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    碳/碳復(fù)合材料在直拉單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用

    2016-09-05 03:33:42黃旭光楊運(yùn)忠彭豪豪董彥萌
    物理通報 2016年6期
    關(guān)鍵詞:熱場單晶硅單晶

    黃旭光 楊運(yùn)忠 彭豪豪 董彥萌

    (晶龍實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司  河北 邢臺 055550)

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    碳/碳復(fù)合材料在直拉單晶硅生產(chǎn)中的應(yīng)用

    黃旭光楊運(yùn)忠彭豪豪董彥萌⑤

    (晶龍實(shí)業(yè)集團(tuán)有限公司 河北 邢臺055550)

    單晶硅是太陽能電池的基礎(chǔ)材料,在直拉法單晶硅生產(chǎn)工藝中需要使用大量的等靜壓石墨材料制作熱場,隨著單晶硅生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大和所用熱場日漸大型化,應(yīng)用新型的碳/碳復(fù)合材料制作單晶爐熱場成為必然趨勢.碳/碳復(fù)合材料適合于制作大尺寸耐高溫?zé)釄?,并且使用壽命長、穩(wěn)定性高、節(jié)能效果好.

    碳/碳復(fù)合材料單晶爐熱場

    1 研發(fā)背景

    當(dāng)前,國內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)迅猛發(fā)展,已成為為數(shù)不多的中國在國際上保持優(yōu)勢地位的制造業(yè)之一.晶硅電池產(chǎn)業(yè)鏈分為硅原料制備、單晶硅棒多晶硅錠制備、硅片多線切割、電池片生產(chǎn)、組件生產(chǎn)、終端發(fā)電系統(tǒng)應(yīng)用6個主要環(huán)節(jié).在單晶硅棒生產(chǎn)環(huán)節(jié)中,為提高生產(chǎn)效率、降低成本,各企業(yè)均不斷進(jìn)行技術(shù)革新,而其中最為重要的兩項(xiàng)內(nèi)容是降低耗材使用成本和降低電耗.原有單晶爐普遍采用等靜壓石墨材料制作耐高溫?zé)釄?,但石墨材料使用壽命有限,并且受限于機(jī)械強(qiáng)度很難做薄或加工成異型結(jié)構(gòu).新型的碳/碳復(fù)合材料具有使用壽命長、穩(wěn)定性高、節(jié)能效果好、易于超薄加工及可加工成異型結(jié)構(gòu)等優(yōu)勢,并且隨著其生產(chǎn)規(guī)模的擴(kuò)大,價格下降明顯,未來必將在單晶爐熱場中廣泛使用.

    2 技術(shù)分析

    2.1直拉法生長單晶硅

    直拉法生長單晶硅是一種十分成熟的硅單晶生長方法,其特點(diǎn)是通過電阻加熱方式使盛放在石英坩堝中的硅原料熔化成液態(tài),通過控制加熱器的功率,升高或降低熔硅的溫度,使其達(dá)到晶體生長的適宜溫度,此時將特定晶向的籽晶與熔硅接觸并生長放大,同時通過提拉機(jī)構(gòu)向上旋轉(zhuǎn)提拉,從而逐漸生長出一根特定晶向、直徑均勻的單晶硅棒.

    熱場是單晶硅生長的最重要條件,現(xiàn)階段熱場的主要部件多由石墨材料構(gòu)成,圖1為典型的直拉單晶硅石墨熱場結(jié)構(gòu).石墨熱場主要分為3層結(jié)構(gòu):內(nèi)層是石墨坩堝、堝托、堝桿,主要作用是支撐石英坩堝及其內(nèi)部的高溫熔硅并帶動其旋轉(zhuǎn)升降;中層是石墨加熱器,主要作用是通過電阻加熱的方式,使硅原料升溫到1 420℃以上熔化,并時刻控制熱場內(nèi)溫度,保證拉晶環(huán)境;外層是上下保溫蓋和中段保溫桶及其配套保溫碳?xì)?,作用是將爐腔內(nèi)的高溫區(qū)與單晶爐不銹鋼爐體隔絕,最大限度降低熱量散失并保護(hù)爐體及人員安全.熱場的設(shè)計必須科學(xué)合理,熱場溫度梯度的分布(圖2)直接影響著能否順利拉制單晶以及成品單晶硅的品質(zhì)優(yōu)劣.

    圖1 石墨熱場實(shí)物圖 圖2 單晶爐內(nèi)熱場溫度梯度分布

    2.2碳/碳復(fù)合材料

    碳/碳復(fù)合材料是以碳纖維及其織物為增強(qiáng)材料,以碳為基體的復(fù)合材料,具有比強(qiáng)度高、比模量高、熱膨脹系數(shù)低、導(dǎo)電性好、斷裂朝性大、比重低、抗熱震、耐腐蝕、耐高溫等一系列優(yōu)良性能,目前作為新型耐高溫材料已廣泛應(yīng)用于航空航天、賽車、生物材料等領(lǐng)域.

    在直拉單晶硅生產(chǎn)的應(yīng)用中,碳/碳復(fù)合材料對比石墨材料的優(yōu)勢主要有:

    (1)表1所示為碳/碳復(fù)合材料與石墨材料的物理特性對比數(shù)據(jù),從中可以看出碳/碳復(fù)合材料的強(qiáng)度遠(yuǎn)大于石墨材料,其尺寸穩(wěn)定性、耐沖擊性、抗震性和綜合機(jī)械性能都要好于石墨材料.因此,碳/碳復(fù)合材料能夠做的更薄,并且能夠加工成異型工件.

