• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    反應(yīng)離子刻蝕硅槽工藝研究

    2017-09-21 08:59:43趙金茹蔣大偉陳杰
    電子與封裝 2017年9期
    關(guān)鍵詞:氯氣側(cè)壁剖面

    趙金茹,蔣大偉,陳杰

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所,江蘇無錫214072)

    反應(yīng)離子刻蝕硅槽工藝研究

    趙金茹,蔣大偉,陳杰

    (中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所,江蘇無錫214072)

    在CMOS多晶硅刻蝕工藝的基礎(chǔ)上進(jìn)行工藝開發(fā),采用氯氣和溴化氫氣體進(jìn)行硅槽刻蝕。通過對(duì)功率、壓力、氣體流量等工藝參數(shù)拉偏,用掃描電子顯微鏡觀察硅槽側(cè)壁形貌,分析各參數(shù)在反應(yīng)離子刻蝕中所起到的作用,得到對(duì)硅槽形貌影響較大的因素,最終得到一種能夠與CMOS工藝兼容的硅槽刻蝕方法。該方法能夠制作出深度6 μm、深寬比4∶1、側(cè)壁光滑的硅槽,可以用于光電繼電器、硅電容等新型器件的研發(fā)。

    硅槽刻蝕;氯氣;溴化氫;反應(yīng)離子刻蝕;光電繼電器;硅電容

    1 引言

    隨著集成電路的不斷發(fā)展,硅槽刻蝕的應(yīng)用越來越廣泛,如硅槽隔離和電容的制作。傳統(tǒng)平面電容工藝占用芯片面積大,電容容量有限。硅槽電容利用了硅槽的側(cè)壁面,與平面電容相比,可大幅度降低硅片表面占有率,電容量亦有較大幅度的提高。集成電路中硅槽隔離具有許多優(yōu)點(diǎn),與常規(guī)的LOCOS隔離相比,芯片表面積占有率降低,可防止穿通和閉鎖現(xiàn)象,有利于器件性能的改善和集成度的提高。與SOI材料應(yīng)用結(jié)合可實(shí)現(xiàn)單個(gè)硅島間的有效隔離,多個(gè)單元結(jié)構(gòu)串聯(lián)可形成光電池組,在光通信和光電開關(guān)領(lǐng)域應(yīng)用十分廣泛,硅槽的制作要求很高,對(duì)每一個(gè)硅槽都要進(jìn)行精確的控制,既要有良好的硅槽形貌,又要保證一定的刻蝕深度,滿足一定的深寬比。硅槽常用的等離子刻蝕技術(shù)可分為反應(yīng)離子刻蝕(RIE)、微波電子回旋共振等離子刻蝕(ECR)和感應(yīng)耦合等離子體刻蝕(ICP)。本文采用反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備,使用氯氣和溴化氫氣體刻蝕出簡(jiǎn)單的深硅槽,深寬比4∶1,槽深6 μm,可與傳統(tǒng)的CMOS工藝線兼容,用于各類新型半導(dǎo)體產(chǎn)品如光電繼電器、硅電容等的研究和開發(fā)。

    2 硅反應(yīng)離子刻蝕氣體選擇

    硅的反應(yīng)離子干法刻蝕是硅片制造中的關(guān)鍵工藝技術(shù)。反應(yīng)離子刻蝕的兩個(gè)主要硅層是制作MOS柵結(jié)構(gòu)的多晶硅和制作器件隔離或電容結(jié)構(gòu)中的單晶硅。

    常用刻蝕硅的化學(xué)氣體有兩類,一類是氟基氣體,包括CF4、SF6、NF3、CF4/O2、C4F8等,在刻蝕過程中氟原子起作用,但是刻蝕是各向同性的,圖形尺寸較難控制,選擇比一般。另一類與硅反應(yīng)的化學(xué)氣體是氯基氣體和溴基氣體,如氯氣、溴氣、溴化氫或氯氣和溴氣的混合氣體等,刻蝕是各向異性的,并對(duì)SiO2、SiN的選擇比較高,是CMOS工藝中多晶柵腐蝕常用的氣體。反應(yīng)離子刻蝕硅時(shí)采用的氟化物或氯化物氣體,在輝光放電中分解出氟原子或氯原子,與表面硅原子反應(yīng)生成氣態(tài)產(chǎn)物,達(dá)到刻蝕目的。下面是硅的熱力學(xué)自發(fā)反應(yīng)方程式:

