• <tr id="yyy80"></tr>
  • <sup id="yyy80"></sup>
  • <tfoot id="yyy80"><noscript id="yyy80"></noscript></tfoot>
  • 99热精品在线国产_美女午夜性视频免费_国产精品国产高清国产av_av欧美777_自拍偷自拍亚洲精品老妇_亚洲熟女精品中文字幕_www日本黄色视频网_国产精品野战在线观看 ?

    基于RFID的數(shù)字化掩模制造

    2017-09-03 10:52:56張鵬丁晗沈天翊胡超
    電子與封裝 2017年8期
    關(guān)鍵詞:掩模貨品數(shù)字化

    張鵬,丁晗,沈天翊,胡超

    (無(wú)錫中微掩模電子有限公司,江蘇無(wú)錫214135)

    基于RFID的數(shù)字化掩模制造

    張鵬,丁晗,沈天翊,胡超

    (無(wú)錫中微掩模電子有限公司,江蘇無(wú)錫214135)

    介紹了中微掩模智能化生產(chǎn)系統(tǒng),提出了利用RFID技術(shù)實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模版制造流程的智能化管理。利用智能化生產(chǎn)系統(tǒng)提高了和客戶之間的交互性,利用智能貨柜系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了掩模版私有云制造。依托現(xiàn)有智能生產(chǎn)管理系統(tǒng),提出了集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈智能制造的概念。

    掩模數(shù)字化生產(chǎn);全生命周期管理

    1 引言

    掩模制造在集成電路設(shè)計(jì)制造產(chǎn)業(yè)鏈中位于IC設(shè)計(jì)與晶圓制造之間,是集成電路設(shè)計(jì)制造實(shí)物化的第一個(gè)階段。無(wú)錫中微掩模電子有限公司經(jīng)過(guò)多年信息化建設(shè),已建成一套集掩模制版數(shù)據(jù)自動(dòng)化處理、掩模訂單生產(chǎn)管理系統(tǒng)、產(chǎn)品信息在線交互平臺(tái)于一體的數(shù)字化管理信息系統(tǒng)。設(shè)計(jì)公司完成芯片設(shè)計(jì)后,可直接通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)將電路版圖數(shù)據(jù)傳輸至掩模廠,并可完全通過(guò)在線方式進(jìn)行掩模制版圖形數(shù)據(jù)確認(rèn)、在線下單、生產(chǎn)進(jìn)度跟蹤、質(zhì)量反饋分析、物流信息跟蹤等過(guò)程,直至掩模版到達(dá)晶圓廠;可實(shí)現(xiàn)全過(guò)程數(shù)字化、虛擬化、實(shí)時(shí)化的信息交互,而無(wú)實(shí)物掩模版交接。通過(guò)RFID與智能貨架技術(shù)的應(yīng)用,可實(shí)現(xiàn)掩模版從掩模工藝制作、光刻工藝使用、返廠維修到再次使用的全生命周期數(shù)字化管理。在0.13 μm工藝節(jié)點(diǎn)八英寸晶圓廠蓬勃發(fā)展、中國(guó)制造2025全面推進(jìn)的大背景下,中微掩模成為國(guó)內(nèi)集成電路產(chǎn)業(yè)鏈信息協(xié)同必不可少的一環(huán)。

    圖1 掩模制造全流程管理架構(gòu)

    2 掩模制版數(shù)字化設(shè)計(jì)

    2.1 數(shù)字化進(jìn)案

    作為集成電路設(shè)計(jì)實(shí)物化的第一個(gè)階段,掩模制造的第一個(gè)環(huán)節(jié)就是對(duì)接集成電路設(shè)計(jì)輸出的電路版圖數(shù)據(jù)。通常版圖數(shù)據(jù)與掩模版制作要求會(huì)通過(guò)互聯(lián)網(wǎng),以數(shù)據(jù)形式傳輸至掩模廠。這一過(guò)程在掩模廠稱為制版數(shù)據(jù)進(jìn)案。

    客戶可以通過(guò)連接在互聯(lián)網(wǎng)中的各類終端設(shè)備,例如PC機(jī)、平板電腦、手機(jī)等,隨時(shí)隨地下達(dá)訂單,方便快捷。通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)將制版數(shù)據(jù)和掩模制版要求發(fā)送至掩模廠,擺脫了原來(lái)的紙質(zhì)文件和光盤(pán)的傳遞,方便客戶隨時(shí)進(jìn)案,也方便客戶隨時(shí)更新版圖數(shù)據(jù)和制版要求。在數(shù)據(jù)格式方面,掩模廠針對(duì)不同行業(yè)的客戶,支持各種格式的數(shù)據(jù),包括GDSII、OASIS、DXF、CIF、MEBES等。數(shù)據(jù)安全方面,支持?jǐn)?shù)據(jù)加密,包括對(duì)稱與非對(duì)稱加密,同時(shí)也支持通道加密,包括VPN、SSL等技術(shù)。

    2.2 掩模制版數(shù)字化再設(shè)計(jì)

    目前國(guó)內(nèi)工藝相對(duì)較為成熟先進(jìn)的六英寸與八英寸晶圓廠,在使用掩模版進(jìn)行光刻工藝時(shí),為了更好地控制產(chǎn)品質(zhì)量,通常都會(huì)使用微縮光刻技術(shù),使用成像圖形5:1或者4:1倍率的掩模版。因此客戶的版圖數(shù)據(jù)一般都無(wú)法直接用于掩模制版。晶圓廠會(huì)要求掩模廠根據(jù)其工藝要求對(duì)版圖數(shù)據(jù)進(jìn)行再設(shè)計(jì),生成相關(guān)工藝所專用的掩模制版數(shù)據(jù)。如圖2所示,掩模制版數(shù)據(jù)數(shù)字化再設(shè)計(jì)過(guò)程是一個(gè)繁瑣且復(fù)雜的過(guò)程。

    圖2 掩模制版數(shù)據(jù)再設(shè)計(jì)

