《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)淺談

呂品+邱巍+岳成君

摘要：“半導(dǎo)體制造技術(shù)”是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的主干課程之一。本文首先分析了“半導(dǎo)體制造技術(shù)”雙語教學(xué)中存在的問題，然后重點(diǎn)詳述了該課程雙語教學(xué)的教學(xué)實(shí)踐，最后對其未來的發(fā)展進(jìn)行了初步探討。

關(guān)鍵詞：雙語教學(xué)；半導(dǎo)體制造技術(shù)；CMOS工藝集成

中圖分類號：G642.4 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號：1674-9324（2017）11-0213-02

隨著中國加入WTO及中國改革開放的日趨深化，使得我國對雙語復(fù)合型人才的需求程度迅速提高。為了培養(yǎng)雙語復(fù)合型人才，2001年教育部頒發(fā)的《關(guān)于加強(qiáng)高等學(xué)校本科教學(xué)工作提高教學(xué)質(zhì)量的若干意見》中對高等院校的本科教學(xué)提出了使用英語等外語進(jìn)行公共課和專業(yè)課教學(xué)的要求[1]?！半p語教學(xué)”的英文是“bilingual teaching”。《朗曼應(yīng)用語言學(xué)詞典》給出的定義是“The use of a second or foreign language in school for the teaching of content subjects”，即能在學(xué)校里使用第二語言或外語進(jìn)行各門學(xué)科的教學(xué)[2]。

《半導(dǎo)體制造技術(shù)》是電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)的主干課程，系統(tǒng)介紹了集成電路芯片的制造工藝及工藝原理，詳細(xì)描述了集成電路制造的全過程。學(xué)生在初步掌握硅材料制備、氧化、淀積、光刻、刻蝕、離子注入、金屬化、化學(xué)機(jī)械平坦化等工藝及其設(shè)備的基礎(chǔ)上，掌握CMOS、雙極集成電路的工藝集成及測試封裝等。

一、《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)存在的問題

《半導(dǎo)體制造技術(shù)》涉及電子、機(jī)械、材料、制造、物理、化學(xué)等多種學(xué)科，其理論性和實(shí)踐性均較強(qiáng)，且內(nèi)容更新快，在這樣的課程中開展雙語教學(xué)必定會遇到一些問題。

1.學(xué)生英語聽、說、閱讀能力有待提高。《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語課的授課對象是大三學(xué)生。經(jīng)過兩年多的大學(xué)本科教育，大三的學(xué)生雖然具備了一定的專業(yè)基礎(chǔ)知識，大多數(shù)學(xué)生過了國家英語四級考試，而少部分學(xué)生過了國家英語六級考試，但學(xué)生的聽、說、讀、寫訓(xùn)練也僅限于圍繞《大學(xué)英語》課程及應(yīng)試來進(jìn)行，致使學(xué)生們并沒有將這些技能應(yīng)用于專業(yè)知識的學(xué)習(xí)。學(xué)生們沒有接觸過專業(yè)英語，英語專業(yè)詞匯掌握得少之又少，也缺乏英語專業(yè)論文閱讀的經(jīng)驗(yàn)，專業(yè)論文的寫作更無從談起?！栋雽?dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》課程內(nèi)容廣泛，知識點(diǎn)多。雙語教學(xué)中要求學(xué)生在英語環(huán)境中聽、讀并掌握這些專業(yè)知識點(diǎn)有相當(dāng)?shù)碾y度。

2.雙語教學(xué)師資短缺。雙語教學(xué)教師不僅要有過硬的教學(xué)能力和系統(tǒng)的專業(yè)知識，還要有精深的專業(yè)英語和流利的英語口語功底。這樣不僅讓學(xué)生系統(tǒng)掌握了專業(yè)知識，而且能運(yùn)用外語熟練進(jìn)行專業(yè)交流，使他們的整體素質(zhì)得以提高。近年來雖國內(nèi)外交流日益頻繁，但就我校的情況而言聘請的國外專家學(xué)者、海歸博士等多從事經(jīng)濟(jì)、金融等領(lǐng)域，還沒有從事電子科學(xué)相關(guān)領(lǐng)域的外聘的國外學(xué)者和海歸博士。雙語教學(xué)的任務(wù)主要由有過旅美經(jīng)歷的、有豐富的專業(yè)課教學(xué)經(jīng)驗(yàn)的高級教師來負(fù)責(zé)。但具備這樣條件的教師數(shù)量也非常有限，不能形成團(tuán)隊(duì)協(xié)作。

