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    Si-Sn合金精煉-定向凝固過程硅的分離和提純

    2014-03-17 10:45:58胡曉軍郭占成范占軍謝永龍
    中國有色金屬學(xué)報(bào) 2014年7期
    關(guān)鍵詞:酸洗雜質(zhì)定向

    巫 劍 ,王 志,胡曉軍,郭占成,范占軍,謝永龍

    (1. 北京科技大學(xué) 鋼鐵冶金新技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,北京 100083;2. 中國科學(xué)院過程工程研究所 綠色過程與工程重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室 濕法冶金清潔生產(chǎn)技術(shù)國家工程實(shí)驗(yàn)室,北京 100190;3. 寧夏銀星多晶硅有限公司,吳忠 751100)

    太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)因其取之不盡、用之不竭、清潔環(huán)保和安全可靠等獨(dú)特優(yōu)勢而被譽(yù)為 21世紀(jì)的朝陽產(chǎn)業(yè)。隨著光伏產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展,對太陽能級多晶硅的需求急劇增大。長期以來,太陽能級多晶硅的原料主要來自西門子法生產(chǎn)中的過剩產(chǎn)能、廢料和碎料[1-2]。然而,西門子法等化學(xué)法生產(chǎn)太陽能級多晶硅工藝存在能耗高、成本高和污染嚴(yán)重等問題,這種借用半導(dǎo)體工業(yè)滿足光伏產(chǎn)業(yè)需求的方式顯然是不合理的,因此,開發(fā)低成本、低能耗和環(huán)境友好型的太陽能級多晶硅生產(chǎn)技術(shù)迫在眉睫。冶金法以其潛在的成本低和能耗低的優(yōu)勢,受到越來越多的重視[3-4]。冶金法提純是利用硅和雜質(zhì)元素物化性質(zhì)的差異,通過逐級凈化達(dá)到雜質(zhì)元素與硅的分離,最終滿足太陽能級多晶硅純度要求。主要包括酸洗、吹氣、造渣、真空處理、定向凝固和熔析精煉等工藝[5-8]。

    近年來,熔析精煉受到了越來越多的關(guān)注,研究者對其進(jìn)行了廣泛的研究。熔析精煉類似于化工領(lǐng)域的重結(jié)晶凈化,可以在硅熔點(diǎn)以下實(shí)現(xiàn)硅中微量雜質(zhì)的快速去除。雜質(zhì)在析出硅與合金液之間的分凝系數(shù)將不同于純硅中的分凝系數(shù),通過高溫合金液化與凝固偏析分凝,改變了雜質(zhì)存在的形式和位置,可將金屬熔劑作為典型的熔析劑,也可作為雜質(zhì)陷阱或雜質(zhì)捕收劑。

    研究者對不同的熔析體系開展了大量的研究工作。JUNEJA等[9]研究銅硅合金體系凈化冶金硅,合金化后采用電解來分離銅。MITRA?INOVI? 等[10]也利用銅作為熔析介質(zhì)精煉提純硅。由于銅在硅中較低的固溶度,并且銅與硅的密度相差很大,因此可利用重介質(zhì)分離的方法實(shí)現(xiàn)提純硅與硅銅合金的分離。但在熔析過程中銅與硅形成了中間化合物,造成凈化后銅與硅分離難度很大。MORITA等[11-12]通過電磁感應(yīng)加熱的方式凝固硅鋁合金,在實(shí)現(xiàn)硅從合金分離方面取得了一定的進(jìn)展,并且得到了很好的提純效果,但由于鋁與硅之間的親和力較大,兩者密度相近,一般要利用多次酸洗的方式才能將其去除,在一定程度上增加了成本。LI等[13]在鋁硅體系中引入超重力,在硅結(jié)晶析出的過程中實(shí)現(xiàn)了硅和鋁的分離,但提純效果不是很理想。ESFAHANI等[14-15]采用鐵作為熔析介質(zhì)提純硅,鐵與硅的密度差較大,利用重介質(zhì)分離的方法,可以使殘留的硅鐵合金循環(huán)使用。但也存在著分離效果不太理想的問題,加上重介質(zhì)成本高等原因,在一定程度上增加了分離成本。總之,上述研究都缺乏對熔析體系的凝固過程進(jìn)行有效控制。定向凝固提純主要是在凝固的過程中采用熱場控制,在固相與液相之間建立起沿特定方向的溫度梯度,根據(jù)溶質(zhì)分凝理論即雜質(zhì)在固液相之間的分凝系數(shù)不同,從而去除硅中的雜質(zhì)。