    通過(guò)掩模數(shù)據(jù)自動(dòng)化處理平臺(tái),自動(dòng)抓取制版要求,轉(zhuǎn)化生成固定的腳本,并自動(dòng)處理生成掩模制版數(shù)據(jù)。實(shí)現(xiàn)對(duì)客戶數(shù)據(jù)的全自動(dòng)數(shù)字化再設(shè)計(jì),取代大量手工作業(yè),提高數(shù)據(jù)處理的效率和準(zhǔn)確率。

    2.3 掩模制版數(shù)字化樣品

    隨著集成電路制造工藝的不斷發(fā)展,對(duì)掩模制版的要求也越來(lái)越復(fù)雜。為確保掩模制版的正確性,在實(shí)際進(jìn)行掩模制版工藝制作之前,客戶會(huì)對(duì)掩模制版數(shù)據(jù)進(jìn)行一次確認(rèn)。如圖3所示,通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)訪問(wèn)掩模制版私有云平臺(tái),客戶可以實(shí)時(shí)快捷地進(jìn)行在線協(xié)同交互,對(duì)再設(shè)計(jì)生成的掩模制版數(shù)字化樣品進(jìn)行確認(rèn)。

    圖3 掩模制版數(shù)字化樣品確認(rèn)

    在客戶完成確認(rèn),上線制作前,還需要再對(duì)掩模制版數(shù)據(jù)進(jìn)行一次處理,加入掩模制造工藝參數(shù),并處理生成曝光工藝數(shù)據(jù)。

    通過(guò)互聯(lián)網(wǎng)+掩模制版私有云平臺(tái),掩模制版數(shù)字化設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了快速自動(dòng)化的數(shù)據(jù)處理,實(shí)時(shí)的在線協(xié)同交互可對(duì)客戶要求進(jìn)行快速響應(yīng),提升客戶服務(wù)。

    3 掩模數(shù)字化生產(chǎn)

    掩模制版是典型的小批量多品種的混線生產(chǎn)模式。產(chǎn)品定制化程度高,可以說(shuō)沒(méi)有兩塊掩模版是一樣的,同時(shí)掩模制版工序多且工藝復(fù)雜,數(shù)字化生產(chǎn)可以大大提高掩模制版的效率。通過(guò)MES制造執(zhí)行系統(tǒng),可實(shí)現(xiàn)數(shù)字化智能化的物料準(zhǔn)備、排產(chǎn)調(diào)度、設(shè)備互聯(lián)、工藝管理、遠(yuǎn)程監(jiān)控等功能,實(shí)時(shí)掌控計(jì)劃、調(diào)度、質(zhì)量、工藝、設(shè)備、物料、運(yùn)行等情況,使各相關(guān)部門(mén)及時(shí)發(fā)現(xiàn)問(wèn)題和解決問(wèn)題,最終建立規(guī)范的生產(chǎn)管理信息平臺(tái),使企業(yè)內(nèi)部現(xiàn)場(chǎng)控制層與管理層之間的信息互聯(lián)互通,以此提高企業(yè)核心競(jìng)爭(zhēng)力。

    凈化間關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備都接入內(nèi)網(wǎng),設(shè)備運(yùn)行的關(guān)鍵參數(shù)都可以實(shí)時(shí)記錄在數(shù)據(jù)庫(kù)中。設(shè)備工程師可以隨時(shí)通過(guò)MES系統(tǒng)監(jiān)控設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài),及時(shí)采購(gòu)備件。同時(shí),MES系統(tǒng)可以實(shí)時(shí)反映每臺(tái)機(jī)臺(tái)設(shè)備的產(chǎn)品負(fù)載情況,為產(chǎn)品調(diào)度排產(chǎn)提供參考信息。

    通過(guò)MES系統(tǒng)的建設(shè),掩模廠實(shí)現(xiàn)了車間管理的數(shù)字化、智能化,其產(chǎn)生的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)對(duì)掩模制造私有云平臺(tái)提供了數(shù)據(jù)支撐,使得掩模制版過(guò)程可以與客戶進(jìn)行實(shí)時(shí)信息交互??蛻艨赏ㄟ^(guò)手機(jī)微信、客戶端網(wǎng)頁(yè)和iPad等各種聯(lián)網(wǎng)的移動(dòng)設(shè)備隨時(shí)隨地了解產(chǎn)品的實(shí)時(shí)生產(chǎn)進(jìn)度、物流狀態(tài)和質(zhì)量報(bào)告,同時(shí)可以反饋異常問(wèn)題和在線溝通交流。用戶可以通過(guò)手機(jī)隨時(shí)隨地查看自己產(chǎn)品的進(jìn)度信息和預(yù)估完成時(shí)間,如有加急或者延期都可以及時(shí)知曉。傳統(tǒng)的生產(chǎn)工藝線,客戶無(wú)法知道產(chǎn)品完成情況,有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)產(chǎn)品延期等突發(fā)情況,客戶無(wú)法提早知道,因此提高客戶和產(chǎn)品信息的交互性可以提高生產(chǎn)方和客戶的效率,出現(xiàn)問(wèn)題可以及時(shí)溝通解決。