3.教材及教學(xué)方法的選擇?！栋雽?dǎo)體制造技術(shù)》國內(nèi)外教材很多，各教材側(cè)重點(diǎn)不同，有的偏重于科學(xué)研究，有的偏重于工程實(shí)踐；內(nèi)容各不盡相同；難易程度各不相同；受者群也各不相同。從良莠不齊的眾多教材中選擇合適的教材是至關(guān)重要的。選擇什么樣的教學(xué)方法也是要重點(diǎn)思考的，以最大程度地提高學(xué)生的專業(yè)知識和專業(yè)英語讀、說、寫能力。

二、《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)實(shí)踐

本文第一作者于2013年夏季小學(xué)期開設(shè)《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語課，授課對象為電子科學(xué)與技術(shù)專業(yè)三年級本科生。此時三年級本科生已經(jīng)學(xué)過了《半導(dǎo)體工藝》，掌握了《半導(dǎo)體制造技術(shù)》的基本概念、工藝原理及流程。在此基礎(chǔ)上開設(shè)《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)既能鞏固相關(guān)的專業(yè)知識，也能掌握專業(yè)英語的聽、說、閱讀能力。

1.教材。綜合考慮各種因素，本課程選擇的教材是英文版的《硅超大規(guī)模集成電路工藝技術(shù)：理論、實(shí)踐與模型》，作者James D.Plummer等，由電子工業(yè)出版社出版。該教材內(nèi)容由淺入深，寫作簡單明了易于理解，適于大專院校電子專業(yè)高年級學(xué)生使用?？紤]到學(xué)生的英語水平及授課時間的限制，雙語教學(xué)僅選擇該教材的第二章《CMOS工藝集成——CMOS反相器制造工藝流程》。輔助教材為中文版的《芯片制造——半導(dǎo)體工藝制程實(shí)用教程》（第五版），作者Peter Van Zant，韓鄭生等譯，由電子工業(yè)出版社出版。

2.教學(xué)方法?？紤]到學(xué)生的實(shí)際情況，本雙語課程采用英文教材，英文版書，中英文授課的模式。課前要求學(xué)生充分預(yù)習(xí)。課堂上教師對基礎(chǔ)英語中常見的重點(diǎn)詞匯、固定搭配、句式結(jié)構(gòu)等進(jìn)行適當(dāng)講述，在此基礎(chǔ)上重點(diǎn)講解專業(yè)詞匯及科技文獻(xiàn)常用的表達(dá)方式。通過舉例歸納總結(jié)詞匯的專業(yè)性及日常應(yīng)用中的差異及科技文獻(xiàn)與通俗小說等寫作手法的不同。讓學(xué)生們參與教學(xué)，由學(xué)生先用英文通讀一段再用中文來講解，再由老師進(jìn)行講解總結(jié)。同時每次課都會利用一定的時間給學(xué)生播放Intel和斯坦福等多家機(jī)構(gòu)聯(lián)合出品的《Silicon Run》，該套視頻是微電子行業(yè)的經(jīng)典紀(jì)錄片，其詳細(xì)講述了硅集成電路（IC）工藝制程中的各單項(xiàng)工藝，如晶圓的制備、氧化、光刻、淀積、離子注入、刻蝕、金屬化、封裝等等。讓學(xué)生們生動形象地了解實(shí)際生產(chǎn)線上各工藝的同時，也能練習(xí)聽力，課后還能跟讀，一舉三得。待到學(xué)生聽、說、讀英語的能力提高了，教學(xué)模式最終會過渡到英文教材，英文版書，英語授課。

