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    半導體與多種異質(zhì)結構的磁性與調(diào)控

    2018-02-25 06:21:08趙鳳璦
    電子技術與軟件工程 2018年9期
    關鍵詞:離子注入

    趙鳳璦

    摘要 我國半導體材料的快速發(fā)展,帶動了在制造電子構件中的廣泛應用,尤其是稀磁半導體,低溫性能是最大突出優(yōu)勢,而且可以實現(xiàn)邏輯以及存儲的雙功能的實現(xiàn)。隨著稀磁半導體材料的發(fā)展,在室溫條件下,面臨目前的需求就對居里溫度提出了更高要求。對此其磁性以及調(diào)控的過程中,有很多需要注意的地方以及使用技術,因為注入異構的不同,就會有不同的特征?;诖耍疚木蛯﹁F磁性加以描述,就基本的材料制備技術做了分析,重點分析了異構相關性質(zhì)以及調(diào)控,以供參考。

    【關鍵詞】稀磁半導體 多鐵異質(zhì)結構 磁性調(diào)控 離子注入

    1 材料的鐵磁性

    半導體材料中,要遵守兩個原則,才能選出最佳的自旋性質(zhì)的材料。

    (1)鐵磁性因為300k的居里溫度,也就是室溫下依然具有磁性。

    (2)因為材料的眾多應用廣泛性所以可以作為自旋電子材料的最佳選擇,比如激光器領域,都曾使用砷化銦、砷化鎵以及砷化錳,而且比如砷化鎵也都廣泛使用在數(shù)字電子領域,紅外發(fā)光的二極管等,可見之前的研究都集中于此。

    兩大體系(In,Mn)As(居里溫度等于35k)和(Ga,Mn)As(居里溫度等于110),就是重點鐵磁性研究所在,在這樣的條件下對樣品進行研制,結合MBE技術也就是分子束達到外延目的,若是選擇像(In0.5Ga0.5)0.93Mn0.07As的三元合金,其居里溫度控制在llOk以下。

    通過對以上材料的分析,發(fā)現(xiàn)由于相干時間的存在,而且砷化鎵自旋壽命比較長,所以異構結構中,半導體無論結合金屬還是半導體,都可以自旋極化。對量子阱的發(fā)光二極管進行觀察,會因為自旋極化出現(xiàn)發(fā)光,對此也表明了其輸運性質(zhì)。為了提升注射效率,可以在輸出時輸出偏振光以及自旋化的載流子來完成。2薄膜樣品的主要制備技術

    面對對[FeCo/Ag]5/PMN-PT的多鐵異質(zhì)結構進行制備時,就一定要用技術,對此使用的是磁控濺射方法,具體將加以介紹。

    此方法運用了氣相沉積中的物理方法,因為電場作用,在襯底基片就會出現(xiàn)電子,由此電子產(chǎn)生,H原子正離子A出現(xiàn),也是因為H2遇到作用力產(chǎn)生的電子,經(jīng)過碰撞產(chǎn)生,基片出現(xiàn)新電子,在濺射的靶材上,正是因為離子做了加速就會飛向靶材,所以靶原子遇到產(chǎn)生的正離子,就會從靶材上濺射出來,進一步地在動能的作用下,按照方向在襯底基片下沉積,圖1就是利用磁控進行濺射的整個過程圖。