    氟基氣體最易與硅發(fā)生自發(fā)化學(xué)反應(yīng),氯基和溴基氣體相對(duì)較難發(fā)生化學(xué)反應(yīng),因此氯基和溴基常用來進(jìn)行各向異性刻蝕。同時(shí),與氟基氣體相比,氯基氣體和溴基氣體刻蝕生成物SiCl4、SiBr4相對(duì)難揮發(fā),能在一定程度上保護(hù)刻蝕側(cè)壁并對(duì)掩模層有較高的選擇比,有利于陡直硅槽的獲得。

    3 實(shí)驗(yàn)

    使用Precision 5000反應(yīng)離子刻蝕設(shè)備平臺(tái),使用氯氣、溴化氫刻蝕氣體,以CMOS工藝中的多晶柵刻蝕菜單為基礎(chǔ)菜單,進(jìn)行實(shí)驗(yàn)調(diào)整,嘗試6 μm深的硅槽刻蝕?;A(chǔ)菜單為功率250 W,壓力75 mtorr,氯氣流量50 sccm,溴化氫流量50 sccm,磁場(chǎng)30 gauss。對(duì)刻蝕菜單中的功率、流量、壓力等參數(shù)進(jìn)行窗口拉偏。

    干法刻蝕過程中掩模的選擇很重要,是影響刻蝕成功與否的重要因素。實(shí)驗(yàn)使用光刻膠和硅片襯底上的SiO2(SiN)膜層共同作為硅槽刻蝕的掩模。掩模制作過程為:第一步,在硅片襯底上生長(zhǎng)一層SiO2(SiN),根據(jù)器件需要,厚度可在150~1 200 nm之間;第二步,涂2.7 μm厚的光刻膠掩模,曝光刻出需要的圖形;第三步,進(jìn)行SiO2(SiN)圖形刻蝕,露出硅襯底。掩模制作完成,進(jìn)行后續(xù)硅槽刻蝕。

    3.1 功率拉偏實(shí)驗(yàn)

    在原多晶柵基礎(chǔ)菜單上增加和減少功率,實(shí)驗(yàn)條件以及結(jié)果見表1和圖1。

    表1 功率拉偏設(shè)計(jì)表

    圖1 硅槽剖面,側(cè)壁傾斜

    使用掃描電子顯微鏡測(cè)試硅槽剖面,實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示減少和增加功率對(duì)硅槽側(cè)壁形貌影響不明顯。硅槽側(cè)壁傾斜,硅槽右側(cè)有凹角,側(cè)壁垂直度不佳導(dǎo)致硅槽底部尺寸狹小,這不利于后續(xù)硅槽的填充,影響電學(xué)參數(shù)。

    3.2 流量拉偏實(shí)驗(yàn)

    表2 流量拉偏設(shè)計(jì)表

    調(diào)整氯氣和溴化氫流量比例,增加氯氣流量,減少溴化氫流量,減少聚合物的生成,結(jié)果顯示剖面形貌異常,沒有改善。增加氦氧氣體,硅槽側(cè)壁沒有改善,同時(shí)引入了側(cè)壁毛糙的問題。

    3.3 壓力拉偏實(shí)驗(yàn)

    表3 壓力拉偏設(shè)計(jì)表

    調(diào)整壓力,壓力由基礎(chǔ)菜單的75 mtorr減少為50 mtorr,硅槽剖面形貌惡化十分嚴(yán)重,硅槽側(cè)壁嚴(yán)重傾斜,硅槽底部只有一條縫,見圖2??梢妷毫?duì)硅槽的側(cè)壁形貌起到重要的作用。增加壓力至110 mtorr,硅槽形貌有改善,側(cè)壁垂直度明顯增加。繼續(xù)增加壓力至200 mtorr,硅槽形貌正常,側(cè)壁垂直,剖面角度可達(dá)85°以上,見圖3。最終硅槽刻蝕菜單為功率250 W,壓力200mtorr,氯氣流量50sccm,溴化氫流量50sccm,磁場(chǎng)30 gauss。該菜單對(duì)硅的腐蝕速率為380 nm/min,片內(nèi)均勻性可達(dá)1%~3%。

    圖2 硅槽剖面?zhèn)缺趪?yán)重傾斜

    圖3 硅槽剖面形貌正常

    4 結(jié)果與討論

    硅槽刻蝕要求比較嚴(yán)格,既要保證較高的縱橫比,滿足刻蝕深度,又要有良好的硅槽側(cè)壁形貌。對(duì)硅槽電容而言,一旦有側(cè)壁不平整或尖角現(xiàn)象存在,會(huì)降低該處生長(zhǎng)的SiO2質(zhì)量,從而影響其電容特性。同樣對(duì)于硅槽隔離而言,硅槽的剖面形貌也是影響隔離效果的重要因素。