    綜上所述,熔析精煉提純方法仍然存在眾多問題需要解決,尤其是精煉提純后如何實(shí)現(xiàn)硅晶與介質(zhì)的高效分離問題。針對上述問題,本文作者提出在熔析精煉的過程結(jié)合定向凝固熱場控制的思路,選擇在Si-Sn熔析體系下,采用定向凝固的方法,通過控制合金體系硅的定向生長,重點(diǎn)研究硅與金屬熔劑的有效分離,同時(shí)探討定向凝固過程中雜質(zhì)的提純效果。

    1 實(shí)驗(yàn)

    1.1 實(shí)驗(yàn)原料與設(shè)備

    本研究所用硅的純度為 99.988%,產(chǎn)地為寧夏,其主要雜質(zhì)含量見表1。實(shí)驗(yàn)采用金屬錫作為熔析劑,其純度為 99.9%。實(shí)驗(yàn)所用鹽酸、硝酸、氫氟酸均為分析純試劑,生產(chǎn)廠家為北京化學(xué)試劑廠。

    表1 硅原料的雜質(zhì)含量Table 1 Contents of impurities from Si (mass fraction, 10-6)

    實(shí)驗(yàn)主要設(shè)備:多晶硅鑄錠爐(JJL500,浙江精功科技股份有限公司生產(chǎn))、線切割機(jī)(G544090A,石家莊威鋒機(jī)械制造有限公司生產(chǎn))等。

    分析檢測儀器:金相磨拋機(jī)(UNIPOL-830,沈陽科晶科學(xué)儀器有限公司生產(chǎn))、光學(xué)顯微鏡(Axio Imager A1型,Carl Zeiss公司生產(chǎn))、掃描電鏡和能譜儀(SEM-EDS,日本電子JSM-6480掃描電鏡配備牛津INCA Energy 350能譜儀)、電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP-OES,Perkin Elmer Optima 5300DV)。

    1.2 Sn-Si熔析體系定向凝固實(shí)驗(yàn)

    按質(zhì)量比55:45稱取總質(zhì)量為184.7 kg金屬錫和硅,然后裝料于坩堝中,接著用升降機(jī)將坩堝升入多晶硅鑄錠爐中。開啟機(jī)械泵-羅茨泵抽真空,改變鑄錠爐的功率進(jìn)行加熱,直到加熱到 1175 ℃,進(jìn)入熔化階段。之后采用程序加熱(見圖1)的方法進(jìn)行熔化,在1550 ℃持續(xù)恒溫3 h,再經(jīng)過2 h降溫至1380 ℃,開始調(diào)控?zé)釄錾弦?見圖1),每降溫20 ℃,熱場上移1 mm,直到溫度降至1150 ℃,每降溫50 ℃,熱場上移0.5 mm,一直到溫度降至680 ℃,停止上移熱場。冷卻至室溫,將樣品從坩堝里取出,采用切割機(jī)進(jìn)行切割,金相磨拋機(jī)拋光,金相顯微鏡和掃描電鏡觀察。

    1.3 酸洗實(shí)驗(yàn)

    稱取 2 g定向凝固后得到的硅粉,采用 HCl-HF混酸體系在70 ℃、200 r/min水浴恒溫振蕩器中酸洗6 h。然后用去離子水將酸洗后的冶金硅粉清洗至中性止,最后將得到的樣品烘干。雜質(zhì)元素分析采用電感耦合等離子體發(fā)射光譜儀(ICP-OES)分析。

    圖1 Si-Sn熔析體系定向凝固實(shí)驗(yàn)溫度與熱場上移距離Fig. 1 Directional solidification temperature of Si-Sn alloy refining and moving distance of thermal field

