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    橋區(qū)參數(shù)對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火性能的影響

    2012-07-07 12:27:12解瑞珍任小明姚小寧
    火工品 2012年1期
    關(guān)鍵詞:橋區(qū)火工品感度

    解瑞珍,薛 艷,任小明,劉 蘭,盧 斌,姚小寧

    (陜西應(yīng)用物理化學(xué)研究所 應(yīng)用物理化學(xué)國(guó)家級(jí)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,陜西 西安,710061)

    利用磁控濺射技術(shù)制備的Ni-Cr薄膜換能元作為電火工品的關(guān)鍵器件[1],其結(jié)構(gòu)可以設(shè)計(jì)成多層復(fù)合式結(jié)構(gòu)或特殊形式以滿足不同的需求,在低能化與微型化方面具有明顯的優(yōu)勢(shì)[2-4]?;?MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))的成熟工藝,可滿足MEMS引信安保裝置中硅起爆器芯片技術(shù)的需求,實(shí)現(xiàn)與探測(cè)電路的二次集成,提高M(jìn)EMS引信安全保險(xiǎn)裝置的智能化程度[5-7]。

    發(fā)火感度是火工品的重要技術(shù)參數(shù),與火工品的安全性和可靠性密切相關(guān),開展橋區(qū)參數(shù)對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火感度影響的研究,為換能元的設(shè)計(jì)提供基礎(chǔ)參數(shù),是Ni-Cr薄膜換能元研究的重點(diǎn)。本文選擇7740玻璃作為基底材料,設(shè)計(jì)制作了不同橋膜參數(shù)的換能元,并對(duì)其發(fā)火感度進(jìn)行了測(cè)試,獲得了橋區(qū)參數(shù)對(duì)換能元發(fā)火感度的影響結(jié)果。

    1 試驗(yàn)樣品

    采用非平衡磁控濺射儀、勻膠機(jī)、光刻機(jī)等設(shè)備制作Ni-Cr薄膜換能元。橋區(qū)材料為鎳鉻合金,鎳鉻合金的成分為鎳80%、鉻20%。換能元的顯微鏡照片如圖1所示。

    圖1 Ni-Cr薄膜換能元橋區(qū)照片F(xiàn)ig.1 The bridge photo of Ni-Cr alloy thin film

    2 試驗(yàn)方法

    依據(jù)GJB/z 377A-94感度試驗(yàn)用蘭利法對(duì)換能元的發(fā)火感度進(jìn)行了測(cè)試,選用的儀器分辨率為0.1V,采用火工品感度試驗(yàn)便攜式計(jì)算裝置 PDA[8]進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。試驗(yàn)數(shù)據(jù)分布假設(shè)為正態(tài)分布,不同的試驗(yàn)樣品根據(jù)經(jīng)驗(yàn)選用了不同的刺激下限和刺激上限,并且對(duì)試驗(yàn)結(jié)果的標(biāo)準(zhǔn)差不做修正。測(cè)試用起爆電路如圖2所示,發(fā)火電容47μF,含能材料為斯蒂芬酸鉛。

    圖2 Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火電路Fig.2 The firing circuit of Ni-Cr alloy thin film transducer element

    3 試驗(yàn)結(jié)果及分析

    3.1 橋膜厚度對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火感度的影響

    對(duì)橋膜厚度分別為0.3μm、0.6μm、0.9μm、1.2μm的換能元進(jìn)行發(fā)火感度測(cè)試,測(cè)試結(jié)果如表1所示,發(fā)火后換能元橋區(qū)的顯微鏡照片如圖3所示。

    從表1中可以看出,當(dāng)橋區(qū)尺寸一定時(shí),隨著橋膜厚度的增加,換能元的發(fā)火電壓減小,當(dāng)橋膜的厚度增加到一定的程度,換能元發(fā)火電壓又有增大的趨勢(shì),0.9μm厚的換能元較為敏感,發(fā)火電壓較低。

    3.2 橋區(qū)寬度對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火感度的影響

    對(duì)橋區(qū)寬度分別為0.10mm、0.15mm、0.20mm、0.25mm的換能元進(jìn)行發(fā)火感度測(cè)試,結(jié)果見(jiàn)表2。

    表1 不同橋膜厚度的換能元發(fā)火感度測(cè)試結(jié)果Tab.1 The firing sensitivity test result of transducer element with different film thickness

    圖3 Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火后的顯微鏡照片F(xiàn)ig.3 The microscopical photograph of Ni-Cr transducer element after fire

    表2 不同橋區(qū)寬度的換能元發(fā)火感度測(cè)試結(jié)果Tab.2 The firing sensitivity test result of transducer element with different bridge width

    表2結(jié)果顯示,當(dāng)橋膜厚度一定時(shí),隨著橋區(qū)寬度增加,發(fā)火電壓增大;被測(cè)樣品中橋區(qū)寬度為 0.1 mm的換能元的平均發(fā)火電壓較低。

