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    玻璃漿料鍵合氣密性研究*

    2015-03-26 07:59:04喻蘭芳熊繼軍崔海波王心心王濤龍
    傳感器與微系統(tǒng) 2015年1期
    關(guān)鍵詞:鍵合網(wǎng)版有機溶劑

    喻蘭芳,梁 庭,熊繼軍,崔海波,王心心,王濤龍

    (1.中北大學(xué) 儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點實驗室,山西 太原030051;2.中北大學(xué) 電子測試技術(shù)國防科技重點實驗室,山西 太原030051)

    0 引 言

    MEMS 器件需要芯片鍵合工藝來制作電極和空腔,目前主要有陽極鍵合、硅—硅直接鍵合、粘合劑鍵合、焊料鍵合和玻璃漿料鍵合幾種方式。玻璃漿料鍵合是通過網(wǎng)印將玻璃漿料涂在鍵合面上,熔化所產(chǎn)生的結(jié)構(gòu)并接觸第二個襯底,冷卻后形成穩(wěn)定的機械性連接[1]。由于密封效果好、鍵合強度高、生產(chǎn)效率高,而且對封接基板表面沒有特殊要求,可實現(xiàn)低成本、高可靠的圓片級封裝而具有更為廣泛的用途[2]。

    本文對玻璃漿料鍵合全密性進行了研究,并對其影響因素進行了分析,實驗結(jié)果達到了預(yù)期效果。

    1 鍵合原理

    玻璃漿料由玻璃粉料和粘合劑配制而成,預(yù)處理過程中,漿料中的水分和有機溶劑揮發(fā)分解耗盡,玻璃主要有兩類,熱塑性的玻璃態(tài)玻璃燒結(jié)時在同一溫度下流動,熱固性的結(jié)晶態(tài)玻璃在燒結(jié)過程中產(chǎn)生微晶,燒結(jié)的產(chǎn)物與原來的玻璃具有不同性質(zhì)[3]。加熱的過程中,玻璃漿料與封接表面達到浸潤,如果表面接觸良好,封裝基面的原子層會擴散到玻璃漿料中,在表面處出現(xiàn)一層很薄的混合層,這樣在封裝基面跟玻璃漿料之間就能達到很大的鍵合強度[4]。

    2 實驗與結(jié)果討論

    實驗前,需要根據(jù)要求制備網(wǎng)版,嚴格控制網(wǎng)版目數(shù),由于此處選擇的是美國SG 公司生產(chǎn)的VB1115 玻璃漿料,選擇尼龍制網(wǎng)(尼龍具有理想的彈性和恢復(fù)性)[5],設(shè)計網(wǎng)版目數(shù)為300。實驗時,首先對需要鍵合的晶圓進行清洗保證表面清潔,如果晶圓表面存在雜質(zhì)粒子,玻璃漿料與晶圓鍵合時會受其影響產(chǎn)生縫隙[6],此時鍵合交界面掃描電子顯微鏡圖如圖1 所示。

    圖1 雜質(zhì)對鍵合的影響Fig 1 Effect of impurities on bonding

    2.1 印刷方式對鍵合氣密性的影響

    安裝好網(wǎng)版以后,通過真空吸泵將晶圓固定在印刷臺面上,扣下網(wǎng)版,在網(wǎng)版一端倒入適量玻璃漿料,利用刮板將漿料刮向網(wǎng)版另一端,印刷裝置如圖2 所示。由于是手動印刷,印刷過程中應(yīng)盡量保持力度合適、速度一致,確保刷下來的漿料均勻連續(xù)[7],印刷完成以后需要在顯微鏡下檢查,確保印刷成功,見圖3。

    圖2 手動印刷裝置Fig 2 Manual printing device

    圖3 印刷漿料連續(xù)性Fig 3 Continuity of printing paste

    若需要印刷多片晶圓而只有一塊網(wǎng)版,下次印刷時應(yīng)確保網(wǎng)版網(wǎng)孔通透(以保證印刷一致),若經(jīng)濟允許可選擇濃縮洗網(wǎng)劑進行清洗,在實驗室可選用丙酮、異丙醇進行清洗(玻璃漿料的粘合劑為有機溶劑),同時采用超聲清洗機通過物理震動使?jié){料顆粒從絲網(wǎng)中脫離,去離子水洗凈,氮氣吹干,如圖4 所示。