    2 結(jié)果與分析

    2.1 合金定向凝固過程硅的晶體生長

    圖2所示為Si-Sn相圖。由圖2可知,在熔融狀態(tài)下,硅錫可互溶形成硅錫合金,而在凝固過程中并沒有共晶合金相形成。因此,本研究設(shè)計(jì)了 Si-Sn合金定向凝固實(shí)驗(yàn)。在溫度梯度G=1×104K/m,熱場移動(dòng)速率v=1.84 μm/s條件下,對硅的晶體生長進(jìn)行了研究。圖3所示為Si-55%Sn(質(zhì)量分?jǐn)?shù))合金定向凝固后所得硅錠的剖面圖。由圖3可知,在生成硅錠底部的區(qū)域,有氣孔生成,從硅錠底部向上的區(qū)域,氣孔逐漸消失,從中部到頂部生成了連續(xù)密實(shí)的硅晶。原因有:一方面,在結(jié)晶初期,Sn和Si的合金液處在恒溫區(qū),隨著熱場的上移,由于坩堝底部散熱最快,溫度最低,因此,在坩堝底部和頂部之間形成溫度梯度,進(jìn)而熔點(diǎn)較高的硅相從底部開始凝固。熱場上移速率較快,使得固液界面發(fā)生波動(dòng),硅的選擇性成核與異常長大造成硅晶之間存在物理缺陷,包括氣孔的生成和熔析劑的夾帶。而隨著結(jié)晶的繼續(xù)進(jìn)行,由于固液界面前沿的溫度梯度始終是正的,而熱場上移的速率變慢,使得硅熔體在高溫區(qū)內(nèi)的停留的時(shí)間增長,因而優(yōu)先結(jié)晶析出的硅晶的生長速率明顯下降,或是被后面的固液界面所追及,或是被熔化,因而,界面恢復(fù)平坦,氣孔消失,進(jìn)而生成了連續(xù)密實(shí)的硅晶[16]。另一方面,由于先結(jié)晶析出的硅晶對后續(xù)硅生長具有晶種誘導(dǎo)作用,也促進(jìn)了連續(xù)密實(shí)硅晶的生成。

    圖4所示為Si-94%Sn(質(zhì)量分?jǐn)?shù))合金熔析精煉后的剖面圖[17]。圖5所示為Si-Sn合金定向凝固后所得硅錠頂部的剖面圖和SEM像。由圖4可知,由于沒有對熔析精煉凝固過程進(jìn)行有效控制,造成樹枝狀硅彌散分布在硅錠的各個(gè)位置,即Si中有Sn、而Sn中有 Si,進(jìn)而導(dǎo)致 Si與金屬熔析劑難以分離。由圖 5可知,由于 Si-Sn熔析精煉過程中采用了定向凝固的方法,在硅錠的頂部可明顯看到生成了一條平坦穩(wěn)定的相界面分界線,上部是Si-Sn合金,下部是Si相,Si-Sn合金相與Si相之間有明顯的相界面,實(shí)現(xiàn)了很好的分離。MA等[18]的研究表明,在同樣的溫度梯度和下拉移動(dòng)速率下,由相圖知,隨著硅含量的增加,相界面將變得更加穩(wěn)定和平緩。然而在快速下拉的條件下,Si在定向凝固過程生成大量的片狀硅晶,不利于生成穩(wěn)定平緩的相界面分界線。

    圖2 Si-Sn相圖Fig. 2 Phase diagrams of Si-Sn

    圖3 Si-55%Sn合金定向凝固后的剖面圖Fig. 3 Cross-section of Si-55%Sn alloy after directional solidification

    圖4 Si-94%Sn合金熔析精煉后的剖面圖[17]Fig. 4 Cross-section of Si-94%Sn alloy after solvent refining[17]

    圖5 Si-55%Sn合金定向凝固后的上部剖面圖和SEM像Fig. 5 Top-cross-section and SEM image of Si-55%Sn alloy after directional solidification

    通過掃描電鏡和能譜對硅樣品進(jìn)行表征。由圖5(b)和表2可知,顏色較深(黑色)的區(qū)域是Si相,基本沒發(fā)現(xiàn)雜質(zhì)元素。但在Si相中也發(fā)現(xiàn)有少量熔析劑Sn被Si相包裹。而顏色較亮(灰色)的區(qū)域是Sn相,在Sn相區(qū)里也夾雜了少量Si。能譜分析表明,在熔析劑Sn的區(qū)域內(nèi),有少量金屬雜質(zhì)Al富集在Sn相,原因是在Si-Sn體系下,Al的分凝系數(shù)較固體中的Si的小,且其分凝系數(shù)隨著溫度降低也是減小的,因此,會有少量金屬雜質(zhì) Al富集在 Sn相。一方面由于硅晶與Si-Sn 熔體的密度差(ρSi(1689K,s)=2.29 g/cm3,ρSi(1555K,undercooling)=2.60 g/cm3,ρSn(1555K,l)=6.32 g/cm3)[19-21],形核長大的Si晶由于密度差異產(chǎn)生的浮力作用在定向凝固過程時(shí)出現(xiàn)在Si錠的頂部。而Si錠的頂部也形成大量白色Sn相,這是因?yàn)殡S著加熱體的緩慢上移,坩堝底部是散熱最快的區(qū)域,熔點(diǎn)較高的Si相從溫度最低的底部開始凝固,隨著硅相的凝固,將液態(tài)的錫相逐漸推趕至坩堝的頂部。另一方面,由于較慢的熱場移動(dòng)速率降低了冷卻速率,避免了成分過冷的出現(xiàn)。若晶體生長過程中出現(xiàn)了成分過冷,這意味著熔體處于過冷狀態(tài),這樣在平坦界面由于干擾就會產(chǎn)生凸緣,而其尖端處于過冷度較大的熔體中,因而其生長速率比界面的快,凸緣不能自動(dòng)消失,于是平坦界面的穩(wěn)定性被破壞。晶體中形成胞狀組織,溶質(zhì)偏聚十分嚴(yán)重,同時(shí)導(dǎo)致在硅晶與Si-Sn熔體界面上硅的形核優(yōu)于生長,難以形成穩(wěn)定的相界面以實(shí)現(xiàn)硅與熔析劑的有效分離。因此,如何改變工藝條件避免成分過冷的出現(xiàn)是定向凝固的關(guān)鍵問題。通常,產(chǎn)生成分過冷的條件表示為[16, 18]

