的準(zhǔn)確性。該成果實(shí)現(xiàn)了多晶硅副產(chǎn)物四氯化硅的綜合利用，提高了四氯化硅的產(chǎn)品附加值，已應(yīng)用并建成了10000噸/年的OVD級高純四氯化硅和100噸/年的PCVD級、半導(dǎo)體超高純四氯化硅生產(chǎn)裝置，具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和創(chuàng)新性，鑒定委員會(huì)專家一致認(rèn)定，該項(xiàng)目技術(shù)水平達(dá)到國際先進(jìn)水平，順利通過科技成果鑒定。

該項(xiàng)成果鑒定的順利通過，不僅標(biāo)志著中硅高科超高純四氯化硅技術(shù)水平得到業(yè)內(nèi)專家的一致認(rèn)可，同時(shí)也代表著中國恩菲轉(zhuǎn)型發(fā)展邁出了堅(jiān)實(shí)的一步。