JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障排除

魯國華，李科，許紅

大連市第三人民醫(yī)院 放射科，遼寧 大連 116033

JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障排除

魯國華，李科，許紅

大連市第三人民醫(yī)院 放射科，遼寧 大連 116033

本文介紹了JEM-2000EX電子顯微鏡真空故障分析及處理方法。

電子顯微鏡；油擴(kuò)散泵；真空度；燈絲室；醫(yī)療設(shè)備維修

0 前言

電子顯微鏡集成度高，結(jié)構(gòu)復(fù)雜，計算機(jī)控制，它在醫(yī)療和科研中發(fā)揮了重要作用，在使用JEM-2000EX電子顯微鏡過程中會產(chǎn)生真空不良的問題，下面將實際遇到的故障維修過程進(jìn)行分析。

1 故障現(xiàn)象

晚間抽真空情況下，早晨開機(jī)，2 min后，在顯示器上顯示的閥門圖標(biāo)有V12、V13亮燈，其他的閥門為滅燈，機(jī)器抽真空20 min以后，閥門V5、V7、V10、V12燈亮，其他閥門燈滅，30 min后，系統(tǒng)的真空度還是很低，機(jī)器不能進(jìn)入到正常工作狀態(tài)。

2 故障分析及處理

查看顯示器上顯示的皮拉尼真空規(guī)測量的真空電流值分別為PI1=216 μA，PI2=214 μA，PI3=187 μA，PI4= 169 μA，說明機(jī)器處于低真空狀態(tài)；機(jī)器正常工作時的皮拉尼真空規(guī)測量的真空電流值分別為PI1=29 μA，PI2= I25 μA，PI3=35 μA，PI4=124 μA，PI1數(shù)值表示鏡筒室真空度的高低，PI2數(shù)值表示燈絲室真空度的高低，PI3數(shù)值表示觀察室及相機(jī)室真空度的高低，PI4數(shù)值表示一級油擴(kuò)散泵前級管路真空度的高低；顯示器上顯示的閥門圖標(biāo)V1、V2、V3、V4、V5、V6A、V6B、V7、V10、V12、V13都有相對應(yīng)的元器件實物，V23沒有在顯示器上顯示閥門圖標(biāo)只有實物；V1、V23是手動閥門，需要人為手動方式開啟或者關(guān)閉；V2、V3、V4、V5、V6B、V10是氣動閥，需要機(jī)器發(fā)出指令來控制改變氣流方向，達(dá)到閥門開啟或者關(guān)閉；V6A、V7、V12、13是電磁閥，需要機(jī)器發(fā)出指令來通電或者斷電，達(dá)到閥門開啟或者關(guān)閉；顯示器上顯示燈亮的閥門圖標(biāo)表示閥門是打開的狀態(tài)，燈滅的閥門圖標(biāo)表示閥門是關(guān)閉的狀態(tài)。