3.教學(xué)反饋。課程結(jié)束前對教學(xué)效果進(jìn)行的調(diào)查問卷顯示[3]，80%的學(xué)生認(rèn)為本課程教學(xué)有助于提高自己的專業(yè)英語水平，對閱讀專業(yè)英文論文及著作起到了拋磚引玉的作用。學(xué)生們認(rèn)為教學(xué)中的視頻在提高聽力的同時，讓他們更真切地了解了實(shí)際生產(chǎn)線上器件、集成電路的制造過程。

三、對開展《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)的幾點(diǎn)建議

通過幾年的《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)實(shí)踐，針對當(dāng)前的不足進(jìn)行了有益的探索，對開展雙語教學(xué)有幾點(diǎn)建議僅供探討。

1.在授課中意識到很多學(xué)生對英語心理上存在恐懼感，限制了他們學(xué)習(xí)的積極性，同時許多學(xué)生誤認(rèn)為專業(yè)英語的學(xué)習(xí)是重點(diǎn)，而忽略了專業(yè)英語只是教學(xué)工具，利用這個工具或媒介掌握專業(yè)知識才是根本。只有克服對英語的恐懼感，對雙語教學(xué)有正確認(rèn)識才能達(dá)到預(yù)期效果。

2.針對雙語教學(xué)師資缺乏的情況，學(xué)校應(yīng)依據(jù)“引進(jìn)來，送出去”的原則，在大力加強(qiáng)外國專家學(xué)者、海歸博士引進(jìn)工作的同時，可在校內(nèi)組織專門的培訓(xùn)，或者通過送到外校學(xué)習(xí)的形式提升教師講授雙語課的綜合能力。如果有條件聘請國外相關(guān)領(lǐng)域的知名專家學(xué)者、海歸博士與本校教師組成雙語課教學(xué)團(tuán)隊(duì)不失為非常好的解決辦法。

3.雙語教學(xué)應(yīng)循序漸進(jìn)，不能操之過急。雙語教學(xué)不能一蹴而就，防止一味硬灌和被動接受。應(yīng)循序漸進(jìn)，因地制宜，因材施教。教師與學(xué)生應(yīng)相互配合，相互信任，充分發(fā)揮各自的積極性和主動性，從雙語的教與學(xué)中獲得知識，收獲快樂。

四、結(jié)束語

雙語教學(xué)是培養(yǎng)復(fù)合型人才必不可少的手段。雖然國內(nèi)的雙語教學(xué)開展了十多年也取得了長足的進(jìn)步，但仍有諸多問題需要探討。本文介紹了《半導(dǎo)體制造技術(shù)之CMOS工藝集成》雙語教學(xué)的教學(xué)實(shí)踐并提出了相關(guān)的建議，以便完善今后的雙語教學(xué)實(shí)踐。

參考文獻(xiàn)：

[1]徐曉娟，屈健，梁亞秋.材料科學(xué)基礎(chǔ)課程雙語教學(xué)的調(diào)查與分析[J].硅谷，2010，（1）.

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[3]桑應(yīng)朋，李悒東，鄔俊.操作系統(tǒng)課程雙語教學(xué)時間與探討[J].教育教學(xué)論壇，2016，（19）.

Discussion on Bilingual Teaching in Semiconductor Fabrication Technology-CMOS Process Integration

LV Pina，QIU Weia，YUE Cheng-junb

（a. Physics School，Liaoning University；

b. College of Information，Liaoning University，Shenyang 110036，China）

Abstract："Semiconductor Fabrication Technology" is one of the major backbone curriculum of Electronic Science and technology. First，the existing problems in the bilingual teaching of "Semiconductor Fabrication Technology" are analyzed in this paper. Then，the teaching practice of bilingual teaching in the course is elaborated. Finally，the future developments of it are discussed.

Key words：bilingual teaching；Semiconductor Fabrication Technology；CMOS process integration