    反應(yīng)離子刻蝕既有等離子體對(duì)被腐蝕材料的物理轟擊,又有等離子體與被腐蝕材料的化學(xué)反應(yīng),刻蝕各項(xiàng)異性好。功率是用來產(chǎn)生等離子體及提供等離子能量的來源,功率越高,離子轟擊能量越大,刻蝕速率相應(yīng)提高,但同時(shí)也增加了對(duì)側(cè)壁和掩蔽層的刻蝕,影響側(cè)壁粗糙度和刻蝕選擇比。壓力同時(shí)影響等離子體密度及轟擊能量,壓力增大等離子濃度增加,硅的刻蝕速率增大,相應(yīng)地影響了刻蝕形貌。硅槽刻蝕與多晶柵刻蝕的區(qū)別在于,硅槽有較高的縱橫比,刻蝕反應(yīng)物更難進(jìn)入到硅槽底部進(jìn)行反應(yīng),并且反應(yīng)生成物難以逃逸,導(dǎo)致硅槽形貌難以控制。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示調(diào)整壓力對(duì)硅槽側(cè)壁形貌有明顯的影響,通過增加壓力可以改善硅槽側(cè)壁垂直度。使用CL2和HBR氣體刻蝕6 μm深的硅槽,當(dāng)壓力200 mtorr時(shí)硅槽側(cè)壁光滑,剖面角度大于85°,基于現(xiàn)有設(shè)備平臺(tái)實(shí)現(xiàn)硅槽刻蝕,不需要再引進(jìn)硅槽刻蝕的專用設(shè)備。目前應(yīng)用在硅電容和光電繼電器研究中,硅電容能夠?qū)崿F(xiàn)電容值25 nF;光電繼電器產(chǎn)品,硅槽刻蝕后硅槽填充形貌正常,見圖4,實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品的硅槽隔離。

    圖4 光電繼電器硅槽隔離圖

    5 結(jié)束語

    硅槽的刻蝕深度和剖面形貌是影響產(chǎn)品性能的關(guān)鍵因素。在獨(dú)立的反應(yīng)離子刻蝕平臺(tái),氯基氣體和溴基氣體主要應(yīng)用于多晶硅刻蝕和淺硅槽刻蝕,刻蝕出形貌良好的深硅槽具有極大的挑戰(zhàn)性。本研究使用氯氣和溴化氫氣體成功制作出深寬比4∶1的6 μm深硅槽,硅槽的整體刻蝕速率會(huì)隨著深寬比的增加而減少,對(duì)于深寬比要求不高的大尺寸硅槽,深度可在6 μm基礎(chǔ)上繼續(xù)加深。實(shí)驗(yàn)拉偏各刻蝕參數(shù)窗口,發(fā)現(xiàn)腔體壓力對(duì)硅槽側(cè)壁形貌起到?jīng)Q定性的影響作用,為利用氯氣和溴化氫氣體刻蝕深硅槽提供了一定的參考價(jià)值,目前已用于光電繼電器和硅電容的產(chǎn)品生產(chǎn)研發(fā)中。

    [1]李興.超大集成電路技術(shù)基礎(chǔ)[M].北京:電子工業(yè)出版社,1999:168-169.

    [2]Michael Quirk Julian Serda.半導(dǎo)體體制造技術(shù)[M].韓鄭生,等譯.北京:電子工業(yè)出版社,2006:426-428.

    [3]李祥.深硅槽開挖工藝[J].微電子學(xué),1993,23(2):39-43.

    [4]趙玉印,歐文.深硅槽的刻蝕研究[C].北京:2003年10月第十二屆全國(guó)電子束、離子束、光子束學(xué)術(shù)會(huì)議,2003:242-243.

    [5]唐濱.用于MEMS封裝的深硅刻蝕工藝研究[D].天津:天津大學(xué),2012:9-10.

    [6]王清平,蘇韌.硅槽刻蝕技術(shù)中的源氣體選擇[J].微電子學(xué),1994,24(6):65-68.