    由于表2的測(cè)試結(jié)果沒(méi)有出現(xiàn)拐點(diǎn),采用同樣的測(cè)試方法,對(duì)橋區(qū)長(zhǎng)度相同,橋區(qū)寬度分別為 0.10 mm、0.05mm的換能元的發(fā)火感度進(jìn)一步進(jìn)行了測(cè)試,測(cè)試結(jié)果如表3所示。

    從表 3中可以看出,當(dāng)橋區(qū)寬度小到一定程度時(shí),相同膜厚的換能元的發(fā)火電壓不再繼續(xù)減小,而是有所升高。

    表3 橋區(qū)寬度為0.1mm和0.05mm的換能元發(fā)火感度測(cè)試結(jié)果Tab.3 The firing sensitivity of transducer element with 0.1mm and 0.05mm bridge width

    3.3 橋區(qū)長(zhǎng)度對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火感度的影響

    對(duì)橋區(qū)長(zhǎng)度分別為0.1mm、0.3mm的換能元進(jìn)行發(fā)火感度測(cè)試,測(cè)試結(jié)果如表4所示。

    表4 不同橋區(qū)長(zhǎng)度的換能元發(fā)火感度測(cè)試結(jié)果Tab.4 The firing sensitivity test result of transducer element with different bridge length

    從表4中可以看出,當(dāng)橋膜厚度、橋區(qū)寬度一定時(shí),橋區(qū)長(zhǎng)度越長(zhǎng),換能元發(fā)火電壓越高,感度越低。

    3.4 橋區(qū)形狀對(duì)Ni-Cr薄膜換能元發(fā)火感度的影響

    采用同樣的方法對(duì)橋區(qū)尺寸、橋膜厚度相同,橋區(qū)形狀不同的換能元進(jìn)行了發(fā)火感度測(cè)試,兩種不同的橋區(qū)形狀如圖4所示,測(cè)試結(jié)果如表5所示。

    圖4 橋區(qū)形狀Fig.4 The shape of bridge area

    表5 不同橋區(qū)形狀的換能元發(fā)火感度的測(cè)試結(jié)果Tab.5 The firing sensitivity test result of transducer element with different bridge shape

    由表5可見(jiàn),樣品2的發(fā)火電壓較樣品1低,說(shuō)明橋區(qū)形狀對(duì)換能元發(fā)火電壓有明顯的影響。

    4 結(jié)論

    (1)當(dāng)橋區(qū)尺寸一定時(shí),隨著橋膜厚度的增加,換能元的發(fā)火電壓減小,當(dāng)橋膜的厚度增加到一定的程度,換能元發(fā)火電壓又有增大的趨勢(shì)。

    (2)當(dāng)橋膜厚度、橋區(qū)長(zhǎng)度一定,橋區(qū)寬度大于 0.1mm時(shí),隨著橋區(qū)寬度增加,發(fā)火電壓增大;但當(dāng)橋區(qū)寬度小于 0.1mm時(shí),隨著橋區(qū)寬度減小,換能元發(fā)火電壓也有增大的趨勢(shì)。

    (3)當(dāng)橋膜厚度、橋區(qū)寬度一定時(shí),隨著橋區(qū)長(zhǎng)度的增加,換能元發(fā)火電壓增大。

    (4)橋區(qū)的形狀對(duì)換能元的發(fā)火電壓也有顯著的影響。

    [1]王廣海,李國(guó)新,焦清介.陶瓷基體表面粗糙度對(duì)Ni-Cr薄膜換能元性能的影響[J].兵工學(xué)報(bào),2011,32(5):548-553.

    [2]解瑞珍,任小明,王可暄,等.Ni-Cr薄膜換能元刻蝕工藝研究[J].火工品,2010(6):20-22.

    [3]Toshiyuki Tsuchiys.Mechanical reliability evatuation and its standandzation of thin films used in MEMS[D].Kyoto:Kyoto University,2004.

    [4]K.L.Zhang,S.K.Chou S.S.Ang.Fabrication,modeling and testing of a thin film Au/Ti microheat international[J].Journal of Thermal Sciences,2007 (46):580-588.

    [5]Hélène pezous,Carole Rossi Marjorie Sanchez etal.Integration of a MEMS base safe arm and fire device[J].Sensors and Actuators A, 2010 (159):157-167.

    [6]David H.Lewish Jr.,Siegfried W.Janson,Ronald B.Cohen,et.al.Digital micropropulsion[J].Sensors and Actuators, 2000(80):143-154.

    [7]Larangot B,Rossi C,Camps T,etal.Solid propellant microrockets towards a new type of power MEMS[R].AIAA 2002-5758, 2002.

    [8]張蕊,付東曉,白穎偉,等.火工品感度試驗(yàn)用便攜式計(jì)算裝置[J].火工品,2009(1):35-39.

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