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    NSR2205I14型光刻機(jī)對準(zhǔn)方式分析

    2018-06-09 07:42:04宛文峰
    設(shè)備管理與維修 2018年6期
    關(guān)鍵詞:晶圓記號對準(zhǔn)

    宛文峰

    (新型功率半導(dǎo)體器件國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,湖南株洲 412001)

    0 引言

    對準(zhǔn)系統(tǒng)是光刻機(jī)的核心部件之一,擁有更精密的對準(zhǔn),才能保證更精準(zhǔn)的套刻精度。NSR2205I14設(shè)備在對準(zhǔn)時主要分2步,首先光刻板對準(zhǔn),即光刻板上的對準(zhǔn)記號通過CCD(Charge Coupled Device,電荷耦合器件)圖像傳感器與曝光臺上的基準(zhǔn)記號對準(zhǔn),然后是晶圓對準(zhǔn),即對準(zhǔn)系統(tǒng)與曝光臺上的基準(zhǔn)記號對準(zhǔn)后,通過晶圓上的對準(zhǔn)記號與晶圓對準(zhǔn)。而晶圓對準(zhǔn)時可以使用2套不同的對準(zhǔn)系統(tǒng)做對準(zhǔn),這2套對準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)不同,原理不同,優(yōu)缺點(diǎn)各異。

    1 Nikon NSR2205I14對準(zhǔn)機(jī)制

    1.1 LSA對準(zhǔn)方式

    1.1.1 LSA對準(zhǔn)原理LSA

    (Laser Step Alignment,激光步進(jìn)對準(zhǔn)方式)的光源是He-Ne激光器,激光波長為632.8 nm。LSA對準(zhǔn)系統(tǒng)(圖1)通過激光光斑掃描對準(zhǔn)記號,最后由接收器接收衍射光,因此它屬于暗場對準(zhǔn)。

    圖1 LSA對準(zhǔn)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

    He-Ne激光器發(fā)出激光光斑,最終激光光斑通過對準(zhǔn)顯微鏡的透鏡照射到晶圓上。當(dāng)光斑照射到圖1所示的光柵形狀的LSA記號上時,在記號側(cè)壁處,將發(fā)生衍射,衍射光將延原入射光的光路返回。LSA衍射如圖2所示,當(dāng)記號間距為d,衍射光角度為θ,He-Ne激光器發(fā)出的光波波長為λ時,根據(jù)光柵公式dsinθ=nλ(n=0,±1,±2…),最后傳感器只接受1階衍射光,其中0階衍射光被空間過濾器過濾。傳感器接受光信號后,迅速將這些光信號轉(zhuǎn)換成模擬信號— 電信號,模擬信號被傳送到信號處理單元后,將轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號。這些數(shù)字信號最終將用于晶圓對準(zhǔn)過程。

    1.1.2 LSA的信號處理過程LSA信號如圖3所示,對準(zhǔn)記號引起的衍射與反射信號通過光電效應(yīng)轉(zhuǎn)換成DC信號。產(chǎn)生電信號的位置被定為曝光臺的激光干涉儀記錄下來,計(jì)算出對準(zhǔn)記號的精確坐標(biāo)位置。

    圖2 LSA衍射

    圖3 LSA信號

    首先曝光臺移動到對準(zhǔn)記號區(qū)域的起始位置X0,此時信號采集系統(tǒng)開始采集信號,接著曝光臺開始移動,使得激光光斑在記號區(qū)域掃描。當(dāng)激光光斑掃描到對準(zhǔn)記號上時,此時接收器接收到衍射信號,信號不斷增強(qiáng),并且在Xa位置處達(dá)到最強(qiáng),當(dāng)激光光斑逐漸離開對準(zhǔn)記號時,信號開始逐漸減弱,在這個過程中,曝光臺的位置一直被激光干涉儀記錄著,最終由信號處理系統(tǒng)分析處理這些信號。