    Trench of Reactive Ion Etching Technology Research

    ZHAO Jinru,JIANG Dawei,CHEN Jie
    (China Electronics Technology Group Corporation No.58 Research Institute,Wuxi 214072,China)

    The purpose of the study is to develop the process based on polysilicon etching process,Using CL2and HBR gas for trench etching.With experiments,adjusting the power,pressure,gas flow process window. with the helping of scanning electron microscope,checking the shape of the sidewall of the trench,analysis of the function of each parameters,the factors of affecting trench are obtained.Finally,a trench etching method which can be compatible with CMOS is obtained,successfully produced the depth of 6 μm,sidewall smooth trench,reseachedfor Semiconductorssuchasphotoelectric relayandsiliconcapacitor.

    trenchetching;CL2;HBr;reactive ionetching;photoelectric relay;siliconcapacitor

    TN405.98+3

    :A

    :1681-1070(2017)09-0041-03

    2017-5-24

    趙金茹(1983—),女,遼寧省海城人,2006年畢業(yè)于遼寧大學(xué),現(xiàn)為中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第五十八研究所二部腐蝕工藝工程師,主要從事刻蝕工藝的研究與開發(fā)。

    猜你喜歡
    氯氣側(cè)壁剖面
    高速公路隧道洞口淺埋段施工中的雙側(cè)壁導(dǎo)坑法
    三點(diǎn)法定交叉剖面方法
    ——工程地質(zhì)勘察中,一種做交叉剖面的新方法
    氯氣的制備實(shí)驗(yàn)探究
    柳鋼6號(hào)高爐應(yīng)對(duì)爐缸側(cè)壁溫度超高的護(hù)爐實(shí)踐
    四川冶金(2019年4期)2019-11-18 09:30:50
    越野車側(cè)壁加強(qiáng)筋板工藝改進(jìn)
    模具制造(2019年3期)2019-06-06 02:10:52
    基于曲線擬合的投棄式剖面儀電感量算法
    復(fù)雜多約束條件通航飛行垂直剖面規(guī)劃方法
    層合板上層建筑側(cè)壁抗空爆性能研究
    低濃度氯氣綜合利用的探討
    優(yōu)化氯處理工藝,提高氯氣質(zhì)量
    免费高清在线观看视频在线观看| 777米奇影视久久| 亚洲天堂av无毛| 日韩人妻高清精品专区| 国产精品国产三级专区第一集| 国产精品一区二区性色av| 九九在线视频观看精品| 久久鲁丝午夜福利片| 久久久久久久久久久丰满| 成人二区视频| 亚洲av不卡在线观看| 国产精品国产三级国产专区5o| 美女视频免费永久观看网站| 超碰97精品在线观看| 成年av动漫网址| 老女人水多毛片| 99热这里只有是精品50| h视频一区二区三区| 午夜免费男女啪啪视频观看| 欧美激情极品国产一区二区三区 | 好男人视频免费观看在线| 午夜福利视频精品| 五月开心婷婷网| 中文资源天堂在线| 人人妻人人爽人人添夜夜欢视频 | 国产亚洲欧美精品永久| 下体分泌物呈黄色| av一本久久久久| 日韩精品有码人妻一区| 色网站视频免费| 中文字幕亚洲精品专区| 久久99热6这里只有精品| 亚洲av免费高清在线观看| 国产成人a∨麻豆精品| a级毛片免费高清观看在线播放| 一区二区av电影网| 午夜福利在线在线| .