    3 CoFeB/GaN異質(zhì)結構性質(zhì)研究

    3.1 樣品制備

    樣品材料選擇的是矩形藍寶石襯底中的氮化鎵薄膜,通過培育中使用氣象沉淀法而來,利用金屬有機化合物作用而生長,控制厚度2納米。實驗的過程中,主副定位都在邊上,在使用的藍寶石襯底也經(jīng)過了切割,而且長為8毫米,寬為4毫米的襯底,選用長度對應的主定位邊,以進行標記,將其藍寶石難度性質(zhì)加以克服。晶向就要利用4毫米的短邊對應副定位來完成。藍寶石襯底只有經(jīng)過預退火防腐處理之后,才有利于生長,而且最后得到的薄膜更加均勻。襯底表面的其他雜物要利用有機溶劑(乙醇或者丙酮)當在超聲波實現(xiàn)清洗目的,對于表面有氧化現(xiàn)象的,要有2分鐘的防腐處理,使用的試劑是配置1比99的HF,均等配置的鹽酸等。在處理的每一個環(huán)節(jié),都要漂洗襯底,通過使用很多去離子水來完成,為了盡可能地以免空氣污染襯底,對此進腔體在進行轉移時,一定要確保樣品是干的,對此要利用氮氣槍來實現(xiàn)。和其它的結構對此,氮化鎵中的纖鋅礦若是根據(jù)材料性質(zhì)發(fā)現(xiàn),熱穩(wěn)定性較為突出,當樣品表面要進行結構重整時,就要使其襯底環(huán)境處于真空,通過恒定高溫630攝氏度,維持一小時退化而完成,最后恢復室內(nèi)溫度即可。

    3.2 樣品測量結果與分祈

    測試結果表明,在測量的過程中,因為酸的作用,導致樣品表面發(fā)生變化,而且出現(xiàn)了重構現(xiàn)象,得到的樣品表面不平整,這是原子層面角度進行的分析。但是其厚度,1.5納米的均方差結果,以及從整體看表面較為均勻,對此對于CoFeB/GaN來說,這次試驗表明因為CoFeB的均勻覆蓋,生長質(zhì)量較好,很多性質(zhì)也得到研究。

    4 離子注入GaAs基稀磁半導體

    4.1 鉻離子注入砷化稼晶體的磁性測量

    基片GaAs注入鉻離子以后,通過結果表明,相對基片GaAs沒有注入的,當加入注入劑愈多,飽和磁距-Ms隨之變化,而且呈現(xiàn)正相關趨勢。在曲線M-H中發(fā)現(xiàn),和之前的飽和磁距相比較,增長趨勢緩慢,但是在曲線中和沒有注入的相比,GaAs的磁性很強,而且注入越多,性質(zhì)比較突出。

    通過曲線可以分析出,砷化鎵基片注入各元素以及未注入有著明顯差異,注入過量的,注入量少的以及沒有注入的都表示在衍射曲線中,測試通過曲線圖表明,峰值出現(xiàn)在沒有注入各元素的基片圖上,而且非常明顯,雖然其他兩種情況也有峰值出現(xiàn),但沒有其它的雜峰。衍射曲線經(jīng)過觀察,注入過鉻離子的砷化鎵基片,只出現(xiàn)一個單一相,這也是比較后的結果。

    4.2 極化電壓對砷化稼基片磁性的影晌

    基片進行極化前,整個操作流程:電容器極板之間加入基片,待極板電壓逐步實現(xiàn)穩(wěn)定,控制極化時間-10分鐘,接下來因為此時的GaAs已經(jīng)經(jīng)過極化,對此接下來進行測量磁性的環(huán)節(jié),通過磁強計-Versalab振動樣品完成。

    基片GaAs在極化以后,若是極板使用電壓等于1200伏,飽和磁化在MH中相對強度減弱。1200伏以下,通過發(fā)現(xiàn),M-H磁化曲線還是原樣。飽和磁化強度有明顯變化發(fā)生在電壓由1200到1600增加的區(qū)域內(nèi),而且呈現(xiàn)正相關性,電壓愈大,強度也由此增加。

    5 結語

    綜上所述,研究一次半導體材料中,通過本文研究銻化銦以及砷化鎵在室內(nèi)溫度下具有的特點,結果令人滿意,未來表征中要擴大范圍通過更為先進的技術而實現(xiàn),實現(xiàn)不同電廠條件下,稀磁半導體材料磁性如何變化的研究。在以后,稀磁半導體其發(fā)展前景很好,所以對于新興材料要加強探究。

    參考文獻

    [1]吳振堯,鈷鐵硼/半導體異質(zhì)結構磁各向異性研究[D].南京大學,2016.

    [2]王學文.半導體異質(zhì)結構光催化制氫材料的設計與研究進展[J].化工新型材料,2015.

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