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    含氟電子氣體研究進(jìn)展*

    2013-12-25 03:21:20李盛姬黃雪靜張建君
    低溫與特氣 2013年1期
    關(guān)鍵詞:乙烷含氟清洗劑

    李盛姬,黃雪靜,齊 海,張建君

    (1.浙江省化工研究院有限公司,浙江杭州 310023;2.大慶油田采油工程研究院,黑龍江大慶 163453)

    電子氣體是發(fā)展集成電路、光電子、微電子,特別是超大規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過程中不可缺少的基礎(chǔ)性支撐源材料,它被稱為電子工業(yè)的“血液”和“糧食”,它的純度和潔凈度直接影響到光電子、微電子元器件的質(zhì)量、集成度、特定技術(shù)指標(biāo)和成品率,并從根本上制約著電路和器件的精確性和準(zhǔn)確性。在硅片制造廠,一個硅片需要兩到三個月的工藝流程,完成450道或更多的工藝步驟,才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、摻雜、蝕刻、清洗、封裝等諸多工序,需要的高純電子化學(xué)氣體及電子混合氣高達(dá)30多種,且每一種氣體應(yīng)用在特定的工藝步驟中。目前國外有美國APCI、杜邦、在臺代理商三福化工和日本三井東亞、旭硝子、昭和電工,以及CenTral Glass等公司壟斷著全球電子氣體市場。

    在全球電子氣體市場上,氟系列占30%左右。含氟電子氣體主要用作清洗劑和蝕刻劑。

    1 含氟清洗氣體

    半導(dǎo)體清洗工藝主要是去除硅片上的粒子和金屬污染物、有機(jī)物,在蝕刻、布線工序中的抗蝕劑去膠、去除化合物,以及CMP(化學(xué)機(jī)械拋光)后的清洗[1-4]。

    半導(dǎo)體IC制程主要以離子注入、擴(kuò)散、外延生長及光刻四項基礎(chǔ)工藝為基礎(chǔ)逐漸發(fā)展起來。由于集成電路內(nèi)各元件及連線相當(dāng)微細(xì),因此制造過程中,如果遭到塵粒、金屬的污染,很容易造成晶片內(nèi)電路功能的損壞,形成短路或斷路等,導(dǎo)致集成電路的失效以及影響幾何特征的形成。因此在制作過程中除了要排除外界污染源外,集成電路制造步驟如高溫擴(kuò)散、離子注入前等均需要進(jìn)行清洗工作。

    含氟清洗劑在半導(dǎo)體和電子工業(yè)清洗尤其是干法清洗中表現(xiàn)出了非常好的性能。含氟清洗劑沸點較低,常溫下以氣相存在,因此非常容易進(jìn)行干法氣相清洗。

    含氟清洗劑主要包括 CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8、SF6、NF3、CF2O、F2等,具體見表1。

    表1 含氟清洗氣體Table 1 Fuorinated cleaning gases

    傳統(tǒng)含氟清洗氣體主要包括四氟化碳 (CF4)、六氟乙烷 (C2F6)、八氟丙烷 (C3F8)、八氟環(huán)丁烷 (c-C4F8)、六氟化硫 (SF6)、三氟化氮 (NF3)等品種,在半導(dǎo)體清洗中,主要以原位C2F6與CF4等全氟碳化合物 (PFC)清洗為主。

    隨著環(huán)境要求的不斷提高,半導(dǎo)體工業(yè)中的PFCs排放越來越受到全球的重視?;瘜W(xué)氣相沉積(CVD)腔體清洗所用的氟碳化合物則是半導(dǎo)體工業(yè)中最大的PFCs排放源。尋找替代清洗劑被認(rèn)為是最有效的PFCs排放減量/消除方法之一。

    表2 遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗與氟碳化合物原位清洗效果及PFCs排放比較Table 2 Efficiency and PFCs emission comparison between remote NF3 and in-situ fluorocarbon cleaning