    1.1.3 LSA性能特點(diǎn)

    LSA的對準(zhǔn)記號可以采用凸出的對準(zhǔn)記號,也可以采用凹進(jìn)去的對準(zhǔn)記號,對于凸出來的對準(zhǔn)記號,如果記號出現(xiàn)形變時識別信號容易產(chǎn)生非對稱變化,進(jìn)而發(fā)生對準(zhǔn)位置偏移,而凹進(jìn)去的對準(zhǔn)記號產(chǎn)生非對準(zhǔn)變化的概率更小。

    此外LSA對于金屬層及對準(zhǔn)記號較淺時容易發(fā)生對準(zhǔn)報(bào)警。因?yàn)榻饘賹佑捎诒砻姘纪共黄剑菀桩a(chǎn)生干擾信號,且對準(zhǔn)記號也容易發(fā)生非對稱變化,而在對準(zhǔn)記號比較淺時,激光光斑照射到對準(zhǔn)記號上產(chǎn)生的衍射光較弱,接收器接收到的信息量少,當(dāng)遇到干擾信號時容易發(fā)生對準(zhǔn)報(bào)警。

    1.2 FIA對準(zhǔn)方式

    1.2.1 FIA對準(zhǔn)原理

    FIA(Field Image Alignment)即場像對準(zhǔn)方式。當(dāng)光照射到對準(zhǔn)記號表面時,CCD圖形傳感器獲取對準(zhǔn)記號圖像,利用圖像的明暗差計(jì)算出對準(zhǔn)位置。FIA的光源為鹵素?zé)?,其產(chǎn)生的光為寬帶光,相干性差,其波長范圍為(530~800)nm。在NSR2205I14型設(shè)備的FIA光學(xué)系統(tǒng)上,首次安裝了相位板,同時在FIA偵測記號時增加了相差信息功能,類似于相差顯微鏡,這種功能主要應(yīng)用在偵測高度差較小的記號上。

    FIA系統(tǒng)是由光源,一套光學(xué)系統(tǒng)和一套信號處理單元組成(圖4)。光源是鹵素?zé)舭l(fā)出的白光,過濾出所需波長的光通過光纖傳送到光學(xué)系統(tǒng),最終照射到晶圓上。晶圓放射的光沿著原來的路徑傳送到電視攝像機(jī)上。晶圓上的記號信號通過電視攝像機(jī)轉(zhuǎn)換成模擬視屏信號后,又傳送至FIA單元。通過FIA單元信號處理后,計(jì)算出對準(zhǔn)所需的參數(shù),這些參數(shù)通過工作站處理來控制晶圓曝光的位置。

    圖4 FIA系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

    當(dāng)FIA光源入射到已經(jīng)勻膠的記號上,會發(fā)生折射與反射,折射光與反射光將有可能發(fā)生干涉,也就是光線1與光線2或光線1與光線3,如圖5所示。光線1,2與光線1,3的光程差分別為d1-2=2nhr和d1-3=2nhm。其中,n為光刻膠折射率,hr和hm分別為圖形頂部和底部光刻膠厚度。光學(xué)中,相干長度為d=λ2/Δλ,其中λ為光源中心波長,Δλ為光源的譜寬,因d1-3>d1-2,因此只需要滿足當(dāng)d<d1-2時,就能避免干涉現(xiàn)象發(fā)生,即hr>λ2/(2nΔλ)。

    對于FIA光源,取其中心波長λ為660nm,Δλ為270 nm,對于折射率為1.6的光刻膠,當(dāng)hr約>0.5 μm時避免發(fā)生干涉現(xiàn)場,從而防止對準(zhǔn)記號的識別不正確或者識別位置發(fā)生偏移。