国产精品久久| 成人亚洲欧美一区二区av| 成人毛片a级毛片在线播放| 一区在线观看完整版| 搡女人真爽免费视频火全软件| 午夜激情久久久久久久| 亚洲真实伦在线观看| 国产精品一区二区在线观看99| 人妻制服诱惑在线中文字幕| 久热这里只有精品99| 少妇高潮的动态图| 欧美日韩综合久久久久久| 日本av免费视频播放| 精品国产三级普通话版| 免费大片18禁| 欧美xxxx性猛交bbbb| 中文字幕久久专区| .国产精品久久| 少妇人妻一区二区三区视频| 日日撸夜夜添| 久久精品久久精品一区二区三区| 欧美精品亚洲一区二区| 伊人久久国产一区二区| 在线播放无遮挡| av网站免费在线观看视频| 国产精品国产三级国产av玫瑰| 欧美少妇被猛烈插入视频| 王馨瑶露胸无遮挡在线观看| 妹子高潮喷水视频| 国产亚洲av片在线观看秒播厂| 性高湖久久久久久久久免费观看| 亚洲真实伦在线观看| 夫妻午夜视频| 久久久久精品性色| 国产成人a区在线观看| 成人亚洲欧美一区二区av| 免费观看a级毛片全部| 我的女老师完整版在线观看| 亚洲内射少妇av| 激情 狠狠 欧美| 亚洲高清免费不卡视频| 在线免费观看不下载黄p国产| av在线老鸭窝| 九草在线视频观看| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 亚洲国产精品专区欧美| 婷婷色综合大香蕉| 国产精品国产三级国产av玫瑰| 天天躁日日操中文字幕| 久久久色成人| 亚洲四区av| 久久久久国产精品人妻一区二区| 欧美成人a在线观看| 王馨瑶露胸无遮挡在线观看| 久久久久性生活片| 欧美高清性xxxxhd video| 亚洲精品乱码久久久v下载方式| 欧美日韩亚洲高清精品| 超碰97精品在线观看| 小蜜桃在线观看免费完整版高清| 国产精品一区二区在线观看99| 在线观看免费日韩欧美大片 | 亚洲欧美日韩卡通动漫| 久久久久网色| 热re99久久精品国产66热6| 国产成人精品一,二区| 久久久欧美国产精品| 女人久久www免费人成看片| 亚洲电影在线观看av| 亚洲精品自拍成人| 男女下面进入的视频免费午夜| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 美女主播在线视频| 激情五月婷婷亚洲| 国产成人a∨麻豆精品| 免费观看的影片在线观看| 美女福利国产在线 | 欧美zozozo另类| 男人和女人高潮做爰伦理| 美女中出高潮动态图| 日韩人妻高清精品专区| 91精品国产国语对白视频| 99久久人妻综合| 一级毛片黄色毛片免费观看视频| 在线观看国产h片| 妹子高潮喷水视频| 精品国产露脸久久av麻豆| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区| 综合色丁香网| 久久精品国产亚洲av天美| 九九在线视频观看精品| 91久久精品国产一区二区三区| 麻豆精品久久久久久蜜桃| 国产成人一区二区在线| 26uuu在线亚洲综合色| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 少妇精品久久久久久久| 一区二区三区精品91| 久久青草综合色| 亚洲av在线观看美女高潮| 少妇高潮的动态图| 一级a做视频免费观看| 一级黄片播放器| 亚洲最大成人中文| 日本wwww免费看| 欧美zozozo另类| 啦啦啦啦在线视频资源| 精品视频人人做人人爽| 91狼人影院| 精品熟女少妇av免费看| 我的老师免费观看完整版| 国产精品成人在线| 国产一区二区在线观看日韩| 少妇人妻 视频| 日日撸夜夜添| 成人影院久久| 91在线精品国自产拍蜜月| 91精品伊人久久大香线蕉| 欧美成人一区二区免费高清观看| a 毛片基地| 麻豆精品久久久久久蜜桃| 国产亚洲一区二区精品| 青春草视频在线免费观看| 大话2 男鬼变身卡| av免费在线看不卡| 亚洲婷婷狠狠爱综合网| 国产v大片淫在线免费观看| 黄色欧美视频在线观看| 国产精品麻豆人妻色哟哟久久| 亚洲精品一二三| 女性生殖器流出的白浆| 蜜臀久久99精品久久宅男| 日韩中文字幕视频在线看片 | 成人美女网站在线观看视频| 