    表2 圖5(b)中Si-55%Sn合金定向凝固后上部剖面的EDS分析結(jié)果Table 2 EDS analysis results of top-cross-section of Si-55%Sn alloy after directional solidification in Fig. 5(b)

    式中:G為溫度梯度(K/m);v為生長速率(m/s);(G/v)c為臨界條件下溫度梯度與生長速率的比值;m為Si-Sn液相線的斜率(K);cSn,M是金屬Sn在Si-Sn熔體中的平均濃度(mol/m3);cSn,S是金屬Sn在固體Si中的平均濃度(mol/m3);D是在液體合金的擴(kuò)散系數(shù)(m2/s)。

    圖6所示為G/v與x(Si)(Si在合金中的摩爾分?jǐn)?shù))的關(guān)系曲線。由圖6可知,虛線是通過式(1)計(jì)算所得的(G/v)c臨界值,虛線的下部是成分過冷出現(xiàn)的區(qū)域,在此區(qū)域可以生成連續(xù)密實(shí)的Si晶。在Si含量較低的條件下容易出現(xiàn)成分過冷,而成分過冷會導(dǎo)致 Si的形核優(yōu)先于平坦穩(wěn)定相界面的形成。而虛線的上部是不出現(xiàn)成分過冷的區(qū)域,在此區(qū)域可以生成連續(xù)密實(shí)的硅晶。通過計(jì)算可知,在x(Si)=0.77時(shí),本實(shí)驗(yàn)的G/v值(>5×104K·s/m2)位于(G/v)c臨界值的上部,在定向凝固的過程中沒有出現(xiàn)成分過冷,實(shí)驗(yàn)結(jié)果也驗(yàn)證在虛線區(qū)域上部可以生成連續(xù)密實(shí)的 Si晶。因此,可以通過控制工藝條件避免Si-Sn合金在定向凝固過程中由于成分過冷造成不穩(wěn)定固液界面的形成。

    圖6 G/v與x(Si)的關(guān)系[18]Fig. 6 Relationship between bulk Si growth with G/v and mole fraction of Si[18]

    表3 硅原料與定向凝固后的硅混酸酸洗后硅的雜質(zhì)含量Table 3 Concentration of impurities from Si and refined Si after acid leaching

    2.2 合金精煉-定向凝固復(fù)合提純

    在本實(shí)驗(yàn)中,Si-Sn合金定向凝固后得到的硅錠在生長的過程中夾雜著少量的熔析劑Sn。酸洗由于其低成本、高效率的特點(diǎn)而被應(yīng)用于冶金硅的提純,但只能去除偏析在硅晶界的可溶性雜質(zhì),對在硅基體中的固溶雜質(zhì)不能通過酸洗去除。因此,硅晶界中的雜質(zhì)可以通過簡單的酸洗達(dá)到去除的目的。表3所列為實(shí)驗(yàn)樣品硅中典型雜質(zhì)的含量,其中Si是原始硅樣品,Si-1是直接混酸酸洗后的樣品,Si-2是合金定向凝固再經(jīng)過與Si-1同樣酸洗后的樣品。由表3可知,Si-Sn合金體系定向凝固酸洗后,Si中典型雜質(zhì)含量較直接酸洗后的 Si大幅度降低,F(xiàn)e由 32.36×10-6降為5.18×10-6,Al由 2.40×10-6降為 1.21×10-6,Ca 由3.51×10-6降為 0.66×10-6,Ti由 4.57×10-6降為0.55×10-6,P 由 41.25×10-6降為 8.48×10-6,尤其是Fe、Ca和 P降幅最大,與原硅樣品相比,降幅達(dá)到60%,由此充分說明Si-Sn合金精煉-定向凝固復(fù)合提純實(shí)現(xiàn)了很好的除雜效果。定向凝固后的硅料經(jīng)酸洗后鐵含量為 5.18×10-6,其他金屬雜質(zhì)含量基本在1×10-6以內(nèi),金屬雜質(zhì)的總?cè)コ蕿?7%。非金屬雜質(zhì)P由50.12×10-6下降至8.48×10-6,去除率超過80%。