    除了采用云平臺(tái)界面進(jìn)行信息交互,也可采用客戶自定義數(shù)據(jù)交互協(xié)議,進(jìn)行更高效的定制化信息交互。

    表1 客戶自定義交互協(xié)議

    MES系統(tǒng)的實(shí)施效果非常明顯,極大地提高了工作效率、提升了準(zhǔn)確率。以掩模產(chǎn)品合格證為例,由于行業(yè)的特殊性,掩模COA存在著種類多、項(xiàng)目多、標(biāo)準(zhǔn)多的特點(diǎn)。中微現(xiàn)有種類已達(dá)10種,項(xiàng)目多達(dá)100多個(gè),標(biāo)準(zhǔn)也有10套,每套標(biāo)準(zhǔn)還有十多個(gè)級(jí)別和20個(gè)標(biāo)準(zhǔn)值。同時(shí)其數(shù)據(jù)來(lái)自多個(gè)部門(mén)和不同工藝步驟,數(shù)據(jù)收集匯總極其繁瑣。未使用MES系統(tǒng)時(shí),各部門(mén)和工藝步驟操作人員需要手動(dòng)制作產(chǎn)品報(bào)表,產(chǎn)品相關(guān)的數(shù)據(jù)信息均需要手動(dòng)錄入和計(jì)算,再通過(guò)人工進(jìn)行復(fù)核,平均一份最基本的產(chǎn)品合格證就需要花費(fèi)1個(gè)多小時(shí),而制作海外客戶的合格證需要的時(shí)間更是多出一倍。手工作業(yè)不僅效率低下,準(zhǔn)確率也無(wú)法得到保證,漏檢情況也時(shí)有發(fā)生,后期產(chǎn)品管理也沒(méi)有數(shù)據(jù)支撐。而MES系統(tǒng)很好地解決了這個(gè)問(wèn)題,所有的掩模產(chǎn)品合格證都可以從系統(tǒng)中直接導(dǎo)出,并且系統(tǒng)能夠自動(dòng)匹配對(duì)應(yīng)客戶的標(biāo)準(zhǔn)自動(dòng)卡控,每份產(chǎn)品合格證制作并檢查只需要5分鐘。MES系統(tǒng)的實(shí)施完全取代人工手動(dòng)作業(yè),數(shù)字化的生產(chǎn)有效地提高了工作效率和正確率,在無(wú)設(shè)備增加、各崗人員數(shù)量不變的情況下,成功支撐了公司產(chǎn)能從400片到10000片的突破,同時(shí)也為后期智能化生產(chǎn)提供了信息化支撐。

    4 掩模版全生命周期數(shù)字化管理

    射頻識(shí)別技術(shù)RFID(Radio Frequency Identification)是近年來(lái)新興的一項(xiàng)自動(dòng)識(shí)別技術(shù)[1]。RFID利用射頻的方式進(jìn)行通信,從而對(duì)物品的信息進(jìn)行識(shí)別和采集。RFID技術(shù)有許多突出的優(yōu)點(diǎn),如不需要人工干預(yù)、不需要光學(xué)可視即可完成信息的輸入和處理,可以工作于各種環(huán)境,應(yīng)用便利,操作簡(jiǎn)便,壽命長(zhǎng)、數(shù)據(jù)安全[2]。RFID優(yōu)點(diǎn)突出,逐漸被廣泛應(yīng)用于跟蹤、交通、運(yùn)輸生產(chǎn)、設(shè)備管理、醫(yī)療、物流、防偽等需要進(jìn)行數(shù)據(jù)收集和處理的領(lǐng)域[2]。隨著微電子技術(shù)和大規(guī)模集成電路的發(fā)展,RFID產(chǎn)品的成本不斷降低,因此RFID可以應(yīng)用在工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中,如流水線生產(chǎn)自動(dòng)化管理、物品管理、倉(cāng)儲(chǔ)管理等。

    目前,許多制造型企業(yè)貨品管理主要是基于相應(yīng)規(guī)范的手工作業(yè)及電腦半自動(dòng)化管理實(shí)現(xiàn)的,其弊病顯而易見(jiàn),即需要投入大量人力進(jìn)行規(guī)范物品的放置、人工整理盤(pán)點(diǎn)以及手工出入庫(kù)登記等工作,這使得貨品管理十分繁瑣,浪費(fèi)大量時(shí)間?;贛ES系統(tǒng)的貨品管理系統(tǒng),對(duì)貨品各環(huán)節(jié)實(shí)施全過(guò)程控制管理,并可對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行產(chǎn)品名稱、參數(shù)、批次、客戶信息、配送、維保信息等記錄,實(shí)現(xiàn)電子標(biāo)簽檔案化管理,對(duì)整個(gè)生產(chǎn)、入庫(kù)、貨品查詢、貨品定位、出庫(kù)、發(fā)貨、物流、客戶收貨到返廠加工等各個(gè)環(huán)節(jié)的規(guī)范化作業(yè),還可根據(jù)需求定制多種生產(chǎn)趨勢(shì)圖及統(tǒng)計(jì)報(bào)表。將RFID技術(shù)引入貨品管理,淘汰了傳統(tǒng)手工書(shū)寫(xiě)輸入的步驟,解決數(shù)據(jù)信息陳舊滯后的弊病。掩模貨品管理系統(tǒng)能幫助企業(yè)合理有效地管理生產(chǎn)貨品的全流程,以快速、準(zhǔn)確、低成本的方式為企業(yè)生產(chǎn)管理提供最好的信息化服務(wù)。

    如圖4所示,該系統(tǒng)主要由RFID超高頻標(biāo)簽、超高頻RFID手持端、RFID標(biāo)簽錄入終端、智能貨柜、智能制造系統(tǒng)、智能制造服務(wù)云平臺(tái)六大部分組成。

    通過(guò)已經(jīng)定義的RFID標(biāo)簽,使每塊掩模版都擁有唯一的“身份”編號(hào),在掩模版的整個(gè)流轉(zhuǎn)生命周期中,所有信息都會(huì)以這個(gè)編碼記錄,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模版管理的智能化和數(shù)字化。通過(guò)RFID標(biāo)簽讀寫(xiě)器將掩模版的主要信息錄入標(biāo)簽內(nèi),同時(shí)將掩模版的詳細(xì)參數(shù)錄入云平臺(tái)數(shù)據(jù)庫(kù),建立該掩模版的電子檔案,與掩模版標(biāo)簽相綁定。RFID標(biāo)簽管控了掩模版的物資流,實(shí)現(xiàn)了物資流與數(shù)據(jù)流的統(tǒng)一。掩模版RFID數(shù)據(jù)定義如圖5所示。

    圖4 貨品管理系統(tǒng)架構(gòu)圖

    圖5 掩模版RFID數(shù)據(jù)定義圖

    掩模制版過(guò)程中,通過(guò)掃描RFID,可將信息接入MES系統(tǒng),每經(jīng)過(guò)一道工序便將信息上傳至服務(wù)器,并由系統(tǒng)處理后上傳至云平臺(tái)。在工序開(kāi)始前,先進(jìn)行掃碼確認(rèn),確認(rèn)是否是當(dāng)前工序、基版類型以及預(yù)計(jì)工藝時(shí)間、當(dāng)前產(chǎn)品預(yù)計(jì)完成時(shí)間等。工序結(jié)束后需要再次進(jìn)行掃碼記錄信息。制版過(guò)程中數(shù)據(jù)、信息實(shí)時(shí)上傳,為后續(xù)和客戶的交互提供了支持。工藝工程師則可以對(duì)掩模版的參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控和分析,提早發(fā)現(xiàn)問(wèn)題,避免產(chǎn)品報(bào)廢。