    利用遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗代替原有的原位氟碳化合物 (如C2F6、CF4)清洗。遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗是指先將NF3等離子化,解離成F離子或原子,然后再讓F離子或原子進(jìn)入CVD腔體清洗殘留物。遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗可高達(dá)95%~99%的利用率,可以減少>95%的PFCs排放量。遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗與氟碳化合物原位清洗效果及PFCs排放比較見表2[5]。

    但該遠(yuǎn)程N(yùn)F3清洗過程將會產(chǎn)生更多的副產(chǎn)物F2、HF與NOx,無疑會增加后續(xù)廢水/廢氣處理的負(fù)荷與難度,后處理系統(tǒng)價格昂貴。而且NF3具有爆炸性。

    傳統(tǒng)含氟清洗氣體如PFCs(包括CF4、C2F6、C3F8、c-C4F8等)、SF6、NF3的 GWP值很高,而且后處理系統(tǒng)復(fù)雜且價格昂貴。

    新一代含氟清洗氣體主要往GWP值低甚至為零、清洗效率高、后處理簡單這三個方向發(fā)展。代表性的新一代含氟清洗氣體是CF2O[6-7],其它如F2、ClF3等。

    表3為各清洗劑的清洗效率比較。由表3結(jié)果可知,與傳統(tǒng)含氟清洗氣體相比,CF2O、F2這兩種清洗劑的清洗效率非常高,可大于99%。

    1998~2002,日本先端研究院 (Research Institute of Innovation Technology for the Earth,RITE) 一直致力于替代清洗劑的研究,并推薦CF2O作為新的替代清洗劑。CF2O的GWP值約為1,大氣壽命近似為零,環(huán)境非常友好。與傳統(tǒng)清洗劑C2F6、NF3相比,CF2O的環(huán)境友好優(yōu)勢非常明顯,具有低的 GWP和 MMTCE,GWP值 CF2O/NF3=1/10970,CF2O/C2F6=1/9200;MMTCE值 CF2O/NF3=1/10,CF2O/C2F6=1/100。另外,CF2O爆炸可能性為0,與SiH4混合的安全比例范圍非常寬。

    表3 含氟清洗氣體清洗效率比較Table 3 Cleaning efficiency comparison of fluorinated cleaning gases

    盡管CF2O屬有毒物質(zhì),但廢氣可通過后續(xù)水洗滌輕易去除,后處理系統(tǒng)簡單,后處理成本低。使用CF2O替代PFCs清洗劑,相當(dāng)于降低了96%的PFCs排放量。

    CF2O作為CVD系統(tǒng)清洗劑的清洗工藝如圖1所示。

    圖1 CF2 O清洗劑CVD系統(tǒng)Fig.1 CVD system using CF2 O as cleaning gas

    可見,作為新一代含氟清洗氣體,CF2O清洗效率高,后處理簡單,且環(huán)境友好,具有極大的優(yōu)勢。

    1998年,提出ClF3是一種較有前景的多晶硅腔體清洗劑,其GWP與ODP值均為0。ClF3特別適合于原位CVD腔體清洗,無需等離子化,在低溫下就可進(jìn)行。但是,由于ClF3具有極大的活性,有很強(qiáng)的氧化性,遇水馬上發(fā)生激烈反應(yīng);與有機(jī)物接觸會立即燃燒,而且可與大部分無機(jī)物反應(yīng),這些特性給使用與儲運(yùn)都帶來很大的危險,因此未能大規(guī)模應(yīng)用。