機(jī)械泵是油擴(kuò)散泵的前級真空泵，在油擴(kuò)散泵工作時，如果它內(nèi)部的油蒸氣中含有大量空氣，油蒸汽極易燃燒，所以機(jī)械泵抽真空使燈絲室和鏡筒室真空度升高到一定程度以后，機(jī)器才能進(jìn)行下一個抽真空動作，即打開閥門V4，關(guān)閉V10、V7；此時的故障，V4、V6A、V6B、V13閥門燈滅，閥門V12燈亮，說明PI4=169 μA數(shù)值是正常值；與觀察室及相機(jī)室有關(guān)的閥門V3、V6A、V6B、V9都是關(guān)閉的，說明PI3=187 μA數(shù)值是正常值；機(jī)械泵經(jīng)過V10、V7、V5，同時對燈絲室和鏡筒室抽真空，PI2=214 μA，PI1=216 μA，兩個室的真空度很低，說明燈絲室橡膠密封圈、管路、燈絲室和鏡筒室之一、閥門可能有漏氣；更換燈絲室涂有真空脂的橡膠密封圈，觀察PI1、PI2的數(shù)值沒有改變，真空沒有好轉(zhuǎn)；V2的氣體接頭是快速接頭，對調(diào)兩個快速接頭，人為改變氣體流動方向，使V2打開，在顯示器上顯示的V2閥門圖標(biāo)沒有改變狀態(tài)，是因為電路中的信號沒有改變，觀察PI1、PI2的數(shù)值沒有改變，V2沒有問題，恢復(fù)V2氣體接頭到原始狀態(tài)；對調(diào)V5的氣體接頭，關(guān)閉V5，觀察V5閥體后面孔內(nèi)的圓柱運(yùn)動，圓柱運(yùn)動說明V5沒有故障，同時觀察PI1、PI2的數(shù)值沒有改變，說明鏡筒室及其相關(guān)部分沒有泄漏真空，燈絲室及其相關(guān)部分有漏真空，只有這樣PI1、PI2的數(shù)值才不會改變，他們同時漏真空的可能性比較小，關(guān)機(jī)，迅速觀察PI1、PI2、PI3、PI4數(shù)值，只有PI2快速上升到255 μA，PI1、PI2和PI3數(shù)值改變很慢，說明燈絲室和與其相連部分有漏真空，恢復(fù)V5氣體接頭到原始狀態(tài)；與燈絲室相連的電子槍氣體室充有氟利昂，電子槍氣體室中有高壓電路元件，他們打火能夠損壞燈絲室和電子槍氣體室之間的夾層，氟利昂如果進(jìn)入到燈絲室，PI2的數(shù)值也很高，V23有三個位置，放氣、關(guān)閉、抽真空，通過V23置于放氣位置，把氟利昂放掉，再把V23置于抽真空位置，開機(jī)抽真空，經(jīng)過半個小時甚至更長時間以后，故障仍然沒有好轉(zhuǎn)，說明電子槍氣體室與燈絲室之間沒有泄漏，將V23置于關(guān)閉位置；與燈絲室相連的器件只剩下抽氣管道波紋管，關(guān)機(jī)，卸下波紋管，用橡皮塞堵住機(jī)器的兩個端口，開機(jī)，對調(diào)V2的氣體接頭，使V2打開，機(jī)械泵通過V2、V5、V7、V10對燈絲室和鏡筒室抽真空，觀察PI1、PI2的數(shù)值分別下降到170 μA和168 μA，油擴(kuò)散泵可以對燈絲室和鏡筒室抽真空，說明波紋管漏真空，經(jīng)檢查發(fā)現(xiàn)波紋管上有一小部分輕微壓平狀變形，在變形處有裂紋。關(guān)機(jī)，恢復(fù)V2氣體接頭到原始狀態(tài)，打開氟利昂氣瓶閥門，給電子槍氣體室注入氟利昂，壓力表針向右指示到2表示氟利昂已經(jīng)充滿，關(guān)閉氟利昂氣瓶閥門，更換新的波紋管，開機(jī)，抽真空，各個PI數(shù)值恢復(fù)正常，機(jī)器正常工作，故障排除。

3 小結(jié)

在維修中，真空問題會由許多原因造成，閥門損壞，膠圈老化，真空檢測元件不良指示錯誤，電路故障，氣路壓力不正常，真空泵工作不良等，應(yīng)當(dāng)不斷積累維修經(jīng)驗，理清思路，引導(dǎo)到正確方向，不能盲目拆卸更換，使故障擴(kuò)大化，避免和減少不必要的損失。

[1]朱劍莉,張峰,諸葛蘭劍,等．FEI Tecnai G20透射電鏡高壓故障維修案例[J]．現(xiàn)代儀器,2012,18（3）：80．

[2]楊愛建,倪瑾,吳海波．日立透射電子顯微鏡H-600故障分析與排除[J]．中國醫(yī)學(xué)裝備,2013,10（9）：113-114．

[3]朱弋,阮興云,徐志榮．電子顯微鏡的真空系統(tǒng)設(shè)計[J]．醫(yī)療裝備,2001,14（12）：14-15．

[4]方春,劉建華,陳忠航,等．JEM-1200EX透射式電子顯微鏡燈絲的養(yǎng)護(hù)及清洗[J]．吉林醫(yī)藥學(xué)院學(xué)報,2006,27（4）：207．

[5]高英,李林濤．1000B型掃描電子顯微鏡合軸的調(diào)整[J]．中國醫(yī)療設(shè)備,2011,26（9）：138-139．

[6]吳英俊,呂強(qiáng),祖國美．JEM-1010透射電子顯微鏡電磁偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)特殊故障檢修[J]．繼續(xù)醫(yī)學(xué)教育,2010,24（2）：1-2．

Vacuum Troubleshooting of JEM-2000EX Electron M icroscope

LU Guo-hua,LI Ke,XU Hong
Department of Radiation Oncology, The Third People’s Hospital of Dalian, Dalian Liaoning 116033,China

R197.39

B

10.3969/j.issn.1674-1633.2015.11.060

1674-1633（2015）11-0170-02

2015-03-22

2015-04-27

作者郵箱：lllghth86@sina．com