    智能貨柜系統(tǒng)(如圖6所示)的引入進(jìn)一步簡(jiǎn)化了生產(chǎn)過(guò)程中的物資流管理過(guò)程和掩模版的發(fā)貨流程,大大節(jié)約了時(shí)間。智能貨柜有著基版存取和智能發(fā)貨的功能,工程師將一天所需的基板提前放入智能貨柜中并分配RFID碼,產(chǎn)線根據(jù)智能貨柜的提示對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行生產(chǎn)。同時(shí),每個(gè)工藝環(huán)節(jié)站點(diǎn)都配有智能貨柜,工程師可以精確定位每塊掩模版的物理位置,及其所經(jīng)過(guò)的工藝過(guò)程。產(chǎn)品工藝結(jié)束后放回智能貨柜,發(fā)貨人員再根據(jù)貨柜提示進(jìn)行發(fā)貨。智能貨柜同時(shí)具備自動(dòng)分揀功能,可根據(jù)不同客戶的裝箱要求,最大程度地節(jié)約物流成本,減少了人工分揀的工作量,提高發(fā)貨的效率和準(zhǔn)確率。

    圖6 智能貨架系統(tǒng)架構(gòu)圖

    貨品發(fā)至客戶單位后,客戶利用其賬戶登錄手持端,可通過(guò)掃描掩模標(biāo)簽確認(rèn)貨品參數(shù)和規(guī)格信息??蛻粼诖_認(rèn)貨品參數(shù)無(wú)誤后,可點(diǎn)選手持端系統(tǒng)中的確認(rèn)收貨,完成收貨作業(yè),云平臺(tái)數(shù)據(jù)庫(kù)將該掩模版自動(dòng)劃入相應(yīng)客戶的數(shù)據(jù)庫(kù)中??蛻衾檬殖侄藪呙铇?biāo)簽時(shí),所有的掃描記錄和確認(rèn)收貨信息將會(huì)上傳至云平臺(tái)數(shù)據(jù)庫(kù)中,從而實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模貨品的物流及收貨管理。

    當(dāng)掩模版在客戶使用過(guò)程中出現(xiàn)問(wèn)題或到期需要維護(hù)時(shí),客戶可通過(guò)掃描掩模標(biāo)簽,并在手持端中點(diǎn)選返廠維護(hù)選項(xiàng),并填入相關(guān)備注及問(wèn)題,告知廠家該掩模需要返廠維護(hù),輸入物流信息后,云平臺(tái)將通知MES系統(tǒng)有掩模正在返廠的途中,提前排產(chǎn)。同時(shí)所有返廠維護(hù)、參數(shù)規(guī)格調(diào)整、出入庫(kù)和收發(fā)記錄將被云平臺(tái)記錄于數(shù)據(jù)庫(kù)中,實(shí)現(xiàn)對(duì)掩模版的全生命周期數(shù)字化管理。

    掩模制版是集成電路產(chǎn)業(yè)鏈中的一環(huán),是連接IC設(shè)計(jì)和晶圓流片的紐帶。依托RFID技術(shù),以掩模版為媒介,通過(guò)智能貨柜可推進(jìn)產(chǎn)業(yè)鏈智能化生產(chǎn)管理?;诨ヂ?lián)網(wǎng),通過(guò)掩模制版云平臺(tái)提高客戶和掩模廠商之間的交互度、簡(jiǎn)化流程、降低產(chǎn)品出錯(cuò)率。利用互聯(lián)網(wǎng)平臺(tái),使IC設(shè)計(jì)公司、掩模廠和晶圓廠商聯(lián)系更緊密,大大減少集成電路最終產(chǎn)品的生產(chǎn)周期。

    5 展望

    在國(guó)內(nèi)十二英寸晶圓線大力發(fā)展的時(shí)代背景下,在28 nm、14 nm先進(jìn)工藝平臺(tái)基礎(chǔ)上,建立面向工藝、檢測(cè)、量測(cè)、修補(bǔ)的統(tǒng)一數(shù)據(jù)鏈。基于并行運(yùn)算架構(gòu)與多協(xié)議遠(yuǎn)程安全接入技術(shù),進(jìn)一步打造高性能掩模數(shù)據(jù)設(shè)計(jì)、處理、制版私有云平臺(tái)。通過(guò)技術(shù)手段的提升,帶動(dòng)生產(chǎn)流程的優(yōu)化與管理方式的提升,實(shí)現(xiàn)掩模制版過(guò)程的自動(dòng)化和數(shù)字化。

    借助傳感器、機(jī)器人、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù),使產(chǎn)線設(shè)備具有數(shù)據(jù)加工與判斷能力,設(shè)備網(wǎng)絡(luò)化與數(shù)據(jù)采集自動(dòng)化,生產(chǎn)與信息化進(jìn)一步融合,徹底實(shí)現(xiàn)設(shè)備智能化、生產(chǎn)自動(dòng)化、生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)信息化,進(jìn)一步提升掩模制版智能化水平,打造“黑燈工廠”。智能化生產(chǎn)系統(tǒng)及過(guò)程,以及網(wǎng)絡(luò)化生產(chǎn)設(shè)施的實(shí)現(xiàn),涉及整個(gè)企業(yè)的生產(chǎn)管理、物流管理,實(shí)現(xiàn)人機(jī)互動(dòng),最終從以人為主要決策核心的人機(jī)和諧系統(tǒng)向以機(jī)器為主體的自主運(yùn)行轉(zhuǎn)變。

    推進(jìn)掩模制版私有云平臺(tái)與公有云對(duì)接,參與全社會(huì)化、全產(chǎn)業(yè)鏈的云制造、柔性生產(chǎn)。積極響應(yīng)“中國(guó)制造2025”,推進(jìn)“信息化”與“工業(yè)化”的兩化融合,通過(guò)對(duì)接集成電路工業(yè)云平臺(tái),實(shí)現(xiàn)掩模制版與集成電路產(chǎn)業(yè)鏈上下游之間的信息共享、數(shù)據(jù)交互、業(yè)務(wù)協(xié)同,推進(jìn)生產(chǎn)過(guò)程智能化,培育新型生產(chǎn)方式,全面提升企業(yè)研發(fā)、生產(chǎn)、管理和服務(wù)的智能化水平,最終實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈的智能生產(chǎn)。