国产欧美亚洲国产| 日韩中字成人| 成人漫画全彩无遮挡| 一级毛片久久久久久久久女| 熟女人妻精品中文字幕| 99热这里只有是精品50| 人妻制服诱惑在线中文字幕| 免费高清在线观看视频在线观看| 一级片'在线观看视频| 美女cb高潮喷水在线观看| 51国产日韩欧美| 97超碰精品成人国产| 国产男女超爽视频在线观看| 亚洲精品,欧美精品| 亚洲精品,欧美精品| 一级毛片 在线播放| 欧美成人一区二区免费高清观看| 九九爱精品视频在线观看| 18+在线观看网站| 亚洲欧美精品自产自拍| 熟女电影av网| 亚洲av日韩在线播放| 又大又黄又爽视频免费| 亚洲色图综合在线观看| 韩国av在线不卡| 日韩一区二区视频免费看| 国产高清不卡午夜福利| 亚洲自偷自拍三级| 国产美女午夜福利| 欧美高清性xxxxhd video| 99久久精品一区二区三区| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 亚洲国产欧美人成| 国产精品久久久久久精品电影小说 | 欧美日韩视频高清一区二区三区二| 精品人妻熟女av久视频| 小蜜桃在线观看免费完整版高清| 免费观看a级毛片全部| 成人影院久久| 日韩亚洲欧美综合| 国产一级毛片在线| 免费人成在线观看视频色| 国产欧美亚洲国产| 久久久亚洲精品成人影院| 搡老乐熟女国产| 国产精品久久久久久精品古装| 国产成人freesex在线| 精品久久久久久久久亚洲| 91精品伊人久久大香线蕉| 极品少妇高潮喷水抽搐| 精品国产一区二区三区久久久樱花 | 亚洲成人av在线免费| 国内揄拍国产精品人妻在线| 国产精品三级大全| 99久国产av精品国产电影| 下体分泌物呈黄色| 九九爱精品视频在线观看| 亚洲久久久国产精品| 免费高清在线观看视频在线观看| 一级毛片电影观看| 在线 av 中文字幕| 久热久热在线精品观看| 久久这里有精品视频免费| 亚洲经典国产精华液单| 亚洲精品日韩在线中文字幕| 久久精品久久久久久噜噜老黄| 欧美少妇被猛烈插入视频| 嫩草影院入口| 久久精品国产鲁丝片午夜精品| 亚洲欧美日韩东京热| av国产免费在线观看| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 国产精品爽爽va在线观看网站| 色哟哟·www| 免费黄色在线免费观看| 欧美老熟妇乱子伦牲交| 少妇人妻 视频| 国产成人a∨麻豆精品| 久久精品国产a三级三级三级| 在线观看一区二区三区激情| 国产高清不卡午夜福利| 男女免费视频国产| 欧美精品国产亚洲| 噜噜噜噜噜久久久久久91| 国产人妻一区二区三区在| 午夜免费观看性视频| 国产极品天堂在线| 天天躁日日操中文字幕| 国产一级毛片在线| 亚洲,欧美,日韩| 日韩中字成人| 最近手机中文字幕大全| 成人午夜精彩视频在线观看| 午夜日本视频在线| 久久韩国三级中文字幕| 国产成人精品一,二区| 国产av码专区亚洲av| 黑人猛操日本美女一级片| 一级av片app| 大话2 男鬼变身卡| 深爱激情五月婷婷| 午夜精品国产一区二区电影| 看免费成人av毛片| 最近最新中文字幕免费大全7| av女优亚洲男人天堂| 尤物成人国产欧美一区二区三区| 熟女电影av网| 一级a做视频免费观看| 丰满少妇做爰视频| 中文字幕亚洲精品专区| 色网站视频免费| 午夜激情久久久久久久| 午夜激情福利司机影院| 麻豆成人av视频| 久久久久精品久久久久真实原创| 午夜老司机福利剧场| av在线老鸭窝| 精品少妇黑人巨大在线播放| 男人舔奶头视频| 亚洲自偷自拍三级| 国产精品一区www在线观看| av黄色大香蕉| 成人免费观看视频高清| 九九久久精品国产亚洲av麻豆| 超碰av人人做人人爽久久| 欧美精品亚洲一区二区| 日本欧美视频一区| 亚洲电影在线观看av| 久久精品国产自在天天线| 久久99热这里只频精品6学生| av不卡在线播放| 日韩电影二区| 身体一侧抽搐| 在线观看三级黄色| 国产亚洲精品久久久com| 国产视频内射| 久久久欧美国产精品| av播播在线观看一区| 久久 成人 亚洲| av黄色大香蕉| 国产永久视频网站| 最近中文字幕高清免费大全6| 中文字幕制服av| 免费观看av网站的网址| 亚洲精品国产色婷婷电影| 纯流量卡能插随身wifi吗| 岛国毛片在线播放| 国产一区亚洲一区在线观看| 国产一级毛片在线| 色网站视频免费| 