    表1 碳/碳復(fù)合材料與石墨材料物理特性對比

    (2)在直拉單晶硅生產(chǎn)中,隨著單晶尺寸的加大,熱場尺寸也逐年擴(kuò)大,由早期的18英寸(1英寸=0.025m)、20英寸、22英寸熱場,逐步擴(kuò)展為24英寸、26英寸,甚至28英寸熱場.在加工工藝方面,目前大尺寸石墨均是等靜壓成型,尺寸越大成本越高,而且等靜壓石墨是首先制備實(shí)心棒料或塊料,再按圖紙尺寸加工成配件,在加工過程中材料浪費(fèi)嚴(yán)重;而碳/碳復(fù)合材料可以根據(jù)產(chǎn)品需要編織出任意尺寸和形狀的預(yù)制件,再通過一定的增密工藝(浸漬或氣相沉積)制造出所需產(chǎn)品,因此產(chǎn)品尺寸越大其性價比也就越高.由于等靜壓石墨材料尺寸加大所付出的成本代價很大,而碳/碳復(fù)合材料尺寸加大對成本的負(fù)荷不重,因此隨著單晶爐熱場加大,碳/碳復(fù)合材料將具有更大優(yōu)勢.

    (3)在同等使用條件下,碳/碳復(fù)合材料的使用壽命比石墨材料延長1倍,因此其綜合性價比更高.

    3 項(xiàng)目實(shí)施

    3.1熱場設(shè)計

    碳/碳復(fù)合材料保溫件和結(jié)構(gòu)件能夠做的很薄,這更好地滿足了企業(yè)在不更換原有單晶爐設(shè)備的基礎(chǔ)上,直接更換更大尺寸熱場的需求.

    方案1:原有漢虹95爐采用石墨材質(zhì)22英寸熱場,在整體石墨熱場完全不用調(diào)整的前提下,利用碳/碳復(fù)合材料能夠加工的更薄且支撐強(qiáng)度仍然足夠的特性,僅更換23英寸碳/碳材質(zhì)坩堝,在投入極小的情況下,使原有22英寸熱場升級為23英寸熱場.經(jīng)驗(yàn)證,23英寸熱場能增加投料量9%,有效提高拉晶單產(chǎn),降低生產(chǎn)成本.

    方案2:原有漢虹95爐采用石墨材質(zhì)22英寸熱場,將整體熱場全部更換為碳/碳復(fù)合材料,可升級為24英寸熱場.經(jīng)驗(yàn)證,24英寸熱場能增加投料量19%,有效提高拉晶單產(chǎn),降低生產(chǎn)成本.在能耗方面,實(shí)際使用證明,使用碳/碳復(fù)合材料可節(jié)電10%~20%.

    3.2防護(hù)涂層改進(jìn)

    直拉單晶爐內(nèi)微量氧的存在,會氧化碳/碳熱場部件,降低熱場的使用壽命.因此,對直拉單晶爐內(nèi)碳/碳熱場部件的抗氧化防護(hù)顯得尤為必要,其中涂層技術(shù)是一個最佳選擇.

    經(jīng)分析,涂層材料應(yīng)具有以下幾個特點(diǎn):能夠提供有效防護(hù)屏障,以防止氧在材料界面和組織結(jié)構(gòu)內(nèi)部擴(kuò)散,即具有較低的氧滲透率;防護(hù)涂層與基體材料之間應(yīng)具有良好的化學(xué)相容性與物理相容性和穩(wěn)定性;涂層材料不能對碳/碳材料的氧化反應(yīng)有催化作用;涂層材料應(yīng)具有較低的揮發(fā)性,以防止涂層材料在高速氣流中或高溫環(huán)境下工作時,涂層因過度損耗而失效;涂層不能降低復(fù)合材料的優(yōu)良機(jī)械性能;涂層與基體材料之間具有較為接近的熱膨脹系數(shù),不易剝落;涂層應(yīng)較為致密,且具有高溫自愈合能力.

    由于單層涂層無法同時兼顧抗氧化防護(hù)和良好的結(jié)合性能,因此我們采用多層涂層技術(shù).SiC與碳/碳材料具有相近的熱膨脹系數(shù)、良好的物理化學(xué)相容性、耐高溫性能,用作內(nèi)涂層;外涂層材料則選用耐火氧化物、高溫玻璃或高溫合金作為密封層.

    4 結(jié)論

    技術(shù)分析與實(shí)際使用情況均表明,碳/碳復(fù)合材料完全可以直接應(yīng)用于直拉單晶硅行業(yè),其使用效果良好.碳/碳復(fù)合材料的使用為直拉單晶硅行業(yè)積極研發(fā)新型熱場材料取代高耗能、高耗材的石墨材料,實(shí)現(xiàn)節(jié)能減排提供了新的思路.雖然目前國內(nèi)大部分直拉單晶硅制備企業(yè)依然在使用傳統(tǒng)的石墨材料制作熱場,但隨著碳/碳復(fù)合材料在國內(nèi)外同行業(yè)中的大范圍應(yīng)用和技術(shù)人員對其性能更深入的了解,碳/碳復(fù)合材料勢必會受到越來越多的關(guān)注.

    ⑤黃旭光(1980-),中級工程師,主要從事太陽能級單晶硅、太陽能電池片的工藝研發(fā).

    2016-02-16)

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