    1.2.2 FIA信號處理過程

    如圖6所示,在FIA顯微鏡內(nèi)部有一個指標(biāo)記號板,它和晶圓上的對準(zhǔn)記號有相同的聚焦。紅外線直射到指標(biāo)記號上,指標(biāo)記號用CCD讀出指標(biāo)記號信號,與此同時,晶圓上的對準(zhǔn)記號也被對準(zhǔn)記號用CCD檢測處理,最終,F(xiàn)IA單元計(jì)算出指標(biāo)記號與晶圓對準(zhǔn)記號的中心坐標(biāo)偏差。因?yàn)镕IA的光不是直接經(jīng)過投影鏡頭而是通過對準(zhǔn)顯微鏡照射到晶圓上,因此它是屬于離軸對準(zhǔn)系統(tǒng)。

    1.2.3 FIA性能特點(diǎn)

    圖5 FIA入射記號

    圖6 FIA結(jié)構(gòu)

    FIA的對準(zhǔn)記號可以采用X,Y方向分別獨(dú)立的對準(zhǔn)記號,也可以采用X,Y方向合成在一起的對準(zhǔn)記號,但是采用X,Y方向獨(dú)立的對準(zhǔn)記號時,X方向?qū)?zhǔn)記號識別完成后,曝光臺還需要將Y方向?qū)?zhǔn)記號移動到對準(zhǔn)顯微鏡下,這將會造成設(shè)備產(chǎn)能下降,因此一般都采用X,Y方向合成對準(zhǔn)記號。FIA對準(zhǔn)能較好的適應(yīng)大部分情況的對準(zhǔn),但是對于明暗度差別低,對比度較差的對準(zhǔn)記號,會發(fā)生對準(zhǔn)報(bào)警。

    1.3 LSA對準(zhǔn)與FIA對準(zhǔn)對比

    (1)對準(zhǔn)光源。LSA采用623.8 nm的He-Ne laser作為光源,其更換成本相對較高,且其收集的是衍射光,故屬于暗場對準(zhǔn)。FIA采用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,其更換成本較低,且是通過CCD圖像傳感器來識別記號,故屬于明場對準(zhǔn)。

    (2)對準(zhǔn)記號及產(chǎn)能。LSA采用柵格狀圖形(圖7)作為對準(zhǔn)記號。因LSA需要單獨(dú)對準(zhǔn)LSAx與LSAy兩個記號,故所用對準(zhǔn)時間相對長,對應(yīng)產(chǎn)能相對低。FIA采用圖8所示的形狀作為對準(zhǔn)記號。因FIA可以一次對準(zhǔn)出FIAxy記號,故所用時間短,對應(yīng)的產(chǎn)能高(注:FIA也可以采用相互獨(dú)立的FIAx與FIAy記號,這種情況下對應(yīng)的產(chǎn)能低,故一般不采用)。

    (3)工藝適用情況。LSA對準(zhǔn)精度相對低,且對于非對稱對準(zhǔn)記號,金屬層及較淺的記號難以識別。FIA對準(zhǔn)精度相對高,能適用于絕大多數(shù)工藝層,但是對于對比度較低,臺階較淺的對準(zhǔn)記號難以識別。

    圖7 LSA對準(zhǔn)記號

    2 結(jié)束語

    根據(jù)不同工藝層選擇合適的對準(zhǔn)方式,有利于提高對準(zhǔn)精度和效率。就一般情況來說,優(yōu)先推薦使用FIA對準(zhǔn),因?yàn)闊o論是其對準(zhǔn)精度,識別對準(zhǔn)記號的能力,還是對準(zhǔn)效率都是優(yōu)于LSA對準(zhǔn),但是在特殊情況下,如對準(zhǔn)記號對比度差時,則可以使用LSA取代FIA對準(zhǔn)。

    圖8 FIA對準(zhǔn)記號

    [1]何峰,吳志明,王軍,袁凱,蔣亞東,李正賢.Nikon光刻機(jī)對準(zhǔn)系統(tǒng)概述及模型分析[J].電子工業(yè)專用設(shè)備,2009(4):8-12,18.

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