    6 結(jié)論

    本文介紹了中微掩模電子有限公司的智能生產(chǎn)系統(tǒng),利用RFID技術(shù)實(shí)現(xiàn)了掩模制版的智能化管理。數(shù)字化的物料準(zhǔn)備、排產(chǎn)調(diào)度、設(shè)備互聯(lián)、工藝管理、遠(yuǎn)程監(jiān)控大大提高了制板的效率。掩模制版私有云平臺(tái)的引入也提高了和客戶之間的交互性,讓客戶可以實(shí)時(shí)了解產(chǎn)品的動(dòng)態(tài)。智能貨柜的引入進(jìn)一步完善了智能生產(chǎn)系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)了企業(yè)私有云制造。目前的生產(chǎn)系統(tǒng)還可以進(jìn)一步升級(jí),借助新興的物聯(lián)網(wǎng)技術(shù)可以實(shí)現(xiàn)由自動(dòng)化工廠到智能化工廠的轉(zhuǎn)變,對(duì)接IC設(shè)計(jì)公司和晶圓廠實(shí)現(xiàn)全產(chǎn)業(yè)鏈的智能生產(chǎn)。

    [1]吳永祥.射頻識(shí)別(RFID)技術(shù)研究現(xiàn)狀及發(fā)展展望[J].微計(jì)算機(jī)信息,2006,22(11Z):234-236.

    [2]李成淵.射頻識(shí)別技術(shù)的應(yīng)用與發(fā)展研究[J].無(wú)線互聯(lián)科技,2016(20):146-148.

    Digital Mask Manufacturing Based on RFID

    ZHANG Peng,DING Han,SHEN Tianyi,HU Chao
    (Wuxi Zhongwei Mask Electronics Co.,Ltd.,Wuxi 214135,China)

    In the paper,an intelligent production system for Wuxi Zhongwei Mask Electronics Company and RFID-based intelligent management of mask manufacturing process are presented.The use of intelligent production systems enhances the interaction with customers.The private cloud manufacturing of mask is realized by the intelligent container system.Based on the existing intelligent production management system, the conceptofintegrated circuitwhole industry chain intelligentmanufacturing isproposed.

    digitalmask manufacturing;full-lifecycle management

    TN305.7

    A

    1681-1070(2017)08-0044-05

    張鵬(1982—),男,山東海陽(yáng)人,畢業(yè)于東南大學(xué)計(jì)算機(jī)系,主要從事掩模數(shù)據(jù)處理與信息化建設(shè)相關(guān)工作。

