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    Vaughan模型二次電子能譜對空間微波部件微放電效應(yīng)的影響分析①

    2021-06-24 13:04:08崔萬照白春江
    空間電子技術(shù) 2021年2期
    關(guān)鍵詞:二次電子傳輸線參量

    張 娜,崔萬照,王 瑞,白春江

    (中國空間技術(shù)研究院西安分院,空間微波技術(shù)重點實驗室,西安 710000)

    0 引言

    航天領(lǐng)域的微放電效應(yīng)是空間微波部件性能退化或失效的一種重要機(jī)制[1-2],其一旦發(fā)生將導(dǎo)致諧振類設(shè)備失諧、噪聲電平抬高、輸出功率下降,甚至引發(fā)低氣壓放電,損壞微波部件表面,進(jìn)而縮短微波部件壽命甚至造成微波部件永久性失效,最終影響通信信道乃至整個微波傳輸系統(tǒng)徹底失效[3]。

    當(dāng)微放電發(fā)生時,空間微波部件,包括多工器、濾波器、開關(guān)、環(huán)形器、天線饋源等,在真空環(huán)境下自由電子經(jīng)過微波場的加速轟擊部件表面,引發(fā)材料表面的二次電子發(fā)射,這些發(fā)射的二次電子在反向微波場的加速下再次轟擊部件表面,該過程循環(huán)往復(fù),當(dāng)滿足一定條件后,電子將會出現(xiàn)幾何級增加,從而形成二次電子倍增過程。該過程中,描述二次電子發(fā)射過程的特性參量——二次電子產(chǎn)額(Secondary Electron Yield, SEY)、二次電子能譜(Secondary Electron Spectrum, SES)和出射角分布分別決定了微放電形成過程中微波部件內(nèi)運動的電子數(shù)目、電子從部件表面出射的初速度以及電子出射時的初始方向。

    研究表明二次電子發(fā)射特性參量對微放電效應(yīng)有重要影響[4]。Vaughan模型[5]和Furman模型[6]通常被用于描述微放電形成過程及閾值預(yù)測中的SEY,Rice[7]比較了這兩種模型在預(yù)測微波部件微放電閾值方面的一致性,仿真結(jié)果表明采用Furman模型的敏感區(qū)域范圍比Vaughan模型更大,通過改進(jìn)低能段的Vaughan模型能夠得到與Furman模型一致的敏感區(qū)域。Buyanova[8]研究了最大SEY對微放電飽和階段的影響,指出了隨著最大SEY增大,倍增過程會從雙邊放電過渡到單邊放電。Seviour[9]通過假定本征和背散射電子的比例,發(fā)現(xiàn)背散射電子會增大微放電敏感區(qū)域的范圍,Semenov等[10]假定出射二次電子速度符合Maxwell分布,指出了在SEY很大時,初速度分布的增大將導(dǎo)致敏感區(qū)域的重疊。Mostajeran[11]采用解析的方法考慮了電子出射相位對微放電敏感區(qū)域的影響,給出了雙平板結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定相位并指出了相位離散將導(dǎo)致敏感區(qū)域的增大。Fil等[12]人計算了矩形結(jié)構(gòu)和平行平板傳輸線微放電閾值對SEY各能量段的敏感性誤差。

    在空間微波部件微放電仿真中,特別是CST、FEST3D、SPARK3D[13]等仿真軟件中,微放電模擬的二次電子發(fā)射過程由Vaughan模型或Furman模型描述,F(xiàn)urman模型共包括了41個參數(shù)待用戶調(diào)整,其中SES模型就有22個參數(shù)。Vaughan模型由于其精簡的數(shù)學(xué)形式[14],在實際仿真中受到廣泛應(yīng)用。本文研究了Vaughan模型中二次電子能譜參量對微放電閾值的影響,并對影響規(guī)律進(jìn)行了進(jìn)一步分析,研究結(jié)果對于空間微波部件微放電閾值精確分析具有指導(dǎo)意義。

    1 Vaughan二次電子發(fā)射模型

    Vaughan模型中,SEY計算公式為:

    (1)

    其中,

    公式中,Ep為入射電子能量,θ為入射電子角度,δmax為SEY最大值,Emax為δmax對應(yīng)的電子能量,Et為截止能量,ks為表面光滑度因子。

    二次電子出射能量的概率密度分布,即二次電子能譜SES,它基本符合伽馬概率密度函數(shù)分布

    (2)

    其中,Es為二次電子的出射能量,T為材料表面的溫度(eV),γ(s,x)表示不完全伽馬函數(shù)。圖 1給出了入射電子為100 eV時,出射二次電子的概率密度函數(shù)的曲線,圖中橫坐標(biāo)表示了出射電子的能量,縱坐標(biāo)表示了二次電子相應(yīng)出射能量的概率。從圖1中可以看出,T恰好為SES的最可幾能量,即出射電子概率最大的能量。當(dāng)T增大時,最可幾能量向更高的能量段移動,較低能量的電子出射概率降低,而較高能量的電子出射概率增大,當(dāng)電子能量大于一定值時,該能量下的電子出射概率基本為0。