    F2的GWP值與ODP值均為零,環(huán)境友好,并且清洗效率高,被認(rèn)為是一種可能的CVD腔體PFCs清洗劑的替代品。但是,人們考慮到其ESH(Environment,Safety and Health)危險性,而且F2需使用高壓鋼瓶,給儲運(yùn)帶來很大困難,因此未受到特別重視?,F(xiàn)在有公司發(fā)明了F2現(xiàn)場發(fā)生器POU[8-9],POU F2發(fā)生器將無水 HF電解為 F2,之后再將剩余HF與其它雜質(zhì)除去。但POU陽極(碳電極)容易發(fā)生爆炸,而且HF有毒且腐蝕性很強(qiáng),而F2也屬高毒性、強(qiáng)氧化性物質(zhì)。在低k沉積腔體清洗過程中,F(xiàn)2會產(chǎn)生一定量的PFCs副產(chǎn)物如CF4。

    2 含氟蝕刻氣體

    含氟蝕刻劑主要用于干法蝕刻,干法蝕刻有效克服了濕法蝕刻的致命缺陷,已成為亞微米尺寸下蝕刻器件的最主要方法,廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體或LCD前段制程[10-12]。含氟蝕刻劑品種主要包括CF4、CHF3、CH2F2、CH3F、C2F6、c-C4F8、C4F6、C5F8等,具體用途與特點見表4。

    CF4這種含氟有機(jī)化合物用于蝕刻二氧化硅和氮化硅這樣的介質(zhì)材料已經(jīng)有很多年了。在氧化膜的干法蝕刻中,含氟有機(jī)物是主要的蝕刻氣體,如c-C4F8在高電場下,離化成等離子體和自由基(Radical),包含CF*,CF2*,CF3*等,然后自由基與二氧化硅反應(yīng)完成蝕刻,其反應(yīng)式為:CF*+SiO2→SiF4+CO/CO2。

    含氟有機(jī)物往往與其它無機(jī)氣體一起使用,如含氟有機(jī)物與Ar一起配成蝕刻劑,Ar往往是大量的。惰性氣體Ar一方面可以稀釋反應(yīng)氣體,另一方面大量的Ar轟擊被蝕刻體的表面,可以加快蝕刻的速率。

    另外,在蝕刻過程中由于和光刻膠反應(yīng)會生成大量的反應(yīng)生成物,為 (C-H)n聚合物,用O2可以幫助除去它們。

    反應(yīng)中,CF基團(tuán)是最關(guān)鍵的因子,F(xiàn)是起主要蝕刻作用的,但它和氧化膜 (SiO2)和氮化膜(Si3N4)反應(yīng),速率相差不大,因此蝕刻速率選擇比低;而C的作用是生成 (C-H)n聚合物等,優(yōu)點是有利于提高蝕刻選擇比,缺點是過多的聚合物會在蝕刻過程中堵塞孔,造成蝕刻中止 (Etch stop),最終導(dǎo)致開孔不良。所以,不同的蝕刻工藝要求使用不同F(xiàn)/C比值的蝕刻劑。可以添加輔助氣體如CO來平衡C的比例,也可以改變主蝕刻氣體,比如C/F比。

    表4 蝕刻劑用含氟電子氣體Table 4 Fluorinated electronic gases for etching

    通過提高等離子體中的氟/碳比,比如加入氧氣,二氧化硅的蝕刻速率就會增加。相反的,如果等離子體中的氟/碳比降低,比如加入氫氣或者CHF3、CH2F2,就可以降低二氧化硅的蝕刻速率。此外,當(dāng)氟/碳比低于一個臨界值時,等離子體蝕刻可能會停止,并轉(zhuǎn)變?yōu)榫酆衔锏某练e模式。

    二氧化硅等離子體干法蝕刻工藝中最常用的蝕刻氣體為氟碳化合物、氟化的碳?xì)浠衔?在碳?xì)浠衔镏杏幸粋€或幾個氫原子被氟原子替代),如CF4、CHF3、CH2F2等。其中所含的碳可以幫助去除氧化層中的氧 (產(chǎn)生副產(chǎn)物 CO及 CO2)。CF4是微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體,可以提供很高的蝕刻速率,但對多晶硅的選擇比很低。而且大氣壽命長,GWP高,逐漸被其它氣體替代。SF6、NF3也由于大氣壽命和GWP高,難逃被替代的命運(yùn)。