    2017-6-8

    猜你喜歡
    掩模貨品數(shù)字化
    多出/入口倉(cāng)庫(kù)的貨位優(yōu)化研究
    化學(xué)品船適裝貨品的新要求及實(shí)船應(yīng)用
    家紡業(yè)亟待數(shù)字化賦能
    高中數(shù)學(xué)“一對(duì)一”數(shù)字化學(xué)習(xí)實(shí)踐探索
    基于直寫(xiě)技術(shù)的微納掩模制作技術(shù)研究進(jìn)展*
    高中數(shù)學(xué)“一對(duì)一”數(shù)字化學(xué)習(xí)實(shí)踐探索
    掩模圖像生成時(shí)閾值取值的合理性探討
    數(shù)字化制勝
    掩模位置誤差對(duì)光刻投影物鏡畸變的影響
    考慮疲勞和工作負(fù)荷的人工揀選貨品排程研究
    成人国产一区最新在线观看| 1024手机看黄色片| 国内精品久久久久精免费| 免费电影在线观看免费观看| 老司机深夜福利视频在线观看| 18禁裸乳无遮挡免费网站照片| 亚洲中文字幕一区二区三区有码在线看| 精品99又大又爽又粗少妇毛片 | 亚洲专区中文字幕在线| 欧美国产日韩亚洲一区| 一进一出抽搐gif免费好疼| 精品一区二区三区视频在线| avwww免费| 在线播放国产精品三级| 九九热线精品视视频播放| 永久网站在线| 国产精品久久电影中文字幕| 一个人免费在线观看的高清视频| 最新在线观看一区二区三区| 亚洲美女黄片视频| 国产在线精品亚洲第一网站| 毛片女人毛片| 婷婷六月久久综合丁香| 在线天堂最新版资源| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看| 搡女人真爽免费视频火全软件 | 亚州av有码| 国产精品野战在线观看| 精品午夜福利在线看| av在线老鸭窝| 国产精品一及| netflix在线观看网站| 一级作爱视频免费观看| 女人十人毛片免费观看3o分钟| 欧美在线黄色| 日韩欧美精品v在线| 成人国产一区最新在线观看| 在线观看66精品国产| 日韩欧美在线乱码| 1024手机看黄色片| 亚洲国产欧美人成| 精品国产三级普通话版| 成人av一区二区三区在线看| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 欧美乱色亚洲激情| 首页视频小说图片口味搜索| 女人被狂操c到高潮| 有码 亚洲区| 大型黄色视频在线免费观看| 中文字幕av在线有码专区| 午夜精品在线福利| 深夜精品福利| 精品不卡国产一区二区三区| 国产伦一二天堂av在线观看| 夜夜躁狠狠躁天天躁| 欧美日韩亚洲国产一区二区在线观看| 精品久久久久久久末码| 自拍偷自拍亚洲精品老妇| 一级黄色大片毛片| 欧美国产日韩亚洲一区| 国产精品嫩草影院av在线观看 | 久久国产精品影院| 亚洲第一电影网av| 18禁在线播放成人免费| 美女免费视频网站| a级一级毛片免费在线观看| 久久午夜福利片| av天堂在线播放| 国产视频内射| 国产欧美日韩精品亚洲av| 成人亚洲精品av一区二区| 亚洲经典国产精华液单 | 一区二区三区四区激情视频 | 国产黄a三级三级三级人| 国产探花在线观看一区二区| 久久人人爽人人爽人人片va | 色精品久久人妻99蜜桃| 欧美日韩国产亚洲二区| 亚洲人成伊人成综合网2020| 亚洲av不卡在线观看| 日本a在线网址| 男女视频在线观看网站免费| 免费人成视频x8x8入口观看| 欧美xxxx黑人xx丫x性爽| 淫秽高清视频在线观看| 观看美女的网站| 亚洲最大成人av| 在线观看av片永久免费下载| 少妇的逼水好多| 免费在线观看亚洲国产| 一个人免费在线观看的高清视频| 国产野战对白在线观看| 成年版毛片免费区| 成人美女网站在线观看视频| 在线免费观看不下载黄p国产 | 国内精品久久久久精免费| 久久九九热精品免费| a级毛片免费高清观看在线播放| 亚洲av五月六月丁香网| 99久久成人亚洲精品观看| 男人和女人高潮做爰伦理| 长腿黑丝高跟| 日本免费一区二区三区高清不卡| 欧美一级a爱片免费观看看| av视频在线观看入口| 日本黄色视频三级网站网址| 老女人水多毛片| 国产视频内射| a在线观看视频网站| www.999成人在线观看| 在线观看av片永久免费下载| 中文字幕高清在线视频| 黄色视频,在线免费观看| 中文字幕人成人乱码亚洲影| 波多野结衣高清无吗| 亚洲,欧美,日韩| 午夜日韩欧美国产| 99久久99久久久精品蜜桃| 99久久99久久久精品蜜桃| 老司机深夜福利视频在线观看| 日韩精品中文字幕看吧| 一个人看的www免费观看视频| 看十八女毛片水多多多| 中文字幕人妻熟人妻熟丝袜美| 国产 一区 欧美 日韩| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 国产欧美日韩精品一区二区| 国产精品不卡视频一区二区 | 成人三级黄色视频| 国产一区二区在线观看日韩| 免费在线观看影片大全网站| 99视频精品全部免费 在线| 国产精品1区2区在线观看.| 亚洲av五月六月丁香网| 国产精品1区2区在线观看.| 亚洲人成网站在线播放欧美日韩| 三级国产精品欧美在线观看| 日本精品一区二区三区蜜桃| 最近在线观看免费完整版| 丰满人妻熟妇乱又伦精品不卡| 在线十欧美十亚洲十日本专区| 国产午夜精品久久久久久一区二区三区 | 白带黄色成豆腐渣| 日韩中字成人| 91在线精品国自产拍蜜月| 在线免费观看不下载黄p国产 | 在线播放国产精品三级| 麻豆成人av在线观看| 午夜a级毛片| 在线观看美女被高潮喷水网站 | 亚洲午夜理论影院| 亚洲专区中文字幕在线| a级毛片a级免费在线| 欧美zozozo另类| 色尼玛亚洲综合影院| 亚洲av五月六月丁香网| 色综合亚洲欧美另类图片| 国产精品久久久久久人妻精品电影| 国产69精品久久久久777片| 真人做人爱边吃奶动态| 亚洲精品在线观看二区| 最近视频中文字幕2019在线8| 精品人妻熟女av久视频| 成人欧美大片| 身体一侧抽搐| 亚洲av免费在线观看| 免费在线观看亚洲国产| 搡老熟女国产l中国老女人| 亚洲专区中文字幕在线| 中文字幕熟女人妻在线| 国产日本99.