    圖1 不同γ函數(shù)的二次電子能譜

    2 二次電子能譜參量對微放電閾值的影響

    在討論二次電子能譜對微放電閾值的影響時,首先需要保證SEY保持不變,本文中微放電閾值仿真時二次電子發(fā)射模型的參量為:正入射時Emax=165 eV、δmax=2.22、ks=1、Et=16 eV。本文中的微放電閾值均是采用了多粒子-多碰撞的蒙特卡羅微放電閾值計算方法[15]所得。下面對不同伽馬概率密度函數(shù)分布的二次電子能譜的微放電閾值進(jìn)行研究。圖 2給出了平行平板傳輸線中二次電子能譜的伽馬函數(shù)參量T對微放電閾值的影響。仿真時,平行平板傳輸線的間隙d=1 mm,傳輸頻率f分別為1 GHz和3 GHz。從圖中可以看出,隨著二次電子能譜參量T的增大,微放電閾值減小。當(dāng)f=1 GHz時,T從1 eV增大到10 eV,微放電閾值從48.8 V下降到34.8 V,而f=3 GHz時,T從1 eV增大到10 eV,微放電閾值從315 V下降到170 V,相比于1 GHz,微放電閾值減小的速度越快。

    圖2 γ函數(shù)參量對平板傳輸線微放電閾值的影響

    同樣,圖 3給出了同軸傳輸線結(jié)構(gòu)二次電子能量參量對微放電閾值的影響。仿真所選用的同軸傳輸線內(nèi)徑a=1.54 mm、外徑b=3.55 mm,微放電發(fā)生的間隙d=2.01 mm,分別計算頻率為1 GHz、3 GHz的微放電閾值。與平行平板傳輸線仿真結(jié)果類似,隨著二次電子能譜參量T的增大,微放電閾值減小。

    圖3 γ函數(shù)參量對同軸傳輸線微放電閾值的影響

    為了解釋二次電子能譜參量T對微放電閾值的影響規(guī)律,以f=1 GHz、d=1 mm的平行平板傳輸線進(jìn)行微放電閾值仿真,仿真電壓選用T=10 eV時的微放電閾值電壓34.8 V。統(tǒng)計了50個周期內(nèi)的所有出射電子能量Eemit和碰撞電子能量Epact的電子數(shù)目Ns,并對各種情況的能量分別進(jìn)行歸一化,如圖 4所示,(dNs/dEemit)/(dNs/dEemit)max表示歸一化的出射電子數(shù)目,(dNs/dEpact)/(dNs/dEpact)max表示歸一化的碰撞電子數(shù)目。

    (a) 電子出射能量分布

    (b) 電子碰撞能量分布

    從圖 4(a)中可以看出,出射電子概率最大的能量基本為二次電子能譜的最可幾能量位置,這是因為二次電子能譜符合伽馬概率密度函數(shù)分布,無論碰撞到微波部件表面的入射電子能量取何值,出射電子能量的最大概率位置均為T值。同時,T=10 eV的電子出射能量能譜顯著展寬,即具有較高能量的電子數(shù)目占比增多,這與圖 1所示二次電子能譜分布一致。此外,能譜參量T=10 eV的出射電子的最大能量明顯高于能譜參量T=4 eV的狀態(tài)。這些出射電子經(jīng)過電磁場的加速后,碰撞到對面極板上,碰撞能量的歸一化分布如圖 4(b)所示,這些碰撞電子在28 eV能量附近都形成了極大值,而能譜參量T=10 eV的出射電子中較高能量的電子占比更多且最大碰撞能量更高,因而,到達(dá)對面極板的碰撞電子中較高能量電子的占比仍然是能譜參量T=10 eV的較多。仿真時由于均選擇了Vaughan銀材料的SEY模型,當(dāng)E1=29.6 eV時,SEY=1。能譜參量T=10 eV的碰撞電子比例在E1兩側(cè)基本達(dá)到了一半,因而該電壓是能譜參量T=10 eV的微放電閾值電壓,而能譜參量T=4 eV的碰撞電子比例中,低于E1的電子占了較大比例,這些低能量的電子SEY<1,出射電子的個數(shù)不斷減小,該電壓下電子的倍增過程會逐漸熄滅,因此,要想達(dá)到放電狀態(tài)就需要更高的電壓,因而能譜參量T=4 eV的微放電閾值電壓比T=10 eV的相對更高。

    3 結(jié)論

    本文分析了Vaughan模型中二次電子能譜參量對微放電閾值的影響關(guān)系,當(dāng)符合伽馬概率密度函數(shù)的二次電子能譜參量T增加時,較高能量的出射二次電子比例增加,在電磁場的加速下,到達(dá)微波部件表面的碰撞二次電子能量增加,導(dǎo)致可引起電子倍增的入射電子比例增加,因而微放電閾值降低。二次電子發(fā)射特性與空間微波部件的微放電閾值息息相關(guān),準(zhǔn)確的二次電子能譜參數(shù)選取是精確評估微放電閾值的基礎(chǔ)。后續(xù)可根據(jù)二次電子發(fā)射特性測量結(jié)果建立典型材料不同表面狀態(tài)與二次電子能譜參量T的對應(yīng)關(guān)系。

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