    CHF3、CH2F2除了作為主蝕刻劑外,還可用作其它主蝕刻劑的輔助氣,調(diào)節(jié)氟/碳比。

    全氟化物的電子氣體中,六氟乙烷使用量占50%左右。六氟乙烷 (FC-116)因其無毒無臭、高穩(wěn)定性而被廣泛應(yīng)用在半導(dǎo)體制造過程中,例如作為干蝕刻劑 (Dry Etch)、化學(xué)氣相沉積 (CVD,Chemical Vapor Deposition)后腔體的清洗劑。六氟乙烷作為干法蝕刻劑,可用于集成電路中的等離子蝕刻,在RF(射頻)下能解離出高活性的氟離子,主要用于反應(yīng)器內(nèi)表面硅、硅化合物的蝕刻。特別是隨著半導(dǎo)體器件的發(fā)展,集成電路精度要求越來越高,常規(guī)的濕法腐蝕不能滿足0.18~0.25 μm的深亞微米集成電路高精度細(xì)線蝕刻的要求。而六氟乙烷作為干蝕刻劑具有邊緣側(cè)向侵蝕現(xiàn)象極微、高蝕刻率及高精確性的優(yōu)點,可以極好地滿足此類線寬較小的制程的要求。特別是當(dāng)接觸到孔徑為140 nm或更小的元件時,原先的八氟環(huán)丁烷無法起到蝕刻作用,而六氟乙烷卻可以在小到110 nm的元件上產(chǎn)生一條深凹槽。六氟乙烷也可作為清洗劑,主要用于半導(dǎo)體化學(xué)氣相沉積CVD腔體的清洗。在以傳統(tǒng)硅甲烷 (SiH4)為基礎(chǔ)的各種CVD制程中,六氟乙烷作為清洗氣體與硅烷相比更具優(yōu)越性,主要表現(xiàn)在排放低、氣體利用率高、清洗效率高和設(shè)備產(chǎn)出率高。

    一氟甲烷作為干法蝕刻劑,主要用于集成電路中的等離子蝕刻,尤其是HDP(高密度等離子)蝕刻。

    六氟丁二烯 (C4F6)和八氟環(huán)戊烯 (C5F8)作為下一代蝕刻氣體,被認(rèn)為具有競爭優(yōu)勢,尤其是C4F6。

    C4F6用作半導(dǎo)體級氟氣體的市場需求在全面增長。它可取代CF4用于KrF激光銳利蝕刻半導(dǎo)體電容器圖形 (Patterns)的干工藝。C4F6在0.13 μm技術(shù)層面有諸多蝕刻上的優(yōu)點[13-16]。C4F6有比C4F8更高的對光阻和氮化硅選擇比,這是很重要的兩個優(yōu)點,因為隨著器件尺寸推進(jìn)到0.13μm,孔的CD(關(guān)鍵尺寸)要比0.18μm時小30%左右,同時一些膜層厚度也相應(yīng)減少,這就要求對那些關(guān)鍵膜層的選擇比要高,這樣才能擴(kuò)大蝕刻的窗口,提高蝕刻的穩(wěn)定性。蝕刻速率的提高可以減少蝕刻所用的時間,從而提高生產(chǎn)效率。蝕刻均勻度和CDbias(關(guān)鍵尺寸偏置)的提高會提高CD和器件穩(wěn)定可靠性,從而提高產(chǎn)品優(yōu)良率。

    另外,環(huán)境方面也是一個非常重要的因素。使用溫室效應(yīng)系數(shù)低、極有利于環(huán)保的氣體的蝕刻設(shè)備及工藝技術(shù)估計將會迅速地相繼開發(fā)出來。C4F6的GWP值幾乎為0。比如,C4F6取代在氧化膜蝕刻工藝中使用的C4F8和C5F8,從而降低溫室氣體的排放。而且,半導(dǎo)體蝕刻專家提供蝕刻時PFC(Perfluorocompound)使用的數(shù)據(jù)指出,用C4F6來取代C4F8在氧化物之蝕刻上有相當(dāng)?shù)男阅芮铱蓽p少65%~82%PFC的排放,有關(guān)專家指出,到目前為止,C4F6可能是唯一能提供所需蝕刻條件及減少排放的替代物。