菩萨蛮人人尽说江南好唐韦庄| 大片免费播放器 马上看| 高清毛片免费看| 国产探花极品一区二区| 2022亚洲国产成人精品| 少妇人妻久久综合中文| 最新中文字幕久久久久| 天美传媒精品一区二区| 国产乱来视频区| 男人添女人高潮全过程视频| 97超碰精品成人国产| 亚洲欧美精品自产自拍| 永久网站在线| 精华霜和精华液先用哪个| 视频中文字幕在线观看| 免费看av在线观看网站| 亚洲,欧美,日韩| 91aial.com中文字幕在线观看| 美女xxoo啪啪120秒动态图| 久久久久性生活片| a级一级毛片免费在线观看| 制服丝袜香蕉在线| 久久久精品94久久精品| 九九爱精品视频在线观看| 国产av精品麻豆| 亚洲自偷自拍三级| 2021少妇久久久久久久久久久| 嘟嘟电影网在线观看| 女人久久www免费人成看片| 少妇被粗大猛烈的视频| 久久久久人妻精品一区果冻| 国产亚洲一区二区精品| 国产精品国产av在线观看| 亚洲精品久久久久久婷婷小说| 男女国产视频网站| 水蜜桃什么品种好| 中文资源天堂在线| 日韩一本色道免费dvd| 一级二级三级毛片免费看| 干丝袜人妻中文字幕| 久久久久久久久久久免费av| 观看av在线不卡| 春色校园在线视频观看| 99国产精品免费福利视频| 日韩大片免费观看网站| 成年人午夜在线观看视频| 国产欧美亚洲国产| 日韩强制内射视频| 欧美高清性xxxxhd video| 亚洲av日韩在线播放| 日韩成人av中文字幕在线观看| 日韩欧美精品免费久久| 日日啪夜夜爽| 国产极品天堂在线| 国产精品嫩草影院av在线观看| 精品视频人人做人人爽| 91午夜精品亚洲一区二区三区| 啦啦啦在线观看免费高清www| 天堂8中文在线网| 午夜精品国产一区二区电影| .国产精品久久| 亚洲国产欧美人成| 男人狂女人下面高潮的视频| 精品国产一区二区三区久久久樱花 | 国产精品99久久久久久久久| 免费播放大片免费观看视频在线观看| 亚洲欧美清纯卡通| 18+在线观看网站| 亚洲欧美日韩无卡精品| 六月丁香七月| 美女视频免费永久观看网站| 91久久精品电影网| 国语对白做爰xxxⅹ性视频网站| 亚洲最大成人中文| 黑人猛操日本美女一级片| 观看免费一级毛片| 美女主播在线视频| 亚洲国产色片| 亚洲在久久综合| 26uuu在线亚洲综合色| 久久精品久久久久久久性| 国产成人精品久久久久久| 91精品国产国语对白视频| 内射极品少妇av片p| av免费在线看不卡| 国产精品99久久99久久久不卡 | 成人亚洲精品一区在线观看 | 99久久综合免费| 美女中出高潮动态图| 亚洲精品自拍成人| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 黑人猛操日本美女一级片| 国产精品久久久久久精品古装| 黑丝袜美女国产一区| 国产精品久久久久久av不卡| 欧美激情极品国产一区二区三区 | 国产中年淑女户外野战色| 亚洲中文av在线| 高清av免费在线| 超碰97精品在线观看| 久久热精品热| 国产免费一区二区三区四区乱码| 国产免费又黄又爽又色| www.色视频.com| 日本黄色片子视频| 亚洲电影在线观看av| 啦啦啦中文免费视频观看日本| 久久精品国产亚洲av天美| 欧美精品人与动牲交sv欧美| 美女福利国产在线 | av国产免费在线观看| 水蜜桃什么品种好| 少妇高潮的动态图| 国产视频首页在线观看| 一个人免费看片子| 自拍偷自拍亚洲精品老妇| 中文乱码字字幕精品一区二区三区| 免费大片黄手机在线观看| 我的女老师完整版在线观看| 麻豆精品久久久久久蜜桃| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 色吧在线观看| 水蜜桃什么品种好| 国产有黄有色有爽视频| 高清不卡的av网站| 久久久欧美国产精品| 精品国产乱码久久久久久小说| 老司机影院成人| 伦理电影大哥的女人| 搡老乐熟女国产| 男人添女人高潮全过程视频| 亚洲熟女精品中文字幕| 黄色视频在线播放观看不卡| 欧美最新免费一区二区三区| 天堂8中文在线网| 亚洲精品一二三| 久久久久人妻精品一区果冻| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 欧美精品一区二区免费开放| 亚洲国产色片| 亚洲av二区三区四区| 狂野欧美激情性xxxx在线观看| 亚洲不卡免费看| 