    圖4 網(wǎng)版清洗情況Fig 4 Cleaning situation of screen

    2.2 預(yù)處理條件對鍵合氣密性的影響

    確保印刷成功以后,對晶片進行干燥燒結(jié),干燥條件為在120 ℃恒溫下保持12 min,經(jīng)初步干燥后放入燒結(jié)爐內(nèi)采用分段保溫方式進行預(yù)燒結(jié)以充分揮發(fā)有機溶劑[3]。由室溫經(jīng)30 min 升高到295 ℃,維持25 min,這一溫段低于漿料熔點而高于有機溶劑熔點,可以充分揮發(fā)水分燃盡有機溶劑,這一過程不充分會殘留溶劑,形成孔洞;再由295 ℃經(jīng)30 min升高到425 ℃,維持15 min,這一溫段漿料顆粒相互熔融擴散粘連成一個整體,使表面變得平滑,在鍵合工工藝中獲得較好的鍵合界面,這一過程不充分會使玻璃漿料表面不平整,導(dǎo)致后續(xù)鍵合工藝中與基板接觸時在接觸面產(chǎn)生氣泡,嚴重影響鍵合的質(zhì)量;最后由425 ℃自然降溫到室溫,漿料顆粒固化。圖5 為VB1115 漿料廠家給出的的預(yù)燒結(jié)條件,實際預(yù)燒結(jié)過程中需根據(jù)預(yù)燒結(jié)后漿料形態(tài)微調(diào)溫度和保溫時間[4],確保預(yù)燒結(jié)成功,預(yù)燒結(jié)后含氣泡漿料形貌如圖6。

    圖5 VB1115 預(yù)燒結(jié)條件Fig 5 Presintering conditions of VB1115

    圖6 預(yù)燒結(jié)后含氣泡漿料形貌Fig 6 Bubble-containing slurry morphology after pre-sintering

    2.3 鍵合工藝對鍵合氣密性的影響

    預(yù)燒結(jié)完成以后將基片和蓋片對準,放入鍵合機內(nèi),工藝參數(shù)設(shè)置為鍵合溫度450 ℃,鍵合力300 N,真空鍵合度2×10-4mbar,隨著溫度的升高,玻璃漿料再次熔融,在壓力作用下2 片晶圓通過漿料夾層鍵合在一起實現(xiàn)器件的真空封裝[8]。鍵合過程中,條件控制不當(鍵合溫度過低致使?jié){料未完全熔融,壓力過大導(dǎo)致熔融的漿料外延等),同樣會導(dǎo)致鍵合失敗,鍵合完成以后,利用超聲顯微鏡(勿需破壞器件)觀察玻璃漿料形態(tài)(見圖7),得出鍵合是否成功的結(jié)論,并通過鍵合結(jié)果改善鍵合條件達到優(yōu)化的目的。

    圖7 鍵合后超聲顯微鏡圖Fig 7 Ultrasonic microscope figure after bonding

    3 結(jié)束語

    本文對玻璃漿料鍵合的過程進行了詳細的表述,觀察各階段玻璃漿料的形貌,并對鍵合過程中由印刷方式、預(yù)處理條件和鍵合工藝可能造成鍵合漏氣的幾個因素進行了分析。玻璃漿料鍵合過程中需要控制的條件比較復(fù)雜,實驗過程中應(yīng)該檢查每一步是否做好:印刷漿料均勻一致連續(xù),合理控制預(yù)處理過程條件,確保水分和有機溶劑充分揮發(fā),預(yù)燒結(jié)后的玻璃漿料表面平整,鍵合時,調(diào)節(jié)合適的鍵合溫度和壓力,完全熔融漿料最后成功鍵合。

    [1] 王秀峰,伍媛婷.微電子材料與器件制備技術(shù)[M].北京:化學(xué)工業(yè)出版社,2008:147-151.

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    [4] 許 薇.低溫玻璃漿料在MEMS 氣密封裝中的應(yīng)用研究[D].上海:中國科學(xué)院研究生院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所,2005.

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