    3 結(jié)論

    傳統(tǒng)含氟清洗氣體大氣壽命周期長,GWP值高;新興清洗氣體CF2O大氣壽命與GWP幾乎為零,清洗利用率大于99%,無論是清洗性能還是環(huán)境保護(hù),CF2O都具有極大優(yōu)勢。六氟丁二烯(C4F6)和八氟環(huán)戊烯 (C5F8)作為下一代蝕刻氣體,由于優(yōu)良的刻蝕性能及綠色環(huán)保特性,被認(rèn)為具有競爭優(yōu)勢,尤其是C4F6。

    [1]李仁.半導(dǎo)體IC清洗技術(shù)[J].半導(dǎo)體技術(shù),2003,28(9):44-47.

    [2]曹寶成,于新好.新型半導(dǎo)體清洗劑的清洗工藝[J].半導(dǎo)體學(xué)報,2002,23(7):777-781.

    [3]閆志瑞.半導(dǎo)體硅片清洗工藝發(fā)展方向[J].電子工業(yè)專用設(shè)備,2004,33(9):23-26.

    [4]葉志鎮(zhèn),姜小波.超凈硅片表達(dá)化學(xué)清洗工藝的優(yōu)化研究[J].半導(dǎo)體學(xué)報,1996,17(5):380-385.

    [5]Reduction of perfluorocompound(PFC)emissions:2005 State of the technology report[J]. International SEMTECH Manufacturing Initiative,2005.

    [6]UEDA S,TAKAHASHI K,MATSUBARA T,NIKOU H.Investigation of an alternative gas COF2application for CVD chamber cleaning process[C]//Proceedings of 12thISESH conference,2005.

    [7]SAKAMURA M,MINEGISHI T,YOMODA M.Evaluation of COF2in mass production line[C]//Proceedings of 12thISESH conference,2005.

    [8]SIEGELE S,HAGE D,SIEGELE F.On-site generation of high purity fluorine as a safe and economical alternative for CVD chamber cleaning [J].FutureFab International,2002,13(3):107-116.

    [9]Generation-F 80 on-site fluorine generator[R].BOCEdwards.

    [10]嚴(yán)劍飛,袁凱,太惠玲,吳志明.二氧化硅的干法蝕刻工藝研究[J].微處理機(jī),2010,31(2):16-18,22.

    [11]葛強(qiáng).硅的干法蝕刻簡介[J].集成電路應(yīng)用,2008(4):48.

    [12]羅飚,陳永詩,沈坤,陽洪濤,談春雷.光柵干法蝕刻與濕法蝕刻的研究[J].光學(xué)與光電技術(shù),2003,1(1):54-56.

    [13]邱鵬.C4F6在130 nm產(chǎn)品中接觸孔/通孔干法蝕刻工藝中的應(yīng)用[D].上海:上海交通大學(xué),2008.

    [14]CHATTERJEE R,REIF R.The Evaluation of Hexafluoro-1,3-butadiene as an Environmentally Benign Dielectric Etch Chemistry in a Medium-Density Etch Chamber[C]//Electrochemical Society Proceedings,2002:99-113.

    [15]JI B,MOTIKA S A,BADOWSKI P R,et al.Fluorine plasma chemistry for high-AR dielectric etching[J].Solid State Technology,2005,48(11):45-49.

    [16]KWON B S,KIM JS,LEE N E.Etching Characteristics of ArF and EUV Resists in C4F6-and C4F8-based Dualfrequency Superimposed Capacitively-coupled Plasmas[J].Journal of the Korean Physical Society,2011,58(6):1622-1627.

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