    2.3 雜質(zhì)相的微觀結(jié)構(gòu)

    為進(jìn)一步說明復(fù)合過程對雜質(zhì)提純的效果,圖7(a)所示為 Si-55%Sn的合金定向凝固后所得硅錠破碎分級后硅粉(74~150 μm)的SEM像。由圖7(a)可知,顏色較深(灰色)的是Si相,顏色較亮(白色)的是金屬Sn相,Si相和Sn相是單獨(dú)分開的,沒有出現(xiàn)Sn相包裹或夾帶Si相,且之前Si相中夾帶的Sn相也基本消失,從而為酸洗除Sn提供了有利條件。圖7(b)是Si中雜質(zhì)相的SEM像。由圖7(b)可知,雜質(zhì)相與Si相之間有明顯的分界線。在熔析體系下,由于金屬雜質(zhì)的分凝系數(shù)較在純硅體系下的分凝系數(shù)小(見表4[18]),在定向凝固的過程中,雜質(zhì)相從Si基體中偏析到硅晶界,所以硅相中很少有雜質(zhì)相存在。雜質(zhì)相與Si相之間的有效分離為金屬雜質(zhì)的去除提供了有利條件,硅料酸洗的結(jié)果也驗(yàn)證了此結(jié)果。通過能譜分析可知(見表5),雜質(zhì)相主要是 FeSi2[22-25]、FeSi2Ti[26]、Cu2Si和VTiSi。在混酸體系下,偏析到硅晶界的雜質(zhì)相能夠得到很好的去除。在雜質(zhì)相和硅相中都沒有發(fā)現(xiàn) Sn相的存在,進(jìn)一步表明熔析劑 Sn可以通過定向凝固與Si實(shí)現(xiàn)有效的分離。而非金屬P含量由定向凝固前的50.12×10-6降為 8.48×10-6。MIN 等[27]和 MORITA[28]發(fā)現(xiàn),Ca對P具有很大的親和力,P可能與Ca形成雜質(zhì)相,然后通過酸洗去除。由此可以推斷出,P在定向凝固過程與金屬雜質(zhì)形成新的雜質(zhì)相被熔析劑捕獲進(jìn)入熔析劑中,從而獲得較好的去除效果。因此,在Si-Sn熔析體系下,P可以與金屬雜質(zhì)Al、Ca、Mg和Si形成新的雜質(zhì)相[29],隨著金屬雜質(zhì)偏析到晶界,然后通過酸洗實(shí)現(xiàn)去除。

    圖7 定向凝固后硅的SEM像Fig. 7 SEM images of refined Si after directional solidification: (a) Cross-section of crushed particles;(b) Fragment of grain boundary in refined Si

    表4 雜質(zhì)在固體硅與Si-Sn熔體的分凝系數(shù)[18]Table 4 Segregation ratios of impurities between solid Si and Si-Sn melts[18]

    表5 定向凝固后硅中主要的雜質(zhì)相及其含量Table 5 Average composition of main impurity phase in refined Si

    3 結(jié)論

    1) Si-Sn合金定向凝固,由于合金精煉和Si的晶體生長作用,調(diào)控G/v值可避免成分過冷的出現(xiàn),進(jìn)而通過控制 Si晶的定向生長,生成平坦穩(wěn)定的相界面,從而實(shí)現(xiàn)Si晶體和金屬熔析劑分離的目的。

    2) Si-Sn合金定向凝固后,由于合金精煉的作用,金屬雜質(zhì)的分凝系數(shù)較在純硅體系下的分凝系數(shù)小,在定向凝固的過程中雜質(zhì)隨著熔析劑從 Si基體偏析到硅晶界中,經(jīng)過混酸酸洗后金屬雜質(zhì)的去除率可以達(dá)到87%。

    3) P在定向凝固過程與金屬雜質(zhì)形成新的雜質(zhì)相被熔析劑捕獲進(jìn)入熔析劑中,從而獲得較好的去除效果,P的含量由50.12×10-6降低為8.48×10-6,去除率超過了80%。

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