免费观看| 麻豆一二三区av精品| 神马国产精品三级电影在线观看| 国产精品女同一区二区软件 | 欧美高清性xxxxhd video| netflix在线观看网站| 小说图片视频综合网站| av欧美777| 舔av片在线| 真人一进一出gif抽搐免费| 国产大屁股一区二区在线视频| 精品福利观看| 久久婷婷人人爽人人干人人爱| 老鸭窝网址在线观看| 亚洲人成网站在线播| 美女被艹到高潮喷水动态| 99国产极品粉嫩在线观看| 国产精品日韩av在线免费观看| 真人一进一出gif抽搐免费| 久久久久精品国产欧美久久久| 国产精品一区二区三区四区免费观看 | 十八禁网站免费在线| 久久久国产成人免费| 又黄又爽又刺激的免费视频.| 天天一区二区日本电影三级| 婷婷六月久久综合丁香| 中文字幕精品亚洲无线码一区| 中文字幕高清在线视频| 亚洲精品日韩av片在线观看| 99国产精品一区二区蜜桃av| 国产精品电影一区二区三区| 亚洲精品亚洲一区二区| av在线天堂中文字幕| 午夜激情福利司机影院| 天天一区二区日本电影三级| 天堂√8在线中文| 麻豆成人午夜福利视频| 亚洲无线观看免费| 色在线成人网| 少妇裸体淫交视频免费看高清| 午夜精品久久久久久毛片777| 欧美高清成人免费视频www| 午夜福利在线在线| 观看美女的网站| 亚洲一区高清亚洲精品| 国产精品98久久久久久宅男小说| 天堂动漫精品| 男女床上黄色一级片免费看| 日本一二三区视频观看| 国产伦一二天堂av在线观看| 床上黄色一级片| 99久国产av精品| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 久久亚洲真实| 国产伦在线观看视频一区| 亚洲av免费在线观看| 免费看日本二区| 国产一区二区三区视频了| 色哟哟·www| 非洲黑人性xxxx精品又粗又长| 波多野结衣巨乳人妻| 我的老师免费观看完整版| 九九久久精品国产亚洲av麻豆| 嫁个100分男人电影在线观看| 老女人水多毛片| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片 | h日本视频在线播放| 国产精品久久久久久精品电影| 久久精品综合一区二区三区| 男插女下体视频免费在线播放| 成人一区二区视频在线观看| 国产男靠女视频免费网站| 观看美女的网站| 国产单亲对白刺激| 久久久久国产精品人妻aⅴ院| 久久精品国产亚洲av香蕉五月| 毛片女人毛片| 午夜日韩欧美国产| 日本 av在线| 乱人视频在线观看| 两人在一起打扑克的视频| 国产精品久久久久久久电影| 精品久久国产蜜桃| 首页视频小说图片口味搜索| 日本成人三级电影网站| av视频在线观看入口| 亚洲第一电影网av| 大型黄色视频在线免费观看| 久久久久国内视频| 午夜视频国产福利| 亚洲自偷自拍三级| 能在线免费观看的黄片| 午夜两性在线视频| av视频在线观看入口| 国产aⅴ精品一区二区三区波| 村上凉子中文字幕在线| 亚洲国产精品成人综合色| 亚洲午夜理论影院| 久久这里只有精品中国| 免费观看的影片在线观看| 欧美丝袜亚洲另类 | 亚洲美女搞黄在线观看 | 97超级碰碰碰精品色视频在线观看| 91在线观看av| 亚洲激情在线av| 午夜精品久久久久久毛片777| 国产精品不卡视频一区二区 | 国产精品嫩草影院av在线观看 | 日本一本二区三区精品| 久久欧美精品欧美久久欧美| 国产伦人伦偷精品视频| 国产成人a区在线观看| 国产爱豆传媒在线观看| 观看美女的网站| 国产在线男女| 黄色女人牲交| 一级作爱视频免费观看| 国产精品亚洲美女久久久| 五月玫瑰六月丁香| 国产又黄又爽又无遮挡在线| 大型黄色视频在线免费观看| 日韩高清综合在线| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片 | 久久精品人妻少妇| 在线观看午夜福利视频| 国产在线男女| av欧美777| 欧美成人一区二区免费高清观看| 国产精品永久免费网站| 91av网一区二区| 国产精品久久视频播放| 免费av观看视频| 亚洲 国产 在线| 美女xxoo啪啪120秒动态图 | 偷拍熟女少妇极品色| 亚洲av电影不卡..在线观看| 一进一出抽搐gif免费好疼| 美女高潮喷水抽搐中文字幕| 亚洲不卡免费看| 12—13女人毛片做爰片一| 乱人视频在线观看| 99热精品在线国产| av欧美777| 国产淫片久久久久久久久 | 欧美日韩综合久久久久久 | 国产精品免费一区二区三区在线| 国产视频内射| 日本黄大片高清| 国产精品日韩av在线免费观看| 国产精品久久久久久久久免 | 国产欧美日韩一区二区三| 可以在线观看的亚洲视频| 成人高潮视频无遮挡免费网站| 欧美午夜高清在线| 蜜桃久久精品国产亚洲av| 日韩欧美 国产精品| 精品免费久久久久久久清纯| 亚洲欧美激情综合另类| 中文字幕av成人在线电影| 久久6这里有精品| 国产色爽女视频免费观看| 他把我摸到了高潮在线观看| 亚洲人成电影免费在线| 久久久久久久久久成人| 超碰av人人做人人爽久久| 日韩欧美在线二视频| 午夜精品一区二区三区免费看| 亚洲成人中文字幕在线播放| 亚洲av免费高清在线观看| 搡老熟女国产l中国老女人| 国产一区二区亚洲精品在线观看| 级片在线观看| 午夜两性在线视频| 国产av不卡久久| 能在线免费观看的黄片| 在线天堂最新版资源| 免费观看人在逋| 性欧美人与动物交配| 成人特级黄色片久久久久久久| 亚洲性夜色夜夜综合| 欧美丝袜亚洲另类 | 免费av不卡在线播放| 有码 亚洲区| 免费黄网站久久成人精品 | 一二三四社区在线视频社区8| 国产精品永久免费网站| 色在线成人网| 十八禁人妻一区二区| 免费av不卡在线播放| 乱人视频在线观看| www.熟女人妻精品国产| 精华霜和精华液先用哪个| 国产欧美日韩一区二区精品| 亚洲av二区三区四区| 日本a在线网址| 可以在线观看毛片的网站| 97人妻精品一区二区三区麻豆| 夜夜夜夜夜久久久久| 国产一级毛片七仙女欲春2| 亚洲性夜色夜夜综合| 一级av片app| 国产野战对白在线观看| 在现免费观看毛片| 亚洲最大成人中文| 日韩欧美免费精品| 亚洲欧美日韩高清在线视频| 国产欧美日韩精品亚洲av| 欧洲精品卡2卡3卡4卡5卡区| 99久久久亚洲精品蜜臀av| 亚洲av第一区精品v没综合| 国产成人a区在线观看| 国产三级中文精品| 两人在一起打扑克的视频| 国产精品一区二区性色av| 亚洲av第一区精品v没综合| 成年女人毛片免费观看观看9| 日韩欧美精品v在线| 亚洲人成电影免费在线| 亚洲专区国产一区二区| 欧美激情在线99| netflix在线观看网站| 99热只有精品国产| 又黄又爽又刺激的免费视频.