3wmmmm亚洲av在线观看| 欧美丝袜亚洲另类| 精品99又大又爽又粗少妇毛片| 如何舔出高潮| 成人黄色视频免费在线看| 国产精品国产三级国产专区5o| 亚洲激情五月婷婷啪啪| 嘟嘟电影网在线观看| 国产成人免费观看mmmm| 小蜜桃在线观看免费完整版高清| 久久6这里有精品| 免费观看av网站的网址| 午夜激情福利司机影院| 最新中文字幕久久久久| 美女中出高潮动态图| 18禁在线播放成人免费| 亚洲成人av在线免费| 国产淫片久久久久久久久| 街头女战士在线观看网站| 欧美高清性xxxxhd video| 在线观看三级黄色| 亚洲性久久影院| 国产免费一区二区三区四区乱码| 22中文网久久字幕| 中文字幕亚洲精品专区| 中文精品一卡2卡3卡4更新| 国产成人a区在线观看| 久久久久视频综合| 国产 一区 欧美 日韩| 观看av在线不卡| 色视频www国产| 国产 一区精品| 如何舔出高潮| 在线观看一区二区三区| 伊人久久国产一区二区| 18禁裸乳无遮挡动漫免费视频| 久久久久久久亚洲中文字幕| 五月玫瑰六月丁香| 日韩电影二区| 一级a做视频免费观看| 国产午夜精品一二区理论片| 男女国产视频网站| 久久毛片免费看一区二区三区| 亚洲国产欧美人成| 国产午夜精品一二区理论片| 伦理电影免费视频| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片| 中文精品一卡2卡3卡4更新| 一级毛片aaaaaa免费看小| 少妇的逼好多水| 秋霞伦理黄片| 久久人人爽av亚洲精品天堂 | 色视频在线一区二区三区| 伊人久久精品亚洲午夜| 少妇猛男粗大的猛烈进出视频| 黑丝袜美女国产一区| 一本一本综合久久| 纵有疾风起免费观看全集完整版| 欧美xxxx性猛交bbbb| 97在线人人人人妻| 少妇人妻 视频| 亚洲国产毛片av蜜桃av| 一级a做视频免费观看| 亚洲欧美成人精品一区二区| 国产精品精品国产色婷婷| 在线观看免费视频网站a站| 精品久久久久久久久av| 丝袜喷水一区| 亚洲自偷自拍三级| 青春草视频在线免费观看| 国产精品国产三级国产av玫瑰| 女的被弄到高潮叫床怎么办| 中文欧美无线码| 欧美日韩亚洲高清精品| 亚洲精品亚洲一区二区| 国产淫片久久久久久久久| 熟女电影av网| 一二三四中文在线观看免费高清| 99国产精品免费福利视频| 色视频在线一区二区三区| 国产精品99久久久久久久久| 日本猛色少妇xxxxx猛交久久| 联通29元200g的流量卡| 国产国拍精品亚洲av在线观看| 中文字幕久久专区| av又黄又爽大尺度在线免费看| 免费黄网站久久成人精品| 免费播放大片免费观看视频在线观看| 三级国产精品片| av在线观看视频网站免费| 97精品久久久久久久久久精品| 夜夜看夜夜爽夜夜摸| 18禁裸乳无遮挡免费网站照片| 亚洲av日韩在线播放| 51国产日韩欧美| 亚洲精品日韩av片在线观看| 久久精品国产鲁丝片午夜精品| 亚洲综合色惰| 亚洲丝袜综合中文字幕| 18禁在线播放成人免费| 亚洲最大成人中文| 在线观看美女被高潮喷水网站| 国产精品99久久久久久久久| 久久精品久久精品一区二区三区| 97超碰精品成人国产| 一区二区三区四区激情视频| av天堂中文字幕网| 五月天丁香电影| 天天躁夜夜躁狠狠久久av| 亚洲欧美中文字幕日韩二区| 高清黄色对白视频在线免费看 | 久久午夜福利片| 亚洲在久久综合| 男男h啪啪无遮挡| 各种免费的搞黄视频| 99热全是精品| 亚洲精品日韩在线中文字幕| 乱系列少妇在线播放| 欧美精品一区二区大全| 老司机影院成人| 亚洲精品aⅴ在线观看| 男人爽女人下面视频在线观看| 熟女电影av网| 国产精品嫩草影院av在线观看| 免费观看av网站的网址| 亚洲欧美清纯卡通| 国产永久视频网站| 国产片特级美女逼逼视频| 边亲边吃奶的免费视频| 秋霞在线观看毛片| 深夜a级毛片| 国产一级毛片在线| 一区二区av电影网| av在线老鸭窝| 国产成人精品婷婷| 欧美老熟妇乱子伦牲交| 卡戴珊不雅视频在线播放| 午夜福利在线观看免费完整高清在| 国产精品99久久99久久久不卡 | 亚洲欧美日韩卡通动漫| 国产av精品麻豆| 人妻系列 视频| 日韩制服骚丝袜av| 亚洲av中文字字幕乱码综合| 国精品久久久久久国模美| 全区人妻精品视频| 国产亚洲一区二区精品| 亚洲天堂av无毛| 欧美一级a爱片免费观看看|