| eeuss影院久久| 51国产日韩欧美| 久久精品人妻少妇| 久9热在线精品视频| 真实男女啪啪啪动态图| 亚洲熟妇中文字幕五十中出| 国产在线精品亚洲第一网站| 每晚都被弄得嗷嗷叫到高潮| 亚洲人成伊人成综合网2020| 国产一级毛片七仙女欲春2| 搡老妇女老女人老熟妇| 757午夜福利合集在线观看| 中文字幕熟女人妻在线| 精品99又大又爽又粗少妇毛片 | ponron亚洲| 丝袜美腿在线中文| 亚洲成av人片在线播放无| 久久精品夜夜夜夜夜久久蜜豆| 亚洲av不卡在线观看| av中文乱码字幕在线| 禁无遮挡网站| 国内精品美女久久久久久| 男女视频在线观看网站免费| 亚洲中文字幕日韩| 熟女人妻精品中文字幕| 无遮挡黄片免费观看| 免费看日本二区| 国产高清激情床上av| 国产大屁股一区二区在线视频| 国产高清视频在线观看网站| a级一级毛片免费在线观看| 黄色视频,在线免费观看| 天天一区二区日本电影三级| 午夜老司机福利剧场| 不卡一级毛片| 热99re8久久精品国产| 亚洲自拍偷在线| 亚洲欧美精品综合久久99| 亚洲美女视频黄频| 国产高清三级在线| 亚洲无线在线观看| 人妻制服诱惑在线中文字幕| 久久久久九九精品影院| 亚洲 国产 在线| 欧美3d第一页| www.色视频.com| 精品人妻一区二区三区麻豆 | 99热这里只有精品一区| 人人妻人人澡欧美一区二区| 亚洲成人免费电影在线观看| 最近中文字幕高清免费大全6 | 亚洲av日韩精品久久久久久密| 国产精品电影一区二区三区| 亚洲熟妇中文字幕五十中出| 韩国av一区二区三区四区| 他把我摸到了高潮在线观看| 精品午夜福利视频在线观看一区| av中文乱码字幕在线| 男插女下体视频免费在线播放| 亚洲专区国产一区二区| 亚洲精品影视一区二区三区av| 国产伦一二天堂av在线观看| 欧美一区二区国产精品久久精品| 好看av亚洲va欧美ⅴa在| 淫秽高清视频在线观看| 国产欧美日韩精品一区二区| 日韩欧美一区二区三区在线观看| 国产aⅴ精品一区二区三区波| 午夜a级毛片| 首页视频小说图片口味搜索| 一a级毛片在线观看| 尤物成人国产欧美一区二区三区| 久久精品国产自在天天线| 免费在线观看亚洲国产| 嫩草影视91久久| 久久99热6这里只有精品| 成人av一区二区三区在线看| 成年免费大片在线观看| 人人妻,人人澡人人爽秒播| 国产人妻一区二区三区在| 午夜免费成人在线视频| 99精品久久久久人妻精品| 小说图片视频综合网站| 欧美xxxx性猛交bbbb| 国产一级毛片七仙女欲春2| 日本 欧美在线| 三级男女做爰猛烈吃奶摸视频| 嫩草影院入口| 高潮久久久久久久久久久不卡| 国产一区二区激情短视频| 日日夜夜操网爽| 国内毛片毛片毛片毛片毛片| 国产精品99久久久久久久久| 中文字幕熟女人妻在线| 人妻久久中文字幕网| 国产私拍福利视频在线观看| av黄色大香蕉| 亚洲国产精品999在线| 中文在线观看免费www的网站| 在线观看一区二区三区| 又爽又黄无遮挡网站| 国产免费av片在线观看野外av| 亚洲久久久久久中文字幕| 深夜a级毛片| 亚洲一区高清亚洲精品| 一级黄色大片毛片| 麻豆成人午夜福利视频| 国产高潮美女av| 成人无遮挡网站| 欧美不卡视频在线免费观看| 69人妻影院| av福利片在线观看| 成人无遮挡网站| 亚洲精品亚洲一区二区| 精品无人区乱码1区二区| 一区二区三区激情视频| 日本撒尿小便嘘嘘汇集6| 91字幕亚洲| 成人午夜高清在线视频| 国产一级毛片七仙女欲春2| 久久久久国内视频| 91午夜精品亚洲一区二区三区 | 婷婷丁香在线五月| 12—13女人毛片做爰片一| 国产精品久久久久久久久免 | 亚洲国产欧洲综合997久久,| 韩国av一区二区三区四区| 嫩草影院精品99| 国产午夜精品论理片| 俄罗斯特黄特色一大片| 亚洲国产精品sss在线观看| 青草久久国产| 91狼人影院| 毛片一级片免费看久久久久 | 一本精品99久久精品77| 国产不卡一卡二| 欧美潮喷喷水| 亚洲av日韩精品久久久久久密| 亚洲在线自拍视频| 一个人免费在线观看电影| 欧美绝顶高潮抽搐喷水| 国产精品自产拍在线观看55亚洲| 国产熟女xx| 我要搜黄色片| 丁香六月欧美| 日韩av在线大香蕉| 婷婷亚洲欧美| 一级作爱视频免费观看| 又粗又爽又猛毛片免费看| 欧美日韩福利视频一区二区| 精品人妻视频免费看| 久久草成人影院| 波多野结衣高清无吗| 国内精品久久久久久久电影| 欧美日本亚洲视频在线播放| 热99re8久久精品国产| 精品久久久久久久久亚洲 | 国产伦精品一区二区三区视频9| 亚洲avbb在线观看| 欧美日本亚洲视频在线播放| 精品日产1卡2卡| 色噜噜av男人的天堂激情| 中文字幕久久专区| 成年女人永久免费观看视频| 成人精品一区二区免费| 成人无遮挡网站| 欧美三级亚洲精品| 青草久久国产| 91av网一区二区| 亚洲国产精品久久男人天堂| 草草在线视频免费看| netflix在线观看网站| 欧美日韩乱码在线| 亚洲色图av天堂| 成人无遮挡网站| 最近最新中文字幕大全电影3| 亚洲性夜色夜夜综合| 一个人看视频在线观看www免费| 日本免费a在线| 99久久久亚洲精品蜜臀av| 午夜激情福利司机影院| 2021天堂中文幕一二区在线观| 亚洲久久久久久中文字幕| 国产欧美日韩一区二区三| 国产精品亚洲美女久久久| 免费观看人在逋| 日日摸夜夜添夜夜添av毛片 | 亚洲精品成人久久久久久| 国产探花在线观看一区二区| 久久久久久久精品吃奶| 在线a可以看的网站| 久久午夜福利片| 午夜两性在线视频| xxxwww97欧美| 欧美在线黄色| 亚洲久久久久久中文字幕| 国产高潮美女av| 美女 人体艺术 gogo| 亚洲乱码一区二区免费版| 特大巨黑吊av在线直播| 国产91精品成人一区二区三区| 窝窝影院91人妻| 一边摸一边抽搐一进一小说| 成人特级黄色片久久久久久久| 欧美中文日本在线观看视频| 久久久成人免费电影| 91狼人影院| 亚洲精品影视一区二区三区av| 国内精品美女久久久久久| 在线看三级毛片| 3wmmmm亚洲av在线观看| 亚洲在线自拍视频| 久久久精品欧美日韩精品| 国产精品人妻久久久久久| 欧美一区二区亚洲| 欧美乱色亚洲激情| 一进一出抽搐动态| 精品久久久久久,| a级一级毛片免费在线观看| 制服丝袜大香蕉在线| 欧美不卡视频在线免费观看| 国产成人aa在线观看|